JPH0546652B2 - - Google Patents
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- JPH0546652B2 JPH0546652B2 JP60229302A JP22930285A JPH0546652B2 JP H0546652 B2 JPH0546652 B2 JP H0546652B2 JP 60229302 A JP60229302 A JP 60229302A JP 22930285 A JP22930285 A JP 22930285A JP H0546652 B2 JPH0546652 B2 JP H0546652B2
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- Japan
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- earth metal
- substrate
- electron
- emitting material
- material layer
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- Solid Thermionic Cathode (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
この発明はTV用ブラウン管などに用いられる
電子管用陰極に関し、特に電子放射性物質層の改
良に関するものである。 〔従来の技術〕 第2図は従来のTV用ブラウン管や撮像管に用
いられている陰極を示すものであり、図において
1はシリコン(Si)、マグネシウム(Mg)などの
還元性元素を微量含む主成分がニツケルからなる
有底筒状の基体、2はこの基体の底部上面に被着
され、少なくともバリウム(Ba)を含み、他に
ストロンチウム(Sr)あるいは/及びカルシウ
ム(Ca)を含むアルカリ土類金属酸化物からな
る電子放射物質層、3は上記基体1内に配設され
たヒータで、加熱により上記電子放射物質層2か
ら熱電子を放出させるためのものである。 この様に構成された電子管用陰極において、基
体1への電子放射物質層2の被着は次の様にして
行なわれるものである。まずアルカリ土類金属
(Ba,Sr,Ca)の炭酸塩からなる懸濁液を基体
1に塗布し、真空排気工程中にヒータ3によつて
加熱する。この時、アルカリ土類金属の炭酸塩は
アルカリ土類金属の酸化物に変わる。その後、ア
ルカリ土類金属の酸化物の一部を還元して半導体
的性質を有するように活性化を行なうことによ
り、基体1上にアルカリ土類金属の酸化物からな
る電子放射物質層2を被着せしめているものであ
る。 この活性化工程において、アルカリ土類金属の
酸化物の一部は次の様に反応しているものであ
る。つまり基体1中に含有されたシリコン、マグ
ネシウム等の還元性元素は拡散によりアルカリ土
類金属の酸化物と基体1の界面に移動し、アルカ
リ土類金属酸化物と反応する。例えばアルカリ土
類金属酸化物として酸化バリウムBaOであれば
次式(1)(2)の様に反応するものである。 BaO+1/2Si=Ba+1/2SiO2 ……(1) BaO+Mg=Ba+MgO ……(2) この反応の結果、基体1上に被着形成されたア
ルカリ土類金属酸化物の一部が還元され、酸素欠
乏型の半導体となり、陰極温度700〜800℃の動作
温度で0.5〜0.8A/cm3の電子放射が得られること
になる。しかるに、この様にして形成された電子
管用陰極にあつては電子放射が0.5〜0.8A/cm3以
上の電流密度は取り出せないものである。その理
由としては次の様なものである。つまり、アルカ
リ土類金属酸化物の一部を還元反応させた場合、
上記(1)(2)式からも明らかな如く基体1とアルカリ
土類金属酸化物層との界面にSiO2,MgOあるい
はBaO・SiO2なる複合酸化物層(中間層)が形
成され、この中間層が高抵抗層となつて電流の流
れを妨げること、また上記中間層が基体1中の還
元元素が電子放射物質層2の表面側へ拡散するの
を妨げ十分なバリウム(Ba)が生成されないこ
とが考えられている。 また、従来の電子管用陰極としては特開昭59−
20941号公報に、上記した第2図のものと同様の
構成をしており、陰極の速動性を得るために基体
1の板厚を薄くし、寿命中の還元剤の涸濁を防止
しかつ基体1の強度低下を防止する目的で、基体
1にランタンがLaNi5及びLa2O3の形で分散含有
させたものが示されている。 〔発明が解決しようとする問題点〕 この様に構成された電子管用陰極においては、
動作中に基体1と電子放射物質層2の界面近傍、
特に基体1表面近傍のニツケル結晶粒界と上記界
