JPH054848B2 - - Google Patents

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JPH054848B2
JPH054848B2 JP23286688A JP23286688A JPH054848B2 JP H054848 B2 JPH054848 B2 JP H054848B2 JP 23286688 A JP23286688 A JP 23286688A JP 23286688 A JP23286688 A JP 23286688A JP H054848 B2 JPH054848 B2 JP H054848B2
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JP
Japan
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surface acoustic
acoustic wave
electrode
interdigital
stripline
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Hajime Myajima
Nobutami Ko
Keiichi Nakanishi
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Toko Inc
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Toko Inc
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  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、表面弾性波多重モードフイルタの電
極構造に係るもので、特に共振器間の結合を調整
する構造に関するものである。
〔従来の技術〕
二個の表面弾性波(SAW)共振器を接近して
配置し、それらを弾性的に結合させると、二つの
振動モードを生じる。すなわち、対称モードと反
対称モードの二つの振動モードであり、対称モー
ドの共振周波数と反対称モードの反共振周波数を
一致させて、二重モードSAWフイルタを構成す
る。
また、単一の共振器内で二つの振動モードを生
じるタイプのものもあり、その共振器を三個以上
配置する多重モードフイルタもある。
このような多重モード共振器型表面弾性波フイ
ルタは、電子通信学会超音波研究会資料US−77
−33等に示されている。また、インターデジタル
電極を各共振器に二個配置した2ポートタイプな
どもある。
上記のような表面弾性波多重モードフイルタに
おいて、二個の共振器のインターデジタル電極を
近接して配置すると、部分的に結合が強くなり過
ぎてしまう。これによつて、第4図の破線45で
示したように、中心周波数が82MHzのフイルタで
通過帯域内の特定の周波数において2dB出力が大
きくなり、平坦な通過帯域特性が得られない。
これを改善するためには、共振器を離して配置
すればよいが、チツプサイズが大きくなつてしま
う問題が生じる。
〔課題〕
本発明は、共振器を近接して配置しても、特定
の周波数において結合が強くなり過ぎるのを防止
し、平坦な帯域通過特性の得られる表面弾性波多
重モードフイルタを提供するものである。
また、多段に接続するインターデジタル電極の
抵抗を小さくしようとするものである。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、共振器のインターデジタル電極間を
ストリツプラインで接続することによつて、上記
の課題を解決するものである。
すなわち、圧電性基板に、インターデジタル電
極とそれにより励磁される表面弾性波の伝播路上
に該インターデジタル電極を挟んで設けた反射器
とから成る共振器を、該インターデジタル電極が
表面弾性波の伝播方向に直角の方向に位置するよ
うに並べて配置した表面弾性波多重モードフイル
タにおいて、該共振器のインターデジタル電極の
バスバー間が同じ間隔で配置された複数の幅の等
しいストリツプラインで接続され、かつ、インタ
ーデジタル電極の表面弾性波の伝播方向における
表面に占める導体の比率が該ストリツプラインの
表面弾性波の伝播方向における表面に占める導体
の比率よりも大きいことに特徴を有するものであ
る。
ストリツプラインの周期をインターデジタル電
極の周期と同じにしたり、ストリツプラインを反
射器間にも形成することができる。
〔作用〕
共振器間のストリツプラインの部分は導体の比
率が共振器のインターデジタル電極や反射器電極
の導体部分よりも小さくなる。したがつて、この
部分の音速は早くなり、エネルギーが共振器間に
集中するのを防止することができる。
これによつて、各成分の結合状態が均一化され
て、特定の成分のみ極端に強く結合することはな
くなる。
また、複数のストリツプラインで接続すること
によつて、抵抗を大幅に下げることができる。
〔実施例〕
以下、図面を参照して、本発明の実施例につい
て説明する。
第1図は、本発明の実施例を示す平面図であ
る。水晶等の圧電性を有する基板10の表面に、
アルミニウム等の金属膜により電極を形成する。
表面弾性波を励振するインターデジタル電極11
a,11bがそれぞれ形成され、その両側の表面
弾性波の伝播方向に反射器12a,12bが配置
され、二個の共振器が構成されている。共振器の
インターデジタル電極11a,11bの一方のバ
スバー同士は接続されるが、この接続をストリツ
プライン13によつて行う。
ストリツプライン13は、インターデジタル電
極11と同じ導体材料で共振器と同時に形成され
る。その幅はインターデジタル電極の幅よりも狭
く、すなわち細く形成する。
このストリツプライン13の周期は任意に設定
できる。ただ、表面弾性波の伝播方向における導
体の比率がインターデジタル電極部分や反射器部
分の電極の比率よりも小さくするようにしなけれ
ばならない。
ストリツプライン13の形成された共振器間の
部分では、インターデジタル電極11a,11b
の部分に比較して導体の面積比率が小さくなり、
