JPH0549930B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0549930B2 JPH0549930B2 JP56138154A JP13815481A JPH0549930B2 JP H0549930 B2 JPH0549930 B2 JP H0549930B2 JP 56138154 A JP56138154 A JP 56138154A JP 13815481 A JP13815481 A JP 13815481A JP H0549930 B2 JPH0549930 B2 JP H0549930B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical sensor
- sample
- amount
- aperture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/42—Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、光センサ全般、即ちCCDイメージ
センサ、MOSイメージセンサ、フオトダイオー
ド、フオトマルチプライヤ等の分光感度測定を短
時間にかつ自動的に行う装置に関する。
センサ、MOSイメージセンサ、フオトダイオー
ド、フオトマルチプライヤ等の分光感度測定を短
時間にかつ自動的に行う装置に関する。
従来、光センサの分光感度測定は、例えばモノ
クロメータの光を、測定サンプルにあててのその
出力を読み、かつ測定サンプルの光量を、別のあ
らかじめ較正されたパワーメータによつて測定す
ることによつて、その出力／光量から求め、波長
を変えて、上記操作を繰り返すことにより行うの
が常であつた。
クロメータの光を、測定サンプルにあててのその
出力を読み、かつ測定サンプルの光量を、別のあ
らかじめ較正されたパワーメータによつて測定す
ることによつて、その出力／光量から求め、波長
を変えて、上記操作を繰り返すことにより行うの
が常であつた。
このような方法においては、第１に測定系と、
光源及び周囲との充分な遮光が必要であり、サン
プルの出力値、光量値を読むのに注意を要した。
第２にサンプルと光量測定パワーメータを交互に
入れかえる必要があり、再現性が低下すると共
に、測定時間が長くなる。第３に受光面積の大き
いものはよいが、例えばCCD、MOS等リニアイ
メージセンサ等のように、10〜数10μmの幅で数
mm〜数10mmにわたり１列に並んでいるようなセン
サにおいては、上記方法においては、正確に受光
面に光を入射することが困難で、その精度及び再
現性において信頼性が損われるという欠点があ
る。
光源及び周囲との充分な遮光が必要であり、サン
プルの出力値、光量値を読むのに注意を要した。
第２にサンプルと光量測定パワーメータを交互に
入れかえる必要があり、再現性が低下すると共
に、測定時間が長くなる。第３に受光面積の大き
いものはよいが、例えばCCD、MOS等リニアイ
メージセンサ等のように、10〜数10μmの幅で数
mm〜数10mmにわたり１列に並んでいるようなセン
サにおいては、上記方法においては、正確に受光
面に光を入射することが困難で、その精度及び再
現性において信頼性が損われるという欠点があ
る。
本発明は上記の欠点を除去すると共に光センサ
の分光感度特性を測定を簡単な構成で、しかも、
短時間に高精度で行うことを可能とした光センサ
分光感度測定装置の提供を目的としている。
の分光感度特性を測定を簡単な構成で、しかも、
短時間に高精度で行うことを可能とした光センサ
分光感度測定装置の提供を目的としている。
以下、図面によつて本発明の具体的実施例を詳
細に説明する。
細に説明する。
第１図は、本発明の基本構成である。１は例え
ばハロゲンランプなどの光源、２は分光装置で、
モノクロメータあるいは干渉フイルタを用いるこ
とが出来る。３は形状可変アパーチヤ、４は光路
シヤツタ、５は光量調節器、６は形状可変アパー
チヤ３をサンプル及び光量検出器に投影するため
の投影レンズ、７はハーフミラー、８は光量検出
器、９は被測定サンプル、１０は細〓、１１は対
物レンズである。
ばハロゲンランプなどの光源、２は分光装置で、
モノクロメータあるいは干渉フイルタを用いるこ
