JPH0547488A - クリーンルーム用除電装置 - Google Patents
クリーンルーム用除電装置Info
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- JPH0547488A JPH0547488A JP20795791A JP20795791A JPH0547488A JP H0547488 A JPH0547488 A JP H0547488A JP 20795791 A JP20795791 A JP 20795791A JP 20795791 A JP20795791 A JP 20795791A JP H0547488 A JPH0547488 A JP H0547488A
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Landscapes
- Elimination Of Static Electricity (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルーム内の除電を効率よく行えるこ
とを可能とする。 【構成】 超純水を交流高電圧を印加した微小ノズル４
から噴霧してその噴霧水流を流動帯電により正負に帯電
させてクリーンルームＣ内の空気に注入することを特徴
としている。
とを可能とする。 【構成】 超純水を交流高電圧を印加した微小ノズル４
から噴霧してその噴霧水流を流動帯電により正負に帯電
させてクリーンルームＣ内の空気に注入することを特徴
としている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム内で静
電気による帯電を防止するためのクリーンルーム用除電
装置に関する。
電気による帯電を防止するためのクリーンルーム用除電
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、クリーンルーム内で、精密電子部
品や高純度材料の製造加工する場合、これら部品や材料
は、プラスチックトレーなどを用いて搬送など種々の操
作を行っている。しかし、プラスチックは、高抵抗で帯
電しやすいため、帯電によりその電位が高くなると短絡
障害を起し易くなり、精密部品等が絶縁破壊を起こした
り、ダストが付着しやすくなる問題がある。
品や高純度材料の製造加工する場合、これら部品や材料
は、プラスチックトレーなどを用いて搬送など種々の操
作を行っている。しかし、プラスチックは、高抵抗で帯
電しやすいため、帯電によりその電位が高くなると短絡
障害を起し易くなり、精密部品等が絶縁破壊を起こした
り、ダストが付着しやすくなる問題がある。
【０００３】そこでイオン発生器により正負のイオンを
発生させ、帯電している材料を中和させることが試みら
ている。
発生させ、帯電している材料を中和させることが試みら
ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このイオン
発生器は、交流放電を用いており、電極中の金属成分が
スパッタリング作用で空気中に飛び出し、微細な金属粉
となつてしまう問題がある。そこで特開平１−２６６８
６５号公報に示されるように電極表面をガラスなどの誘
電体で覆って金属粉の発生を防止することが提案されて
いる。
発生器は、交流放電を用いており、電極中の金属成分が
スパッタリング作用で空気中に飛び出し、微細な金属粉
となつてしまう問題がある。そこで特開平１−２６６８
６５号公報に示されるように電極表面をガラスなどの誘
電体で覆って金属粉の発生を防止することが提案されて
いる。
【０００５】しかしながら、上述した従来例にあって
は、単に空気をイオン化するだけであり、除電効率が悪
い問題がある。
は、単に空気をイオン化するだけであり、除電効率が悪
い問題がある。
【０００６】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、除電を効率よく行えるクリーンルームの除電装置を
提供することにある。
し、除電を効率よく行えるクリーンルームの除電装置を
提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、超純水を交流高電圧を印加した微小ノズル
から噴霧してその噴霧水流を流動帯電により正負に帯電
させてクリーンルーム内の空気に注入するものである。
に本発明は、超純水を交流高電圧を印加した微小ノズル
から噴霧してその噴霧水流を流動帯電により正負に帯電
させてクリーンルーム内の空気に注入するものである。
【０００８】
【作用】上記構成によれば、超純水を流動帯電により正
負に帯電させこれをクリーンルーム内の空気に注入する
ことで、種々の帯電しやすい材料の除電が行える。
負に帯電させこれをクリーンルーム内の空気に注入する
ことで、種々の帯電しやすい材料の除電が行える。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【００１０】図１において、１は冷凍器で、クリーンル
ームＣ内の空気を冷却させて、その空気中の水分を回収
する。この水分は純水製造装置２により不純物が除去さ
れ、超純水が純水供給ライン３を介してノズル４に供給
