JPH0546935A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents
薄膜磁気ヘツドInfo
- Publication number
- JPH0546935A JPH0546935A JP20183291A JP20183291A JPH0546935A JP H0546935 A JPH0546935 A JP H0546935A JP 20183291 A JP20183291 A JP 20183291A JP 20183291 A JP20183291 A JP 20183291A JP H0546935 A JPH0546935 A JP H0546935A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- gap
- lower core
- thin film
- magnetic head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 33
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 2
- FGRBYDKOBBBPOI-UHFFFAOYSA-N 10,10-dioxo-2-[4-(N-phenylanilino)phenyl]thioxanthen-9-one Chemical group O=C1c2ccccc2S(=O)(=O)c2ccc(cc12)-c1ccc(cc1)N(c1ccccc1)c1ccccc1 FGRBYDKOBBBPOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 7
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気記録媒体に対する記録・再生効率が高
く、しかも、構造が簡単である薄膜磁気ヘッドを提供す
る。 【構成】 薄膜形成法により、基板上に形成された下部
コアと、この下部コアと一部が連結されているとともに
先端部において先細りのギャップを介して対向している
上部コアと、前記下部コアと上部コアとの対向部分に配
設されている巻線とを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記上部コアとギャップを介して対向している前記下部
コアの先端部と前記基板との間に、底上げ材を介在させ
て前記ギャップを所定の先細りに形成したことを特徴と
する。
く、しかも、構造が簡単である薄膜磁気ヘッドを提供す
る。 【構成】 薄膜形成法により、基板上に形成された下部
コアと、この下部コアと一部が連結されているとともに
先端部において先細りのギャップを介して対向している
上部コアと、前記下部コアと上部コアとの対向部分に配
設されている巻線とを有する薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記上部コアとギャップを介して対向している前記下部
コアの先端部と前記基板との間に、底上げ材を介在させ
て前記ギャップを所定の先細りに形成したことを特徴と
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体に対して
高密度の情報の記録・再生を行なう薄膜磁気ヘッドに関
する。
高密度の情報の記録・再生を行なう薄膜磁気ヘッドに関
する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、薄膜磁気ヘッドは、図１０に示
すように、セラミックス製の平面形状がほぼ矩形のスラ
イダ１のトレーリング側端部に、薄膜ヘッド素子２をそ
のギャップ３をＡＢＳ面４に開口させるようにして設け
て形成されている。
すように、セラミックス製の平面形状がほぼ矩形のスラ
イダ１のトレーリング側端部に、薄膜ヘッド素子２をそ
のギャップ３をＡＢＳ面４に開口させるようにして設け
て形成されている。
【０００３】この薄膜ヘッド素子２は、図１１に示すよ
うに、Ａｌ−Ｔｉ−Ｃ系のセラミックス製の基板５の上
に、スパッタリング法等の薄膜形成法により、保護層
６、下部コア７、巻線８、上部コア９、保護層６を順に
積層して形成される。下部コア７および上部コア９の素
材はともにパーマロイであり、巻線８の素材は銅であ
り、この巻線８が配設されている両コア７、９の対向部
分には樹脂等の絶縁材１０が充填されている。両コア
７、９は一部が連結されているとともに、先端部がギャ
プ３を介して対向しており、巻線８は前記両コア７、９
の連結部を周回するようにして形成されている。また、
保護層６はアルミナ等によって形成されている。
うに、Ａｌ−Ｔｉ−Ｃ系のセラミックス製の基板５の上
に、スパッタリング法等の薄膜形成法により、保護層
６、下部コア７、巻線８、上部コア９、保護層６を順に
積層して形成される。下部コア７および上部コア９の素
材はともにパーマロイであり、巻線８の素材は銅であ
り、この巻線８が配設されている両コア７、９の対向部
分には樹脂等の絶縁材１０が充填されている。両コア
