JPH0549724B2

JPH0549724B2 -

Info

Publication number: JPH0549724B2
Application number: JP60020174A
Authority: JP
Inventors: Biningu Yoahimu; Noibaueru Biruherumu
Original assignee: Aichelin GmbH Germany
Current assignee: Aichelin GmbH Germany
Priority date: 1984-02-15
Filing date: 1985-02-06
Publication date: 1993-07-27
Also published as: DD231375A5; YU224884A; PL250866A1; US4653732A; SU1386047A3; PL140026B1; CS105585A2; EP0151700A2; YU43395B; JPS60184625A; ATE35428T1; EP0151700B1; CS264117B2; HUT43651A; EP0151700A3; HU202598B; DE3405244C1

Description

【発明の詳細な説明】〔産業用の利用分野〕本発明は工業用の炉に関し、特に多数の金属部
品を一括して熱処理するための複数室形の真空炉
に関し、この真空炉は冷却ガスが供給される冷却
装置を収容した加熱室を備えている。この冷却用
のガスはこの加熱室を通して循環され、この加熱
室内に収容されている熱処理の終了した被熱処理
物に接触する。また、この炉には油浴槽が設けら
れている。

〔従来の技術〕

この種の熱処理炉は主として鋼材料から形成さ
れた部品、特に工具鋼から形成された部品等を大
量に熱処理するのに使用され、またこの他の金属
材料の各種の熱処理に使用される。この種の炉は
たとえばドイツ特許出願公報（DE−OS）
2608850に開示されている。

この引例には３個の室を備えた真空炉が開示さ
れ、この炉の加熱室は冷却水で冷却される２重の
ケーシングで囲まれている。また、この加熱室に
隣接して２個の冷却室が設けられ、この一方の冷
却室には冷却ガスによつて冷却される冷却機構が
設けられ、また他方の冷却室内には焼入れ用の油
浴槽が設けられている。上記一方の冷却室に設け
られた冷却機構には冷却ガスを循環させる冷却ガ
ス循環機構が設けられ、この機構によつて冷却ガ
スはこの冷却室外に設けられた熱交換器を介して
循環され、この冷却ガスはガイドベーンによつて
この冷却室内の被熱処理物の周囲を流通し、これ
を急速に冷却する。ところで、このような炉で
は、この冷却ガスの循環ダクトの断面積が大きい
ので、大量の冷却ガスを必要とする。したがつ
て、上記の被熱処理物を急速に冷却するためにこ
れらの周囲に冷却ガスを早い流速で流通させるに
は送風機とこの被熱処理物との間のダクト内でも
この冷却ガスを高い流速で循環させる必要があ
り、またこの被熱処理物から熱交換器を介して上
記の送風機に至るリターン側の流路においても流
速を高くしなければならず、この冷却ガスの循環
系全体の圧力損失が相当に大きくなる。このた
め、この冷却ガスを循環させる送風機の駆動に大
動力を必要とし、場合によつてはこの送風機の馬
力不足のため、この被熱処理物の周囲を流通する
冷却ガスの速度が低下する不具合があつた。

また、従来からこの炉内に収容されている被熱
処理物に向けてノズルから冷却ガスを高速度で噴
出させ、この冷却ガスの量を少なくするとともに
この被熱処理物の周囲を流通する冷却ガスの流速
を充分に速くすることがなされている。しかし、
このようにするとこのノズルから被熱処理物に流
れる冷却ガスが不均一になる可能性が生じる。ま
た、オーストリア特許370689に開示されているよ
うなガス冷却機構を備えた単室形の真空炉では、
加熱室の中心軸と平行に複数の冷却ガス供給管を
設け、これらの管にそれぞれノズルを設け、これ
らの冷却ガス供給管を上記の軸を中心として回転
させ、上記の不均一な冷却を改善するように構成
されている。そしてこの場合、上記の冷却ガス供
給管の一端部は加熱室の外側に突出し、可撓性の
管を介して固定側の冷却ガス供給機構に接続さ
れ、これら冷却ガス供給管は揺動するように駆動
される。

