JPH0549046B2 - - Google Patents
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- JPH0549046B2 JPH0549046B2 JP62066820A JP6682087A JPH0549046B2 JP H0549046 B2 JPH0549046 B2 JP H0549046B2 JP 62066820 A JP62066820 A JP 62066820A JP 6682087 A JP6682087 A JP 6682087A JP H0549046 B2 JPH0549046 B2 JP H0549046B2
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- JP
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- ultrasonic
- wedge member
- wave
- ultrasonic wave
- pipe
- Prior art date
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02B—INTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
- F02B2275/00—Other engines, components or details, not provided for in other groups of this subclass
- F02B2275/18—DOHC [Double overhead camshaft]
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02B—INTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
- F02B3/00—Engines characterised by air compression and subsequent fuel addition
- F02B3/06—Engines characterised by air compression and subsequent fuel addition with compression ignition
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、超音波送受波装置に係り、とくに超
音波式流量測定装置に好適な超音波送受波装置に
関する。
音波式流量測定装置に好適な超音波送受波装置に
関する。
超音波による配管内の流量測定方法としては、
従来より第6図に示すものがある。この第6図の
従来例において、一方の超音波送受波器50の調
音波振動子51から下流側に向けて出力される超
音波は、伝播経路l1,l2,l3,l4,l5及びl6を経て
他方の超音波送受波器60の超音波振動子61に
至る。そして、この場合に要する伝播時間をtdと
する。また、他方の超音波送受波器60の超音波
振動子61から上流側に向けて出力される超音波
は、伝播経路l6,l5,l4,l3,l2,及びl1を経て一
方の超音波送受波器50の超音波振動子51に至
る。そして、この場合に要する時間をtuとする。
従来より第6図に示すものがある。この第6図の
従来例において、一方の超音波送受波器50の調
音波振動子51から下流側に向けて出力される超
音波は、伝播経路l1,l2,l3,l4,l5及びl6を経て
他方の超音波送受波器60の超音波振動子61に
至る。そして、この場合に要する伝播時間をtdと
する。また、他方の超音波送受波器60の超音波
振動子61から上流側に向けて出力される超音波
は、伝播経路l6,l5,l4,l3,l2,及びl1を経て一
方の超音波送受波器50の超音波振動子51に至
る。そして、この場合に要する時間をtuとする。
この場合、配管3内の流速は、次式にて求ま
る。
る。
V=(C2/2D・tanθ)・(tu−td)
ここで、Dは配管3の内径、θは流動体中の屈
折角、Cは流動体の音速を示す。
折角、Cは流動体の音速を示す。
この結果、流動体の音速が予め確定しているも
のについては、上式に基づいて配管3内の流動体
の流速Vを比較的容易に測定することができて、
同時に配管3の内径が明らかとなつていることか
ら配管3内の流動体の流量も極く容易に求め得る
ようになつている。
