JPH0549743U - 縦型搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被搬送体を駆動輪とガイド輪とで挾んで搬送
するにあたり、駆動輪、ガイド輪の取り付け精度が良く
ない場合でも、正しく被搬送体を搬送可能とすることを
目的とする。 【構成】 ガイド輪を二分割して一対の分割ガイド輪部
を構成し、両分割ガイド輪部を弾力的に押し合うように
して回転軸に取り付ける。被搬送体が位置ずれを起こし
て搬送されてきた場合、被搬送体が両分割ガイド輪部に
押し入ることによって、位置ずれを吸収するようにす
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は被搬送体を垂直に保持した状態で搬送する縦型搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般にこの種搬送装置は、下部に駆動輪を、上方にガイド輪を一定の間隔を置 いて多数設置し、両輪によって被搬送体を挾持するようにして搬送する構成とさ れている。

【０００３】 図４はその構成を示すもので、１は駆動輪で、その複数が下部枠２に設置され てあり、ギャ、チエンなどによって連動して駆動源によって駆動されるようにし てある。３はガイド輪で、同じくその複数が上部枠４に回転自在に設置されてあ る。両輪１、３の間隔を、被搬送体５の高さに応じた一定の間隔に保持するため に、両枠２、４間は支柱６によって保持されている。被搬送体５はその上下縁が 両輪１、３に挾持されるようにして搬送される。

【０００４】 このような従来構成においては、両輪１、３間の間隔が、被搬送体５の高さよ りも狭いと、被搬送体５が両輪１、３間を通過することができないし、また前記 間隔が被搬送体５の高さよりもあまりに広すぎると、被搬送体５が傾いて搬送さ れるようになる。したがって両輪１、３は被搬送体５の高さよりもごく僅かだけ 広くなるようにその間隔が維持されていることが要求される。実際にはその間隔 を精度良く維持することは比較的容易である。

【０００５】 ところで被搬送体５が、イオン注入処理されるような半導体基板Ｐを取り付け たホルダーであるような場合、その被搬送体５を大気側と真空側とにまたがって 搬送することがある。そのような場合は大気側と真空側との間にゲート弁が設置 される。

【０００６】 図４はその場合の構成を示し、大気側と真空側とのうちの一方に第１の搬送装 置７を、また他方に第２の搬送装置８を用意するとともに、両装置７、８との間 にゲート弁９が設置される。このような場合、第１の搬送装置７と第２の搬送装 置８とは機械的に分離されているので、被搬送体５は両装置７、８間にまたがっ て正しく搬送されなければならない。そのために各搬送装置７、８の各駆動輪１ ならびにガイド輪３は一直線上に沿って位置されている必要がある。

【０００７】 ところで従来のガイド輪３は図５に示すような構成が使用されていた。同図か ら理解されるように、ガイド輪３は中央に、被搬送体５の上縁を支持する溝１０ が形成された構成とされてあり、その回転軸１１は、上部枠４に設けてある軸受 １２によって回転自在に支持されている。

【０００８】 このような構成のガイド輪３を使用した場合、もし両搬送装置７、８の駆動輪 １なり、ガイド輪３なりの取り付け精度が悪く、各輪１、３が一直線上になかっ たとすると、被搬送体５が一方から他方の搬送装置に乗り移った際、たとえば被 搬送体５が正しく駆動輪１の上に乗らずに、位置がずれて乗ってしまうことがあ る。

【０００９】 そのような場合は、それだけ被搬送体５の高さ位置が正常な位置よりも高くな ってしまうため、被搬送体５は駆動輪１とガイド輪３とに正しく挾まれることが できず、したがって両輪１、３間を通過することができなくなってしまうことが ある。

【００１０】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は、搬送装置の駆動輪なり、ガイド輪なりの取り付け精度が高くない場 合でも、被搬送体が両輪間を正しく通過できるようにすることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】