とが出来る。３は形状可変アパーチヤ、４は光路
シヤツタ、５は光量調節器、６は形状可変アパー
チヤ３をサンプル及び光量検出器に投影するため
の投影レンズ、７はハーフミラー、８は光量検出
器、９は被測定サンプル、１０は細〓、１１は対
物レンズである。
光源１から出射した光は分光装置２によつて任
意の波長の光のみとり出され、形状可変アパーチ
ヤ３に入射する。アパーチヤの形状可変方法とし
ては、２つの幅可変出射スリツトを互に直角に設
けて、夫々のスリツト幅を変えることにより、矩
形のアパーチヤの寸法を変える。あるいは、測定
サンプルが丸型の場合にはカメラ等に用いる絞り
を用いることも可能である。又いろいろな形、大
きさの穴をあけた板を機種類も準備してセンサ形
状に合わせて用いる等がある。
意の波長の光のみとり出され、形状可変アパーチ
ヤ３に入射する。アパーチヤの形状可変方法とし
ては、２つの幅可変出射スリツトを互に直角に設
けて、夫々のスリツト幅を変えることにより、矩
形のアパーチヤの寸法を変える。あるいは、測定
サンプルが丸型の場合にはカメラ等に用いる絞り
を用いることも可能である。又いろいろな形、大
きさの穴をあけた板を機種類も準備してセンサ形
状に合わせて用いる等がある。
以上のように単独あるいは複数の方法は組み合
わせてアパーチヤ形状を変えることができる。ア
パーチヤ３の形状はレンズ６によつて光量検出器
８及び被測定サンプル９に投影される。光量検出
器８、被測定サンプル９の出力値が飽和すること
なく、かつ精度を上げるため光量が過少にならな
いように調節するために光量調節器５が設けら
れ、光量調節器５は例えばカメラに用いる絞り、
あるいはNDフイルタを幾種類か円板にとりつけ
て切換えて用いる。光量調節器５に光を完全に遮
光する機能を設けておけば、光路シヤツタ４を別
に設ける必要はない。光量調節は又光源に供給す
る電圧を調節することによつても可能である。カ
メラ用レンズのように絞りの組み込まれたレンズ
を用いれば、焦点の合つたアパーチヤ像が光量検
出器８、被測定サンプル９に結ばれる。光量検出
器８としてはフオトダイオード、フオトマルチプ
ライヤ等を用いることが可能であるが、ハーフミ
ラーは広範囲の波長にわたり完全に反射率／透過
率を１にすることが出来ないので、あらかじめ各
測定波長で反射率／透過率の比を求めておいて、
光量検出器に各波長毎に乗算して補正して受光面
の真の光量を求めることが必要である。
わせてアパーチヤ形状を変えることができる。ア
パーチヤ３の形状はレンズ６によつて光量検出器
８及び被測定サンプル９に投影される。光量検出
器８、被測定サンプル９の出力値が飽和すること
なく、かつ精度を上げるため光量が過少にならな
いように調節するために光量調節器５が設けら
れ、光量調節器５は例えばカメラに用いる絞り、
あるいはNDフイルタを幾種類か円板にとりつけ
て切換えて用いる。光量調節器５に光を完全に遮
光する機能を設けておけば、光路シヤツタ４を別
に設ける必要はない。光量調節は又光源に供給す
る電圧を調節することによつても可能である。カ
メラ用レンズのように絞りの組み込まれたレンズ
を用いれば、焦点の合つたアパーチヤ像が光量検
出器８、被測定サンプル９に結ばれる。光量検出
器８としてはフオトダイオード、フオトマルチプ
ライヤ等を用いることが可能であるが、ハーフミ
ラーは広範囲の波長にわたり完全に反射率／透過
率を１にすることが出来ないので、あらかじめ各
測定波長で反射率／透過率の比を求めておいて、
光量検出器に各波長毎に乗算して補正して受光面
の真の光量を求めることが必要である。
測定手順としては、光路シヤツタ４により、光
路を閉じて暗状態の光量検出器８、サンプル９の
出力を求め、次いで光路を開き、各波長毎に、光
量を調節しつつ、サンプルの出力、光量検出器の
出力を求め、暗状態時の出力を差し引いて、かつ
光量検出器８の出力にサンプル面光量を求める補
正係数を乗算することによつて、サンプル面光量
を求め、サンプル出力／光量から分光感度を求め
ていく。各波長毎にこの手順を繰り返す。
路を閉じて暗状態の光量検出器８、サンプル９の
出力を求め、次いで光路を開き、各波長毎に、光
量を調節しつつ、サンプルの出力、光量検出器の
出力を求め、暗状態時の出力を差し引いて、かつ