７、９は一部が連結されているとともに、先端部がギャ
プ３を介して対向しており、巻線８は前記両コア７、９
の連結部を周回するようにして形成されている。また、
保護層６はアルミナ等によって形成されている。
【０００４】このように形成されている薄膜磁気ヘッド
においては、記録時には、巻線８に通電することによ
り、前記ギャップ３部分に磁束を発生させて磁気記録媒
体に対して情報の記録を行ない、再生時には、磁気記録
媒体の磁束を巻線８に鎖交させることにより情報の再生
を行なう。
においては、記録時には、巻線８に通電することによ
り、前記ギャップ３部分に磁束を発生させて磁気記録媒
体に対して情報の記録を行ない、再生時には、磁気記録
媒体の磁束を巻線８に鎖交させることにより情報の再生
を行なう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の薄膜磁気ヘ
ッドにおいては、スパッタリング法による薄膜形成を容
易に行なうために、構成各部をできるかぎり平面的に構
成するようにしている。そのために、基板５に対して保
護層６および下部コア７を平面的に形成するとともに、
下層に巻線８および絶縁材１０が形成されている上部コ
ア９の先端を下部コア７側に近付けるように下方に傾斜
させてギャップ３を形成するようにしている。特に、ギ
ャップ３の有効深さ部分より内側のＡ部分においては、
下部コア７の上面を若干削り、上部コア９を下部コア７
に近接させている。
ッドにおいては、スパッタリング法による薄膜形成を容
易に行なうために、構成各部をできるかぎり平面的に構
成するようにしている。そのために、基板５に対して保
護層６および下部コア７を平面的に形成するとともに、
下層に巻線８および絶縁材１０が形成されている上部コ
ア９の先端を下部コア７側に近付けるように下方に傾斜
させてギャップ３を形成するようにしている。特に、ギ
ャップ３の有効深さ部分より内側のＡ部分においては、
下部コア７の上面を若干削り、上部コア９を下部コア７
に近接させている。
【０００６】ところが、この下部コア７と上部コア９と
の距離が前記Ａ部分において近いために、巻線８部分に
おける両コア７、９の間に漏れ磁界が多く形成されてし
まい、磁気記録媒体に対する記録・再生効率が低下され
てしまうという不都合があった。
の距離が前記Ａ部分において近いために、巻線８部分に
おける両コア７、９の間に漏れ磁界が多く形成されてし
まい、磁気記録媒体に対する記録・再生効率が低下され
てしまうという不都合があった。
【０００７】本発明はこれらの点に鑑みてなされたもの
であり、磁気記録媒体に対する記録・再生効率が高く、
しかも、構造が簡単である薄膜磁気ヘッドを提供するこ
とを目的とする。
であり、磁気記録媒体に対する記録・再生効率が高く、
しかも、構造が簡単である薄膜磁気ヘッドを提供するこ
とを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の薄膜磁気ヘッドは、薄膜形成法により、基
板上に形成された下部コアと、この下部コアと一部が連
結されているとともに先端部において先細りのギャップ
を介して対向している上部コアと、前記下部コアと上部
コアとの対向部分に配設されている巻線とを有する薄膜
磁気ヘッドにおいて、前記上部コアとギャップを介して
対向している前記下部コアの先端部と前記基板との間
に、底上げ材を介在させて前記ギャップを所定の先細り
に形成したことを特徴とする。
に、本発明の薄膜磁気ヘッドは、薄膜形成法により、基
板上に形成された下部コアと、この下部コアと一部が連
結されているとともに先端部において先細りのギャップ
を介して対向している上部コアと、前記下部コアと上部
コアとの対向部分に配設されている巻線とを有する薄膜
磁気ヘッドにおいて、前記上部コアとギャップを介して
対向している前記下部コアの先端部と前記基板との間
に、底上げ材を介在させて前記ギャップを所定の先細り
に形成したことを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明によれば、底上げ材により下部コアの先
端部を上部コア側に上げるように傾斜させ、下部コアと
上部コアとのギャップ近傍における距離を大きく形成し
ているために、両コアの巻線部分における間隔が広くな
り、漏れ磁界の発生が少なくなり、情報の記録・再生効
率が大きく向上する。
端部を上部コア側に上げるように傾斜させ、下部コアと
上部コアとのギャップ近傍における距離を大きく形成し
ているために、両コアの巻線部分における間隔が広くな
り、漏れ磁界の発生が少なくなり、情報の記録・再生効
率が大きく向上する。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１から図９につい
て説明する。
て説明する。
【００１１】図１は本発明の薄膜磁気ヘッドの１実施例
を示し、従来と同一部分には同一符号を付してある。
を示し、従来と同一部分には同一符号を付してある。
【００１２】本実施例においては、下部コア７のギャッ
プ３を形成する先端部分の基板５側に、下部コア７を上
部コア９側に持上げる底上げ材１１を介在させて形成さ