され、ノズル４より噴射できるようになっている。この
ノズル４の先端の周囲にはリング電極５が配置され、そ
のノズル４とリング電極５間に高周波交流電源６が接続
されると共にノズル４側が適宜接地７されて設けられ
る。
ームＣ内の空気を冷却させて、その空気中の水分を回収
する。この水分は純水製造装置２により不純物が除去さ
れ、超純水が純水供給ライン３を介してノズル４に供給
され、ノズル４より噴射できるようになっている。この
ノズル４の先端の周囲にはリング電極５が配置され、そ
のノズル４とリング電極５間に高周波交流電源６が接続
されると共にノズル４側が適宜接地７されて設けられ
る。
【００１１】次に実施例の作用を述べる。
【００１２】クリーンルームＣ内の空気は冷凍器１で冷
却され、そこで凝縮した水が純水製造装置２により超純
水化され、純水供給ライン３を介してノズル４より例え
ば６ｃｃ／ｍｉｎの流量で、かつ水滴径が１０μｍ程度
となるよう噴射される。このノズル３とリング電極５間
には１ｋＨｚ，１０ｋＶの高周波交流高電圧が印加され
ており、噴射された水滴は流動帯電により交互に正負に
帯電され、クリーンルームＣ内の空気中に蒸発する。こ
れにより帯電した蒸気は、クリーンルームＣ内の帯電し
やすい材料とその静電力により接触して中和し、除電を
行うこととなる。このように水蒸気により除電を行うこ
とで効率のよい除電が可能となる。またクリーンルーム
Ｃ内の空気中の水分を凝縮させて使用することで、クリ
ーンルームＣ内の湿度は影響されることがない。
却され、そこで凝縮した水が純水製造装置２により超純
水化され、純水供給ライン３を介してノズル４より例え
ば６ｃｃ／ｍｉｎの流量で、かつ水滴径が１０μｍ程度
となるよう噴射される。このノズル３とリング電極５間
には１ｋＨｚ，１０ｋＶの高周波交流高電圧が印加され
ており、噴射された水滴は流動帯電により交互に正負に
帯電され、クリーンルームＣ内の空気中に蒸発する。こ
れにより帯電した蒸気は、クリーンルームＣ内の帯電し
やすい材料とその静電力により接触して中和し、除電を
行うこととなる。このように水蒸気により除電を行うこ
とで効率のよい除電が可能となる。またクリーンルーム
Ｃ内の空気中の水分を凝縮させて使用することで、クリ
ーンルームＣ内の湿度は影響されることがない。
【００１３】図２は本発明の他の実施例を示したもので
ある。
ある。
【００１４】図２において、１０は多数のノズル口１１
を有するノズルボックスで、そのノズルボックス１０に
純水供給ライン１２より純水が供給される。この純水は
図１に示したようにクリーンルームＣの空気中の水分を
純水化したものを供給しても或いは他の純水製造装置か
ら供給してもよい。
を有するノズルボックスで、そのノズルボックス１０に
純水供給ライン１２より純水が供給される。この純水は
図１に示したようにクリーンルームＣの空気中の水分を
純水化したものを供給しても或いは他の純水製造装置か
ら供給してもよい。
【００１５】このノズルボックス１０の各ノズル口１１
にはリング或いは棒状の電極１３が設けられ、その電極
１３とノズルボックス１０間に高周波交流電源１４が接
続される。
にはリング或いは棒状の電極１３が設けられ、その電極
１３とノズルボックス１０間に高周波交流電源１４が接
続される。
【００１６】この図２の例においては、ノズルボックス
１０に複数のノズル口１１が設けられるため、正負帯電
水蒸気量を多くすることができる。
１０に複数のノズル口１１が設けられるため、正負帯電
水蒸気量を多くすることができる。
【００１７】また図１及び図２の実施例において、ノズ
ル４やノズルボックス１０に超音波振動を加えて噴射す
るようにしてもよい。この場合、噴射する液滴をより均
一化できると共に帯電量が均一化することが可能とな
る。
ル４やノズルボックス１０に超音波振動を加えて噴射す
るようにしてもよい。この場合、噴射する液滴をより均
一化できると共に帯電量が均一化することが可能とな
る。
【００１８】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、超純水を
流動帯電により正負に帯電させこれをクリーンルーム内
の空気に注入することで、種々の帯電しやすい材料を効
率よく除電することができる。
流動帯電により正負に帯電させこれをクリーンルーム内
の空気に注入することで、種々の帯電しやすい材料を効
率よく除電することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す図である。
【符号の説明】 ３ 純水供給ライン ４ ノズル ５ リング電極 ６ 高周波交流電源 Ｃ クリーンルーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 澁谷 章 千葉県習志野市東習志野６丁目17番16号 株式会社朝日工業社技術研究所内 (72)発明者 阿部 宏昭 千葉県習志野市東習志野６丁目17番16号 株式会社朝日工業社技術研究所内 (72)発明者 河野 仁志 千葉県習志野市東習志野６丁目17番16号 株式会社朝日工業社技術研究所内 (72)発明者 本田 重夫 千葉県習志野市東習志野６丁目17番16号 株式会社朝日工業社技術研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 超純水を交流高電圧を印加した微小ノズ
