JPH05505676A - ウェブ検査システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ウェブ検査システム 発明の背景 発明の利用分野 本発明は、プラスチックフィルムのシートなど移動するウェブにおける欠陥を検 出するための装置に関するもので、より特定すれば、上記ウェブを走査しまたウ ェブが製造されている実時間において欠陥を検出することができるウェブ検査シ ステムに関するものである。

従来技術 米国特許第３．７８１．１１７号、米国特許第４，１７０．４１９号、米国特許 第４，７５２，８９７号において例示されているような従来技術はフォトダイオ ードの線型アレイまたは光検出用電荷結合素子（ＣＯＤ）の線型アレイを使用し て、その上に移動するフィルムの横断方向の帯状部分の画像が投射されるように なしである多数のウェブ検査システムを含む。各フォトダイオードまたは光検出 用素子はストリップの一つの画素（画像の構成要素）に対応し、検出素子へ入射 する光に比例する電荷を生成する。電荷は検出素子からシフトレジスタへ並列に 転送されたのち、直列に読み出されて処理が行なわれる。一般に従来技術の検査 システムは比較的広い領域の、すなわち直径が０．１インチ（２，５ミリメート ル）より広い、欠陥だけが検出しつる、またはさらに小さい欠陥を検出しつるた めには、製造ライン以外にあって低いウェブ速度で作動させる必要がある。上述 の特許第４．１７０，４１９号では１２台のカメラで７６．８インチの視野を観 察し、それぞれが６．４インチを観察するアレイを開示している。カメラは４つ のグループに群別され、それぞれの群がそれぞれのカメラ用に増幅器とアナログ ・デジタル変換器を含むプリント配線基板へ接続されている。マルチプレクサ回 路およびシフトレジスタ配列は、幾つかの画素線を保持しているシフトメモリー へ供給される画素の各ストリップのためのデータ列へ１２個のアナログ・デジタ ル変換器の出力を結合する。論理回路は画素値のブロックを加算して選択した検 査画素値と比較し、欠陥を検出する。上述の特許第３．７８１，１１７号および 第４．７５２，８９７号は、直列出力信号における遷移を検出し、処理されてい る画素カウンターの計数値を特徴する特許第４，７５２．８９７号では４台の並 列処理装置を使用してそれぞれ連続した６４バイトの保存データセグメントを受 信また処理し、分析データをホストコンピュータへ送信している。

従来技術ではまた、米国特許第４，４３３．３４６号に例示されたように、時間 遅延積分（ＴＤＩ）電荷結合素子を含み、これはアレイ上に投射された画像の動 きに応じて行単位で電荷を転送する回路を備えた２次元検出アレイを使用してい る。上述の米国特許第４，４３３，３４６号ではＴＤＩ−ＣＣＤを文書または画 像スキャナに使用しており、ここではそうした装置上の文書の動きまたは文書上 のビーム掃引のいずれかがＣＣＤアレイの走査線単位の電荷転送周波数に応じて 制御されている。各画素の電荷は、アレイの対応する桁へ移動すると連続的に積 分される。一つの行の電荷がアレイ端部へ到達すると、その行の電荷は４つのシ フトレジスタへ平行して転送され、４つの直列データ列として出力される。ＴＤ Ｉ−ＣＣＤアレイは走査速度の向上と、線型アレイまたはフレーム露光アレイに 相対する低照度条件での感度の向上を提供する。

従来技術は、米国特許第４，２３７．５３９号に開示されているように、異なる 形式の欠陥を認識するようになしたプログラムの学習能力に関する開示も含んで いる。検出された特徴の組が保存され、ついでオフライン状態で既知の視認しつ る欠陥と相関されて検出許容限界を精密化している。

最近の電子的データ処理速度および機能性の向上にもかかわらず、従来技術の移 動するウェブの検査技術は、プラスチックフィルムの製造速度（例えば毎分３０ ０フイートまたは１００メートノりでの充分に小さい欠陥（例えば、直径ｌミル または２５．４μｍの欠陥）を検出する能力を有していない。

発明の要約 本発明の第１の態様において、電荷結合素子（ＣＣＤ）２次元アレイ検出装置を 用いて移動するウェブの画像をこれの上に投射するようにした、移動するウェブ の欠陥を検出するための装置に本発明が要約されている。検出装置は移動するウ ェブの速度を検出するエンコーダによって生成されたパルスに応答して電荷の縦 方向の転送を行なう時間遅延積分モード（ＴＤＩ）で動作する。各周期の間に光 で惹起された電荷を積分する時間間隔は、電荷積分時間が移動するウェブの速度 変化によって変動しないように所定の間隔に固定されている。