表面弾性波の音速は上昇する。したがつて、スト
リツプライン13の部分に集中するエネルギーは
相対的に少なくなる。
表面弾性波の音速を早くするためには、自由表
面(導体膜の存在しない表面)に近い状態とすれ
ばよいが、インターデジタル電極を接続するバス
バーが非常に細くなり、隣接して配置された共振
器のインターデジタル電極間の抵抗が非常に大き
くなつてしまう。抵抗を小さくし、かつエネルギ
ーの集中を防ぐために、ストリツプラインを形成
したものである。
第2図は、本発明の他の実施例を示す平面図で
ある。水晶等の圧電性を有する基板20の表面
に、波アルミニウム等の金属膜により電極を形成
する。表面弾性波を励振するインターデジタル電
極21a,21bがそれぞれ形成され、その両側
の表面弾性波の伝播方向に反射器22a,22b
が配置され、二個の共振器が構成されている。共
振器のインターデジタル電極21a,21bのバ
スバーの一方同士および同じ側にある反射器22
aと22bとは接続されるが、この接続はストリ
ツプライン23によつて行う。
ストリツプライン23は、インターデジタル電
極21a,21bおよび反射器22a,22bと
同じ導体材料で共振器と同時に形成される。その
幅はインターデジタル電極および反射器の電極指
の幅よりも狭く、すなわち細く形成する。
第3図は、本発明の他の実施例を示す平面図で
あり、インターデジタル電極31a,31b、反
射器32a,32bは前記の例と同様であるが、
ストリツプライン33が全部接続されておらず、
一部のストリツプラインは中間部分が除去され分
断された構造となつている。このように、ストリ
ツプライン33を一様としない場合には、各部分
で導体の比率が変わり、それに応じて音速も変わ
るのでエネルギーの集中状態が変わり、結合状態
に変化を付けることができる。
〔効果〕
本発明によれば、共振器間の結合を均一化する
こともでき、第4図の実線46のように、83MHz
を中心周波数とする通過帯域内においてフラツト
な特性を得ることができる。この例は、ストリツ
プラインの幅をインターデジタル電極の電極指の
幅の半分とし、間隔はインターデジタル電極と等
しくした場合を示している。これによつて、広帯
域の表面弾性波多重モードフイルタが得られる。
また、隣接する共振器のインターデジタル電極
間を低抵抗で接続することができ、大きな出力が
得られる。
さらに、結合の調整が可能になるので、電極指
の長さを大きくすることができ、インターデジタ
ル電極のインピーダンスを下げることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図から第3図までは本発明の実施例を示す
平面図、第4図は従来のフイルタと本発明による
フイルタの特性の説明図である。 11a,11b,21a,21b,31a,3
1b……インターデジタル電極、12a,12
b,22a,22b,32a,32b……反射
器、13,23,33……ストリツプライン。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 圧電性基板に、インターデジタル電極とそれ
    により励振される表面弾性波の伝播路上に該イン
    ターデジタル電極を挟んで設けた反射器とから成
    る共振器を、該インターデジタル電極が表面弾性
    波の伝播方向に直角の方向に位置するように並べ
    て配置した表面弾性波多重モードフイルタにおい
    て、該共振器のインターデジタル電極のバスバー
    間が同じ間隔で配置された複数の幅の等しいスト
    リツプラインで接続され、かつ、インターデジタ
    ル電極の表面弾性波の伝播方向における表面に占
    める導体の比率が該ストリツプラインの表面弾性
    波の伝播方向における表面に占める導体の比率よ
    りも大きいことを特徴とする表面弾性波多重モー
    ドフイルタ。 2 該ストリツプラインが該インターデジタル電
    極の電極指と同じ周期で、該電極指よりも狭い幅
    で形成された請求項第1項記載の表面弾性波多重
    モードフイルタ。 3 圧電性基板に、インターデジタル電極とそれ
    により励振される表面弾性波の伝播路上に該イン
    ターデジタル電極を挟んで設けた反射器とから成
    る共振器を、該インターデジタル電極が表面弾性
    波の伝播方向に直角の方向に位置するように並べ
    て配置した表面弾性波多重モードフイルタにおい
    て、該共振器のインターデジタル電極のバスバー
    間と該共振器の反射器間がそれぞれ同じ間隔で配
    置された複数の幅の等しいストリツプラインで接
    続され、かつ、インターデジタル電極と反射器の
    表面弾性波の伝播方向における表面に占める導体
    の比率が該ストリツプラインの表面弾性波の伝播
    方向における表面に占める導体の比率よりも大き
    いことを特徴とする表面弾性波多重モードフイル
    タ。 4 該ストリツプラインが該インターデジタル電
    極の電極指および反射器の電極指と同じ周期で、
    該電極指よりも狭い幅で形成された請求項第3項
    記載の表面弾性波多重モードフイルタ。
JP23286688A 1988-09-17 1988-09-17 表面弾性波多重モードフィルタ Granted JPH0281511A (ja)

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DE10057848B4 (de) * 2000-11-22 2014-01-02 Epcos Ag Reaktanzfilter mit verbesserter Leistungsverträglichkeit
JP4049612B2 (ja) 2002-04-19 2008-02-20 富士通メディアデバイス株式会社 弾性表面波装置
JP3622758B2 (ja) 2003-03-28 2005-02-23 松下電器産業株式会社 弾性表面波共振器、弾性表面波フィルタ、及びアンテナ共用器

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