JPH054773B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH054773B2 JPH054773B2 JP58004196A JP419683A JPH054773B2 JP H054773 B2 JPH054773 B2 JP H054773B2 JP 58004196 A JP58004196 A JP 58004196A JP 419683 A JP419683 A JP 419683A JP H054773 B2 JPH054773 B2 JP H054773B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoresist layer
- layer
- water repellent
- black matrix
- graphite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2278—Application of light absorbing material, e.g. between the luminescent areas
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はブラツクマトリツクス形カラー受像管
の製造方法、特にそのブラツクマトリツクス膜の
形成方法に関するものである。
の製造方法、特にそのブラツクマトリツクス膜の
形成方法に関するものである。
この種のカラー受像管のけい光面は、高コント
ラストを得る目的で用いられるものであり、一般
に所定の様式に配列された赤、緑、青色の各色け
い光体のドツトもしくはストライプ相互間の間隙
に黒鉛等の非発光・光吸収性物質からなる光吸収
膜が形成された構造を有している。
ラストを得る目的で用いられるものであり、一般
に所定の様式に配列された赤、緑、青色の各色け
い光体のドツトもしくはストライプ相互間の間隙
に黒鉛等の非発光・光吸収性物質からなる光吸収
膜が形成された構造を有している。
このようなけい光面を形成する場合、まず、カ
ラー受像管パネルのフエースプレート内面にフオ
トレジスト膜を形成し、これを乾燥した後、シヤ
ドウマスクを介して露光し、現像してマトリツク
ス状のフオトレジスト層を形成する。次に、この
状態のフエースプレート内面に黒鉛を塗布した
後、エツチングを行なつてブラツクマトリツクス
膜を形成する。その後前記ブラツクマトリツクス
膜を含めてフエースプレートの内面を覆うように
水溶性重合体材料の薄い下塗り層を形成する。次
に緑、青、赤色発光用の各けい光体スラリーを塗
布し、各色毎にシヤドウマスクを介して露光した
後、温水による現像により、非露光部を溶解さ
せ、所望の形状のけい光体絵素を被着してけい光
体層を形成する。引き続いてこれらけい光体層上
に有機樹脂膜を形成した後、アルミニウム蒸着膜
を形成する。その後、パネルを焼成して前記有機
樹脂膜を熱分解させてカラー受像管としてのけい
光面を形成する。
ラー受像管パネルのフエースプレート内面にフオ
トレジスト膜を形成し、これを乾燥した後、シヤ
ドウマスクを介して露光し、現像してマトリツク
ス状のフオトレジスト層を形成する。次に、この
状態のフエースプレート内面に黒鉛を塗布した
後、エツチングを行なつてブラツクマトリツクス
膜を形成する。その後前記ブラツクマトリツクス
膜を含めてフエースプレートの内面を覆うように
水溶性重合体材料の薄い下塗り層を形成する。次
に緑、青、赤色発光用の各けい光体スラリーを塗
布し、各色毎にシヤドウマスクを介して露光した
後、温水による現像により、非露光部を溶解さ
せ、所望の形状のけい光体絵素を被着してけい光
体層を形成する。引き続いてこれらけい光体層上
に有機樹脂膜を形成した後、アルミニウム蒸着膜
を形成する。その後、パネルを焼成して前記有機
樹脂膜を熱分解させてカラー受像管としてのけい
光面を形成する。
しかしながら、前述したブラツクマトリツクス
膜の形成方法によると、その形成工程に、フオト
レジストの塗布−乾燥−露光−フオトレジストの
現像−乾燥−黒鉛塗布−乾燥−エツチング液処理
現像−乾燥と極めて複雑かつ長い工程を必要とす
る。また、エツチング液として次亜鉛素酸ソーダ
や過酸化水素水等の危険な薬品を必要とする等の
問題があつた。
膜の形成方法によると、その形成工程に、フオト
レジストの塗布−乾燥−露光−フオトレジストの
現像−乾燥−黒鉛塗布−乾燥−エツチング液処理
現像−乾燥と極めて複雑かつ長い工程を必要とす
る。また、エツチング液として次亜鉛素酸ソーダ
や過酸化水素水等の危険な薬品を必要とする等の
問題があつた。
したがつて本発明は、前述した従来の問題点に
鑑みてなされたものであり、その目的のするとこ
ろは、従来必要としていたエツチング工程を省略