本発明の第２の態様において、ウェブ検査装置用照明システムは、ウェブの移動 経路に直交して延在する回転可能な支持の軸に対して間隔を開けて長手方向に装 置された複数の筒状の蛍光灯を含む。ウェブの照明が所定レベル以下に低下した ことが検出された場合、支持が回転され、別のランプをウェブに対向する位置へ 移動する。

本発明の第３の態様において、ウェブ検査システムはウェブの転送条件または反 射条件を示す複数のアナログ走査信号を生成するための走査手段と、複数のアナ ログ走査信号をこれのそれぞれの画素におけるウェブの状態の大きさを示すそれ ぞれのデジタル信号列に変換するための手段と、デジタル信号列を一時的に格納 するためのメモリ一手段と、格納しであるデジタル信号を処理して所定値からの デジタル信号の変動を検出し、格納されたデジタル信号中の欠陥の位置の識別を 生成するための第１のデジタル処理手段と、格納されたデジタル信号を処理して それぞれの値以上または以下の値を生成しまた一時的に格納して欠陥の種類を識 別するための格納されたデジタル信号の欠陥の位置の識別に対応する第２の処理 手段を含む。

本発明の目的は、比較的小さい欠陥を検出するために適した解像度における移動 するウェブの実時間検査用システムを構築することである。

本発明の別の目的は、ｖｆ間遅延積分モードで動作する電荷結合素子を使用する ウェブ検査システムを構築することである。

本発明のさらに別の目的は欠陥の種類のオンライン分類を提供するウェブ検査シ ステムを構築することである。

図面の簡単な説明 図１は本発明によってウェブを検査するためのシステムの略断面図である。

図２は図４の線２−２でみた切欠図である。

図３は図１の線３−３でみた切欠図である。

図４は図１の装置の電子回路のブロック図である。

図５は図４で使用しつるバス接続の変更の平面図である。

図６は図８で使用される計数回路および論理回路の電気的略図である。

図７は２台のカメラの視野を示す図１の部分の拡大図である。

図８は図４の回路の主同期基板上の回路のブロック図である。

図９は図１のカメラの一つの付属回路を備えたＣＣＤアレイの略図である。

図１０は図９のカメラの一つの電気回路図である。

図１１は図１および図４のカメラの一つの電気回路図である。

図１２は図１１の回路で生成される幾つかのパルス信号の波形図である。

図１３は図１２の転送および積分パルスの変更された波形図である。

図４４は図」２の転送および積分パルスのさらに変更された波形図である。

図１５は図１１の回路の変更の電気回路図である。

図１６は図１５の変更された回路によって生成された幾つかのパルス信号の波形 図である。

図１７は図１６の転送および積分パルスの変更された波形図である。

図１８は図１および図４の装置内の１台のカメラの出力を処理するためのビデオ 処理装置の分解図である。

図１９は図１８の処理装置の端面図である。

図２０は図１８および図１９のビデオ処理装置の処理回路のブロック図である図 ２１は欠陥のビデオディスプレイ画像を取込み欠陥を検出するための図２０の回 路の一部の詳細図である。