れており、その他の構成は従来と同一である。
プ３を形成する先端部分の基板５側に、下部コア７を上
部コア９側に持上げる底上げ材１１を介在させて形成さ
れており、その他の構成は従来と同一である。
【００１３】更に説明すると、底上げ材１１は下部コア
７の形成前に保護層６の上にスパッタリング法により形
成され、その後に下部コア７等が従来と同様にして形成
される。この底上げ材１１により下部コア７の先端部
が、基板５の上面に対して傾斜角θをもって先端部を徐
々に上げるように傾斜させられ、かつ、両コア７、９の
巻線８部分の内のりＨに対して下部コア７の上面より底
上げ量ｈをもって底上げされている。また、上部コア９
の先端部の下方への傾斜角は、下部コア７の前記傾斜角
θとほぼ同一とされている。また、底上げ材１１は透磁
率μの低い材料を用いるとよい。例えば、Ｎｉ82Ｆｅ18
程度のパーマロイにＭｏを１２〜１８原子％添加した素
材を用いるとよい。
７の形成前に保護層６の上にスパッタリング法により形
成され、その後に下部コア７等が従来と同様にして形成
される。この底上げ材１１により下部コア７の先端部
が、基板５の上面に対して傾斜角θをもって先端部を徐
々に上げるように傾斜させられ、かつ、両コア７、９の
巻線８部分の内のりＨに対して下部コア７の上面より底
上げ量ｈをもって底上げされている。また、上部コア９
の先端部の下方への傾斜角は、下部コア７の前記傾斜角
θとほぼ同一とされている。また、底上げ材１１は透磁
率μの低い材料を用いるとよい。例えば、Ｎｉ82Ｆｅ18
程度のパーマロイにＭｏを１２〜１８原子％添加した素
材を用いるとよい。
【００１４】このようにして形成されている本実施例の
薄膜磁気ヘッドの各種の特性を図２から図９について説
明する。
薄膜磁気ヘッドの各種の特性を図２から図９について説
明する。
【００１５】図２は底上げ量ｈと再生効率との関係を示
し、図中、実線、破線および鎖線はそれぞれ上下コアテ
ーパ部の透磁率μを２０００、１０００および５００と
した場合を示す。この再生効率は磁気記録媒体の小磁石
が発生する磁束のコアを通過する磁束量により求めた。
また、下部コア７の傾斜角θおよび上部コア９の傾斜角
をそれぞれ４５度とし、両コア７、９の内のりＨを１０
μｍとして底上げ量ｈを変化させて求めた。また、図
中、底上げ量ｈ＝０の部分が従来例を示している。
し、図中、実線、破線および鎖線はそれぞれ上下コアテ
ーパ部の透磁率μを２０００、１０００および５００と
した場合を示す。この再生効率は磁気記録媒体の小磁石
が発生する磁束のコアを通過する磁束量により求めた。
また、下部コア７の傾斜角θおよび上部コア９の傾斜角
をそれぞれ４５度とし、両コア７、９の内のりＨを１０
μｍとして底上げ量ｈを変化させて求めた。また、図
中、底上げ量ｈ＝０の部分が従来例を示している。
【００１６】この図２より、下部コア７の先端部の底上
げにより再生効率が向上することがわかり、特に、上下
コアテーパ部の透磁率μが低い程その効果が顕著であ
る。
げにより再生効率が向上することがわかり、特に、上下
コアテーパ部の透磁率μが低い程その効果が顕著であ
る。
【００１７】これは上部コア９の下方への傾斜角が等し
いならば、下部コア７が平面的な従来例に比べて、下部
コア７が底上げ材１１によって上方へ傾斜している本実
施例の方が、下部コア７と上部コア９との間隔が広くな
り、両者間に発生する磁束数が本実施例の方が少なくな
るからである。図３はこの磁束数の比較例を示してお
り、ａは図２のａ点の本発明の実施例のギャップ近傍の
磁束分布を示し、ｂは図２のｂ点の従来例のギャップ近
傍の磁束分布を示しており、従来例のギャップ近傍の磁
束分布に比べて、本実施例のギャップ近傍の磁束分布の
方が、下部コア７と上部コア９との間に発生する磁束数
が少ないことがわかる。
いならば、下部コア７が平面的な従来例に比べて、下部
コア７が底上げ材１１によって上方へ傾斜している本実
施例の方が、下部コア７と上部コア９との間隔が広くな
り、両者間に発生する磁束数が本実施例の方が少なくな
るからである。図３はこの磁束数の比較例を示してお
り、ａは図２のａ点の本発明の実施例のギャップ近傍の
磁束分布を示し、ｂは図２のｂ点の従来例のギャップ近
傍の磁束分布を示しており、従来例のギャップ近傍の磁
束分布に比べて、本実施例のギャップ近傍の磁束分布の
方が、下部コア７と上部コア９との間に発生する磁束数
が少ないことがわかる。
【００１８】前記図２および図３より、下部コア７の底
上げ量ｈは前記内のりＨに対して２５〜７５％の範囲と
すると、磁気効率の良好な向上を図ることができる。
上げ量ｈは前記内のりＨに対して２５〜７５％の範囲と
すると、磁気効率の良好な向上を図ることができる。
【００１９】図４、図５および図６は、それぞれ下部コ
ア７の傾斜角θと下部コア７の膜厚、保磁力および透磁
率との関係を示す。
ア７の傾斜角θと下部コア７の膜厚、保磁力および透磁
率との関係を示す。
【００２０】薄膜磁気ヘッドとしての良好な特性を維持
するためには、膜厚は厚い程よく、保磁力は小さい程よ
く、透磁率は大きい程よいため、前記図４〜６より下部