ルから噴霧してその噴霧水流を流動帯電により正負に帯
電させてクリーンルーム内の空気に注入することを特徴
とするクリーンルーム用除電装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20795791A JPH0547488A (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | クリーンルーム用除電装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20795791A JPH0547488A (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | クリーンルーム用除電装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0547488A true JPH0547488A (ja) | 1993-02-26 |
Family
ID=16548337
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20795791A Pending JPH0547488A (ja) | 1991-08-20 | 1991-08-20 | クリーンルーム用除電装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0547488A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5628463A (en) * | 1994-04-27 | 1997-05-13 | Colcoat Co., Ltd. | Vapor ionizing discharger apparatus |
| JP2001332398A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-30 | Techno Ryowa Ltd | 静電霧化式イオン化装置および方法並びに荷電粒子搬送式イオン化装置および方法 |
| JP2002203657A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-19 | Daikin Ind Ltd | イオン発生器 |
| JP2002289324A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-04 | Sanee Denki Kk | マイナスイオン発生器のイオン発生電極の材質およびその機能 |
| KR100475460B1 (ko) * | 1998-02-05 | 2005-05-27 | 삼성전자주식회사 | 클린룸의 오염 평가방법 |
| JP2008084789A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Tokyo Univ Of Science | 除電装置 |
| JP2009103335A (ja) * | 2007-10-22 | 2009-05-14 | Hochiki Corp | 噴霧冷房設備及び噴霧方法 |
-
1991
- 1991-08-20 JP JP20795791A patent/JPH0547488A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5628463A (en) * | 1994-04-27 | 1997-05-13 | Colcoat Co., Ltd. | Vapor ionizing discharger apparatus |
| KR100475460B1 (ko) * | 1998-02-05 | 2005-05-27 | 삼성전자주식회사 | 클린룸의 오염 평가방법 |
| JP2001332398A (ja) * | 2000-05-22 | 2001-11-30 | Techno Ryowa Ltd | 静電霧化式イオン化装置および方法並びに荷電粒子搬送式イオン化装置および方法 |
| JP2002203657A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-19 | Daikin Ind Ltd | イオン発生器 |
| JP2002289324A (ja) * | 2001-03-27 | 2002-10-04 | Sanee Denki Kk | マイナスイオン発生器のイオン発生電極の材質およびその機能 |
| JP2008084789A (ja) * | 2006-09-28 | 2008-04-10 | Tokyo Univ Of Science | 除電装置 |
| JP2009103335A (ja) * | 2007-10-22 | 2009-05-14 | Hochiki Corp | 噴霧冷房設備及び噴霧方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20020611 |