図２２は図２１の処理装置のメモリ一番地内に割り当てるようにメモリー装置の 相対的な配置を示す略図である。

図２３は図２１の処理装置内で使用される割り込み手順におけるプログラム段階 の流れ図である。

図２４は図２１の処理装置内で使用される主欠陥検出手順における初期プログラ ム段階の流れ図である。

図２５は図２１の処理装置内で使用され図２４の段階に続（主欠陥検出手順にお けるプログラム段階の第１の部分の流れ図である。

図２６は図２１の処理装置内で使用され図２５から呼び出される主欠陥検出手順 におけるプログラム段階の第２の部分の流れ図である。

図２７は図２１の処理装置内で使用され図２５から呼び出される主欠陥検出手順 におけるプログラム段階の第３の部分の流れ図である。

図２８は図２５および図２７の手順から呼び出される注目領域の検索手順の第１ の部分のプログラム段階の流れ図である。

図２９は図２８の段階から呼び出される注目領域の検索手順の第２の部分のプロ グラム段階の流れ図である。

図３０は図２９の手順から呼び出される注目領域の検索手順の第３の部分のプロ グラム段階の流れ図である。

図３１は図２９の手順から呼び出される注目領域の検索手順の第４の部分のプロ グラム段階の流れ図である。

図３２は図２８−３１の手順において使用される欠陥と注目領域を決定する線の 画素の断片の略図である。

図３３は図２８−３１の手順において使用されつる別の欠陥と注目領域を決定す る線の画素の断片の略図である。

図３４は現在走査されているウェブの端部を検出するために第１のカメラからの 信号を処理することに特に使用される図２５の手順の変更された部分の流れ図で ある。

図３５は１２番目のカメラまたは最も端部に位置するカメラからの信号の処理に 特に使用される図２５の手順の変更された部分の流れ図である。

図３６は単一命令複数データ処理技術によってウェブの欠陥を処理しまた識別す るために使用される図２０の回路の切断部分の詳細図である。

図３７は図３６の回路で使用される並列処理装置の電気回路図である。

図３８は図３６の並列処理装置のための出力構成の電気的略図である。

図３９は図３６の回路の制御処理装置において使用される割り込み手順の流れ図 である。

図４０は図３６の制御処理装置の手順において使用される欠陥窓の略図である図 ４１は図３６、図３７、図３８の並列処理ユニットを動作させるための図３６の 制御回路で使用される主処理制御手順の第１の部分の流れ図である。

図４２は図３６、図３７、図３８の並列処理ユニットを動作させるための図３６ の制御回路で使用される主処理制御手順の第２の部分の流れ図である。

図４３は図３６、図３７、図３８の並列処理ユニットを動作させるための図３６ の制御回路で使用される主処理制御手順の第３の部分の流れ図である。

図４４は図３６、図３７、図３８の並列処理ユニットを動作させるための図３６ の制御回路で使用される主処理制御手順の第４の部分の流れ図である。

図４５は図３６、図３７、図３８の並列処理ユニットを動作させるための図３６ の制御回路で使用される主処理制御手順の第５の部分の流れ図である。

図４６は図３６、図３７、図３８の並列処理ユニットを動作させるための図３６ の制御回路で使用される主処理制御手順の第６の部分の流れ図である。

図４７は図３６、図３７、図３８の並列処理ユニットを動作させるための図３６ の制御回路で使用される主処理制御手順の第７の部分の流れ図である。

図４８はデータを主コンピユータへ転送するために使用するビデオ処理基盤上の 典型的なレジスタのグラフ図である。

図４９は主コンピユータへのアクセスと制御を提供するために使用されるビデオ 処理基盤の典型的なレジスタのグラフ図である。

図５０はビデオ処理基盤から受信するために検出レコードのフラグが設定されて いるシステムコンピュータのプログラムにおける割り込み手順の流れ図である図 ５１は欠陥データがシステムコンピュータによって読み込まれるシステムコンピ ュータのプログラムの手順の流れ図である。

図５２は遠隔コンピュータからのデータに応じてシステムコンピュータによって 使用される検出定義データを変更するための手順の流れ図である。

図５３はシステムコンピュータ内の主欠陥分析プログラムの流れ図である。

図５４は図１から図５３までの検査装置によって検査されたフィルム中の欠陥の 印刷出力の部分切欠図である。

図５５は図５４の印刷出力に含まれる欠陥の要約の印刷出力の部分切欠図である Ｏ 好適実施例の詳細な説明 本発明による、図１に示したような、移動ウェブ１００を検査するための装置の 一実施例は、ウェブのストリップを照明するためウェブ１００に直交して延在し 、一般に１０２で示すウェブ照明機構を含む。一台またはそれ以上のカメラ１０ ４はウェブの照明されたストリップを俯撤するようにまた一般に１０８で示すコ ンピユータ化欠陥検出回路に接続されたケーブル１０６の電気信号を生成するよ うに位置している。ウェブ速度検出装置１１０および１１１はウェブの移動速度 に比例した周波数でそれぞれが電気パルス列を生成して、カメラ１０４および欠 陥検出回路１０８のタイミングを制御し、また検査または欠陥検出部でウェブの 長手方向の位置を示すように計数するためのパルスを提供する。印刷装置１１２ はウェブ１００内の欠陥の全ての位置を記録および／または割り当てるために提 供される。

検査されるウェブ１００は連続的または一括処理によって製造された連続するま たは長いシート上の材料であって、直径が０．１インチ（２，５４ミリメートル ）以下から０．００１インチ（０，０２５４ミリメートル）またはそれ以下など の小さい欠陥を含む欠陥について検査される。通常ウェブは透明または半透明の ポリマーの薄膜、例えばキャスト・ポリイミドフィルムなどであり、高温での誘 電または電気的絶縁用など、ある種の用途で好ましくないような、穴、気泡、不 純物、熱収縮、微粉および粒子などの欠陥を検査する必要があるものをいう。