このようなものは、冷却ガス供給管を揺動駆動
する機構や可撓性の接続機構を必要とし、また被
熱処理物の大きさ等に対応して冷却ガスの噴流を
調整する機構等を必要とし、構造が複雑で装置の
コストが高くなる不具合を生じる。また、この冷
却ガスの供給駆動機構は加熱室の上部に設けられ
ているので、被熱処理物には一方からしか冷却ガ
スが当らない。しかし、この被熱処理物を冷却す
る場合には、この被熱処理物の形状や構成等に対
応して最適の条件で冷却ガスが流通されなければ
ならない。したがつて、たとえばこの被熱処理物
が円筒形のものである場合と板状のものである場
合とでは冷却の条件を変えなければならない。

〔発明が解決しようとする問題点〕本発明は工業用の炉、特に複数室形の真空炉に
おいて、冷却すべき被熱処理物に対応して冷却ガ
スの流通の状態を最適に調整でき、また構造が簡
単で装置のコストが低く、保守も容易な冷却機構
を備えた炉を提供することを目的とするものであ
る。

〔問題点を解決する手段とその作用〕

本発明は、金属被熱処理物を熱処理する工業用
の真空炉であつて、この被熱処理物を加熱する加
熱室と、循環する冷却ガスによつて焼入れまたは
冷却あるいはこれらの両方をなす冷却室を備え、
上記の冷却ガスから熱を除去するためにこの冷却
ガスを熱交換器を介して循環させる冷却機構を備
えている。そして、上記の冷却室内には、ノズル
ボツクスが設けられており、このノズルボツクス
は全体として断面が倒立Ｕ字状をなし、外壁と内
壁とからなる中空状をなしており、上記の金属被
熱処理物の両側および上方を囲むように形成され
ている。

そして、上記の冷却機構は上記のノズルボツク
ス内に冷却ガスを供給するように構成され、ま
た、複数のノズルプレートを備えており、これら
のノズルプレートは上記の被熱処理物の種類に対
応して所定の配置で配列された所定の径の複数の
ノズルオリフイスが形成されている。そして、こ
れらノズルプレートは上記のノズルボツクス内に
選択的に着脱自在に装着されて実質的にこのノズ
ルボツクスの内壁を構成し、上記の冷却機構によ
つてこのノズルボツクス内に供給された冷却ガス
は上記の装着されたノズルプレートのノズルオリ
フイスから上記の被熱処理物に向けて噴出され
る。

したがつて、被熱処理物の形状、寸法等に対応
して、この被熱処理物を均一に冷却するに最も適
したノズルオリフイスの配置パターンのノズルプ
レートを選択的に装着すれば、この被熱処理物を
最適の状態で冷却することができる。また、この
ノズルオリフイスの配列のパターンの変更は単に
ノズルプレートを交換するだけでよく、作業も簡
単で能率的である。また、冷却ガスの流れの流路
が単純で、この流路が絞られるのはノズルプレー
トの部分だけでよく、この冷却ガスの循環に要す
る動力も少なくてすむ。

〔実施例〕以下、図を参照して本発明の実施例を説明す
る。第１図ないし第４図には２個の室を備えた真
空炉を示し、この炉の加熱室２の後面側および冷
却室３の前面側の部分には水冷形の２重壁のハウ
ジング１が設けられている。この略円筒状のハウ
ジング１にはその前面側に回動自在または摺動自
在な水冷形の２重扉４が設けられ、この扉４を開
けてこの内に被熱処理物の挿入および取出しをお
こなう。また、この炉の後面側には２重壁の扉５
が回動自在に設けられ、この扉５を開閉すること
によつてハウジングを開閉し、分解、組立をおこ
なう、上記の冷却室３の下方には２重壁の水冷形
容器６が上記ハウジング１のフランジに接続され
ている。この容器６内は油浴槽に形成され、その
油面を７で示す。