コア７の傾斜角θは約４５度以下とするとよい。
するためには、膜厚は厚い程よく、保磁力は小さい程よ
く、透磁率は大きい程よいため、前記図４〜６より下部
コア７の傾斜角θは約４５度以下とするとよい。
【００２１】また、本実施例においては、底上げ材１１
として透磁率μの小さい素材を用いているために、ギャ
ップ３から下部コア７と上部コア９側部分ににおける再
生波形の負パルスを極めて小さく抑えて、磁極長効果
（コンター効果）を大きく改善させることができる。こ
の磁極長効果の改善度合いを図７から図９に示す再生波
形により説明する。各図は薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒
体からの浮上距離を０．１μｍ，０．２μｍ，０．３μ
ｍ，０．４μｍ，０．５μｍとした場合の再生波形を示
しているが、図７に示すように、底上げ材を設けない従
来の薄膜磁気ヘッドにおいては、両コア７、９に対向す
る部分に相当するａ，ｂ部分に大きな負パルスが発生し
ているのに対し、両コア間の内のりＨを１０μｍとして
底上げ量ｈを４μｍおよび６μｍとした本発明の薄膜磁
気ヘッドにおいては、ａ，ｂ部分の負パルスが極めて小
さく抑えられている。
として透磁率μの小さい素材を用いているために、ギャ
ップ３から下部コア７と上部コア９側部分ににおける再
生波形の負パルスを極めて小さく抑えて、磁極長効果
（コンター効果）を大きく改善させることができる。こ
の磁極長効果の改善度合いを図７から図９に示す再生波
形により説明する。各図は薄膜磁気ヘッドの磁気記録媒
体からの浮上距離を０．１μｍ，０．２μｍ，０．３μ
ｍ，０．４μｍ，０．５μｍとした場合の再生波形を示
しているが、図７に示すように、底上げ材を設けない従
来の薄膜磁気ヘッドにおいては、両コア７、９に対向す
る部分に相当するａ，ｂ部分に大きな負パルスが発生し
ているのに対し、両コア間の内のりＨを１０μｍとして
底上げ量ｈを４μｍおよび６μｍとした本発明の薄膜磁
気ヘッドにおいては、ａ，ｂ部分の負パルスが極めて小
さく抑えられている。
【００２２】また、図８および図９より、下部コア７の
底上げ量ｈは前記内のりＨに対して２５〜７５％の範囲
とするとよいことがわかる。
底上げ量ｈは前記内のりＨに対して２５〜７５％の範囲
とするとよいことがわかる。
【００２３】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、必要に応じて変更することができる。
のではなく、必要に応じて変更することができる。
【００２４】
【発明の効果】このように本発明の薄膜磁気ヘッドは構
成され作用するものであるから、磁気記録媒体に対する
記録・再生効率が高く、しかも、構造が簡単である等の
効果を奏する。
成され作用するものであるから、磁気記録媒体に対する
記録・再生効率が高く、しかも、構造が簡単である等の
効果を奏する。
【図１】本発明の薄膜磁気ヘッドの１実施例の要部を示
す断面図
す断面図
【図２】本発明の薄膜磁気ヘッドにおける下部コアの底
上げ量と再生効率との関係を示す特性図
上げ量と再生効率との関係を示す特性図
【図３】ａおよびｂは本発明と従来例とにおけるギャッ
プ近傍の磁束の分布図
プ近傍の磁束の分布図
【図４】本発明の薄膜磁気ヘッドにおける下部コアの傾
斜角と下部コアの膜厚との関係を示す特性図
斜角と下部コアの膜厚との関係を示す特性図
【図５】本発明の薄膜磁気ヘッドにおける下部コアの傾
斜角と保磁力との関係を示す特性図
斜角と保磁力との関係を示す特性図
【図６】本発明の薄膜磁気ヘッドにおける下部コアの傾
斜角と透磁率との関係を示す特性図
斜角と透磁率との関係を示す特性図
【図７】従来例における再生波形図
【図８】本発明の薄膜磁気ヘッドにおける底上げ量を４
μｍとした場合の再生波形図
μｍとした場合の再生波形図
【図９】本発明の薄膜磁気ヘッドにおける底上げ量を６
μｍとした場合の再生波形図
μｍとした場合の再生波形図
【図１０】従来の薄膜磁気ヘッドの１例を示す斜視図
【図１１】従来の薄膜磁気ヘッドの要部を示す断面図
１ スライダ ３ ギャップ ４ ＡＢＳ面 ５ 基板 ７ 下部コア ８ 巻線 ９ 上部コア １１ 底上げ材
Claims (1)
- 【請求項１】 薄膜形成法により、基板上に形成された
下部コアと、この下部コアと一部が連結されているとと
もに先端部において先細りのギャップを介して対向して
いる上部コアと、前記下部コアと上部コアとの対向部分
に配設されている巻線とを有する薄膜磁気ヘッドにおい
て、前記上部コアとギャップを介して対向している前記
下部コアの先端部と前記基板との間に、底上げ材を介在
させて前記ギャップを所定の先細りに形成したことを特
徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20183291A JPH0546935A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | 薄膜磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20183291A JPH0546935A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | 薄膜磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0546935A true JPH0546935A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16447638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20183291A Withdrawn JPH0546935A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | 薄膜磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0546935A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6400526B2 (en) * | 1999-05-26 | 2002-06-04 | Read-Rite Corporation | Advanced writer for chip-on-load beam |
| GB2633023A (en) * | 2023-08-29 | 2025-03-05 | Dyson Technology Ltd | Heater |
-
1991
- 1991-08-12 JP JP20183291A patent/JPH0546935A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6400526B2 (en) * | 1999-05-26 | 2002-06-04 | Read-Rite Corporation | Advanced writer for chip-on-load beam |
| GB2633023A (en) * | 2023-08-29 | 2025-03-05 | Dyson Technology Ltd | Heater |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2947621B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPS59195311A (ja) | 垂直磁気ヘツド | |
| JP2740586B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0476171B2 (ja) | ||
| JPH0234083B2 (ja) | ||
| JPH06124415A (ja) | 複合型薄膜磁気ヘッド | |
| JPH01165010A (ja) | 複合型磁気ヘッド | |
| JP2529292B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS59117726A (ja) | 薄膜磁気ヘツド | |
| JPS61172206A (ja) | 垂直磁気記録ヘツド | |
| JPH03144907A (ja) | 薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS61144709A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS6059516A (ja) | 垂直磁気記録再生用複合ヘッド | |
| JPS6381616A (ja) | 垂直記録用単磁極型磁気ヘツド | |
| JPH06274836A (ja) | 磁気抵抗効果型磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPS63142509A (ja) | 誘導型薄膜磁気ヘツド | |
| JPH01119911A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPS6139915A (ja) | 薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 | |
| JPH0447365B2 (ja) | ||
| JPH01223606A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPS61292214A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS6394418A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPS61242310A (ja) | 垂直磁気ヘツド | |
| JPS6079507A (ja) | 磁気ヘツド | |
| JPH03147509A (ja) | 薄膜磁気ヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981112 |