面より10μm程度電子放射物質層2内側の位置に
前述の中間層が偏析するため、電流の流れ及び電
子放射物質層2表面側への還元性元素の拡散が妨
げられ、高電流密度下の十分な電子放出特性が得
られないという問題があつた。 また、後者に示したものにおいては、ニツケル
を主成分とする基体1の製作時にLaNi5及びLa2
O3を含有させるため、基体1内のLaNi5及びLa2
O3の含有状態のばらつきなどが生じ易かつた。 この発明は上記した点に鑑みてなされたもので
あり、高電流密度下において基体と電子放射物質
層との界面近傍に複合酸化物からなる中間層が集
中して形成されることを防止し、長時間にわたつ
て安定したエミツシヨン特性を有し、かつ生産
性・信頼性の高い電子管用陰極を得ることを目的
とする。 〔問題点を解決するための手段〕 この発明に係る電子管用陰極は、少なくともバ
リウムを含むアルカリ土類金属酸化物を主成分と
する電子放射物質層を6μm以下の厚みで希土類金
属膜を予め形成したニツケルを主成分とする基体
上に被着形成させたものである。 〔作用〕 この発明においては、Niを主成分とする基体
上に形成された6μm以下の厚さを有する希土類金
属が電子放射物質層を基体に被着形成する際の活
性化時に、アルカリ土類金属の炭酸塩が分解する
際、あるいは陰極としての動作中に酸化バリウム
が解離反応を起こす際に基体が酸化する反応を防
止するとともに、電子放射物質層中への基体に含
有された還元性元素の拡散を適度に制御し、還元
性元素による複合酸化物からなる中間層が基体と
電子放射物質層との界面近傍に集中的に形成され
ることを防止し、中間層を電子放射物質層内に分
散させるものである。 〔発明の実施例〕 以下にこの発明の一実施例を第1図に基づいて
説明する。図において、12は基体1の底部上面
に形成されたスカンジウムあるいはイツトリウム
などの希土類金属膜で2は該希土類金属膜12上
に被着形成された少なくともバリウムを含み、他
にストロンチウムあるいは/及びカルシウムを含
むアルカリ土類金属酸化物11を主成分とした、
電子放射物質層である。 次に、この様に構成された電子管用陰極におい
て、基体1への希土類金属膜12及び電子放射物
質層2の被着方法について説明すると、まず、バ
リウム、ストロンチウム、カルシウムの三元炭酸
塩と所定量のバインダー及び溶剤を混合し、懸濁
液を作成する。この懸濁液を予め電子ビーム蒸着
装置などを用いてその底部上面に6μm以下の希土
類金属膜12を形成したニツケルを主成分とする
基体1上にスプレイにより約80ミクロンの厚みで
塗布し、その後、従来のものと同様に、炭酸塩か
ら酸化物への分解過程及び酸化物の一部を還元す
る活性化過程を経て、電子放射物質層2を基体1
に被着せしめるものである。 この様な方法で形成される希土類金属膜の厚み
を種々変えた電子管用陰極を種々作成し、この電
子管用陰極を用いて2極管真空管を作成し、種々
の電流密度で寿命試験を行い、エミツシヨン電流
の変化を調べた結果、第3図の結果を得た。第3
図は従来のテレビ用陰極としての電流密度
0.66A/cm3の3.1倍(2.05Acm3)で動作させた時の
種々の膜厚の希土類金属膜を基体1上に形成した
後、その上部に電子放射物質層2を形成した電子
管用陰極の寿命特性と希土類金属膜が全く形成さ
れない基体1上に電子放射物質層2を有した従来
例の寿命特性との関係を示したものである。この
第3図から明らかなように6μm以下の厚みで基体
1上に希土類金属層を形成した本実施例のものは
従来例のものに対して高電流密度動作でのエミツ
シヨン劣化が少ないものである。 このように基体1上に希土類金属層を形成した
効果を詳細に調査するために、第3図の実験結果
において6000時間でのエミツシヨン電流測定後、
従来品及び基体1上に2μmのSc層12を形成し
た電子放射物質層2を有した電子管用陰極の断面
を電子ビームX線マイロアナライザー(EPMA)
によつて分析を行つた。その結果、高電流密度動
作下の従来品においては、基体1と電子放射物質
層2との界面近傍で、基体1内の結晶粒界では
SiO2,MgO及びこれらの複合酸化物層が形成さ
れ、さらに上記界面から電子放射物質層2側約
10μの位置にはBaO・SiO2の複合酸化物層が形成
されいることがわかつた。上記したSiO2・MgO
層及びBaO・SiO2層は基体1内から電子放射物
質層2内への還元剤であるSi,Mgの拡散速度を
抑制するとともに高絶縁であるために電流の流れ
を阻害し、ついには電子放射物質内での絶縁破壊
による損耗をもたらすことになるものである。 これに対して、本実施例である希土類金属であ
るSc層を基体1上に形成した電子放射物質2を
有する電子管用陰極においては、基体1内に含有
された還元剤であるSi,Mgは平均的に分散され