また、上記の冷却室３の前面部に位置して、上
記のハウジング１には３個の径方向に延長された
フランジ付のフイツテイング８が設けられ、これ
らのフイツテイングは第２図に示すようにハウジ
ングの周囲を囲んで配置され、これらのフイツテ
イングにはそれぞれ２重壁の水冷形のドーム状の
キヤツプ９が取付けられ、フアン駆動機構１０を
覆つている。また、上記の加熱室２の断面形状は
矩形に形成され、鋼状の構成をなし、高品質のセ
ラミツク繊維材料および高純度の黒鉛フエルトか
らなる複数層の被覆が施されている。また、符号
１１で示す被熱処理物の両側および上方には大面
積の黒鉛加熱要素１２が配置されている。そし
て、これら黒鉛加熱要素１２がこの被熱処理物１
１を囲んで配置されていることによつて被熱処理
物が迅速かつ均一に加熱される。そして、各加熱
要素接続フランジ１４に取付けられた電極棒１３
を介してこれら黒鉛加熱要素１２に電流が供給さ
れる。

また、上記の加熱室２内には炉床１５が昇降自
在に設けられ、上記の被熱処理物１１はこの炉床
１５上に載置されている。冷却室３を区画するこ
の加熱室２の端壁には水平方向に移動自在な加熱
室扉１６が設けられている。

この加熱室２はその熱容量が最少となるように
構成され、また予め設定されたプログラムに従つ
て各種の熱処理ができるように構成されている。
このものは、単室形の炉と比較して、冷却ガスの
流量、流速その他の被熱処理物１１からの除熱の
条件は変らない。

また、上記の冷却室３は加熱室２に対して同心
または非同心に配列され、冷却機構１７を収容し
てりおり、この冷却機構１７は断面が略Ｕ字状に
形成されたトンネル状のノズルボツクス１８を備
え、第３図に示すように冷却すべき被熱処理物１
１ａの上方および両側を囲んでいる。また、この
ノズルボツクス１８の被熱処理物１１ａに面した
内面側にはそれぞれ対をなす案内溝１９が形成さ
れこれらの案内溝１９内にはノズルプレート２
０，２０ａまたは盲板２１が第５図ないし第１８
図に示す如く交換自在に選択的に挿入保持されて
いる。

また、このノズルボツクス１８の前端部には３
個のフアンハウジング２２が取付けられ、これら
のフアンハウジング内には高出力の送風フアン２
３が収容され、これらのフアンの回転軸にはそれ
ぞれ駆動モータ１０が接続されている。これらの
駆動モータ１０には気密の給電体２４を介して電
力が供給されるように構成されている。また、上
記各フアンハウジング２２の吸込み口の前方には
それぞれ熱交換器２５が設けられている。この熱
交換器２５には気密の供給口および排出口を介し
て冷却水が循環するように構成され、また同様に
ガス供給ダクト２６が設けられている。

この図示する実施例では、３個のフアンハウジ
ング２２が設けられ、これに対応して３個のフア
ンユニツト１０，２３が設けられている。なお、
このフアンハウジング２２は２個または１個のも
のであつてもよい。

また、前記の容器６内に形成された油浴槽は撹
拌機構２７によつて均一に撹拌されるように構成
され、この実施他の場合には必要に応じてこの撹
拌機構２７の撹拌速度を制御できるように構成さ
れている。また、この油浴槽内の真空焼入れ用の
油の温度は油浴槽温度計２８によつて検出され、
この油温を所定の温度に制御して所定温度に保持
できるように構成されている。

また、この容器６内には昇降プラツトホーム２
９が設けられ、被熱処理物１１ａを加熱室２から
冷却室３に送り、これをノズルボツクス（後に詳
述する）に対応した高さに保持し、またこの被熱
処理物１１ａをこの容器６内の焼入れ油内に浸漬
するように構成されている。なお、油焼入れをし
ない炉の場合には、この容器６およびこの油浴槽
は省略することができる。

また、前記扉４が開放された状態で、この２室
形真空炉内には被熱処理物が自動的に挿入され、
この被熱処理物１１は自動的に加熱室２内に移動
される。そして、この後、扉１６および扉４が閉
じられ、開口が閉塞される。そして、この真空炉
は排気される。

