JPH0545489B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、角形のマスク基板検査装置などに
おいて、収納カセツトとの間に角形マスク基板
（ワーク）を移送するための角形マスク基板移送
機構に関するものである。

半導体製品であるICデバイスを製造する場合、
第１段階としてマスク基板がつくられる。マスク
基板の素材（サブストレート）は水晶またはガラ
スによるもので、形状は最近では専ら角形（正方
形）のものが用いられており、大きさとして１辺
が４〜７インチ（約10〜18cm）の各種がある。

サブストレートは順次各種のプロセスを経て、
その表面に回路パタンが形成されてマスク基板と
なり、これをもととして投影法によりICが製造
される。このように、マスク基板はICの母体で
あるので、そしその表面に疵または塵埃などが混
存するときは、製造されるすべてのICの不良の
原因となり影響するところが非常に大きいので、
各プロセスはもちろん、処理または検査装置の間
におけるワークの着脱・移送の際、表面に接触す
ることは極力避けることが必要とされている。ま
た、各種の処理・検査装置またはそれら付随する
着脱・移送の機構における発塵についても厳重に
防止を図らなければらない。

従来、マスク基板の検査装置においては、収納
カセツトに対する供試ワークの移送には、プラス
チツクのベルトが使用されているが、ベルトがワ
ークの裏面に接触するため疵を生ずる虞がある。
またワークの取り出しおよび挿入には、引き出し
台といわれる機構が用いられているが、機構が複
雑で寸法が大きいばかりでなく、各種のワークサ
イズに対応するためには、機構の１部の段取りを
変えることが必要であるなど不便であり、満足す
べきものではない。

［発明の目的］ この発明は、角形のマスク基板を収納カセツト
に挿入するための移送・押し込みの機構におい
て、ワークの表面に非接触で、また各種のサイズ
のワークに対して段取り替えを必要とせず、構造
が単純な角形マスク基板の移送機構を提供するこ
とを目的とするものである。

［問題点を解決するための手段］ この発明においては、角形マスク基板であるワ
ークの移送・押し込みを機械的に行うものである
が、その機構とワークの接触はワークの側面およ
び側面と表・裏面のなす稜線に限るものである。

第１図ａはこの発明に用いたＶ字形のワーク載
置台２を示すもので、ワーク（角形マスク基板）
１は載置台２のＶ字をなす２辺の上に側面の稜線
で接触して載置されている。

第１図ｂはこの発明に用いたテーパ付きローラ
３を示すもので、ローラ３は中央部へ互いに下傾
する搬送面をもつ。そして、ワーク１は相対する
ローラ３（１対のみ図示）の上にワーク１の対向
する２辺の稜線で接触して載置されている。ここ
で押出機構としての押出具４でワーク１の側面を
矢印Ｂの方向に押すときは、ワーク１の進行につ
れてローラ３が自由回転をするが、両者の接触は
ワーク１の対向する２辺の稜線に限られている。

第１図ｃは、ワーク１、ワーク載置台２および
テーパ付きローラ３の配置図である。図中の５は
前段階に行われた検査の位置からワーク載置台２
までワーク１を搬送するための搬送チヤツクを示
す。

第２図は、この発明におけるワーク１の移送の
手順を説明する各段階の垂直断面図である。図中
でイは、上記した搬送チヤツク５にチヤツクされ
たワーク１を示し、これが下降すると図ロのよう
に、ワーク１は載置台２の上に稜線を接して載置
される。さらに載置台２が降下して図ハの状態と
なると、載置台２は無関係となり、ワーク１はロ
ーラ３に移される。ここで、押出具４によりワー
クの側面を矢印Ｂの方向に押圧すると、上述の通
りワーク１はワーク１の対向する２辺の稜線で接
触して移送される。

