JPH0547472Y2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0547472Y2 JPH0547472Y2 JP1987113575U JP11357587U JPH0547472Y2 JP H0547472 Y2 JPH0547472 Y2 JP H0547472Y2 JP 1987113575 U JP1987113575 U JP 1987113575U JP 11357587 U JP11357587 U JP 11357587U JP H0547472 Y2 JPH0547472 Y2 JP H0547472Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- side wall
- cassette
- end surface
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は半導体素子や液晶素子等を製造するた
めの基板（ガラス板等）を収納するカセツトの構
造に関するものである。
めの基板（ガラス板等）を収納するカセツトの構
造に関するものである。
従来、この種のカセツトとして第２図、第３図
に示した構造のものが知られている。第２図はカ
セツトを正面（開口部）側からみた図であり、カ
セツト３内には複数枚の基板（矩形のガラス板
等）４が水平に保持されている。第３図はそのカ
セツトの側壁付近の拡大図であり、基板４はカセ
ツト３の両側の壁３ａから突出した段部（載置
部）３ｂの上に載置される。段部３ｂは基板４の
搭載枚数に応じて上下方向に複数設けられ、各段
部３ｂの上下方向の間隔は基板４の厚みよりも大
きく定められている。
に示した構造のものが知られている。第２図はカ
セツトを正面（開口部）側からみた図であり、カ
セツト３内には複数枚の基板（矩形のガラス板
等）４が水平に保持されている。第３図はそのカ
セツトの側壁付近の拡大図であり、基板４はカセ
ツト３の両側の壁３ａから突出した段部（載置
部）３ｂの上に載置される。段部３ｂは基板４の
搭載枚数に応じて上下方向に複数設けられ、各段
部３ｂの上下方向の間隔は基板４の厚みよりも大
きく定められている。
さてこのようなカセツトから基板４を取り出す
には、不図示の搬送アーム等を所望の基板４の下
面空間に進入させる。そして基板４が段部３ｂか
らわずか上方に位置するように、搬送アームを上
昇させる。さらに搬送アームを水平に引き出すこ
とによつて、基板４をカセツト３の開口部から取
り出す。このように従来、カセツトから基板を取
り出すとき基板４がカセツトの内側のいかなる部
分とも摺動しないような取り出し方が採用されて
いた。
には、不図示の搬送アーム等を所望の基板４の下
面空間に進入させる。そして基板４が段部３ｂか
らわずか上方に位置するように、搬送アームを上
昇させる。さらに搬送アームを水平に引き出すこ
とによつて、基板４をカセツト３の開口部から取
り出す。このように従来、カセツトから基板を取
り出すとき基板４がカセツトの内側のいかなる部
分とも摺動しないような取り出し方が採用されて
いた。
しかしながら、従来のカセツトでは基板４の端
面部４ａの水平方向を規定する壁３ａが基板４の
主表面と垂直に形成されているため、第３図に示
すように端面部４ａが壁３ａに当接した状態で載
置されていると、搬送アームによつて基板４を上
昇させたとき、端面部４ａが壁３ａをこすること
になり、ゴミの発生を招くことがあつた。さらに
その状態から基板４を水平に取り出すときにも端
面部４ａが壁３ａをこすることになり、ゴミの発
生を極力低下させるべきフアインパターンのリソ
グラフイ工程でははなはだ不都合なことであつ
た。
面部４ａの水平方向を規定する壁３ａが基板４の
主表面と垂直に形成されているため、第３図に示
すように端面部４ａが壁３ａに当接した状態で載
置されていると、搬送アームによつて基板４を上
昇させたとき、端面部４ａが壁３ａをこすること
になり、ゴミの発生を招くことがあつた。さらに
その状態から基板４を水平に取り出すときにも端
面部４ａが壁３ａをこすることになり、ゴミの発
生を極力低下させるべきフアインパターンのリソ
グラフイ工程でははなはだ不都合なことであつ
た。
上記問題点を解決するために、本考案ではカセ
ツトの内側の基板端面と対向する壁を斜面にする
ようにした。
ツトの内側の基板端面と対向する壁を斜面にする
ようにした。
この斜面の傾きは、基板を持ち上げるときに基
板端面がカセツトの内壁面から順次離れるような
方向に傾斜するように定められる。
板端面がカセツトの内壁面から順次離れるような
方向に傾斜するように定められる。
さらに基板を水平に取り出すときにも摺動が起
らないように、側壁面に取り出し開口に向つてわ