そして、まず始めにこの被熱処理物１１は加熱
室２内で予め設定されていた温度に加熱される。
この加熱工程の終わりに、この真空炉内には不活
性ガスが６バール程充填される。

次に、上記のフアン駆動モータ１０が回転され
る。そして、上記の加熱機構１２が停止され、被
熱処理物１１は冷却室３内に移動され、この内部
で１１ａで示す被熱処理物の位置に保持され、冷
却ガスによつて焼入れされる。

そして、上記のプラツトホーム２９が昇降動す
ることによつて、この被熱処理物１１は上方に配
置されたノズルプレート２０に対して所定の位置
に位置される。

また、この被熱処理物１１がこの加熱室２内で
の熱処理の後にさらに油焼入れをおこなう場合に
は、このプラツトホーム２９を下降させてこの被
熱処理物を油浴槽内に浸漬する。また、必要に応
じて、この油焼入れの前に不活性ガスによつて短
時間の予備冷却をおこなう。この２室形の真空炉
は自動的に制御される。これらの熱処理は予め設
定されている工程に従つて処理される。

また、前記のノズルボツクス１８はその内部の
冷却ガスの流速が低くなるように構成されてい
る。このように冷却ガスの流速が低いので、その
圧力損失が小さいとともに、これらのノズルプレ
ート２０，２０ａでの圧力が等しくなり、噴出す
る冷却ガスの流速が均一となり、被熱処理物１１
ａを均一に冷却することができる。

また、これらノズルプレート２０，２０ａは適
当に選択して交換でき、また必要に応じて盲板と
交換することもでき、この冷却室３内での焼入れ
の条件をこの被熱処理物１１ａの形状や構成に対
応して最適に設定することができる。このような
構成は第５図ないし第１８図に示されている。

第５図には、この被熱処理物１１ａが直径45
mm、長さ300mmのドリルまたはミーリングカツタ
等の細長円柱状のものである場合を示す。これら
の円柱状の被熱処理物３０は熱処理および焼入れ
の時間遅れを少なくするため、鉛直に立設された
状態に保持され、また熱処理基準面に均一に分散
して配置されている。この熱処理基準面は第６図
に示す如く、ノズルプレート２０の矩形の外形面
に対応している。そして、均一で確実なガス焼入
れをおこなうため、これらの被熱処理物１１ａの
上方に位置してこのノズルボツクス１８に水平に
ノズルプレート２０が取付けられ、またこの被熱
処理物１１ａの側方に位置して盲板２１が取付け
られている。このノズルプレート２０にはノズル
孔３５（第６図）がこの前面に均一に分散して形
成され、全部の被熱処理物３０に対して均一かつ
同時に冷却ガスが噴出されるように構成されてい
る。

また、被熱処理物１１ａからこれらのノズル孔
３５までの距離は昇降プラツトホーム２９を昇降
させることによつて調整する。この昇降ストロー
クを第５図に３２で示す。

また、第７図および第８図には全長を熱処理す
る必要のある被熱処理物を示す。

このように、この被熱処理物が円筒状の場合に
は、この被熱処理物からの周囲の冷却されている
壁への放射によつてこの被熱処理物が冷却される
ように、この被熱処理物３３は一本だけ装着す
る。この場合のように、第８図に示すノズルプレ
ート２０ａの基準面に対してこの被熱処理物の表
面積が小さい場合には、冷却ガスの流れをこの被
熱処理物３３の部分に集中させ、最大の冷却速度
を達成するようにする必要がある。このような必
要を満足させるには、上記のノズル孔３５の数を
減少させ、冷却ガスの噴出速度を大きくするは、
またはこれらノズル孔の数を変えずにその間隔
（第８図）を減少させてもよい。

そして、このような場合には、前記のノズルボ
ツクス１８にはノズルプレート２０ａが挿入され
ており、被熱処理物１１ａの上方に対応してこの
冷却室３内に突出した突出部４０が形成され、こ
の突出部４０にはノズル孔３５が形成されてい
る。したがつて、このノズルボツクス２０ａは満
状すなわち箱状に形成されている。このノズル孔
３５が形成されている部分の両側には補強部４１
が形成されている。

