JPH0545969Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、高周波誘導結合プラズマイオン源に
使用して最適なネブライザに関するものである。

［従来の技術］ 近時、高周波誘導結合プラズマイオン源と質量
分析装置とを結合した高周波誘導結合プラズマ質
量分析装置が開発され実用に供されている。

かかる高周波誘導結合プラズマ質量分析装置
は、ブラズマを用いて液体試料をイオン化させ、
生成されたイオンをインターフエースを介して質
量分析計に導入して質量分析する。このとき、ブ
ラズマにより試料をイオン化するためには、第３
図に示すようなネブライザを用いて液体試料を霧
状にしてブラズマ中に噴出させる必要がある。

同図において、１は外側パイプで、一端は細く
絞られ先端に噴出穴２が形成してあり、また、他
端は底部３により塞がれている。４はこの外側パ
イプの内部に略同心状に配置された内側パイプ
で、一端は前記噴出穴３に接近して置かれ、他端
が前記底部３に固定されている。また、この内側
パイプは前記底部３の外側に固定された試料供給
パイプ５と連通するように構成されている。６は
外側パイプ１と内側パイプ４との間に形成される
隙間Ｓを通して前記噴出穴２により任意のガスを
噴出させるためのガス導入管である。また、これ
らの各部材は耐熱性に優れた石英ガラスにより一
体成型により構成するのが通常である。

今、ガス導入管６より導入したアルゴンガスを
隙間Ｓを通して外側パイプ１の噴出穴２により噴
出させた状態で、試料供給パイプ５より試料液を
内側パイプ４に導入すれば、試料液は噴出穴２か
ら噴出するアルゴンガスによつて霧化され図示外
のブラズマトーチ内に噴出されるため、イオン化
される。

一方、高周波誘導結合プラズマイオン源に使用
されるネブライザとしては、試料液を霧状にして
ブラズマ中に導入した際、ブラズマの温度が低下
するのを防止するために、霧化された試料液の液
滴が小さいことが望まれる。この液滴を小さくす
るためには、外側パイプ１の開口穴２から噴出す
るガスの流速を上げることが必要である。ここ
で、ガスの流速を上げるためには、以下の工夫を
行う必要がある。

(1) ガス噴出部における内側と外側パイプ１と４
間に形成されるギヤツプＧをできるだけ小さく
する。

(2) 内側パイプ先端の位置を外側パイプの噴出穴
に対して前後に調整できること。

(3) 内側パイプの内径、外径及び外側パイプにお
ける噴出穴の内径を小さくする。

［考案が解決しようとする課題］ ところで、従来のネブライザは外側と内側パイ
プは一体に成型されるため、上述の工夫を施すこ
とは、非常に難しく噴霧された試料液の液滴の径
を小さくするのにも限界がある。

そこで、本考案はかかる点に鑑みてなされたも
のであり、霧化された試料液の液滴を小さくする
ことのできるネブライザを提供することを目的と
するものである。

［課題を解決するための手段］ 上気目的を達成するため、本考案の高周波誘導
結合プラズマイオン源用ネブライザは、先端に噴
出穴を有する有底状の外側パイプと、該外側パイ
プと略同心状に配置され、かつ該外側パイプ底部
にその内部が外部と連通するように取り付けられ
たガイド筒体と、該ガイド筒体の内側に移動可能
に挿入され、かつ先端が前記内側パイプのノズル
穴に接近して配置される内側パイプと、該内側パ
イプを外側パイプに固定するための手段と、前記
外側パイプと内側パイプとの隙間を通してノズル
穴よりガスを噴出するためのガス供給手段とを備
え、前記ノズル穴からの噴出ガスにより内側パイ
プからの試料を霧状にしてブラズマ中に噴霧させ
ることを特徴とするものである。

以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳説す
る。

［実施例］ 第１図は本考案に係るネブライザの一例を示す
断面図であり、第３図と同一番号のものは同一構
成要素を示す。

本実施例においては、外側パイプ１の略中心軸
に沿つてガイド筒体７をこの外側パイプと一体に
形成すると共に、前記ガイド筒体７の内部に内側
パイプ４を移動可能に挿入したことを特徴とす
る。前記内側パイプとしてはポリイミドコーテイ
ングされたフユーズドシリカ管を使用する。ま
た、この内側パイプ４は外側パイプ１から取り出
され、図示外の試料液を収容したボトル内に直接
あるいは任意な接続具を介して連絡されている。
さらに、この内側パイプはゴム栓８を介して外側
パイプ１の突出部１ａに固定される。

このようにすれば、前述した３つの要件を満足
することができる。即ち、外側と内側パイプ１，
４とを従来のように一体的に形成することなく
別々に形成することができるため、噴出穴２部分
における両パイプ間のギヤツプＧを容易に小さく
することができると共に、内側パイプの内径、外
径及び外側パイプの噴出穴の径を夫々精度良く小
さく形成することができる。また、内側パイプは
その軸方向に沿つて移動させることができるた
め、外側パイプの噴出穴に対して内側パイプ先端
を最適な位置にセツトすることができる。その結
果、噴出穴２から噴出するガスの流速を上げるこ
とができるため、液滴の非常に小さい霧状の試料
液をブラズマ中に導入でき、ブラズマの温度上昇
を抑制することができる。

尚、前述の説明は本考案の一例であり、実施に
当たつては幾多の変形が考えられる。例えば上記
実施例では、外側パイプ１に対して内側パイプ４
をゴム栓８を用いて直接固定した場合を示した
が、これに限定されることなく第２図に示すよう
に外側パイプの突出部１ａ部分に螺合したナツト
９にゴム栓８を嵌合させれば、ナツトを操作する
だけで外側パイプに対する内側パイプ先端位置の
調整を正確にかつ容易に行うことができる。

［考案の効果］ 以上詳述したように本考案によれば、従来のよ
うに外側と内側パイプとを一体に成型することな
く別々に形成してあるため、上記３つの要件を満
足することのできるネブライザを得ることができ
る。その結果、噴出穴か噴出するガスの流速を容
易に上げることができるため、液滴の非常に小さ
い霧状の試料液をブラズマ中に導入でき、ブラズ
マの温度上昇を抑制することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は夫々本考案に係るネブライ
ザの一例を示す断面図、第３図はネブライザの従
来例を説明するための図である。 １……外側パイプ、２……噴出穴、３……底
部、４……内側パイプ、５……試料供給パイプ、
６……ガス導入管、７……ガイド筒体、Ｇ……ギ
ヤツプ、Ｓ……隙間。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 先端に噴出穴を有する有底状の外側パイプと、
   該外側パイプと略同心状に配置され、かつ該外側
   パイプ底部にその内部が外部と連通するように取
   り付けられたガイド筒体と、該ガイド筒体の内側
   に移動可能に挿入され、かつ先端が前記内側パイ
   プのノズル穴に接近して配置される内側パイプ
   と、該内側パイプを外側パイプに固定するための
   手段と、前記外側パイプと内側パイプとの隙間を
   通してノズル穴よりガスを噴出するためのガス供
   給手段とを備え、前記ノズル穴からの噴出ガスに
   より内側パイプからの試料を霧状にしてプラズマ
   中に噴霧させることを特徴とする高周波誘導結合
   プラズマイオン源用ネブライザ。