ずかに広がるような傾斜面とされている。
らないように、側壁面に取り出し開口に向つてわ
ずかに広がるような傾斜面とされている。
本考案では基板の端面部を規定する側壁部に傾
斜を持たせたため、基板を搬送アーム等によつて
従来と同じ動作で取り出す場合に、その基板の移
動によつて端面部がカセツト内壁をこすることが
ない。
斜を持たせたため、基板を搬送アーム等によつて
従来と同じ動作で取り出す場合に、その基板の移
動によつて端面部がカセツト内壁をこすることが
ない。
第１図Ａ，Ｂと第４図は本考案の実施例による
基板用カセツトの構造を示す図であり、第１図Ｂ
は取り出し開口部側からみた正面図、第１図Ａは
第１図Ｂ中のａ−ａ矢視断面図、第４図は壁付近
の拡大図である。カセツト１の内部には複数の段
部１ｂが両側の壁部に形成され、各段部１ｂの間
で矩形状基板２の端面２ａを規定する側壁部１ａ
は２方向について斜面となつている。１枚の基板
２の両端を規定するための一対の側壁部１ａは、
第４図に示すように上方にいくにしたがつて間隔
が広がるような斜面とされるとともに、第１図Ａ
に示すように開口部に向つて間隔が広がるような
斜面とされている。すなわちカセツトの奥の側壁
部１ａの間隔をL2とし、カセツトの取り出し開
口部における側壁部１ａの間隔をL1とすると、
L1＞L2の関係に定められる。従つて一方の側壁
部１ａを開口部側からみたときの水平方向の傾斜
度は、第４図に示すように1/2（L1−L2）であ
る。垂直方向の傾斜度は、側壁面１ａが垂直から
10〜30°程度に定められる。この角度を極端に大
きくしてしまうと、基板２の水平方向の規定が不
十分になり、側壁部１ａの斜面に基板２の端面部
がのりあげることも起り得る。
基板用カセツトの構造を示す図であり、第１図Ｂ
は取り出し開口部側からみた正面図、第１図Ａは
第１図Ｂ中のａ−ａ矢視断面図、第４図は壁付近
の拡大図である。カセツト１の内部には複数の段
部１ｂが両側の壁部に形成され、各段部１ｂの間
で矩形状基板２の端面２ａを規定する側壁部１ａ
は２方向について斜面となつている。１枚の基板
２の両端を規定するための一対の側壁部１ａは、
第４図に示すように上方にいくにしたがつて間隔
が広がるような斜面とされるとともに、第１図Ａ
に示すように開口部に向つて間隔が広がるような
斜面とされている。すなわちカセツトの奥の側壁
部１ａの間隔をL2とし、カセツトの取り出し開
口部における側壁部１ａの間隔をL1とすると、
L1＞L2の関係に定められる。従つて一方の側壁
部１ａを開口部側からみたときの水平方向の傾斜
度は、第４図に示すように1/2（L1−L2）であ
る。垂直方向の傾斜度は、側壁面１ａが垂直から
10〜30°程度に定められる。この角度を極端に大
きくしてしまうと、基板２の水平方向の規定が不
十分になり、側壁部１ａの斜面に基板２の端面部
がのりあげることも起り得る。
さて、このような構造のカセツトにおいて、基
板２が、例えば第４図に示すように側壁部１ａの
奥の部分と端面部２ａとが当接するように段部１
ｂ上に載置されているものとする。このとき、基
板２を取り出すために一定量だけ段部１ｂから垂
直に持ち上げると、端面部２ａはかならず側壁部
１ａから離れて位置する。さらに、その状態から
基板２を水平に取り出す場合も、開口部側では側
壁部１ａの間隔（L1）が広がつているため、端
面部２ａが側壁部１ａをこすることはない。
板２が、例えば第４図に示すように側壁部１ａの
奥の部分と端面部２ａとが当接するように段部１
ｂ上に載置されているものとする。このとき、基
板２を取り出すために一定量だけ段部１ｂから垂
直に持ち上げると、端面部２ａはかならず側壁部
１ａから離れて位置する。さらに、その状態から
基板２を水平に取り出す場合も、開口部側では側
壁部１ａの間隔（L1）が広がつているため、端
面部２ａが側壁部１ａをこすることはない。
以上、本実施例のカセツトでは、側壁部１ａを
垂直方向から傾けておくとともに、水平方向に関
しても、第１図Ａに示すようにL1＞L2になるよ
うに傾けたが、水平方向に関しては必らずしも傾
斜させておく必要はなく、従来通り両脇の側壁部
面を平行にしたままでもよい。
垂直方向から傾けておくとともに、水平方向に関
しても、第１図Ａに示すようにL1＞L2になるよ
うに傾けたが、水平方向に関しては必らずしも傾
斜させておく必要はなく、従来通り両脇の側壁部
面を平行にしたままでもよい。
また側壁部１ａは開口部から奥まで連続して形
成しておく必要はなく、基板２の端面２ａの２ケ
所のみが当接し得る突出部にしてもよい。この場
合もその突出部に斜面を形成しておけばよい。
成しておく必要はなく、基板２の端面２ａの２ケ
所のみが当接し得る突出部にしてもよい。この場
合もその突出部に斜面を形成しておけばよい。