光量検出器８の出力にサンプル面光量を求める補
正係数を乗算することによつて、サンプル面光量
を求め、サンプル出力／光量から分光感度を求め
ていく。各波長毎にこの手順を繰り返す。
サンプルが比較的大きい場合は、細〓１０、対
物レンズ１１は光軸よりはずしておく。なお光量
検出器８、被測定サンプル９の位置は逆であつて
も何ら差支えない。
物レンズ１１は光軸よりはずしておく。なお光量
検出器８、被測定サンプル９の位置は逆であつて
も何ら差支えない。
第２図は第１図において光学系部分のみを抜き
出した図であり、投影レンズ６によつて光量検出
器８、サンプル９上に結ばれたアパーチヤ３の像
を斜線を施して示している。このように被測定サ
ンプルの受光面が大きい場合は拡大投影をする。
出した図であり、投影レンズ６によつて光量検出
器８、サンプル９上に結ばれたアパーチヤ３の像
を斜線を施して示している。このように被測定サ
ンプルの受光面が大きい場合は拡大投影をする。
次に被測定サンプルがリニアイメージセンサの
ように、例えば幅10〜数10μm、長さ数mm〜数10
mmのセンサの場合には、第１図に示す系ではアパ
ーチヤの投影像が大き過ぎて、受光面よりはるか
にはみ出してしまい、測定が出来ない。この時
は、細〓１０及び、対物レンズ１１を光軸上に入
れて、細〓の縮小像をサンプル上に結ぶことによ
つて、サンプルの受光面内に光を当てることが出
来る。同時に、細〓を通過した光の一部は光量検
出器に入射し、光量を測定することが出来る。こ
の時は、対物レンズ１１が入ることにより、レン
ズの吸収分だけ光量が減るので、光量検出器から
被測定サンプルに入射する光の真の光量を計算す
るためには、第１図に示した場合のハーフミラー
の反射率／透過率の比に加えて、対物レンズの各
波長における吸収率も考慮した係数を各測定波長
毎に乗算すればよい。
ように、例えば幅10〜数10μm、長さ数mm〜数10
mmのセンサの場合には、第１図に示す系ではアパ
ーチヤの投影像が大き過ぎて、受光面よりはるか
にはみ出してしまい、測定が出来ない。この時
は、細〓１０及び、対物レンズ１１を光軸上に入
れて、細〓の縮小像をサンプル上に結ぶことによ
つて、サンプルの受光面内に光を当てることが出
来る。同時に、細〓を通過した光の一部は光量検
出器に入射し、光量を測定することが出来る。こ
の時は、対物レンズ１１が入ることにより、レン
ズの吸収分だけ光量が減るので、光量検出器から
被測定サンプルに入射する光の真の光量を計算す
るためには、第１図に示した場合のハーフミラー
の反射率／透過率の比に加えて、対物レンズの各
波長における吸収率も考慮した係数を各測定波長
毎に乗算すればよい。
また、この系では測定サンプルの受光面が微小
であるから、第３図１２に示すような接眼レンズ
を用いて、受光面内に確実に細〓像が収まつてい
ることを確認することによつて精度を向上させる
ことが出来る。さらに細〓１０が光軸に入るのに
連動して、対物レンズ１１が光軸上に入るような
機構にし、１度光軸上に入つたら細〓のみは独立
に多少の移動及び、光軸に直角に回転可能な機構
にすることにより被測定サンプルの形状、傾き等
に合わせて、細〓の位置、角度を調節することが
可能で使い易いものとなる。
であるから、第３図１２に示すような接眼レンズ
を用いて、受光面内に確実に細〓像が収まつてい
ることを確認することによつて精度を向上させる
ことが出来る。さらに細〓１０が光軸に入るのに
連動して、対物レンズ１１が光軸上に入るような
機構にし、１度光軸上に入つたら細〓のみは独立
に多少の移動及び、光軸に直角に回転可能な機構
にすることにより被測定サンプルの形状、傾き等
に合わせて、細〓の位置、角度を調節することが
可能で使い易いものとなる。
第４図に第３図に示した系の光学系のみを示
す。細〓１０は対物レンズ１１によつて縮小像を
被測定サンプル９上に結ぶ。一方、光量検出器８
の方には、対物レンズはなく、従つて形状可変ア
パーチヤの細〓１０によつて光量の絞られた像が
結ばれている。従つて、この場合もアパーチヤは
その像が光量検出器の受光面をはみ出ない大きさ
に調節しておく。又、測定サンプル９が、９′の
ように例えば直角になつている時は、細〓１０は
同じように回転して１０′のようにすることによ
り、容易に測定サンプルの受光面状態に対応出来