［実施例］ 第３図にこの発明による角形マスク基板移送機
構の１実施例を示す。ベース板６の中央部に垂直
移動軸８に結合した垂直軸８′を設け、該垂直軸
８′の上部にＶ字形のワーク載置台２をとりつけ
る。モータ９はワーク載置台２の昇降用である。
ワーク載置台２を挟んで両側に２枚のフレームバ
ー７を平行に固定して、それぞれに１連のテーパ
付きローラ３を軸支して配列する。これらのロー
ラ３は中央部へ互いに下傾する搬送面をもつ。

載置台２およびローラ３の大きさ、ならびにロ
ーラ３の隣接の間隔、あるいは対向する間隔など
は、供試されるワークサイズのうちの最小、最大
のものを考慮して、各種のサイズのワークに適用
できるように選定するものである。現行の４〜７
インチ（約10〜18cm）のワークに対して、これは
十分可能である。また、このようにすることによ
り、ワークサイズの変更に対して段取り替えが不
要となる 押出具４は、２本のガイド棒１３に沿つて可動
の移動子１４に取り付けられており、またモータ
１２はスチールベルト１１を介して移動子１４を
移動するものである。

いま、前述した搬送チヤツク５により、ワーク
１が載置台２の上に載置されると、シーケンサな
どの制御によりモータ９が回転して載置台２が降
下し、ワーク１はローラ３に移される。ついでモ
ータ１２の回転により、押出具４が押出されてワ
ーク１は収納カセツト１５の方に移送されるもの
である。

［発明の効果］ この発明による角形マスク基板移送機構によれ
ば、当初に述べた従来のベルト方式においてワー
クに生ずる疵、塵埃の問題および収納カセツトの
引き出し台における機構の複雑さと段取り替えの
必要性がすべて排除されている。すなわち、Ｖ字
形の載置台およびテーパ付きローラを導入してワ
ークの稜線のみに接触し表・裏面には非接触で移
送する方式であるので、ワークの品質を低下する
虞が全くない。また、ワーク載置台２およびテー
パ付きローラ３はともに各種のサイズのワークに
対応できるので、段取り替えが不要であり、かつ
これらは単純な原理および簡単な構造のものであ
るなど優れた性能を有しており、半導体生産技術
に寄与するところ大きいものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図ａはこの発明による角形マスク基板移送
機構に用いるＶ字形ワーク載置台にワークを載置
した図、第１図ｂはこの発明による角形マスク基
板移送機構に用いるテーパ付きローラにワークを
載置した図、第１図ｃはこの発明による角形マス
ク基板移送機構における各部の相互位置を示す配
置図、第２図はこの発明による角形マスク基板移
送機構におけるワークの移送手順の説明図、第３
図はこの発明による角形マスク基板移送機構の１
実施例の斜視外観図である。 １……ワーク、２……ワーク載置台、３……テ
ーパ付きローラ、４……押出具、５……搬送チヤ
ツク、６……ベース板、７……フレームバー、８
……垂直駆動機構、８′……垂直移動軸、９…１
２……モータ、１０……滑車、１１……スチール
ベルト、１３……ガイド棒、１４……移動子、１
５……収納カセツト部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ベース板の中心部に設けられ、垂直断面がＶ
   字形をなし、該Ｖ字形の上に角形マスク基板（ワ
   ーク）を該ワークの２辺の稜線で支承しかつ垂直
   の方向に可動のワーク載置台と、該ワーク載置台
   の両側にあつて、上記ベース板に固定された２枚
   の平行なフレームバーの相対する２面に水平に軸
   支され、中央部へ互いに下傾する搬送面をもち、
   該ワーク載置台の下降により上記ワークを該ワー
   ク載置台から載置替えし、該ワークをこれの対向
   する２辺の稜線で支承する２組のテーパ付きのロ
   ーラと、該ローラの端部にあつて該ローラの上に
   載置されている該ワークの側面を押出して該ワー
   クを移送する押出機構とよりなることを特徴とす
   る角形マスク基板移送機構。