のについては、上式に基づいて配管3内の流動体
の流速Vを比較的容易に測定することができて、
同時に配管3の内径が明らかとなつていることか
ら配管3内の流動体の流量も極く容易に求め得る
ようになつている。
一方、かかる従来例においては、被測定流動体
の音速が不明の場合には配管3内の流速及び流量
を測定することができないという本質的欠点を有
している。このため、発明者らは、配管3の測定
時における管壁部分の超音波の位相速度と群速度
とを測定することにより、配管3内の液体の音速
が不明であつても当該被測定流動体の流速および
流量を極く容易に算定し得る新たな手法を開発し
た。
の音速が不明の場合には配管3内の流速及び流量
を測定することができないという本質的欠点を有
している。このため、発明者らは、配管3の測定
時における管壁部分の超音波の位相速度と群速度
とを測定することにより、配管3内の液体の音速
が不明であつても当該被測定流動体の流速および
流量を極く容易に算定し得る新たな手法を開発し
た。
しかしながら、前述した従来例に示す超音波送
受波器50,60においては、特に配管3の管壁
部分の超音波の位相速度を測定するのが非常に困
難となつており、むしろ不可能に近いものとなつ
ている。
受波器50,60においては、特に配管3の管壁
部分の超音波の位相速度を測定するのが非常に困
難となつており、むしろ不可能に近いものとなつ
ている。
本発明は、かかる従来例の有する不都合を改善
し、とくに流速及び流量の測定時に配管の管壁部
分の超音波の位相速度を極く容易に求めることが
できる超音波送受波装置を提供することを、その
目的とする。
し、とくに流速及び流量の測定時に配管の管壁部
分の超音波の位相速度を極く容易に求めることが
できる超音波送受波装置を提供することを、その
目的とする。
本発明では、傾斜面と超音波放射面とを備えた
クサビ部材と、このクサビ部材の傾斜面に固着さ
れた超音波振動子とを有し、超音波放射面に当接
される被測定物に対して超音波を斜入射せしめる
構造の超音波送受波装置において、超音波放射面
では内部反射する超音波成分のクサビ部材内にお
ける進行方向先に、当該内部反射波の進行方向に
直交する超音波反射面を設けている。そして、こ
の反射面からの反射超音波の伝播時間に基づいて
当該クサビ部材の超音波のCpを算定する信号処
理部を装備する、という構成を採つている。これ
によつて前述した目的を達成しようとするもので
ある。
クサビ部材と、このクサビ部材の傾斜面に固着さ
れた超音波振動子とを有し、超音波放射面に当接
される被測定物に対して超音波を斜入射せしめる
構造の超音波送受波装置において、超音波放射面
では内部反射する超音波成分のクサビ部材内にお
ける進行方向先に、当該内部反射波の進行方向に
直交する超音波反射面を設けている。そして、こ
の反射面からの反射超音波の伝播時間に基づいて
当該クサビ部材の超音波のCpを算定する信号処
理部を装備する、という構成を採つている。これ
によつて前述した目的を達成しようとするもので
ある。
〔第1実施例〕
以下、本発明の第1実施例を第1図のないし第
3図に基づいて説明する。
3図に基づいて説明する。
第1図において、超音波送受波器1は、クサビ
部材1Aと超音波振動子1Bとを備えている。ク
サビ部材1Aは、断面が台形状をなし、その一方
の斜面1aに超音波振動子1Bが固着されてい
る。また、他方の斜面1cは、超音波振動子1B
から発信された超音波が入射面1bで反射してク
サビ部材1A内を伝播する場合の当該伝播経路に
直交する超音波反射面を構成している。このた
め、クサビ部材1Aを伝播する内部反射波は、超
音波振動子1B側に戻るようになつている。
部材1Aと超音波振動子1Bとを備えている。ク
サビ部材1Aは、断面が台形状をなし、その一方
の斜面1aに超音波振動子1Bが固着されてい
る。また、他方の斜面1cは、超音波振動子1B
から発信された超音波が入射面1bで反射してク
サビ部材1A内を伝播する場合の当該伝播経路に
直交する超音波反射面を構成している。このた
め、クサビ部材1Aを伝播する内部反射波は、超
音波振動子1B側に戻るようになつている。
第2図は、上記超音波送受波器1を実際の超音
波式流量測定装置に組込んだ場合を示す説明図で
ある。ここで、超音波送受波器2は、上記超音波
送受波器1と全く同一のものが使用されている。
すなわち、第2図において、符号1は配管3の上
流側に装備された一方の超音波送波器を示し、符
号2は同じく配管3の下流側に装備された他方の
超音波送受波器を示す。この内、一方の超音波送