そして、第７図に符号３２で示すように、この
被熱処理物３３は昇降プラツトホーム２９によつ
て上記のノズル孔３５に近接するように移動さ
れ、これらノズル孔３５との間の距離が調整され
る。

そして、この場合には第８図に示すようにこれ
らノズル孔３５は同一の直径に形成され、等間隔
で矩形の範囲内に配列されている。

また、このノズルボツクス１８にはこの被熱処
理物３３の両側に対応して盲板２１が挿入され、
互に対向する冷却ガスの流れがこの被処理物の近
傍で衝突するのが防止され、この冷却ガスの流れ
はこの被熱処理物の近傍まで減少されることはな
い。

また、第９図および第１０図に示すように、こ
の被熱処理物が重くて複雑な形状すなわちまとま
つた形状をなしている場合、たとえばこの被熱処
理物の基準面に対して小さな突出した面を有する
フレーム等の場合には、このノズルプレート２０
（第１０図）は矩形の形状に形成される。そして、
このノズルボツクス１８の両側には盲板２１が挿
入され、冷却ガスの噴流はこの被熱処理物の端面
に衝突するとともにこの被熱処理物の外周や孔の
内面の円周面に平行に流れ、これらの流れが複合
して効率的な冷却を達成できる。また、第９図に
示す如く、このノズルプレート２０のノズルの配
列パターンはチエツカーボード状に配列され、８
角形状に配列されており、これらノズル孔３５の
間隔３６は互いに直交する２方向に対してそれぞ
れ互いに等間隔に配列されている。

また、この被熱処理物３３は，３２に示すよう
にこの冷却室３内の昇降プラツトホーム２９によ
つて上方のノズルプレート２０に近接し、このノ
ズルとの間の距離が調整される。

また、第１図および第１２図にはこの被熱処理
物１１ａが複数個の円筒状ポンチ３３である場合
を示す。この場合には、この被熱処理物３３の長
手方向の側面にはこの被熱処理物の端面に対向し
て盲板２１が挿入され、またこの被熱処理物の上
方に位置して第１２図のようなノズルパターンの
ノズルプレート２０が挿入されている。この場合
には、これらのノズル孔３５は各被熱処理物３３
を中心とした３個の矩形状の部分内に配列され、
これらの３個の部分はガス不透過性の帯状部３４
によつて別々に区画されている。これらの部分内
に配列されているノズル孔３５はチエツカーボー
ド状に配列され、これらのノズル孔の間隔は互に
直交する２方向に互に等しく形成されている。

そして、この被熱処理物３３は昇降プラツトホ
ーム２９によつて第１１図の３２に示すようにこ
のノズルプレート２０に接離するように構成され
ている。この場合には、この被熱処理物３３は第
１１図に破線で示すように上述の位置よりノズル
プレート２０から離れた位置で焼入れされる。

また、第１３図および第１４図には強力なガス
噴射冷却によつて被熱処理物１１ａを焼入れする
場合を示す。この場合の被熱処理物３３はたとえ
ば射出鋳造または他の加工鋳造で成形された板状
のものである。そして、この被熱処理物３３の上
方には盲板２１が挿入され、またこの直立した被
熱処理物３３の両側にはこれと平行に第１３図に
示すようなノズルプレート２０ａが挿入され、こ
れらノズルプレート２０ａにはこの冷却室３内に
突出した突出部４０が形成され、この突出部には
ノズル孔３５が形成され、これらノズル孔はこの
被熱処理物の側面に近接している。

この被熱処理物はこの真空炉内の加熱室２内の
高温部に立設して保持され、この熱処理の遅れが
ないように構成されている。また、この冷却室内
では、この被熱処理物に近接して立設された上記
の箱状のノズルプレート２０ａに第１４図に示す
ようなパターンで縦方向および水平方向に等間隔
に設けられたノズル孔３５から噴出する冷却ガス
によつてこの被熱処理物が効率的に冷却される。
これらのノズル孔３５はこの被熱処理物の側面の
全面に対応して互に直交する２方向に対して等間
隔に配列され、この被熱処理物を均一かつ同時に
冷却する。

