JPH0548371A - 弾性表面波回路 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 抵抗損による損失を減少させ、圧電性基板表
面の音波の振動に影響を与えない高性能特性の弾性表面
波回路を得ることを目的とする。 【構成】 入力側電極１と入力側アース電極２にそれぞ
れ設けられた圧電性基板７上に交差して配設される超伝
導材料で構成された膜厚 200オングストローム以下の入
力側櫛歯電極３ａ，３ｂと、出力側電極４と入力側アー
ス電極５にそれぞれ設けられ前記圧電性基板７上に交差
して配設される超伝導材料で構成された膜厚 200オング
ストローム以下の出力側櫛歯電極６ａ，６ｂとを備えた
構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、狭帯域のフイルタ等
に使用される弾性表面波回路に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５は例えば日刊工業新聞社発行の“表
面デバイスとその応用”電子材料工業会編の中の第１３
８頁図２，１に記載されている弾性表面波回路の構成を
示す平面図，図６はその側面図である。図５，図６にお
いて、１は櫛歯電極３ａを有する入力側電極、２は櫛歯
電極３ｂを有する入力側アース（ＧＮＤ）電極、４は櫛
歯電極６ａを有する出力側電極，５は櫛歯電極６ｂを有
する出力側アース（ＧＮＤ）電極、７はこれ等の各電極
を表面に配設した圧電性基板である。

【０００３】次に動作について説明する。入力側電極１
に入力した電波は、入力側の櫛歯電極３ａ，３ｂのパタ
ーンにより音波ｖに変換され、圧電性基板７の表面を出
力側に伝搬する。音波ｖは出力側の櫛歯電極６ａ，６ｂ
により電波に変換されて、出力側電極４により出力され
る。この場合、入力側の櫛歯電極３ａ，３ｂの各位置で
の電波から音波に変換される量は、交差幅Ｌの長さによ
り、ほぼ比例して変わる。この時、各位置へ電波が伝搬
する場合に櫛歯電極３ａの抵抗による損失により、Ａ点
からＢ点へ伝搬する間に電波が減少する。この原因によ
り、計算したのと違う音波が発生することになる。変換
された音波は出力側の櫛歯電極６ａ，６ｂにより合成さ
れ、ある特性を得る。

【０００４】従って、上記櫛歯電極３ａは普通1000オン
グストロームの厚さ以上にしなければ、抵抗による損失
が増加することになる。アルミニウムの場合を計算して
みると、1000オングストロームの膜厚で電極幅が１ミク
ロンで２ｍｍの交差幅の場合、 383オームになる。

【０００５】又音波は圧電性基板７の表面を伝搬するの
で、櫛歯電極３ａが厚くなるとその重さにより、音波の
伝搬に影響を及ぼす。できるだけ薄い方が櫛歯電極によ
る影響は少ない。薄くすると抵抗成分が増加するので、
互いに相反することとなる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来の弾性表面波回路
は以上の構成でされているので、櫛歯電極３ａの位置Ａ
から位置Ｂまで電波が伝搬するのに、金属膜の抵抗損に
より電波が減少する。そこで、その抵抗損を減少させる
ためには、金属膜の厚さを厚くする必要があるが、そう
すると、圧電性基板７の表面を伝搬する音波がその金属
膜の重量により影響を受ける。そこで不整合が生じて音
波が一部反射されてくる。それにより特性が劣化する。
すなわち不要なスプリアスを生じたりするなどの問題点
があった。

【０００７】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、抵抗損による電波の損失が少な
く、音波の伝搬の金属膜による影響が少ない高性能な弾
性表面波回路を得ることを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明に係
る弾性表面波回路は、圧電性基板上に交差して配設され
た入出力側櫛歯電極を超伝導の金属材料で構成し、その
厚さを 200オングストローム以下としたものである。

【０００９】請求項２記載の発明に係る弾性表面波回路
は、圧電性基板上に交差して配設された入出力側櫛歯電
極を、超伝導の金属材料で 200オングストローム以下の
厚さに構成し、入出力側電極および入出力側アース電極
に厚みの厚いワイヤボンド部を形成したものである。

