JPH0547837U - 差圧測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ゴミを除去し、リ―ドの短絡等が生ずる事が
ない、信頼性の高い差圧測定装置を提供するにある。 【構成】 金属よりなるハウジング内に設けられた歪み
―電気信号変換素子と、該歪み―電気信号変換素子に封
入液を介して測定圧力を伝達する圧力伝達機構と、前記
歪み―電気信号変換素子から前記封入液中を通り電気信
号を取出すリ―ドとを具備する差圧測定装置において、
前記歪み―電気信号変換素子と前記リ―ドとを覆って設
けられたカバーと、該カバーに設けられ前記封入液の流
出入が可能で且つゴミが該カバー内に流入するのを防ぐ
少なくとも１以上の孔とを具備したことを特徴とする差
圧測定装置である。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ゴミを除去し、リ―ドの短絡等が生ずる事がない、信頼性の高い差 圧測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

図３は従来より一般に使用されている従来例の構成説明図で、例えば、実開昭 ６０―１８１６４２号に示されている。 図において、ハウジング１の両側に高圧側フランジ２、低圧側フランジ３が溶 接等によって固定されており、両フランジ２，３には測定せんとする圧力ＰHの 高圧流体の導入口４、圧力ＰLの低圧流体の導入口５が設けられている。ハウジ ング１内に圧力測定室６が形成されており、この圧力測定室６内にセンタダイア フラム７とシリコンダイアフラム８が設けられている。

【０００３】 センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８はそれぞれ別個に圧力測定室 ６の壁に固定されており、センタダイアフラム７とシリコンダイアフラム８の両 者でもって圧力測定室６を２分している。センタダイアフラム７と対向する圧力 測定室６の壁には、バックプレ―ト６Ａ，６Ｂが形成されている。 センタダイアフラム７は周縁部をハウジング１に溶接されている。 シリコンダイアフラム８は全体が単結晶のシリコン基板から形成されている。

【０００４】 シリコン基板の一方の面にボロン等の不純物を選択拡散して４っのストレンゲ ―ジ８０を形成し、他方の面を機械加工、エッチングし、全体が凹形のダイアフ ラムを形成する。４っのストレインゲ―ジ８０は、シリコンダイアフラム８が差 圧ΔＰを受けてたわむ時、２つが引張り、２つが圧縮を受けるようになっており 、これらがホイ―トストン・ブリッジ回路に接続され、抵抗変化が差圧ΔＰの変 化として検出される。 ８１は、ストレインゲ―ジ８０に一端が取付けられたリ―ドである。 ８２は、リ―ド８１の他端が接続されたハ―メチック端子である。

【０００５】 支持体９は、ハ―メチック端子を備えており、支持体９の圧力測定室６側端面 に低融点ガラス接続等の方法でシリコンダイアフラム８が接着固定されている。 ハウジング１と高圧側フランジ２、および低圧側フランジ３との間に、圧力導 入室１０，１１が形成されている。この圧力導入室１０，１１内に隔液ダイアフ ラム１２，１３を設け、この隔液ダイアフラム１２，１３と対向するハウジング １の壁１０Ａ，１１Ａに隔液ダイアフラム１２，１３と類似の形状のバックプレ ―トが形成されている。

【０００６】 隔液ダイアフラム１２，１３とバックプレ―ト１０Ａ，１１Ａとで形成される 空間と、圧力測定室６は、連通孔１４，１５を介して導通している。そして、隔 液ダイアフラム１２，１３間にシリコンオイル等の封入液１０１，１０２が満た され、この封入液が連通孔１６，１７を介してシリコンダイアフラム８の上下面 にまで至っている、封入液１０１，１０２はセンタダイアフラム７とシリコンダ イアフラム８とによって２分されているが、その量が、ほぼ均等になるように配 慮されている。