るし、又細〓１０が対物レンズ１１に対して、独
立に移動させることが可能であることにより、被
測定サンプルの位置に容易に対応出来ることは明
らかである。更に、コンピユータ等を用いて自動
化することによつて一層短時間に測定を可能とす
ることが容易である。第５図はコンピユータ１３
によつて、自動測定を行う場合の系を示してい
る。コンピユータで制御するのは、分光装置２、
光路シヤツタ４、光量調節器５、細〓１０の移動
とそれに連動した対物レンズ１１であり、又測定
サンプル９及び、光量検出器８の出力をＡ／Ｄコ
ンバータ１４によつて夫々の値をコンピユータ１
３に取り込む。分光装置としてモノクロメータを
用いる場合は、例えばグレーデイングの角度をモ
ータで変える、又干渉フイルタの場合には、いく
つもの干渉フイルタを円板に組み込んでおいて、
モータで円板を回転させて波長を選択する。光量
調節器５は、測定サンプル９、光量検出器８から
の出力をみて光量が大きい時は絞るようにし、又
過少の場合は光量を増すように調節する。又コン
ピユータにあらかじめ、光量検出器８の出力から
演算して測定サンプル９の真の光量を算するため
の係数を記憶させておけば、直ちに演算してその
結果を、図示していないが、XYプロツタ上に図
示又はプリンタに数値を打出すことは容易であ
る。ここでＡ／Ｄ変換は、コンピユータ１３から
の指令で入力を切換えて測定サンプルの出力、光
量検出器の出力をコンピユータにとり込むように
なつているが２つのＡ／Ｄ変換器を用いてもよ
い。
す。細〓１０は対物レンズ１１によつて縮小像を
被測定サンプル９上に結ぶ。一方、光量検出器８
の方には、対物レンズはなく、従つて形状可変ア
パーチヤの細〓１０によつて光量の絞られた像が
結ばれている。従つて、この場合もアパーチヤは
その像が光量検出器の受光面をはみ出ない大きさ
に調節しておく。又、測定サンプル９が、９′の
ように例えば直角になつている時は、細〓１０は
同じように回転して１０′のようにすることによ
り、容易に測定サンプルの受光面状態に対応出来
るし、又細〓１０が対物レンズ１１に対して、独
立に移動させることが可能であることにより、被
測定サンプルの位置に容易に対応出来ることは明
らかである。更に、コンピユータ等を用いて自動
化することによつて一層短時間に測定を可能とす
ることが容易である。第５図はコンピユータ１３
によつて、自動測定を行う場合の系を示してい
る。コンピユータで制御するのは、分光装置２、
光路シヤツタ４、光量調節器５、細〓１０の移動
とそれに連動した対物レンズ１１であり、又測定
サンプル９及び、光量検出器８の出力をＡ／Ｄコ
ンバータ１４によつて夫々の値をコンピユータ１
３に取り込む。分光装置としてモノクロメータを
用いる場合は、例えばグレーデイングの角度をモ
ータで変える、又干渉フイルタの場合には、いく
つもの干渉フイルタを円板に組み込んでおいて、
モータで円板を回転させて波長を選択する。光量
調節器５は、測定サンプル９、光量検出器８から
の出力をみて光量が大きい時は絞るようにし、又
過少の場合は光量を増すように調節する。又コン
ピユータにあらかじめ、光量検出器８の出力から
演算して測定サンプル９の真の光量を算するため
の係数を記憶させておけば、直ちに演算してその
結果を、図示していないが、XYプロツタ上に図
示又はプリンタに数値を打出すことは容易であ
る。ここでＡ／Ｄ変換は、コンピユータ１３から
の指令で入力を切換えて測定サンプルの出力、光
量検出器の出力をコンピユータにとり込むように
なつているが２つのＡ／Ｄ変換器を用いてもよ
い。
又、光量調節は絞りあるいはNDフイルタのつ
いた円板をモータで駆動して行うが、特にコンピ
ユータを用いる場合などは、光源に供給する電源
の電圧を調節するのが便利である。第６図は、こ
の関係を示す図であり、この時は光量調節器４は
省略し、電源電圧調整器１５を光量調節器として
用いる。特に近頃はコンピユータによる制御を目
的としたGP−IBバスをもつた電源等が存在する
ので、これらを用いれば更にシステムの構成がよ
り容易となる。
いた円板をモータで駆動して行うが、特にコンピ
ユータを用いる場合などは、光源に供給する電源
の電圧を調節するのが便利である。第６図は、こ
の関係を示す図であり、この時は光量調節器４は