検査部はウェブ製造部（図示していない）と統合されて製造部のウェブ出力を検 査するのが望ましいが、製造部と分離しておき、巻き戻し及び巻き取り装置（図 示していない）を用いて検査部にウェブを通過させるようにすることもできる。

コンベヤ１１４は製造部から検査部を通って、毎分５ないし３０００フイート（ 毎分１．５ないし９１４．４メートル）の範囲内でありうる一般に固定された速 度でウェブを搬送し、ポリイミド製造では毎分８５フイート（毎分２６メートル ）とし、速度の変動はおよそ毎分±０．０１フィートまたはそれ以下とできる。

詳述する実施例では、移動ウェブ１００の下に照明源１０２を配置し、カメラ１ ０４はウェブ上部に位置してウェブの透光性を利用して欠陥を検出するようにな しである。ある種のウェブ材料においては、照明源１０２をカメラ１０４のある ウェブ１００の同一の側面に配置してウェブの吸光性および反射性を利用して欠 陥を検出することがさらに適している。

図１および図２に示したように、照明機構１０２は、国体１２８内に含まれる回 転可能な支持１２６の周辺部で相互に９０度づつ角度をつけ離して装荷されてい る３本のスリットランプ型蛍光灯１２０．１２２．１２４を含む。ランプ１２０ ．１２２．１２４はスイッチ１３０．１３２．１３４によってそれぞれに制御さ れた電源部１３６．１３８．１４０へ選択的に接続され、これが作動された場合 にそれぞれの）ンプの照明出力を自動的に制御する。スイッチ１３０，１３２． １３４および電源部１３６．１３８．１４０は光制御回路１４２を構成する。

一対の光検出装置１４４は国体１２８の細長い上部開口１４６内に装着され、最 上部にあるランプの光出力を検出する。これらの検出部１４４は電源１３６．１ ３８．１４０の入力に接続されている。回路１０８内にあるコンピュータ２０２ によって動作する入出力装置１４８の出力は電源部の第２の入力へ接続されて、 スリットランプ型蛍光灯１２０．１２２．１２４の出力電圧を制御する信号を提 供する。

電源部１３６．１３８．１４０は従来型の直流または高周波（６０ｋＨｚ）：１ 源で、検出部Ｗ１４４からの帰還によって、入出力制御装置１４８によって司令 された光強度レベルで通電した蛍光ランプからの一定でちらつきのない光出力を 維持されるように設計されている。入出力装置１４８もまた複数のデジタルおよ びアナログ制御信号を送受信するための通常のコンピュータ入出力装置である。

第２の一対の検出装置１５４は入出力制御装ｆｉ１４８へ接続され、コンピュー タ２０２が最上部の位置にあるランプが焼損しているかを検出できるようにして いる。入出力制御装置１４８はスイッチ１３０．１３２．１３４と、牽引自在な 係止ビン１５６と、モーター１５８へ接続され、モーターは歯車１６０を介して 回転支持１２６へ接続しており、ランプ１２０が焼損した場合に入出力制御装置 を介してコンピュータが支持１２６を解除しまた回転させて、次のランプ１２２ を最上部の位置へ配置し、ここで支持１２６がビン１５６によって定位置へ係止 されるようになすことができる６新しいランプを位置決めする動きと同時に、ス イッチ１３０が切断され、スイッチ１３２が投入されて、電源１３８が起動する 。ランプ１２２が焼損した場合、ランプ１２４が最上部位置へ回転され、電源１ ４０およびスイッチ１３４を投入することによって起動される。国体１２８の側 面の扉１６２はランプ１２０．１２２．１２４を交換するための出入口を提供す る。散光板１６４は支持１６６によって開口１４６の上に装置され、ウェブの照 明された横方向のストリップの均一な照明を提供する。

速度検出装置１１０および１１１は通常のパルスエンコーダであって、それぞれ がウェブまたはコンベヤローラー１１４によって駆動される車輪１７０および１ ７２を有している。図３を参照されたい。エンコーダはウェブの動作のそれぞれ の増分または画素を示すパルスを生成する。画素寸法２．５ミル（０，０６４ミ リメートル）について、４８００パルスがウェブの動き１フイートごとに生成さ れる（１メートルごと１５．７４９パルス）。画素寸法５ミル（０，１２７ミリ メードル）について、２４００パルスがウェブの動きｌフィートごとに生成され る（１メートルごと７，８７４パルス）。画素寸法ｌＯミル（０，２５４ミリメ ートル）について、１２００パルスがウェブの動き１フイートごとに生成される （１メートルごと３，９３７パルス）。