し、簡単かつ安全な方法でブラツクマトリツクス
膜を形成可能にしたブラツクマトリツクス形カラ
ー受像管の製造方法が提供することにある。
鑑みてなされたものであり、その目的のするとこ
ろは、従来必要としていたエツチング工程を省略
し、簡単かつ安全な方法でブラツクマトリツクス
膜を形成可能にしたブラツクマトリツクス形カラ
ー受像管の製造方法が提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、フ
オトレジスト層の露光硬化部分のみに撥水剤層を
形成して黒鉛をはじかせてブラツクマトリツクス
膜を形成したものである。
オトレジスト層の露光硬化部分のみに撥水剤層を
形成して黒鉛をはじかせてブラツクマトリツクス
膜を形成したものである。
次に図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明
する。
する。
第１図ないし第５図は本発明によるブラツクマ
トリツクス形カラー受像管の製造方法に係わるブ
ラツクマトリツクス膜の形成方法の一例を説明す
る要部断面工程図である。これらの図において、
まず第１図に示すようにフエースプレート１の内
面に光硬化性のフオトレジストを均一に塗布し、
乾燥してフオトレジスト層２を形成する。次い
で、第２図に示すようにこのフオトレジスト層２
上に各色のけい光体が発光すべき位置に光３が当
るようにシヤドウマスク４を介して図示しない点
状または線状の光源で所定の位置を露光し、該露
光部のフオトレジスト層２ａを硬化させる。この
場合、非露光部のフオトレジスト層２ｂは硬化さ
れない。引き続き第３図に示すようにフエースプ
レート１の内面全面にシリコン系撥水剤などの撥
水性を有する溶液を塗布して乾燥し、露光後のフ
オトレジスト層２ａ，２ｂの上面全面に撥水剤層
５を形成する。次にこのフオトレジスト層２ａ，
２ｂとその上面の撥水剤層５を温水によるスプレ
ー現像を行なつて非露光非硬化部のフオトレジス
ト層２ｂとその上面の撥水剤層のみを除去し、第
４図に示すように各色のけい光体を発光させるべ
き位置の露光硬化部のフオトレジスト層２ａとそ
の上面に撥水剤層５ａを形成した後、第５図に示
すようにこのフエースプレート１の内面全面に非
発光性吸収物質として黒鉛懸濁液を塗布して乾燥
させ、黒鉛層６を形成し、ブラツクマトリツクス
膜を形成させる。この場合、露光部のフオトレジ
スト層２ａの上面には撥水剤層５ａが形成されて
いるために水分散液である黒鉛は、露光部には付
着されずに非露光部のフエースプレート面のみに
付着することになる。
トリツクス形カラー受像管の製造方法に係わるブ
ラツクマトリツクス膜の形成方法の一例を説明す
る要部断面工程図である。これらの図において、
まず第１図に示すようにフエースプレート１の内
面に光硬化性のフオトレジストを均一に塗布し、
乾燥してフオトレジスト層２を形成する。次い
で、第２図に示すようにこのフオトレジスト層２
上に各色のけい光体が発光すべき位置に光３が当
るようにシヤドウマスク４を介して図示しない点
状または線状の光源で所定の位置を露光し、該露
光部のフオトレジスト層２ａを硬化させる。この
場合、非露光部のフオトレジスト層２ｂは硬化さ
れない。引き続き第３図に示すようにフエースプ
レート１の内面全面にシリコン系撥水剤などの撥
水性を有する溶液を塗布して乾燥し、露光後のフ
オトレジスト層２ａ，２ｂの上面全面に撥水剤層
５を形成する。次にこのフオトレジスト層２ａ，
２ｂとその上面の撥水剤層５を温水によるスプレ
ー現像を行なつて非露光非硬化部のフオトレジス
ト層２ｂとその上面の撥水剤層のみを除去し、第
４図に示すように各色のけい光体を発光させるべ
き位置の露光硬化部のフオトレジスト層２ａとそ
の上面に撥水剤層５ａを形成した後、第５図に示
すようにこのフエースプレート１の内面全面に非
発光性吸収物質として黒鉛懸濁液を塗布して乾燥
させ、黒鉛層６を形成し、ブラツクマトリツクス
膜を形成させる。この場合、露光部のフオトレジ
スト層２ａの上面には撥水剤層５ａが形成されて
いるために水分散液である黒鉛は、露光部には付
着されずに非露光部のフエースプレート面のみに
付着することになる。
以下、具体例を用いて説明する。
まず、14形カラー受像管パネルのフエースプレ
ート内面に光硬化性のフオトレジスト層を形成す
る。この場合、このフオトレジスト層は後工程の
ベーキングで焼失するような熱分解性を有するも
のであることが望ましく、例えばポリアクリルア
ミドジアセトンアミド（PAD）−ビスアジド系、
ポリビニールアルコール（PVA）重クロム酸ナ
トリウム系またはポリアクリルアミド（PAA）−
ポリビニルピロリドン（PVP）−ビスアジド系の
感光性水溶液を回転塗布機を用いてフエースプレ
ート内面上に約200rpmの回転数で回転塗布し、