ており、上記従来例のもののように基体1と電子
放射物質層2との界面近傍に、これら還元剤のピ
ークが殆んど存在していないものである。このこ
とは次の理由によるものと判断される。つまり、
活性化時にアルカリ土類金属の炭酸塩が酸化物へ
と分解する場合、あるいは陰極の動作中にBaO
などが解離反応を起こす場合において、希土類金
属が基体1の酸化を防ぐことに起因しているもの
と考えられる。例えば、希土類金属がスカンジウ
ム(Sc)である場合の反応は次式(4)(6)の様にな
るものである。
電子管用陰極に関し、特に電子放射性物質層の改
良に関するものである。 〔従来の技術〕 第2図は従来のTV用ブラウン管や撮像管に用
いられている陰極を示すものであり、図において
1はシリコン(Si)、マグネシウム(Mg)などの
還元性元素を微量含む主成分がニツケルからなる
有底筒状の基体、2はこの基体の底部上面に被着
され、少なくともバリウム(Ba)を含み、他に
ストロンチウム(Sr)あるいは/及びカルシウ
ム(Ca)を含むアルカリ土類金属酸化物からな
る電子放射物質層、3は上記基体1内に配設され
たヒータで、加熱により上記電子放射物質層2か
ら熱電子を放出させるためのものである。 この様に構成された電子管用陰極において、基
体1への電子放射物質層2の被着は次の様にして
行なわれるものである。まずアルカリ土類金属
(Ba,Sr,Ca)の炭酸塩からなる懸濁液を基体
1に塗布し、真空排気工程中にヒータ3によつて
加熱する。この時、アルカリ土類金属の炭酸塩は
アルカリ土類金属の酸化物に変わる。その後、ア
ルカリ土類金属の酸化物の一部を還元して半導体
的性質を有するように活性化を行なうことによ
り、基体1上にアルカリ土類金属の酸化物からな
る電子放射物質層2を被着せしめているものであ
る。 この活性化工程において、アルカリ土類金属の
酸化物の一部は次の様に反応しているものであ
る。つまり基体1中に含有されたシリコン、マグ
ネシウム等の還元性元素は拡散によりアルカリ土
類金属の酸化物と基体1の界面に移動し、アルカ
リ土類金属酸化物と反応する。例えばアルカリ土
類金属酸化物として酸化バリウムBaOであれば
次式(1)(2)の様に反応するものである。 BaO+1/2Si=Ba+1/2SiO2 ……(1) BaO+Mg=Ba+MgO ……(2) この反応の結果、基体1上に被着形成されたア
ルカリ土類金属酸化物の一部が還元され、酸素欠
乏型の半導体となり、陰極温度700〜800℃の動作
温度で0.5〜0.8A/cm3の電子放射が得られること
になる。しかるに、この様にして形成された電子
管用陰極にあつては電子放射が0.5〜0.8A/cm3以
上の電流密度は取り出せないものである。その理
由としては次の様なものである。つまり、アルカ
リ土類金属酸化物の一部を還元反応させた場合、
上記(1)(2)式からも明らかな如く基体1とアルカリ
土類金属酸化物層との界面にSiO2,MgOあるい
はBaO・SiO2なる複合酸化物層(中間層)が形
成され、この中間層が高抵抗層となつて電流の流
れを妨げること、また上記中間層が基体1中の還
元元素が電子放射物質層2の表面側へ拡散するの
を妨げ十分なバリウム(Ba)が生成されないこ
とが考えられている。 また、従来の電子管用陰極としては特開昭59−
20941号公報に、上記した第2図のものと同様の
構成をしており、陰極の速動性を得るために基体
1の板厚を薄くし、寿命中の還元剤の涸濁を防止
しかつ基体1の強度低下を防止する目的で、基体
1にランタンがLaNi5及びLa2O3の形で分散含有
させたものが示されている。 〔発明が解決しようとする問題点〕 この様に構成された電子管用陰極においては、
動作中に基体1と電子放射物質層2の界面近傍、
特に基体1表面近傍のニツケル結晶粒界と上記界
面より10μm程度電子放射物質層2内側の位置に
前述の中間層が偏析するため、電流の流れ及び電
子放射物質層2表面側への還元性元素の拡散が妨
げられ、高電流密度下の十分な電子放出特性が得
られないという問題があつた。 また、後者に示したものにおいては、ニツケル
を主成分とする基体1の製作時にLaNi5及びLa2
O3を含有させるため、基体1内のLaNi5及びLa2
O3の含有状態のばらつきなどが生じ易かつた。 この発明は上記した点に鑑みてなされたもので
あり、高電流密度下において基体と電子放射物質
層との界面近傍に複合酸化物からなる中間層が集
中して形成されることを防止し、長時間にわたつ
て安定したエミツシヨン特性を有し、かつ生産
性・信頼性の高い電子管用陰極を得ることを目的
とする。 〔問題点を解決するための手段〕 この発明に係る電子管用陰極は、少なくともバ
リウムを含むアルカリ土類金属酸化物を主成分と
する電子放射物質層を6μm以下の厚みで希土類金