省略し、電源電圧調整器１５を光量調節器として
用いる。特に近頃はコンピユータによる制御を目
的としたGP−IBバスをもつた電源等が存在する
ので、これらを用いれば更にシステムの構成がよ
り容易となる。
以上の様に、本願発明は波長の異なる光を発生
する発生手段、前記波長の異なる光を第一及び第
二方向に分割してその内の第一方向の光を分光感
度を測定すべき光センサに照射するための分割手
段、前記分割手段より分割された第二方向の光の
光量を検出する光量検出器、前記分割手段により
分割された第一方向の光が前記光センサの受光面
からはみ出ないようにするべく前記分割手段より
も前記発生手段側に配置された制限手段を有し、
前記光サンサの出力と前記光量検出器の出力とに
より光センサの分光感度を測定する。
する発生手段、前記波長の異なる光を第一及び第
二方向に分割してその内の第一方向の光を分光感
度を測定すべき光センサに照射するための分割手
段、前記分割手段より分割された第二方向の光の
光量を検出する光量検出器、前記分割手段により
分割された第一方向の光が前記光センサの受光面
からはみ出ないようにするべく前記分割手段より
も前記発生手段側に配置された制限手段を有し、
前記光サンサの出力と前記光量検出器の出力とに
より光センサの分光感度を測定する。
以上の如き構成により、光量検出器と光センサ
両方の出力を同時に検出できるので、短時間で分
光感度測定が可能となる。しかも同一の光発生手
段からの光を同時に検出しているので高精度の測
定ができ、しかもハーフミラー等の分割手段を設
けるだけでよいので構成が簡略化されるものであ
る。またこの光センサの受光面から光がはみ出な
い様にした制限手段によつて受光面からはみ出た
光量分による感度測定誤差の発生を防止している
ので、より高精度な測定が可能である。更にはこ
の制限手段が分割手段よりも発生手段側に配置さ
れていることにより、この制限手段が測定用光束
に与える例えば回折や光量ロス等の影響が光セン
サと光量検出器のそれぞれに向かう光束いずれに
も同様に出る様にし、光センサと光量検出器の両
方の出力から測定結果を得た時に該影響が相殺で
きる様にしているので、更により高精度な測定が
可能となる。すなわち本願発明は光センサの分光
感度を測定する際に、従来のものに比較して非常
に高精度な測定を可能とするものである。
両方の出力を同時に検出できるので、短時間で分
光感度測定が可能となる。しかも同一の光発生手
段からの光を同時に検出しているので高精度の測
定ができ、しかもハーフミラー等の分割手段を設
けるだけでよいので構成が簡略化されるものであ
る。またこの光センサの受光面から光がはみ出な
い様にした制限手段によつて受光面からはみ出た
光量分による感度測定誤差の発生を防止している
ので、より高精度な測定が可能である。更にはこ
の制限手段が分割手段よりも発生手段側に配置さ
れていることにより、この制限手段が測定用光束
に与える例えば回折や光量ロス等の影響が光セン
サと光量検出器のそれぞれに向かう光束いずれに
も同様に出る様にし、光センサと光量検出器の両
方の出力から測定結果を得た時に該影響が相殺で
きる様にしているので、更により高精度な測定が
可能となる。すなわち本願発明は光センサの分光
感度を測定する際に、従来のものに比較して非常
に高精度な測定を可能とするものである。
第１図は本実施例の分光感度測定装置の構成
図、第２図は第１図に示す基本光学系部分図、第
３図は本発明の別の分光感度測定装置の構成図、
第４図は第３図に示す基本光学系部分図、第５図
はコンピユータを用いた装置の自動化測定系の構
成図、第６図は光源の電源電圧をコンピユータで
調節する場合の構成図である。 図において、１は光源、２は分光装置、３は形
状可変アパーチヤ、４は光路シヤツタ、５は光量
調節器、６は投影レンズ、７はハーフミラー、８
は光量検出器、９は被測定サンプル、１０は細
〓、１１は対物レンズ、１２は接眼レンズを夫々
示す。
図、第２図は第１図に示す基本光学系部分図、第
３図は本発明の別の分光感度測定装置の構成図、
第４図は第３図に示す基本光学系部分図、第５図
はコンピユータを用いた装置の自動化測定系の構
成図、第６図は光源の電源電圧をコンピユータで
調節する場合の構成図である。 図において、１は光源、２は分光装置、３は形