赤外線ヒータにより乾燥して厚さ0.5〜1.0μｍ程
度のフオトレジスト層を形成する。次にシヤドウ
マスクを装着した露光台の上で露光強度約3W／
m2で約25秒間露光し、この露光部分のフオトレジ
スト層のみを硬化させる。次に、このフエースプ
レート内面全面にシリコーン系撥水剤を塗布して
乾燥し、撥水剤層を形成する。この場合、ここで
用いるシリコーン系撥水剤は、ジメチルポリシリ
ロキサン化合物またはメチルハイドロジエンポリ
シロキサン化合物を含むものとして例えば東レシ
リコン製のSH237、PRX305、SH8011、
SD8000、SH7024、BY22−812、SH8701などが
好適である。次にこのフオトレジストおよび撥水
剤層全面に、ノズル径0.5mmのスプレーを用いて
約40℃の温水を約2.5Kg／cm2の圧力で約90秒間射
出して温水現像とする。この場合、露光硬化した
フオトレジスト層とその上面の撥水剤層のみが残
留し、非露光非硬化部は完全に除去されてフエー
スプレート面が露出する。引き続き、残留したこ
のフオトレジスト層および撥水剤層の絵素が残留
したフエースプレート内面全面に、約5wt％の黒
鉛を含む黒鉛懸濁液を0.3〜3.0μｍの厚さに塗布
し、赤外線ヒータで約50℃で約２分間加熱乾燥さ
せる。この場合、露光部のフオトレジスト層の上
面には撥水剤層が存在するため、黒鉛ははじか
れ、フエースプレート面の露出した部分のみに付
着してブラツクマトリツクス膜が形成される。
ート内面に光硬化性のフオトレジスト層を形成す
る。この場合、このフオトレジスト層は後工程の
ベーキングで焼失するような熱分解性を有するも
のであることが望ましく、例えばポリアクリルア
ミドジアセトンアミド（PAD）−ビスアジド系、
ポリビニールアルコール（PVA）重クロム酸ナ
トリウム系またはポリアクリルアミド（PAA）−
ポリビニルピロリドン（PVP）−ビスアジド系の
感光性水溶液を回転塗布機を用いてフエースプレ
ート内面上に約200rpmの回転数で回転塗布し、
赤外線ヒータにより乾燥して厚さ0.5〜1.0μｍ程
度のフオトレジスト層を形成する。次にシヤドウ
マスクを装着した露光台の上で露光強度約3W／
m2で約25秒間露光し、この露光部分のフオトレジ
スト層のみを硬化させる。次に、このフエースプ
レート内面全面にシリコーン系撥水剤を塗布して
乾燥し、撥水剤層を形成する。この場合、ここで
用いるシリコーン系撥水剤は、ジメチルポリシリ
ロキサン化合物またはメチルハイドロジエンポリ
シロキサン化合物を含むものとして例えば東レシ
リコン製のSH237、PRX305、SH8011、
SD8000、SH7024、BY22−812、SH8701などが
好適である。次にこのフオトレジストおよび撥水
剤層全面に、ノズル径0.5mmのスプレーを用いて
約40℃の温水を約2.5Kg／cm2の圧力で約90秒間射
出して温水現像とする。この場合、露光硬化した
フオトレジスト層とその上面の撥水剤層のみが残
留し、非露光非硬化部は完全に除去されてフエー
スプレート面が露出する。引き続き、残留したこ
のフオトレジスト層および撥水剤層の絵素が残留
したフエースプレート内面全面に、約5wt％の黒
鉛を含む黒鉛懸濁液を0.3〜3.0μｍの厚さに塗布
し、赤外線ヒータで約50℃で約２分間加熱乾燥さ
せる。この場合、露光部のフオトレジスト層の上
面には撥水剤層が存在するため、黒鉛ははじか
れ、フエースプレート面の露出した部分のみに付
着してブラツクマトリツクス膜が形成される。
このような形成方法によれば、黒鉛塗布前のフ
オトレジスト層の非露光非硬化部分のエツチング
工程および黒鉛層のエツチング工程を省略して従
来と同等の諸特性を有するブラツクマトリツクス
膜が得られるので、ブラツクマトリツクス膜の形
成工程が大幅に短縮できるとともに、これに伴な
つて危険なエツチング液の使用が皆無となるの
で、安全性の高い生産が可能となる。
オトレジスト層の非露光非硬化部分のエツチング
工程および黒鉛層のエツチング工程を省略して従
来と同等の諸特性を有するブラツクマトリツクス
膜が得られるので、ブラツクマトリツクス膜の形
成工程が大幅に短縮できるとともに、これに伴な
つて危険なエツチング液の使用が皆無となるの
で、安全性の高い生産が可能となる。
以上説明したように本発明によれば、従来の方
法に比較してエツチング工程が不要となるので、
ブラツクマトリツクス膜の形成工程を大幅に短縮
させ、かつ安全性が高くなり、生産コストが大幅
に低減できるなどの極めて優れた効果が得られ
る。
法に比較してエツチング工程が不要となるので、
ブラツクマトリツクス膜の形成工程を大幅に短縮
させ、かつ安全性が高くなり、生産コストが大幅
に低減できるなどの極めて優れた効果が得られ
る。
第１図ないし第５図は本発明によるブラツクマ
トリツクス形カラー受像管の製造方法の一例を説