図１の国体１８０は信号処理回路１０８を含む。押しボタンスイッチ１８２およ び遠隔スイッチ１８４が検査部の検査動作の開始および終了を制御する。国体前 部に装置されているのは欠陥表示モニター１８６、コンピュータ制御モニター１ ８８、コンピュータキーボード収納部１９０、検査部を通過したウェブの全長を 示す全長または長さディスプレイ１９２、および検査部を通過するウェブの速度 を示す速度ディスプレイ１９４である。

図４に示したように、信号処理回路１０８は、１２スロツトのパッシブＡＴ型の 市販のバックブレーン２０４のコネクタスロットに装着した８０２８６型コンピ ユータ２０２などのワンボードコンピュータを含む。バックブレーンは電源（図 示していない）を搭載した通常の工業用ラックマウント型シャーシである。コン ピュータ基板２０２は図１の収納部１９０内部のキーボード２０６、モニター１ ８８、印刷装置１１２、バードディスク装置２０８およびフロッピーディスク装 置２１０へ接続される。主タイミング兼同期基板は別のスロットを専有し、また カメラ１０４のそれぞれについてデータ画像処理基板２１８が別の１２スロツト を専有する。ケーブル２２０および２２２はタイミング兼同期基板をカメラと画 像処理用基板２１８へ接続している。Ｒ５−１７０デイスプレイ基板２２４はバ ックブレーンのスロットの一つへ接続されており、ビデオディスプレイ１８６を 駆動するもので、画像処理用基板２１８によって高速または共通の画像転送バス ２２８上でアクセスできるようになし、画像処理装置２１８によって包括されな い欠陥を表示する。基板２２４は複数のビデオデータフレームを入力するように 設計された先入れ先出し入力バッファを備えた通常の基板である。他のスロット は予備とするか、またはＣＭＯＳディスクエミュレータ基板２３０などのメモリ ー基板および必要な場合に別のバスブレーンへ装着するための拡張アダプター２ ３２によって使用される。速度検出装置またはエンコーダ１１１は、エンコーダ を通過したウェブの量を表示し、ウェブ上の画素線の位置を示すためにケーブル ２３６上に主同期基板へのカウントを提供するカウンター装置１９２へ接続され ている。

ＡＴ型バックブレーンおよび高速バス２２８に代わるものとして、従来型の３２ ビツトデータバス・バックブレーンの一つを使用することもできる。これらの装 置は、通常の１６ビツトデータバスＡＴ型バス線および２重コネクタ２３８に加 え、さらなるバス線とさらなるコネクター、例えば図５に示すコネクター２３７ などを使用する。２重ＡＴ型コネクタ２３８は１１０ビン（それぞれ６２ビンと ３８ビン）で、コンピュータ基板２０２によって制御されている。代替３２ビツ トデータバス・バックブレーンにおいて、追加バス！！２３７は画像処理基板２ １８を欠陥ビデオディスプレイ基板２２４へおよび／または主タイミング基板か らのタイミング信号バスを画像処理基板２１８へ接続する共通画像転送バスを構 成することができる。

遠隔コンピュータ２４０はキーボード２４２、コンピュータモニター２４４、欠 陥表示モニター２４６、印刷装置２４８、およびフレーム型カメラ２５０として 構成したカメラ１０４と同様のカメラを有し、ケーブル２５２によって検査シス テムのコンピュータ２０２へ接続される。遠隔コンピュータ２４０は欠陥につい ての情報をコンピュータ２０２からまたカメラ２５０から受信でき、さらに情報 を検査システムのコンピュータへ送信することができる。例えば、遠隔コンピュ ータ２４０を使用し、カメラ２５０を用いて検査した異なる欠陥の形式に付随す る値をシステムコンピュータへ教えることができ、それによって主コンビ二一夕 が欠陥の要約を印刷出力することができるようになる。

図８に示したように、主タイミング兼同期基板２１６は、カメラおよび処理基板 に配分するのに適した形状のパルスを提供するためにエンコーダパルスに応答す る回路を含む。全てのカメラと処理基板はエンコーダ１１０からのパルスにより 同期して作動する。タイミング兼同期基板２１６は軸エンコーダ１１０からのパ ルスを受信する通常のパルス整形回路２６０を含む。回路２６０からの線２６１ 上の処理されたパルスはパルス分配兼増幅回路２６２へ印加され、これからトリ ガーパルスがカメラ１０４へのケーブル２２０内の線２６４へ印加される。第２ のカメラ１０４からの線２６８上のデータ有効信号パルスはカウント兼論理回路 ２６６へ印加される。