受波器1は、図に示すように超音波を配管3へ斜
入射せしめるためのクサビ部材1Aと振動子1B
とを備えている。また、他方の超音波送受波器2
も同一に形成されたクサビ部材2Aと振動子2B
とを備えている。
波式流量測定装置に組込んだ場合を示す説明図で
ある。ここで、超音波送受波器2は、上記超音波
送受波器1と全く同一のものが使用されている。
すなわち、第2図において、符号1は配管3の上
流側に装備された一方の超音波送波器を示し、符
号2は同じく配管3の下流側に装備された他方の
超音波送受波器を示す。この内、一方の超音波送
受波器1は、図に示すように超音波を配管3へ斜
入射せしめるためのクサビ部材1Aと振動子1B
とを備えている。また、他方の超音波送受波器2
も同一に形成されたクサビ部材2Aと振動子2B
とを備えている。
これらの各超音波送受波器1,2の各々は、送
受信切換部10に介して発信回路部11及び受信
回路部12に各別に接続されている。この第2図
においては、配管3内の液体は図の左方から右方
へ流動する場合が示されている。
受信切換部10に介して発信回路部11及び受信
回路部12に各別に接続されている。この第2図
においては、配管3内の液体は図の左方から右方
へ流動する場合が示されている。
超音波送受波器1,2の各々においては、配管
3内の流速に応じて第3図に示す如き繰り返し信
号が受信される。
3内の流速に応じて第3図に示す如き繰り返し信
号が受信される。
この第3図において、同図1のN=0の波は、
第2図に示す経路l1,l2,l7,l5およびl6の順に伝
播し、流動体中を通過することなく他方の超音波
送受波器2に到達する受信波を示す。一方、同図
2のN=0の波は、超音波送受波器2から発射さ
れた超音波が第2図に示す経路l6,l5,l7,l2およ
びl1の順に伝播し、流動体中を通過することなく
一方の超音波送受波器1に到達する受信波、すな
わち同じ通過領域を逆方向に伝播する超音波信号
波を示す。
第2図に示す経路l1,l2,l7,l5およびl6の順に伝
播し、流動体中を通過することなく他方の超音波
送受波器2に到達する受信波を示す。一方、同図
2のN=0の波は、超音波送受波器2から発射さ
れた超音波が第2図に示す経路l6,l5,l7,l2およ
びl1の順に伝播し、流動体中を通過することなく
一方の超音波送受波器1に到達する受信波、すな
わち同じ通過領域を逆方向に伝播する超音波信号
波を示す。
また、第3図1のN=2の波は、超音波が第1
図における配管3の上側の管壁部分から一度流動
体4内に漏洩し、流動体4中を伝播して配管部3
における下側の管壁部分に入射し、同管壁部分を
伝播しながら再度流動体4内へ漏洩伝播して配管
部3の上側の管壁部に入射し、続いて上側の管壁
部分を伝播して超音波送受器2に到達する波を示
す。すなわち、N=2の波は流動体中の伝播行程
が2行程となる受信波を示す。一方、第3図2に
おけるN=2の波は、同図1におけるN=2の波
の逆方向を伝播する2行程の受信波を示す。
図における配管3の上側の管壁部分から一度流動
体4内に漏洩し、流動体4中を伝播して配管部3
における下側の管壁部分に入射し、同管壁部分を
伝播しながら再度流動体4内へ漏洩伝播して配管
部3の上側の管壁部に入射し、続いて上側の管壁
部分を伝播して超音波送受器2に到達する波を示
す。すなわち、N=2の波は流動体中の伝播行程
が2行程となる受信波を示す。一方、第3図2に
おけるN=2の波は、同図1におけるN=2の波
の逆方向を伝播する2行程の受信波を示す。
同様に、N=4の波は、流動体中の経路が4行
程となる受信波を示す。
程となる受信波を示す。
この内、上流側の超音波送受波器1から下流側
に向けて超音波を発射した場合に下流側の超音波
送受波器2に受信される各受信波の伝播時間td
(d=1、2、4、……)は、第2図においては
次式で表わされる。
に向けて超音波を発射した場合に下流側の超音波
送受波器2に受信される各受信波の伝播時間td
(d=1、2、4、……)は、第2図においては
次式で表わされる。
td=〔(L−ND・tanθ)/Vg〕
+〔(ND/cosθ)/(C+V・sinθ)〕
+τ1+τ2 ……
θ=sin-1(C/Vp) ……
但し、
L:超音波送受波器相互の間隔
N:流動体中の伝播工程数(往復の場合はN=
2) Vg:配管部を伝播する超音波の群速度 Vp:配管部を伝播する超音波の位相速度 θ:第2図に示す超音波の漏洩伝播角 τ1,τ2:超音波が超音波送受波器内を通過するの