明するための要部断面工程図である。 １……フエースプレート、２……フオトレジス
ト層、２ａ……露光部のフオトレジスト層、２ｂ
……非露光部のフオトレジスト層、３……光、４
……シヤドウマスク、５……撥水剤層、５ａ……
露光部の上に残留した撥水剤層、６……黒鉛層。
トリツクス形カラー受像管の製造方法の一例を説
明するための要部断面工程図である。 １……フエースプレート、２……フオトレジス
ト層、２ａ……露光部のフオトレジスト層、２ｂ
……非露光部のフオトレジスト層、３……光、４
……シヤドウマスク、５……撥水剤層、５ａ……
露光部の上に残留した撥水剤層、６……黒鉛層。
Claims (1)
- １ カラー受像管パネルのフエースプレート内面
にブラツクマトリツクス膜を形成してなるブラツ
クマトリツクス形カラー受像管の製造方法におい
て、前記フエースプレート内面に厚さ0.5〜1.0μ
ｍのフオトレジスト層を形成する工程と、前記フ
オトレジスト層にシヤドウマスクを介してけい光
体絵素を形成すべき絵素部を露光硬化する露光工
程と、前記露光工程を経たフオトレジスト層の全
面を覆つてジメチルポリシリロキサン化合物また
はメチルハイドロジエンポリシロキサン化合物の
何れか一方を含むシリコーン系撥水剤層を塗布形
成する工程と、前記フオトレジスト層の絵素部を
除くフオトレジスト層とその上の上記シリコーン
系撥水剤層とを約40℃の温水を約2.5Kg／cm2の圧
力で射出することにより現像除去して露光部のフ
オトレジスト層および撥水剤層からなる絵素部を
形成する工程と、前記フオトレジスト層の絵素が
形成されたフエースプレート内面に約5wt％の黒
鉛を含む黒鉛懸濁液を0.3〜3.0μｍの厚さに塗布
し、前記絵素部の撥水剤上の黒鉛のみをはじか
せ、これを乾燥して上記絵素部を除くフエースプ
レート内面に黒鉛被膜を被着することによりブラ
ツクマトリツクス膜を形成する工程とを備えたこ
とを特徴としたブラツクマトリツクス形カラー受
像管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP419683A JPS59130044A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | ブラツクマトリツクス形カラ−受像管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP419683A JPS59130044A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | ブラツクマトリツクス形カラ−受像管の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59130044A JPS59130044A (ja) | 1984-07-26 |
| JPH054773B2 true JPH054773B2 (ja) | 1993-01-20 |
Family
ID=11577921
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP419683A Granted JPS59130044A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | ブラツクマトリツクス形カラ−受像管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59130044A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01248426A (ja) * | 1988-03-30 | 1989-10-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | スクリーンの製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4943827A (ja) * | 1972-09-01 | 1974-04-25 | ||
| JPS5480069A (en) * | 1977-12-08 | 1979-06-26 | Mitsubishi Electric Corp | Light absorbing film coating method for color picture tube |
-
1983
- 1983-01-17 JP JP419683A patent/JPS59130044A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59130044A (ja) | 1984-07-26 |
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