【０００７】 以上の構成において、高圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム１２ に作用する圧力が封入液１０１によってシリコンダイアフラム８に伝達される。 一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム１３に作用する圧力 が封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達される。 この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラム８が歪み 、この歪み量がストレインゲ―ジ８０に因って電気的に取出され、差圧の測定が 行なわれる。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、この様な装置においては、歪み―電気信号変換素子であるスト レインゲ―ジ８０は電気信号として取出すために、図３に示す如く、ハ―メチッ ク端子８２に設けられたリ―ド８１に信号線が繋がれている。また、その他にも 、電気信号リ―ド部が露出している。 一方、こうしたセンサを収納するハウジング１は金属より作られている。而し て、ハウジング１には、ねじ、穴等複雑な加工をしている事から、バリ等が多数 存在する。また、溶接によるスパッタ等のゴミも存在する。

【０００９】 こうした情況で、センサを組込み、その中にシリコンオイル等の封入液１０１ ，１０２を封入する。この封入の際に、こうしたゴミを移動させ、上記センサの 電気リ―ド部８１に接触させる事がある。この場合、短絡したり、抵抗が下がっ たりして、センサが動作しなくなる。 本考案は、この問題点を、解決するものである。 本考案の目的は、ゴミを除去し、リ―ドの短絡等が生ずる事がない、信頼性の 高い差圧測定装置を提供するにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

この目的を達成するために、本考案は、金属よりなるハウジング内に設けられ た歪み―電気信号変換素子と、該歪み―電気信号変換素子に封入液を介して測定 圧力を伝達する圧力伝達機構と、前記歪み―電気信号変換素子から前記封入液中 を通り電気信号を取出すリ―ドとを具備する差圧測定装置において、 前記歪み―電気信号変換素子と前記リ―ドとを覆って設けられたカバーと、該 カバーに設けられ前記封入液の流出入が可能で且つゴミが該カバー内に流入する のを防ぐ少なくとも１以上の孔とを具備したことを特徴とする差圧測定装置を構 成したものである。

【作用】

以上の構成において、高圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラムに作 用する圧力が封入液によってシリコンダイアフラムに伝達される。 一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラムに作用する圧力が封 入液によってシリコンダイアフラムに伝達される。 この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラムが歪み、 この歪み量がストレインゲ―ジに因って電気的に取出され、差圧の測定が行なわ れる。

【００１１】 而して、ハウジング部内に多く存在するゴミはその殆んどが機械加工や溶接作 業を経ているので、磁性を有している。シリコンオイル等の封入液をハウジング に流入する時、これらの磁性ゴミは、あるものは、この封入液の流れによって移 動し、封入液とともにセンサ部まで流入しようとするが、カバーに設けられ封入 液の流出入が可能で且つゴミがカバー内に流入するのを防ぐ少なくとも１以上の 孔により阻止される。 以下、実施例に基づき詳細に説明する。

【００１２】

【実施例】

図１は本考案の一実施例の要部構成説明図である。 図において、図３と同一記号の構成は同一機能を表わす。 以下、図３と相違部分のみ説明する。 ２１は、ストレインゲージ８０とリ―ド８１とを覆って設けられたカバーであ る。 ２２は、カバー２１に設けられ、封入液１０２の流出入が可能で且つゴミがカ バー２１内に流入するのを防ぐ少なくとも１以上の孔である。 この場合は、一体あるいは、筒部が焼結金属からなる複合体が用いられている 。 なお、焼結金属でなく、樹脂、ペーパ等のフィルターでもよい。

【００１３】 以上の構成において、高圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム１２ に作用する圧力が封入液１０１によってシリコンダイアフラム８に伝達される。 一方、低圧側から圧力が作用した場合、隔液ダイアフラム１３に作用する圧力 が封入液１０２によってシリコンダイアフラム８に伝達される。 この結果、高圧側と低圧側との圧力差に応じてシリコンダイアフラム８が歪み 、この歪み量がストレインゲ―ジ８０に因って電気的に取出され、差圧の測定が 行なわれる。