に要する時間 一方、下流側の超音波送被器2から上流側に向
けて超音波が反射された場合に上流側の超音波送
受波器1に受信される受信波の全伝播時間tu(u
=1、3、5、……)は式と同様に次式で表
わされる。
2) Vg:配管部を伝播する超音波の群速度 Vp:配管部を伝播する超音波の位相速度 θ:第2図に示す超音波の漏洩伝播角 τ1,τ2:超音波が超音波送受波器内を通過するの
に要する時間 一方、下流側の超音波送被器2から上流側に向
けて超音波が反射された場合に上流側の超音波送
受波器1に受信される受信波の全伝播時間tu(u
=1、3、5、……)は式と同様に次式で表
わされる。
tu=〔(L−ND・tanθ)/Vg〕
+〔(ND/cosθ)/(C−V・sinθ)〕
+τ1+τ2 ……
但し、L、N、Vg、XP、θ及びτ1,τ2は、式
の場合と同じ。
の場合と同じ。
これらの受信波は、N=0、N=2、N=4の
順で受信回路部12及び信号選択手段13Aを介
して計時手段13でそれぞれ計時されたのに、信
号処理部20へ送られるようになつている。
順で受信回路部12及び信号選択手段13Aを介
して計時手段13でそれぞれ計時されたのに、信
号処理部20へ送られるようになつている。
次に、流動体中経路の行程がM行程異なる2つ
の受信波の伝播時間差Δtd,Δtuは、 Δtd=〔(MD・tanθ)/Vg〕 +〔(MD/cosθ)/(C+V・sinθ)〕 …… Δtu=(−MD・tanθ/Vg〕 +〔(MD/cosθ)/(C−V・sinθ)〕 …… ここで、M=2の場合、第3図との関係では、 Δtd=2td=t2−t1=t4−t2 Δtu=2tu=t3−t1=t5−t3 この式より、流動体の音速Cは、次式の
根として算出し得る。
の受信波の伝播時間差Δtd,Δtuは、 Δtd=〔(MD・tanθ)/Vg〕 +〔(MD/cosθ)/(C+V・sinθ)〕 …… Δtu=(−MD・tanθ/Vg〕 +〔(MD/cosθ)/(C−V・sinθ)〕 …… ここで、M=2の場合、第3図との関係では、 Δtd=2td=t2−t1=t4−t2 Δtu=2tu=t3−t1=t5−t3 この式より、流動体の音速Cは、次式の
根として算出し得る。
f1(Vp、Vg、Δtu、Δtd、C)
=(1+αVg 2)C4
−(2VpVg+αVp 2Vg 2)C2
Vp 2Vg 2=0 ……
α=(Δtu+Δtd)2/4M2D2
これらの演算は、信号処理部20で行われ、そ
の結果が表示手段18で表示されるようになつて
いる。
の結果が表示手段18で表示されるようになつて
いる。
式で求めた音速Cに係るデータと配管3の超
音波の位相速度Vpおよび群速度Vgと、伝播時間
差に係る2つのデータΔtdおよびΔtuとにより信
号処理部20では、さらに下式に演算が行われ
る。
音波の位相速度Vpおよび群速度Vgと、伝播時間
差に係る2つのデータΔtdおよびΔtuとにより信
号処理部20では、さらに下式に演算が行われ
る。
V=f2(Vp、Vg、Δtu、Δtd、C)
=〔Vp−(C2/Vg)〕・(Δtu−Δtd)
/(Δtu+Δtd) ……′
これによつて、当該配管3内の流動体4の流速
が直ちに算定され、その結果が表示手段18へ送
られる。表示手段18では、この流速データとと
もに当該流速データに基づいてこれを流量に変換
表示するようになつている。
が直ちに算定され、その結果が表示手段18へ送
られる。表示手段18では、この流速データとと
もに当該流速データに基づいてこれを流量に変換
表示するようになつている。
すなわち、超音波送受波器1および2で受信さ
れるN=0、2又はN=2、4の各受信波の到達
時間を計時しその差(例えばN=0とN=2の時
間差)を求めることにより、配管3の管壁部の位
相速度Vpと群速度Vgとが判明していると、配管
部3内の流動体4の音速Cを、更には流速および
流量をリアルタイムで直ちに且つ高精度に算定表
示することができる。
れるN=0、2又はN=2、4の各受信波の到達
時間を計時しその差(例えばN=0とN=2の時
間差)を求めることにより、配管3の管壁部の位
相速度Vpと群速度Vgとが判明していると、配管
部3内の流動体4の音速Cを、更には流速および
流量をリアルタイムで直ちに且つ高精度に算定表
示することができる。
ここで、配管3の管壁部を伝播する超音波の位
相速度Vpと群速度Vgを求める場合の動作原理に
ついて説明する。
相速度Vpと群速度Vgを求める場合の動作原理に
ついて説明する。
第1図において、クサビ部材1A内を伝播する
内部反射波は、そのすべてが超音波振動子1Bに