図６に示したように、カウント兼論理回路２６６は線２７４を含み、線２７４で はデータ有効パルス信号が線有効高値信号となり、この信号は出力クロックＣＲ ２が起動されている時限の１００％の正確な高値持続時間を有し、この後で出力 クロックは低値状態に遷移する。後者は線有効低値信号の時限である。カメラの 水平線走査それぞれについて一つの線有効高値パルスが存在し、カメラの水平線 走査それぞれの間に一つの線有効低値期間が存在する。カウンター２７６は、線 ２６８から線２７８上でこれの入力２８０へ供給される線有効高値パルスを５２ ５まで計数する。第２のカメラ１０４の水平走査線のそれぞれについて、デー夕 有効高値信号２６８が印加され、これによって５１２個のデータ高値パルスのあ とで、カウンター２７６はｌｉ！２８３と差動回路２８４を経由してフリップフ ロップ回路２９０の第１の入力２８６へ印加される出力２８２を生成し、フリッ プフロップの状態を変更する。データ有効高値パルス２６８はまた排他的論理和 （ＸＯＲ）ゲート２９６の第１の入力２９２へも線２９４を経由して印加され、 排他的論理和ゲート２９６の第２の入力２９８は線３０２を経由してフリップフ ロップ回路２９０の出力３００から入力される。ＸＯＲゲート２９６の出力３０ ４は第２の差動回路によってフリップフロップ２９０の第２の入力３０８へ印加 され、それによってフリップフロップがリセットされる。フレーム有効高値パル スはカウンター２７６が５１２個のデータ有効パルス２６８を計数する期間に線 ３１０上にインバータ回路３１２からの８力３００を経由して生成される。５１ ２のデータパルスを計数するための新しい周期は、直前のデータ有効パルス２６ ８の後でまたは検査動作の開始時点で、ｉ！３１４上の出力でリセットされるカ ウンター２７６によって線３１０が低値状態にあるとき、起動される。フレーム 有効信号は一つの線有効期間だけで低値状態にある。

図８をもう一度参照すると、線２７４上の線有効高値および線有効低値信号は画 像処理基板２１８へのケーブル２２２内の線３２０へ線有効信号分配兼増幅回路 ３２２によって配分される。同様に、線３１０上のフレーム有効高値およびフレ ーム有効低値信号は画像処理基板２１８へのケーブル２２２内の線３２６ヘフレ ーム有効信号分配兼増幅回路３２８によって分配される。

主タイミング兼同期基板２１６は検査部内のウェブの−Ｙ位置または現在の長さ 方向の位置に関する線２３６上のデータを受信する。このデータは回路３２８か らの線３４２上のフレーム有効信号ごとに更新されるレジスタ回路３４０へ印加 されることで、現在処理されているフレームのウェブ開始位置がレジスタ３４０ へ接続されているバス２０４上でコンピュータ２０２によって読み込まれること ができる。レジスタ３４０および位置カウンター１９２は第２のカメラ１０４へ 接続されたビデオ処理装置２１８からの線３４２上の信号によってリセットされ る。

カメラ１０４は図１の、ウェブ１００上にある支持３６０上に装置されており、 ウェブの照明された横断方向のストリップのそれぞれの部分を俯敵している。

図１および図７において破線３６２で示したように、視野は隣接するカメラの視 野とわずかに重複することが望ましい。また最端部のカメラの視野はウェブの定 格上の端部を越えて延在して５ウ工ブ端部における変動を見込んでお（。一つの 実施例において、検査している連続シートは定格幅６０．０インチ（１，５２メ ートル）を有し、１２台のカメラそれぞれは５．１２インチ（１３，００４セン チメートル）の視野３６４を有し、カメラ間の重複量３６６は２０ミル（０，５ ミリメートル）または２．５ミル画素８個として、シートのそれぞれの端から約 ０．６１インチ（１，５５センチメートル）の距離３６８に延在する視野を与え る。