また、第１５図および第１６図にはプレン成形
した板状の被熱処理物３３をこの冷却室３内で第
１３図に示したものと同様に焼入れする場合のも
のである。そして、この場合にはノズルボツクス
の上方には盲板２１が挿入され、また両側には一
対の箱状のノズルプレート２０ａが挿入されてい
る。

そして、冷却を効果的にするために、ノズルプ
レート２０ａのノズル孔の配列パターンはこの被
熱処理物の側面に対応して特別に設定されてい
る。すなわち、図示するように、これらのノズル
孔３５は横方向および高さ方向に互に等しい間隔
３６で配列され、またこの被熱処理物の側面に対
応した矩形の部分に形成され、この他の部分はガ
スが透過しないように構成されている。このもの
は、小範囲にわたつてノズル孔３５が形成され、
このノズル孔の数が少なく、これらノズル孔から
の冷却ガスの噴出速度が速い。また、このノズル
プレート２０ａは箱状に形成されているので、こ
れらノズル孔３５とこの被熱処理物との距離が最
適に設定される。したがつて、この被熱処理物に
噴出される冷却ガスによつてこの被熱処理物が効
率的に冷却される。

また、第１７図および第１８図には被熱処理物
を比較的冷却速度の遅い臨界冷却速度で冷却する
場合のもので、肉厚の薄い被熱処理物をその表面
に平行な流れによつて冷却するものである。この
場合には、３個の被熱処理物３３の上方にノズル
プレート２０を挿入し、また両側には盲板２１を
挿入する。

また、第１７図に示すように、ノズル孔３５に
はこの被熱処理物３３に対応した矩形の部分内に
配置され、この他の部分はガス不透過性部３１に
形成されている。また、３２に示すように、この
被熱処理物は昇降プラツトホーム２９によつてこ
のノズルプレート２０との距離を調整できるよう
に構成されている。

上述のノズル孔３５は、単なる開口だけのもの
でもよく、また必要な場合、たとえばガスの流速
が速い場合には直管状または拡径した管を挿入し
てカラーを形成したものでもよい。また、図示し
たような円形のノズル孔は適応範囲が広く、また
このノズルプレートを製造する場合に経済的であ
る。

また、上述したような図示の実施例では同じ直
径のノズル孔３５をノズルプレート２０，２０ａ
に異なる配列で配置したものである。しかし、こ
れらのノズル孔３５の直径を部分的に変えたり、
またスロツト状等の異なる形状に形成してもよ
い。また、上記の冷却室３内に突出する部分４０
をこのノズルプレート２０ａに形成したが、この
部分４０を逆に後退させてこの冷却室内の有効空
間を大きくしてもよい。また、場合によつてはこ
の被熱処理物の基礎面にもノズルプレートを設
け、下方からこの被熱処理物に冷却ガスを噴出す
るように構成してもよい。

また、送風機を駆動するモータ１０を調整自在
とし、冷却室３内への冷却ガスの噴出速度を調整
するようにしてもよい。また、この冷却ガスの圧
力は絶対圧で約２バールに設定される。もちろ
ん、この圧力は必要に応じてこれより高くてもよ
い。