戻るようになつている。l1,l1′は、その場合の伝
播経路及び距離を示す。この場合、クサビ部材1
A内の超音波の伝播時間T0を測定することによ
り、クサビ部材1A内の音速Cpは次式によつて
算出し得る。
内部反射波は、そのすべてが超音波振動子1Bに
戻るようになつている。l1,l1′は、その場合の伝
播経路及び距離を示す。この場合、クサビ部材1
A内の超音波の伝播時間T0を測定することによ
り、クサビ部材1A内の音速Cpは次式によつて
算出し得る。
Cp=2(l1+l1′)/T0 ……
また、クサビ部材1Aの音速Cpと第2図で示
す配管部3を伝播する超音波の位相角度Vpとの
間には、次式の関係がある。
す配管部3を伝播する超音波の位相角度Vpとの
間には、次式の関係がある。
Vp=Cp/sinθi ……
但し、θi:入射角(第1図参照)
さらに、第2図に示す如く、2つの超音波送受
波器1,2の超音波入射点相互間の距離をLと
し、超音波振動子1Bから発信された超音波が配
管3の管壁部を伝播して超音波振動子2Bに到達
する場合の全伝播時間をTとすると、管壁部を伝
搬する超音波の群速度Vgは、次式で表わされる。
波器1,2の超音波入射点相互間の距離をLと
し、超音波振動子1Bから発信された超音波が配
管3の管壁部を伝播して超音波振動子2Bに到達
する場合の全伝播時間をTとすると、管壁部を伝
搬する超音波の群速度Vgは、次式で表わされる。
Vg=L/[T−Tp(l1/(l1+l1′))]……
ここで、L、l、l1′は幾何学的に求まる数値で
あることから、結局、式における伝播時間Tお
よびT0を計時し当該式を演算することにより、
必要とする配管3の管壁部の群速度を極く容易に
算定することができる。この群速度及び位相速度
の演算も、信号処理部20でとり行われる。
あることから、結局、式における伝播時間Tお
よびT0を計時し当該式を演算することにより、
必要とする配管3の管壁部の群速度を極く容易に
算定することができる。この群速度及び位相速度
の演算も、信号処理部20でとり行われる。
〔第2実施例〕
次に、第2実施例を第4図に基づいて説明す
る。この第2実施例は、前述した第1実施例の他
方の斜面1c部分に吸音部材1Eを装着すると共
に当該他方の斜面1cの面上に到来する超音波の
中心部に対応する位置に超音波反射部材1Fを装
着したものである。符号1Kはケース部を示す。
る。この第2実施例は、前述した第1実施例の他
方の斜面1c部分に吸音部材1Eを装着すると共
に当該他方の斜面1cの面上に到来する超音波の
中心部に対応する位置に超音波反射部材1Fを装
着したものである。符号1Kはケース部を示す。
このようにすると、より鮮明な1回目の内部反
射波を得ることができ、位相速度をより正確に測
定し得るという利点がある。
射波を得ることができ、位相速度をより正確に測
定し得るという利点がある。
また、第5図のものは、他方の斜面1c部に受
信用の超音波振動子1Rを装着したものである。
このようにしても、配管等の超音波位相速度を有
効に測定することができる。
信用の超音波振動子1Rを装着したものである。
このようにしても、配管等の超音波位相速度を有
効に測定することができる。
本発明は以上のように構成され機能するので、
超音波受波器の一部を成すクサビ部材内の音速
Cpを、リアルタイムで高精度に測定することが
可能となり、従つて、これを使用すると、流量等
の測定に際し配管の管壁部の超音波位相速度(前
述した如く流量算定に必要なもの)をリアルタイ
ムで極く容易に測定することができ、測定値の温
度補正を全く不要とするという従来にない優れた
超音波送受波装置を提供することができる。
超音波受波器の一部を成すクサビ部材内の音速
Cpを、リアルタイムで高精度に測定することが
可能となり、従つて、これを使用すると、流量等
の測定に際し配管の管壁部の超音波位相速度(前
述した如く流量算定に必要なもの)をリアルタイ
ムで極く容易に測定することができ、測定値の温
度補正を全く不要とするという従来にない優れた
超音波送受波装置を提供することができる。
第1図は本発明の一実施例を示す断面図、第2
図ないし第3図は各々使用状態を示す説明図、第
4図は第2実施例を示す断面図、第5図は第4図
の応用例を示す断面図、第6図は従来例を示す説
明図である。 1……超音波送受波器、1A……クサビ部材、
1a……一方の傾斜面、1B……超音波振動子、
1b……超音波放射面、1c……超音波反射面と
しての他方の傾斜面、20……信号処理部。