【００１４】 而して、ハウジング部１内に多く存在するゴミはその殆んどが機械加工や溶接 作業を経ているので、磁性を有している。シリコンオイル等の封入液１０２がハ ウジング１に流入する時、これらの磁性ゴミは、あるものは、この封入液１０２ の流れによって移動し、封入液１０２と共にセンサ部まで流入しようとするが、 カバー２１に設けられ封入液１０２の流出入が可能で且つゴミがカバー２１内に 流入するのを防ぐ少なくとも１以上の孔２２により阻止され、センサ部に達しな い。 る。

【００１５】 この結果、ハウジング１にセンサを組込み、その中にシリコンオイル等の封入 液１０２を封入する際に、導電性のゴミを移動させたとしても、センサの電気リ ―ド部８１に導電性のゴミを接触させる事が無い。したがって、センサが短絡し たり、抵抗が下がったりして、センサが動作しなくなる事もない。 図２は本考案の他の実施例の要部構成説明図である。 本実施例においては、通路のみで微細孔の無い保護カバー３１の外に、更に焼 結金属からなる極微細な少なくとも１以上の孔のあいたカバー２１で覆ったもの である。 なお、前述の実施例においては、センサは半導体センサのものについて説明し たが、これに限ることはなく、要するに、リ―ドを使用して信号を取出すもので あれば良い。 また、ハウジング１の構造もこれに限る事は無いことは勿論である。

【００１６】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案は、金属よりなるハウジング内に設けられた歪み ―電気信号変換素子と、該歪み―電気信号変換素子に封入液を介して測定圧力を 伝達する圧力伝達機構と、前記歪み―電気信号変換素子から前記封入液中を通り 電気信号を取出すリ―ドとを具備する差圧測定装置において、 前記歪み―電気信号変換素子と前記リ―ドとを覆って設けられたカバーと、該 カバーに設けられ前記封入液の流出入が可能で且つゴミが該カバー内に流入する のを防ぐ少なくとも１以上の孔とを具備したことを特徴とする差圧測定装置を構 成した。

【００１７】 この結果、ハウジングにセンサを組込み、その中にシリコンオイル等の封入液 を封入する際に、導電性のゴミを移動させたとしても、センサの電気リ―ド部に 導電性のゴミを接触させる事が無い。したがって、センサが短絡したり、抵抗が 下がったりして、センサが動作しなくなる事もない。 従って、本考案によれば、ゴミを除去し、リ―ドの短絡等が生ずる事がない、 信頼性の高い差圧測定装置を実現することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例の要部構成説明図である。

【図２】本考案の他の実施例の要部構成説明図である。

【図３】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。

【符号の説明】

１…ハウジング ２…高圧側フランジ ３…低圧側フランジ ４…導入口 ５…導入口 ６…圧力測定室 ６Ａ…バックプレ―ト ６Ｂ…バックプレ―ト ７…センタダイアフラム ８…シリコンダイアフラム ９…支持体 １０…圧力導入室 １１…圧力導入室 １０Ａ…バックプレ―ト １１Ａ…バックプレ―ト １２…隔液ダイアフラム １３…隔液ダイアフラム １４…連通孔 １５…連通孔 １６…連通孔 ２１…カバ― ２２…孔 ３１…保護カバー ８０…ストレインゲ―ジ ８１…リ―ド ８２…ハ―メチック端子 １０１…封入液 １０２…封入液

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】金属よりなるハウジング内に設けられた歪
   み―電気信号変換素子と、 該歪み―電気信号変換素子に封入液を介して測定圧力を
   伝達する圧力伝達機構と、 前記歪み―電気信号変換素子から前記封入液中を通り電
   気信号を取出すリ―ドとを具備する差圧測定装置におい
   て、 前記歪み―電気信号変換素子と前記リ―ドとを覆って設
   けられたカバーと、 該カバーに設けられ前記封入液の流出入が可能で且つゴ
   ミが該カバー内に流入するのを防ぐ少なくとも１以上の
   孔とを具備したことを特徴とする差圧測定装置。