属膜を予め形成したニツケルを主成分とする基体
上に被着形成させたものである。 〔作用〕 この発明においては、Niを主成分とする基体
上に形成された6μm以下の厚さを有する希土類金
属が電子放射物質層を基体に被着形成する際の活
性化時に、アルカリ土類金属の炭酸塩が分解する
際、あるいは陰極としての動作中に酸化バリウム
が解離反応を起こす際に基体が酸化する反応を防
止するとともに、電子放射物質層中への基体に含
有された還元性元素の拡散を適度に制御し、還元
性元素による複合酸化物からなる中間層が基体と
電子放射物質層との界面近傍に集中的に形成され
ることを防止し、中間層を電子放射物質層内に分
散させるものである。 〔発明の実施例〕 以下にこの発明の一実施例を第1図に基づいて
説明する。図において、12は基体1の底部上面
に形成されたスカンジウムあるいはイツトリウム
などの希土類金属膜で2は該希土類金属膜12上
に被着形成された少なくともバリウムを含み、他
にストロンチウムあるいは/及びカルシウムを含
むアルカリ土類金属酸化物11を主成分とした、
電子放射物質層である。 次に、この様に構成された電子管用陰極におい
て、基体1への希土類金属膜12及び電子放射物
質層2の被着方法について説明すると、まず、バ
リウム、ストロンチウム、カルシウムの三元炭酸
塩と所定量のバインダー及び溶剤を混合し、懸濁
液を作成する。この懸濁液を予め電子ビーム蒸着
装置などを用いてその底部上面に6μm以下の希土
類金属膜12を形成したニツケルを主成分とする
基体1上にスプレイにより約80ミクロンの厚みで
塗布し、その後、従来のものと同様に、炭酸塩か
ら酸化物への分解過程及び酸化物の一部を還元す
る活性化過程を経て、電子放射物質層2を基体1
に被着せしめるものである。 この様な方法で形成される希土類金属膜の厚み
を種々変えた電子管用陰極を種々作成し、この電
子管用陰極を用いて2極管真空管を作成し、種々
の電流密度で寿命試験を行い、エミツシヨン電流
の変化を調べた結果、第3図の結果を得た。第3
図は従来のテレビ用陰極としての電流密度
0.66A/cm3の3.1倍(2.05Acm3)で動作させた時の
種々の膜厚の希土類金属膜を基体1上に形成した
後、その上部に電子放射物質層2を形成した電子
管用陰極の寿命特性と希土類金属膜が全く形成さ
れない基体1上に電子放射物質層2を有した従来
例の寿命特性との関係を示したものである。この
第3図から明らかなように6μm以下の厚みで基体
1上に希土類金属層を形成した本実施例のものは
従来例のものに対して高電流密度動作でのエミツ
シヨン劣化が少ないものである。 このように基体1上に希土類金属層を形成した
効果を詳細に調査するために、第3図の実験結果
において6000時間でのエミツシヨン電流測定後、
従来品及び基体1上に2μmのSc層12を形成し
た電子放射物質層2を有した電子管用陰極の断面
を電子ビームX線マイロアナライザー(EPMA)
によつて分析を行つた。その結果、高電流密度動
作下の従来品においては、基体1と電子放射物質
層2との界面近傍で、基体1内の結晶粒界では
SiO2,MgO及びこれらの複合酸化物層が形成さ
れ、さらに上記界面から電子放射物質層2側約
10μの位置にはBaO・SiO2の複合酸化物層が形成
されいることがわかつた。上記したSiO2・MgO
層及びBaO・SiO2層は基体1内から電子放射物
質層2内への還元剤であるSi,Mgの拡散速度を
抑制するとともに高絶縁であるために電流の流れ
を阻害し、ついには電子放射物質内での絶縁破壊
による損耗をもたらすことになるものである。 これに対して、本実施例である希土類金属であ
るSc層を基体1上に形成した電子放射物質2を
有する電子管用陰極においては、基体1内に含有
された還元剤であるSi,Mgは平均的に分散され
ており、上記従来例のもののように基体1と電子
放射物質層2との界面近傍に、これら還元剤のピ
ークが殆んど存在していないものである。このこ
とは次の理由によるものと判断される。つまり、
活性化時にアルカリ土類金属の炭酸塩が酸化物へ
と分解する場合、あるいは陰極の動作中にBaO
などが解離反応を起こす場合において、希土類金
属が基体1の酸化を防ぐことに起因しているもの
と考えられる。例えば、希土類金属がスカンジウ
ム(Sc)である場合の反応は次式(4)(6)の様にな
るものである。
この発明は以上のように述べたように基体上に
予め6μm以下の厚みで希土類金属層を形成し、そ
の上に少なくともバリウムを含むアルカリ土類金
属酸化物を主成分とする電子放射物質を被着させ
たものとしたので、希土類金属層が基体上に形成
されていない従来のものに対して2〜4倍の高電
流密度動作下での長寿命を実現し、信頼性の高い
電子管用陰極が得られるという効果を有する。