状可変アパーチヤ、４は光路シヤツタ、５は光量
調節器、６は投影レンズ、７はハーフミラー、８
は光量検出器、９は被測定サンプル、１０は細
〓、１１は対物レンズ、１２は接眼レンズを夫々
示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 波長の異なる光を発生する発生手段、前記波
長の異なる光を第一及び第二方向に分割してその
内の第一方向の光を分光感度を測定すべき光セン
サに照射するための分割手段、前記分割手段より
分割された第二方向の光の光量を検出する光量検
出器、前記分割手段により分割された第一方向の
光が前記光センサの受光面からはみ出ないように
するべく前記分割手段よりも前記発生手段側に配
置された制限手段を有し、前記光センサの出力と
前記光量検出器の出力とにより前記光センサの分
光感度を測定する光センサ分光感度測定装置。 ２ 前記制限手段はアパーチヤを有し更に該アパ
ーチヤを前記光センサの受光面上に結像するため
の結像手段を有する特許請求の範囲第１項記載の
光センサ分光感度測定装置。 ３ 前記アパーチヤは形状又は向きが可変である
ことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の光
センサ分光感度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13815481A JPS5839915A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 光センサ分光感度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13815481A JPS5839915A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 光センサ分光感度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5839915A JPS5839915A (ja) | 1983-03-08 |
| JPH0549930B2 true JPH0549930B2 (ja) | 1993-07-27 |
Family
ID=15215277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13815481A Granted JPS5839915A (ja) | 1981-09-02 | 1981-09-02 | 光センサ分光感度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5839915A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0621273B2 (ja) * | 1986-05-07 | 1994-03-23 | 神東塗料株式会社 | 耐候性鋼の錆安定化表面処理法 |
| JP3524790B2 (ja) | 1998-09-30 | 2004-05-10 | 株式会社神戸製鋼所 | 塗膜耐久性に優れた塗装用鋼材およびその製造方法 |
| JP2011196750A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 分光感度特性測定装置、および分光感度特性測定方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4890578A (ja) * | 1972-03-03 | 1973-11-26 | ||
| JPS5581320A (en) * | 1978-12-16 | 1980-06-19 | Toshiba Corp | Optical information reader |
-
1981
- 1981-09-02 JP JP13815481A patent/JPS5839915A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5839915A (ja) | 1983-03-08 |
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