図ないし第3図は各々使用状態を示す説明図、第
4図は第2実施例を示す断面図、第5図は第4図
の応用例を示す断面図、第6図は従来例を示す説
明図である。 1……超音波送受波器、1A……クサビ部材、
1a……一方の傾斜面、1B……超音波振動子、
1b……超音波放射面、1c……超音波反射面と
しての他方の傾斜面、20……信号処理部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 傾斜面と超音波放射面とを備えたクサビ部材
と、このクサビ部材の前記傾斜面に固着された超
音波振動子とを有し、前記超音波放射面に当接さ
れる被測定物に対して超音波を斜入射せしめる構
造の超音波送受波装置において、 前記超音波放射面で内部反射する超音波成分の
クサビ部材内における進行方向先に、当該内部反
射波の進行方向に直交する超音波反射面を設け、 この反射面からの反射超音波の伝播時間に基づ
いて当該クサビ部材の超音波の音速Cpを算定す
る信号処理部を装備したことを特徴とする超音波
送受波装置。 2 前記信号処理部が、当該信号処理部内で算定
される前記クサビ部材の超音波の音速Cpに基づ
いて該クサビ部材が当接する配管等の被測定物の
位相速度Vpと群速度Vgをを算定する速度算定機
能を備えていることを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載の超音波送受波装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62066820A JPS63233323A (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 | 超音波送受波装置 |
| DE3809189A DE3809189A1 (de) | 1987-03-20 | 1988-03-18 | Verfahren und vorrichtung zur messung der flussgeschwindigkeit mit ultraschallwellen |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62066820A JPS63233323A (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 | 超音波送受波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63233323A JPS63233323A (ja) | 1988-09-29 |
| JPH0549046B2 true JPH0549046B2 (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=13326869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62066820A Granted JPS63233323A (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 | 超音波送受波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63233323A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109084852A (zh) * | 2018-08-31 | 2018-12-25 | 大唐环境产业集团股份有限公司 | 一体式超声波传感器及其安装方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5698092A (en) * | 1979-12-31 | 1981-08-07 | Fuji Electric Co Ltd | Ultrasonic wave probe |
| JPS5920232B2 (ja) * | 1979-12-31 | 1984-05-11 | 富士電機株式会社 | 超音波プロ−ブ |
-
1987
- 1987-03-20 JP JP62066820A patent/JPS63233323A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63233323A (ja) | 1988-09-29 |
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