【００１０】

【作用】請求項１記載の発明における弾性表面波回路
は、入出力側櫛歯電極を超伝導の金属材料で構成し、そ
の厚さを 200オングストローム以下と薄くしたことによ
り、金属膜厚による電波の抵抗損を減らすことができ、
金属膜の重量による影響を減少させる。

【００１１】請求項２記載の発明における弾性表面波回
路は、請求項１記載の発明の構成において、入出力側電
極および入出力側アース電極のワイヤボンド部の厚みを
厚くしたことにより、ワイヤボンド性が向上する。

【００１２】

【実施例】実施例１．以下、請求項１記載の発明の実施
例１を図１，２について説明する。前記図５，６と同一
部分に同一符号を付して重複説明を省略した図１におい
て、入出力側櫛歯電極３ａ，３ｂ，６ａ，６ｂを超伝導
の金属材料で構成したことにより、電波の抵抗損失が減
少する。また、入出力側櫛歯電極３ａ，３ｂ，６ａ，６
ｂの厚さを 200オングストローム以下と薄くしたことに
より、軽量化され、圧電性基板７の表面を伝搬する音波
が金属膜の影響をほとんど受けず、計算された特性が得
られる。

【００１３】実施例２．次に請求項２記載の発明の実施
例２を図２について説明する。本実施例はワイヤボンド
する入出力側電極１，４および入出力側アース電極２，
５の部分のみ厚みを厚くしてワイヤボンド部としたもの
で、ワイヤボンド性がよくなる。

【００１４】なお、上記説明では、電極の形状は正規型
の場合についても述べたが、電極の形状は間引き電極の
場合にでも、アボダイズ型の場合にも利用できることは
いうまでもない。又その他の重み付けにも適用できるこ
とはいうまでもない。

【００１５】

【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明によ
れば、入出力側櫛歯電極に超伝導の金属を用いて抵抗損
を少なくし、膜厚を薄くして転量化したので、挿入損失
の少ない、スプリアスの少ない弾性表面波回路を得るこ
とができる。

【００１６】また、請求項２記載の発明によれば、入出
力側電極および入出力側アース電極のワイヤボンド部分
のみ厚みを厚くしてワイヤボンド部としたので、ワイヤ
ボンド性が向上し、歩留りがよくなり、品質のよいもの
が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１記載の発明による弾性表面波回路を示
す平面図である。

【図２】図１の側面図である。

【図３】請求項２記載の発明による弾性表面波回路を示
す平面図である。

【図４】図３の側面図である。

【図５】従来の弾性表面波回路を示す平面図である。

【図６】図５の側面図である。

【符号の説明】

１ 入力側電極 ２ 入力側アース電極 ３ａ，３ｂ 入力側櫛歯電極 ４ 出力側電極 ５ 出力側アース電極 ６ａ，６ｂ 出力側櫛歯電極 ７ 圧電性基板

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 入力側電極と入力側アース電極にそれぞ
   れ設けられ圧電性基板上に交差して配設された超伝導材
   料で膜厚 200オングストローム以下の入力側櫛歯電極
   と、出力側電極と入力側アース電極にそれぞれ設けられ
   前記圧電性基板上に交差して配設された超伝導材料で膜
   厚 200オングストローム以下の出力側櫛歯電極とを備え
   た弾性表面波回路。
2. 【請求項２】 入力側電極と入力側アース電極にそれぞ
   れ設けられた圧電性基板上に交差して配設される超伝導
   材料で膜厚 200オングストローム以下の入力側櫛歯電極
   と、出力側電極と入力側アース電極にそれぞれ設けられ
   前記圧電性基板上に交差して配設される超伝導材料で膜
   厚 200オングストローム以下の出力側櫛歯電極と、前記
   入出力側電極および前記入出力側アース電極の厚みを厚
   くしたワイヤボンド部とを備えた弾性表面波回路。