それぞれのカメラ１０４は通常の光学系３７０を含み、時間遅延積分（ＴＤＩ） モードで動作している２次元電荷結合素子（ＣＣＤ）アレイへそれぞれのストリ ップ部分の画像を投影する。典型的なＴＤＩに適したＣＣＤアレイは図９で一般 に３７４で図示してあり、Ｘ方向で複数の画素または光電体の桁、例えば２０４ ８桁（すなわち、ウェブの動きの方向に直角に）と、−Ｙ方向に複数の画素また は光電体の行または線、例えば９６行または線を含む。それぞれの露光画素また は光電体は一つまたはそれ以上の電極で構成され、例えば図１０に示したように ４角透明な多結晶シリコン電極３７８．３８０．３８２．３８４からなり、これ は適切な電圧または電圧群で刺激される場合にその光電体に入射する光強度の積 分に比例する電荷の加算が得られる。隣接画素の第１の電極は直前の画素の電極 パターンと連続して形成されることで、それぞれのコラムが連続した電極パター ンとなる。ＴＤＩモードにおける動作は−Ｙ方向にある電荷の全てをウェブの動 きにあわせて、例えば４相の方形波信号ＣＬＫ１、ＣＬＫ２．ＣＬＫ３、ＣＬＫ ４（図１２参照）に対応して電極３７８．３８０．３８２．３８４へ移動させ、 それぞれの電荷がその桁の端部へ進むにつれて連続して加算されるようになす。

桁の端部において、１行の画素で積算された電荷は、８出力レジスタ３９０など の転送ゲートによって出力レジスタへ転送される。それぞれのレジスタは２０４ ７０４７画素２５６画素部分など、行の対応する部分についての画素の電荷を受 信する。それぞれの積算された電荷は９６回露光されたウェブの一つの画素の光 強度に対応する。転送周期の間、レジスタ３９０のそれぞれにある電荷は対応す る浮動分散領域３９６および対応するチャネルまたは出力４００．４０２．４０ ４．４０６．４０８．４１０．４１２、または４１４を通って、アナログ電圧と して順次出力される。出力４００．４０２．４０４．４０６．４０８．４１０． ４１２．４１４は並列のパルス電圧を生成し、これのアナログ値はそれぞれの行 部分にある対応するウェブ画素の透過性を表す。

ＣＣＤ−ＴＤＩ検出器として適当なものの一つは、カナダ・オンタリオ州、ワー テルローノダルサ社（Ｄａｌｓａ　Ｉｎｃ、　）製ＩＴ−Ｅ２０４８型で、これ はアナログ信号８チヤネル４ｏＯ５４０２，４０４，４０６，４０８，４１０， ４１２，４１４をチャネルあたり４０ＭＨｚまでの周波数で生成可能である。４ 相方形波信号ＣＬＫＩからＣＬＫ４は出力信号の１／２５６の速度で動作する５ ０％負荷周期を有し、カメラ線周波数は毎秒１５６．２５０サイクルとなる。２ ．５ミル（０，０６３５ミリメートル）平方の画素について、検査システムはウ ェブの毎分速度１．９５３フイート（毎分５９５メートル）までの速度でウェブ を検査可能である。

ＴＤＩモード動作でのカメラによる電荷の積算は積分関数であるが、光強度およ び露出時間は、基本的にそれぞれの電荷がウェブ上で対応する画素からの光子に よる対応する桁内の光零体全てに生成される電荷の和となるように選択される。

ＴＤＩモードによって、線型アレイまたはフレーム型カメラと比較してより大き な光積分時間（９６倍大きい）が可能となるが、これはＴＤＩによって電荷の積 算がそれぞれのウェブ画素の画像の動きの間で９６段階または光電体を通過して 起こり、一方、線型アレイまたはフレーム型カメラではそれぞれのウェブ画素の 電荷積算がＣＣＤの固定された一つの光電体でのみ発生するためである。

他のＣＣＤカメラに対して、ＴＤＩが提供する速度及び光積分の長所は当業界内 の限られた集団および従来技術内で既知であるが、移動ウェブ用の検査システム の用途には一般に不適切であった。従来技術のＴＤＩ用途は、何らかの種類のウ ェブまたは表面検査用としては全く存在せず、技術的宣伝および文献の形態に留 まり、ここでは推奨動作モードはＣＣＤ撮像装置平面上の画像の移動速度がカメ ラの下を通過する移動画像に対応す条荷電の動く速度に等しくなるように制御さ れることとされている。しかしこうした推奨動作モードが物理的に達成可能な従 来技術におけるカメラは存在しない。一般に、技術的宣伝および文献内では、電 極から電極へ電荷を進めるために、次のそれぞれの電極でパルスの先端が直前の 電極のそれぞれのパルスの後端と重複するように、それぞれの桁へ向かう電荷の 動きが３相またはそれ以上のパルスをそれぞれの光電体の対応する電極に印加す ることによって行なわれることが推奨されている。一般に従来技術の推奨負荷周 期の相は固定されている。理論的には電荷の移動速度は変更しうるのであるが、 相の推奨周波数を変更することで、パルス幅および積分時間を変更することにな り、これが光強度測定における変動および不正確さを招来することがある。