予め6μm以下の厚みで希土類金属層を形成し、そ
の上に少なくともバリウムを含むアルカリ土類金
属酸化物を主成分とする電子放射物質を被着させ
たものとしたので、希土類金属層が基体上に形成
されていない従来のものに対して2〜4倍の高電
流密度動作下での長寿命を実現し、信頼性の高い
電子管用陰極が得られるという効果を有する。
第1図はこの発明の一実施例を示す断面図、第
2図は従来の電子管用陰極を示す断面図、第3図
は希土類金属厚みとエミツシヨン電流特性との関
係を示す図である。 図において、1は基体、2は電子放射物質層で
ある。なお各図中、同一符号は同一又は相当部分
を示す。
2図は従来の電子管用陰極を示す断面図、第3図
は希土類金属厚みとエミツシヨン電流特性との関
係を示す図である。 図において、1は基体、2は電子放射物質層で
ある。なお各図中、同一符号は同一又は相当部分
を示す。
Claims (1)
- 1 主成分がニツケルからなりシリコンまたはマ
グネシウムの一方または両方を含む一種以上の還
元剤を含有する基体上に、6μm以下の厚みの希土
類金属膜を形成し、該希土類金属膜上に少なくと
もバリウムを含むアルカリ土類金属酸化物を主成
分とする電子放射物質層を形成したことを特徴と
する電子管用陰極。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60229302A JPS6288240A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 電子管用陰極 |
| KR1019860005652A KR900003175B1 (ko) | 1985-07-19 | 1986-07-12 | 전자관용음극 |
| CA000513900A CA1270890A (en) | 1985-07-19 | 1986-07-16 | Cathode for electron tube |
| US06/886,777 US4797593A (en) | 1985-07-19 | 1986-07-17 | Cathode for electron tube |
| DE86305560T DE3689134T2 (de) | 1985-07-19 | 1986-07-18 | Kathode für Elektronenröhre. |
| EP86305560A EP0210805B1 (en) | 1985-07-19 | 1986-07-18 | Cathode for electron tube |
| CN86104753.2A CN1004452B (zh) | 1985-07-19 | 1986-07-18 | 电子管用阴极 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60229302A JPS6288240A (ja) | 1985-10-14 | 1985-10-14 | 電子管用陰極 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6288240A JPS6288240A (ja) | 1987-04-22 |
| JPH0546652B2 true JPH0546652B2 (ja) | 1993-07-14 |
Family
ID=16890005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60229302A Granted JPS6288240A (ja) | 1985-07-19 | 1985-10-14 | 電子管用陰極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6288240A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63285839A (ja) * | 1987-05-18 | 1988-11-22 | Mitsubishi Electric Corp | 電子管陰極 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5840731A (ja) * | 1981-09-03 | 1983-03-09 | Toshiba Corp | 酸化物陰極構体 |
-
1985
- 1985-10-14 JP JP60229302A patent/JPS6288240A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6288240A (ja) | 1987-04-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |