JPS58220331A - ブラツクマトリクス型カラ−受像管の製造方法 - Google Patents
ブラツクマトリクス型カラ−受像管の製造方法Info
- Publication number
- JPS58220331A JPS58220331A JP10207282A JP10207282A JPS58220331A JP S58220331 A JPS58220331 A JP S58220331A JP 10207282 A JP10207282 A JP 10207282A JP 10207282 A JP10207282 A JP 10207282A JP S58220331 A JPS58220331 A JP S58220331A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- black matrix
- layer
- photoresist layer
- graphite
- release agent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2278—Application of light absorbing material, e.g. between the luminescent areas
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
木兄Ｅｌｌｌは、ブラックマトリクス型カラー受像管の
製造方法、特にブラックマトリクス膜の形成方法に関す
るものである。
製造方法、特にブラックマトリクス膜の形成方法に関す
るものである。
ブラックマトリクスカラー受保管は、ガラスパネル内面
に赤、緑、青それぞれの色に発光するけい光体のドツト
あるいはストライプが所定様式に配列さ九、このけい光
体配列の間隙に光吸収性の黒鉛膜が形成された構造のけ
い光面を持っている。
に赤、緑、青それぞれの色に発光するけい光体のドツト
あるいはストライプが所定様式に配列さ九、このけい光
体配列の間隙に光吸収性の黒鉛膜が形成された構造のけ
い光面を持っている。
この様なりい光面は一般にフォトリソグラフ法でつぎの
ようにして製造される。
ようにして製造される。
まず、ガラスパネル内面に薄い感光性樹脂膜を形成する
。つぎにこの感光性樹脂膜をシャドウマスクを介して露
光し、けい光体絵素所望部位の感光性樹脂を硬化させた
後、温水スプレーなどによる現像工程で感光性樹脂の未
露光未硬化部を除去し、感光性樹脂の露光硬化部分のみ
を残留させる。
。つぎにこの感光性樹脂膜をシャドウマスクを介して露
光し、けい光体絵素所望部位の感光性樹脂を硬化させた
後、温水スプレーなどによる現像工程で感光性樹脂の未
露光未硬化部を除去し、感光性樹脂の露光硬化部分のみ
を残留させる。
その後、現像によって露出させたパネルガラス面および
感光性樹脂の硬化残留膜面の上全面に黒鉛懸濁液を塗布
乾燥し黒鉛膜を形成する。つぎに剥離剤を用いて感光性
樹脂の硬化残留部を膨潤、ぜい化させた後、温水スプレ
ーによって感光性樹脂の残留部分お工び該部分の上に形
成された黒鉛膜のみを除去して黒鉛膜に開孔部を作り、
その部分のガラス面を露出させてブラックマトリクス膜
を完成する。
感光性樹脂の硬化残留膜面の上全面に黒鉛懸濁液を塗布
乾燥し黒鉛膜を形成する。つぎに剥離剤を用いて感光性
樹脂の硬化残留部を膨潤、ぜい化させた後、温水スプレ
ーによって感光性樹脂の残留部分お工び該部分の上に形
成された黒鉛膜のみを除去して黒鉛膜に開孔部を作り、
その部分のガラス面を露出させてブラックマトリクス膜
を完成する。
次に、緑、青、赤色用の各けい光体スラリーヲ塗布し各
色毎にシャドウマスクを介Ｌ７て露光したのち、温水等
による現像により、非露光部を溶解除去し、所望の形状
のけい光体絵素を被着してけい光体層を形成する。続い
て、これらのけい光体層上に有機樹脂被膜を形成したの
ち、アルミニウム蒸着薄膜を形成する０その稜けい光面
の全有機物質を熱分解させる友めに、アルミニウム薄膜
形成後のパネルを焼成してカラー受像管としてのけい光
面を完成する。
色毎にシャドウマスクを介Ｌ７て露光したのち、温水等
による現像により、非露光部を溶解除去し、所望の形状
のけい光体絵素を被着してけい光体層を形成する。続い
て、これらのけい光体層上に有機樹脂被膜を形成したの
ち、アルミニウム蒸着薄膜を形成する０その稜けい光面
の全有機物質を熱分解させる友めに、アルミニウム薄膜
形成後のパネルを焼成してカラー受像管としてのけい光
面を完成する。
前記ブラックマトリクス膜の形成方法の黒鉛膜に開孔部
（ブラックマトリクスホール）全作る剥離工程では、剥
喘剤で露光硬化部を膨潤、ぜい化するのに時間がかかり
、また膨潤、ぜい化した露光硬化部とその上の黒鉛被膜
を除去するのに多量の水と高水圧が必要であるなどの欠
点があった。
（ブラックマトリクスホール）全作る剥離工程では、剥
喘剤で露光硬化部を膨潤、ぜい化するのに時間がかかり
、また膨潤、ぜい化した露光硬化部とその上の黒鉛被膜
を除去するのに多量の水と高水圧が必要であるなどの欠
点があった。
本発明の目的は、フォトレジスト層と黒鉛層との間Ｖｃ
離形剤層を形成することで、フォトレジスト層の上の黒
鉛層だけを除去するによりじん速で使用水量が少なく低
水圧でブラックマトリクスの形成ができる製造方法を提
供するものである。
離形剤層を形成することで、フォトレジスト層の上の黒
鉛層だけを除去するによりじん速で使用水量が少なく低
水圧でブラックマトリクスの形成ができる製造方法を提
供するものである。
以下図面を用いて本発明の実施例を１詳細に説明する。
第１図から１ｇ８図は、本発明によるブラックマトリク
ス型カラー受像管製造方法におけるブラックマトリクス
膜の形成方法の一例を説明する要部断面工程図である。
ス型カラー受像管製造方法におけるブラックマトリクス
膜の形成方法の一例を説明する要部断面工程図である。
これらの図において、まず第１図に示すように、パネル
１の内面に光硬化性のフォトレジストヲ均一に塗布し、
乾燥してフォトレジスト層２を形成する。次いで第２図
に示すように、このフォトレジスト層２上に各色のけい
光体が発光すべき位置に光３が当るようにシャドウマス
ク４を介して図示しない点状または線状の光源で所定の
位置全露光し、該露光部のフォトレジスト層２１ を
硬化させる。この場合非露光部のフォトレジスト層２ｂ
は硬化されない。引色続きこ３− のフォトレジスト層２ｍ 、 ２ｂ を温水によるス
プレー現像を行なって非露光非硬化部のフォトレジスト
層２ｂｔ−溶解除去し、第３図に示すように、各色のけ
い光体が発光客零すべき位置に・露光硬化部のフォトレ
ジスト層２ａｉ形成した後、パネル１の内面全面に離形
剤の懸濁液を塗布、乾燥し、第４図に示すように離形剤
層５を形成する。
１の内面に光硬化性のフォトレジストヲ均一に塗布し、
乾燥してフォトレジスト層２を形成する。次いで第２図
に示すように、このフォトレジスト層２上に各色のけい
光体が発光すべき位置に光３が当るようにシャドウマス
ク４を介して図示しない点状または線状の光源で所定の
位置全露光し、該露光部のフォトレジスト層２１ を
硬化させる。この場合非露光部のフォトレジスト層２ｂ
は硬化されない。引色続きこ３− のフォトレジスト層２ｍ 、 ２ｂ を温水によるス
プレー現像を行なって非露光非硬化部のフォトレジスト
層２ｂｔ−溶解除去し、第３図に示すように、各色のけ
い光体が発光客零すべき位置に・露光硬化部のフォトレ
ジスト層２ａｉ形成した後、パネル１の内面全面に離形
剤の懸濁液を塗布、乾燥し、第４図に示すように離形剤
層５を形成する。
ここで、この離形剤は非水溶性でフォトレジストと黒鉛
に影響を与えない溶液に可溶か分解するような物質であ
る。また、離形剤層５は黒鉛とフォトレジストとが直接
接着することのないようにするものである０次に第４図
のパネルを水洗すると、現像後のフォトレジストの表面
は粘性があるためにフォトレジストの表面には離形剤が
付着するが、ガラス面には離形剤は付着しない。すなわ
ち、第５図に示すようにフォトレジストが残在している