本発明の工業用炉は、従来の真空炉と同様に高
圧ガスによつて冷却室３内で冷却をおこなうこと
ができる。従来の真空炉（単室形炉）ではこの冷
却ガスの圧力はとえば絶対圧で５バールである
が、本発明の炉では絶対圧で２バールの圧力で同
様な冷却をおこなうことができる。このように、
冷却ガスの圧力が低くなると、熱処理に使用され
る冷却ガス（たとえば窒素）の消費量を節約で
き、コストを低減させることができる。また、こ
のように使用する冷却ガスの圧力が低いと、この
炉装置の製造コストや据付けのコストが節約で
き、また高圧ガスを使用する装置に対する特別の
許可や検査が不要になる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の真空炉を軸方向に切断した側
面図、第２図は第１図の−線に沿う断面図、
第３図は第１図の−線に沿う断面図、第４図
は第１図の−線に沿う断面図、第５図は第３
図に示す真空炉のノズルボツクスの概略的な側面
図、第６図は第５図のノズルボツクスの平面図、
第７図は別のノズルプレートを配置した第５図に
対応する図、第８図は第７図に示すノズルプレー
トの平面図、第９図はノズルプレートの別の配置
を示す第７図に対応した図、第１０図は第９図の
ノズルプレートの平面図、第１１図は別のノズル
プレートの配置を示す第５図に対応した図、第１
２図は第１１図のノズルプレートの平面図、第１
３図は別のノズルプレートの配置を示す第５図に
対応した図、第１４図は第１３図に示すノズルプ
レートの平面図、第１５図は別のノズルプレート
の配置を示す第５図に対応した図、第１６図は第
１５図のノズルプレートの平面図、第１７図は別
のノズルプレートの配置を示す第５図に対応した
図、第１８図は第１７図のノズルプレートの平面
図である。２…加熱室、３…冷却室、６…容器、１１…被
熱処理物、１７…冷却機構、１８…ノズルボツク
ス、２０，２０ａ…ノズルプレート、２９…昇降
プラツトホーム。

Claims

【特許請求の範囲】１金属被熱処理物を熱処理する工業用の真空炉
であつて、少なくとも上記の被熱処理物を加熱す
る加熱室と、循環する冷却ガスによつて焼入れま
たは冷却あるいはこれらの両方をなす冷却室を備
え、上記の冷却ガスから熱を除去するためにこの
冷却ガスを熱交換器を介して循環させる冷却機構
１７を備えたものにおいて：上記の冷却室３内にはノズルボツクス１８が設
けられ、このノズルボツクスは中空の断面Ｕ字状
をなし、上記の金属被熱処理物１１ａの両側およ
び上方を囲むような形状に形成され；上記の冷却機構１７は上記のノズルボツクス１
８内に冷却ガスを供給するように構成され；また、複数のノズルプレート２０，２０ａを備
え、こられのノズルプレートには上記の被熱処理
物の種類に対応して所定の配置で配列された所定
の径の複数のノズルオリフイス３５が形成されて
おり；上記のノズルプレート２０，２０ａは上記のノ
ズルボツクス１８内に選択的に着脱自在に装着さ
れて実質的にこのノズルボツクスの内壁を構成
し、上記の冷却機構１７によつてこの中空のノズ
ルボツクス１８内に供給された冷却ガスは上記の
装着されたノズルプレートのノズルオリフイスか
ら上記の被熱処理物１１ａに向けて噴出されるこ
とを特徴とする工業用真空炉。２前記のノズルボツクス１８には前記のノズル
プレート２０，２０ａを摺動自在に保持する摺動
ガイドが設けられていることを特徴とする前記特
許請求の範囲第１項記載の工業用真空炉。３前記のノズルボツクス１８にはその両側面に
それぞれ前記のノズルプレート２０，２０ａが装
着され、またその上面にノズルオリフイスが形成
されていない盲板２１が装着されることを特徴と
する前記特許請求の範囲第１項記載の工業用真空
炉。４前記のノズルボツクスの下方には昇降プラツ
トホーム２９が設けられ、前記の被熱処理物１１
ａはこの昇降プラツトホーム上に載置され、この
昇降プラツトホーム２９が昇降することによつて
この上に載置された被熱処理物と上記のノズルボ
ツクスに装着されたノズルプレート２０，２０ａ
との距離が調整され、この被熱処理物１１ａと前
記のノズルオリフイス３５との距離が調整される
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の工
業用真空炉。５前記のノズルボツクス１８の下方には副室が
形成され、この副室内には油焼入れ用の油浴槽が
収容され、前記の昇降プラツトホーム２９上に載
置された被熱処理物１１ａはこの昇降プラツトホ
ームの昇降によつて上記の油浴槽内に浸漬される
ことを特徴とする前記特許請求の範囲第４項記載
の工業用真空炉。