以上、本考案によれば、自動搬送装置等を用い
てカセツト内から基板を取り出す場合、搬送装置
側の取り出し動作を何ら変えることなく、カセツ
ト内で基板がこすられることを確実に防止するこ
とができる。このため基板の破損、ゴミの発生を
皆無にすることができるといつた効果が得られ
る。
てカセツト内から基板を取り出す場合、搬送装置
側の取り出し動作を何ら変えることなく、カセツ
ト内で基板がこすられることを確実に防止するこ
とができる。このため基板の破損、ゴミの発生を
皆無にすることができるといつた効果が得られ
る。
第１図Ａ，Ｂは本考案の実施例による基板用カ
セツトの構造を示す図、第２図は従来のカセツト
の構造を示す正面図、第３図は従来のカセツトの
一部分を拡大して示す拡大図、第４図は本考案の
実施例によるカセツトの一部分を拡大して示す拡
大図である。 主要部分の符号の説明、１，３……カセツト、
２，４……基板、１ａ，３ａ……側壁部、１ｂ，
３ｂ……段部（載置部）。
セツトの構造を示す図、第２図は従来のカセツト
の構造を示す正面図、第３図は従来のカセツトの
一部分を拡大して示す拡大図、第４図は本考案の
実施例によるカセツトの一部分を拡大して示す拡
大図である。 主要部分の符号の説明、１，３……カセツト、
２，４……基板、１ａ，３ａ……側壁部、１ｂ，
３ｂ……段部（載置部）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 矩形状の基板をほぼ水平に保持するために、
該基板の対向する一対の周辺のそれぞれを載置
する一対の載置部と、該載置部に設けられ前記
基板の前記周辺の端面を規制する側壁と、前記
基板をほぼ水平に取り出すための開口部とを有
する基板カセツトにおいて、 前記側壁は、前記基板が前記載置部に載置さ
れた状態のとき、少なくとも一部が前記基板の
端面に当接するように形成されるとともに、鉛
直方向に対して前記基板とは反対側に10°から
30°程度傾斜して形成されていることを特徴と
する基板用カセツト。 (2) 前記側壁は、前記基板を前記開口部から取り
出すとき、前記基板の端面との成す間隔が前記
開口部に向つて順次広がるような斜面に形成さ
れていることを特徴とする実用新案登録請求の
範囲第１項記載の基板用カセツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987113575U JPH0547472Y2 (ja) | 1987-07-24 | 1987-07-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987113575U JPH0547472Y2 (ja) | 1987-07-24 | 1987-07-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6418743U JPS6418743U (ja) | 1989-01-30 |
| JPH0547472Y2 true JPH0547472Y2 (ja) | 1993-12-14 |
Family
ID=31353532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987113575U Expired - Lifetime JPH0547472Y2 (ja) | 1987-07-24 | 1987-07-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0547472Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0821612B2 (ja) * | 1989-10-18 | 1996-03-04 | 淀川化成株式会社 | ガラス基板用カセット |
| JPH10231023A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板搬送方法および基板搬送カセット |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6133968A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-02-18 | 株式会社日立製作所 | 運搬具 |
-
1987
- 1987-07-24 JP JP1987113575U patent/JPH0547472Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6418743U (ja) | 1989-01-30 |
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