部分２ａにだけ選択的に離形剤層５ａが形成できる。
に影響を与えない溶液に可溶か分解するような物質であ
る。また、離形剤層５は黒鉛とフォトレジストとが直接
接着することのないようにするものである０次に第４図
のパネルを水洗すると、現像後のフォトレジストの表面
は粘性があるためにフォトレジストの表面には離形剤が
付着するが、ガラス面には離形剤は付着しない。すなわ
ち、第５図に示すようにフォトレジストが残在している
部分２ａにだけ選択的に離形剤層５ａが形成できる。
次に、第６図に示す工うに、パネル上に黒鉛懸濁液を塗
布した後に乾燥を行ない黒鉛被膜６ｆ形４− 成後、黒鉛と７オトレジストに影響を与えない溶液で処
理を行ない離形剤層５ａを溶解または分解し、第７図に
示すように、黒鉛層とフォトレジスト層との間に隙を生
じさせる。
布した後に乾燥を行ない黒鉛被膜６ｆ形４− 成後、黒鉛と７オトレジストに影響を与えない溶液で処
理を行ない離形剤層５ａを溶解または分解し、第７図に
示すように、黒鉛層とフォトレジスト層との間に隙を生
じさせる。
次に温水スプレーなどを行なうと隙のある所の黒鉛層６
ａだけが破れて水洗されて、第８図に示すように、黒鉛
層６ｂが残りブラックマトリクス膜が得られる。
ａだけが破れて水洗されて、第８図に示すように、黒鉛
層６ｂが残りブラックマトリクス膜が得られる。
以下具体例を用いてさらに詳ｌｌＢ１１ｌＣ説明する。
まず、１４形カラー受像管のパネル内面にポリビニール
アルコール（ＰＶＡ）３％水溶液中にＰＶＡに対して５
チの重クロム酸アンモニウムを感光剤として添加したも
のをフォトレジストとして用いて、２００ｒ、ｐ、ｍ、
の回転数で回転塗布後、赤外線ヒータにより乾燥してフ
ォトレジスト層を形成した。次に、シャドウマスクを装
着して露光台の上で露光照度的３ Ｗ ／ ｍ ｌで約
２５秒間露光し、この露光部分のフォトレジスト層のみ
を硬化させた。
アルコール（ＰＶＡ）３％水溶液中にＰＶＡに対して５
チの重クロム酸アンモニウムを感光剤として添加したも
のをフォトレジストとして用いて、２００ｒ、ｐ、ｍ、
の回転数で回転塗布後、赤外線ヒータにより乾燥してフ
ォトレジスト層を形成した。次に、シャドウマスクを装
着して露光台の上で露光照度的３ Ｗ ／ ｍ ｌで約
２５秒間露光し、この露光部分のフォトレジスト層のみ
を硬化させた。
次に、このフォトレジスト層全面にノズル径０、５ ｍ
ｍのスプレーを用いて約４０℃の温水を約２．５ Ｋｆ
／ ｃｒｎｌ の圧力で約７０秒間射出して温水現
像する。引き続き残留したこの７オトレジスト層に離形
剤懸濁液を塗布して乾燥させ、フォトレジスト残留部以
外のガラス面の離形剤を４０℃の温水で約３０秒間水洗
して除去した。この離形剤懸濁液としては、例えば５ｗ
ｔ％の酸化マンガン。
ｍのスプレーを用いて約４０℃の温水を約２．５ Ｋｆ
／ ｃｒｎｌ の圧力で約７０秒間射出して温水現
像する。引き続き残留したこの７オトレジスト層に離形
剤懸濁液を塗布して乾燥させ、フォトレジスト残留部以
外のガラス面の離形剤を４０℃の温水で約３０秒間水洗
して除去した。この離形剤懸濁液としては、例えば５ｗ
ｔ％の酸化マンガン。
酸化チタン、酸化鉄、酸化コバルト、酸化すず。
等の懸濁液を用いるのが好適である。次に黒鉛懸濁液を
０．３〜０７μｍの膜厚に塗布し、赤外線ヒータで約５
０℃２分間加熱乾燥させる。次に処理液に工り離形剤を
溶解まｆｃは分解させる。この場合処理液としては硫酸
、硝酸、塩酸等の酸、また鉱水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム等のアルカリが好適である。次にノズル径３ｍ
ｍのスプレーを用いて約４０℃の温水を約２Ｋｔ／ｃｍ
ｌ の圧力で約４０秒間射出して温水現像後、赤外線
ヒータでパネル内面を乾燥して、ブラックマトリクス膜
が形成できた。
０．３〜０７μｍの膜厚に塗布し、赤外線ヒータで約５
０℃２分間加熱乾燥させる。次に処理液に工り離形剤を
溶解まｆｃは分解させる。この場合処理液としては硫酸
、硝酸、塩酸等の酸、また鉱水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム等のアルカリが好適である。次にノズル径３ｍ
ｍのスプレーを用いて約４０℃の温水を約２Ｋｔ／ｃｍ
ｌ の圧力で約４０秒間射出して温水現像後、赤外線
ヒータでパネル内面を乾燥して、ブラックマトリクス膜
が形成できた。
このように本発明によるｉ二艷こ督ζ警かくな９、また
多量の水を必要とせず、生産性が著しく向上する効果が
ある。
多量の水を必要とせず、生産性が著しく向上する効果が
ある。
第１図乃至第８図は本発明によるブラックマトリクス型
カラー受像管の製造方法におけるブラックマトリクス膜
の形成方法の一例を説明する要部断面工程図である。 １・・・・パネル、２・・・Φフォトレジスト層、２１
Ｌ ・・φ・露光部の７オトレジスト層、２ｂ・・・拳
未露光部の７オトレジスト層、３・・・・光、４・・ｅ
・シャドウマスク、５・・・・離形剤層、５ａ ・・・
や水洗後の離形剤層、６・・・・黒鉛被膜、６ｍ＊＊・
・除去さｎ、る黒鉛被膜、６ｂ ・・・・除去さｎ、
ない黒鉛被膜。 ７− 第１図 第３図 第５図 第７図 ８− 第２図 第６図 第８図
カラー受像管の製造方法におけるブラックマトリクス膜
の形成方法の一例を説明する要部断面工程図である。 １・・・・パネル、２・・・Φフォトレジスト層、２１
Ｌ ・・φ・露光部の７オトレジスト層、２ｂ・・・拳
未露光部の７オトレジスト層、３・・・・光、４・・ｅ
・シャドウマスク、５・・・・離形剤層、５ａ ・・・
や水洗後の離形剤層、６・・・・黒鉛被膜、６ｍ＊＊・
・除去さｎ、る黒鉛被膜、６ｂ ・・・・除去さｎ、
ない黒鉛被膜。 ７− 第１図 第３図 第５図 第７図 ８− 第２図 第６図 第８図
Claims (1)
- パネル内面にフォトレジスト層を形成する工程と、前記
フォトレジスト層に７ヤドウマスク會介してけい光体絵
素を形成すべき位ｔｉ！ｉｆ：露光する１層の絵素が形
成さ汎たパネル内面に離形剤の懸濁液を塗布、乾燥、水
洗しフォトレジスト層の絵素の上だけに離形剤の層を形
成する工程と、前記パネル内面に黒鉛被膜を形成する工
程と、溶液処理により前記離形剤のみを溶解してフォト
レジスト層と黒鉛層との間に隙を生じさせる工程と、フ
ォトレジスト層の上の黒鉛のみを水洗除去する工程とを
備えたことを特徴とするブラックマトリクス型カラー受
像管の製造方法０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10207282A JPS58220331A (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | ブラツクマトリクス型カラ−受像管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10207282A JPS58220331A (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | ブラツクマトリクス型カラ−受像管の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58220331A true JPS58220331A (ja) | 1983-12-21 |
Family
ID=14317558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10207282A Pending JPS58220331A (ja) | 1982-06-16 | 1982-06-16 | ブラツクマトリクス型カラ−受像管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58220331A (ja) |
-
1982
- 1982-06-16 JP JP10207282A patent/JPS58220331A/ja active Pending
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