本考案は、ガイド輪を二分割し、一対の分割ガイド輪部によって構成し、各分 割ガイド輪部を弾力によって互いに押しつけられるようにして互いに向かい合わ せて回転軸に取り付けるようにしたことを特徴とする。

【００１２】

【作用】

被搬送体が正しく駆動輪上に乗らずに送られてきたとすると、その被搬送体を 介してガイド輪に押し上げ力が作用する。この押し上げ力によって分割ガイド輪 部がこれに作用している弾力に抗して押し広げられ、その押し広げられた空間に 被搬送体の上縁が割込む。これによって被搬送体の位置ずれは吸収され、駆動輪 とガイド輪との間を通過できるようになる。このような通過状態の初期には被搬 送体に少々の無理な力が作用するが、搬送が継続していけば、次第にその位置が 矯正され、両輪間に正しく挾まれていくようになる。

【００１３】

【実施例】

本考案の実施例を図によって説明する。なお図５と同じ符号を付した部分は同 一または対応する部分を示す。本考案にしたがい、ガイド輪３を二分割する。３ １および３２はその分割ガイド輪部である。各分割ガイド輪部３１、３２は互い に向かいあうようにして回転軸１１に取り付けられる。

【００１４】 両分割ガイド輪部３１、３２と回転軸１１に固定されている止め輪１３との間 にスプリング１４が設置されてあり、各分割ガイド輪部３１、３２はその背面か ら弾力的に互いに押し合うようにされている。ただし回転軸１１にはストッパー １５が設けてあり、これによって各分割ガイド輪部３１、３２は弾力が作用して も、定位置に保持される。

【００１５】 両分割ガイド輪部３１、３２が向かい合うとき、被搬送体５の上縁を支持する 溝１０が形成される。駆動輪１の回転軸１６は下部枠２に軸受１７を介して支持 されている。駆動輪１とガイド輪３との間隔は、被搬送体５の高さよりも僅かだ け狭く設定されてある。

【００１６】 被搬送体５が正しく駆動輪１とガイド輪３との間に送り込まれてきた場合は、 図２に示すように両分割ガイド輪部３１、３２間に僅かに入り込む。この状態で 被搬送体５は搬送されていく。

【００１７】 ここで被搬送体５の下縁が駆動輪１に乗り上がるような位置ずれを起こした状 態で送り込まれてきたとすると、その上縁が図３に示すように両分割ガイド輪部 ３１、３２の間にスプリング１４による弾力に抗して深く入り込む。この入り込 みによつて被搬送体５には無理な力が大きく作用されることなく、両輪１、３に よって搬送されていくようになる。この搬送状態はそれほど長く継続されること はなく、その後次第にその位置が矯正される。

【００１８】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、被搬送体を上下にある駆動輪とガイド輪 との間に挾んで搬送するにあたり、駆動輪なり、ガイド輪なりの取り付け精度が 高くない場合でも、被搬送体を両輪間に正しく通過させることができる効果を奏 する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す断面図である。

【図２】被搬送体が正しく送り込まれた場合のガイド輪
部分における正面図である。

【図３】被搬送体が位置ずれを起こして送り込まれた場
合のガイド輪部分における正面図である。

【図４】搬送装置の正面図である。

【図５】従来のガイド輪の断面図である。

【符号の説明】

１ 駆動輪 ３ ガイド輪 ５ 被搬送体 １１ 回転軸 １３ 止め輪 １４ スプリング １５ ストッパー ３１ 分割ガイド輪部 ３２ 分割ガイド輪部

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 上下に駆動輪とガイド輪とを設け、前記
   駆動輪とガイド輪とによって被搬送体を挾持することに
   よって前記被搬送体を搬送する縦型搬送装置において、
   前記ガイド輪を二分割して一対の分割ガイド輪部によっ
   て構成し、各分割ガイド輪部をストッパーを挾んで弾力
   的に押しつけられるようにして互いに向かい合わせて回
   転軸に取り付けるとともに、前記駆動輪とガイド輪との
   間隔を前記被搬送体の高さよりも僅かに狭くしてなる縦
   型搬送装置。