図９の本発明のＣＣＤ−ＴＤＩカメラにおいて、パルス生成回路４２０はタイミ ング兼同期回路２１６からの起動パルス２６４を受信してこれと同期したＴＤＩ 動作信号を生成する。図１１に示したように５回路４２０は、レジスタ４２６に よって制御される可変分周回路に接続されたクロックまたはオシレータ４２２を 含む。レジスタ４２６は、分周回路４２４が起動パルス２６４の周波数の４倍に 実質的に等しい周波数で線４２８上のパルスを生成するように、起動時にパス２ ０４上でコンピュータ２０２によって設定される。クロック４２２ば起動パルス ２６４の周波数の少なくとも５１２倍となる周波数を有し、起動パルス２６４の 周波数の少なくとも１０２４倍として、分周回路がクロック周波数を１２８また は２５６またはそれ以上で分周できることが望ましい。

ｌ！２６４上の起動パルスはインバータ回路４３０を通過し、差動増幅回路４３ ２によって差動増幅されて、オシレータ４２２からのクロックを他方の入力に受 信するＮＯＲゲートの一方の入力を動作させる。差動増幅回路４３２のタイミン グ周期はゲート４３４を介して一つのクロックパルスが通過するように設定され る。ＮＯＲゲート４３４の出力上の起動同期信号はＯＲゲート４３８によって分 周回路４２４のプリセット入力へ印加され、分周回路４２４の４番目の出力パル スが常に起動パルスと同期するように維持している。分周出力４２８はフリップ フロップ４４０によって２で分周される。フリップフロップ回路４４０の非反転 および反転出力はさらにそれぞれがフリップフロップ４４２および４４４によっ て２で分周される。フリップフロップ４４２および４４４の非反転および反転出 力は基本タイミング信号を構成するもので、これから、図１０においてゲート電 極３７８．３８０．３８２．３８４によって典型的に例示されているＣＣＤ−Ｔ ＤＩ検出回路の４つの撮像ゲート電極のそれぞれのグループを駆動するために使 用される４相撮像信号クロックＣＬＫＩ、ＣＬＫ２、ＣＬＫ３、ＣＬＫ４が導出 される。

ウェブが低速の場合、カメラ内のシャッター４５０を用いて、高速時の露光時間 に等しくなるようにそれぞれの画素の均一な露光時間を維持することができる。

シャッターを使用する場合、フリップフロップ４４２および４４４の出力はスイ ッチ４５４とバイアス抵抗４５５によって作動する選択回路４５２によってＣ０ Ｄ−ＴＤＩ検出装置のＣＬＫＩ、ＣＬＫ２、ＣＬＫ３、ＣＬＫ４人力に印加され る。これらの４相りロック信号ＣＬＫＩ、ＣＬＫ２、ＣＬＫ３、ＣＬＫ４は図１ ２に示しであるように５０％の負荷周期を有する。線４２８上の信号は選択回路 ４５８によってシャッター４５０へ印加される単発信号回路４５６を作動させる 。

選択回路４５８はまたスイッチ４５４によっても動作する。

ウェブがさらに高速の場合、シャッター４５０は各画素に均一の露出を提供する のに充分高速で動作できない。こうした条件下において、選択回路４５８は一定 電圧を透過してシャッター４５０を停止させる。シャッター４５０はまた、シス テムが動作を全く感知しない場合、カメラに水平軸の５１２画素かける縦軸上の ９６線で構成されるフレームを、標準Ｒ３−１７０タイミング回路（図示してい ない）経由でモニターへ直接出力するために使用される。選択回路４５２は単発 信号回路４６０．４６２．４６４．４６６の出力をＣＣＤ−ＴＤＩ検出装置のＣ ＬＫｌ、ＣＬＫ２、ＣＬＫ３、ＣＬＫ４人カへ接続する。これらの単発信号回路 はフリップフロップ４４２．４４４の対応する非反転および反転出力によって起 動される。単発信号回路４６０．４６２．４６４．４６６の動作時間の遅延量は 、各画素について所望の積分および露出時間を提供するように選択される。あら ゆる条件下において、それぞれの次の電極での正のパルスの先端が直前の電極の 正のパルスの終端に重複し、４つの電極全てが同時に正になり得ないように、ウ ェブが極めて高速の場合、正の電極活動時間は図１３に示したように電極信号の ５０％より実質的に大きくでき、それに対してもっと低いウェブ速度で：ま、正 の電極活動時間は図１４に示したように電極信号の５０％より実質的に小さく出 来る。

線４３６上の起動同期パルスはフリップフロップ４４０および４４２の入力を設 定するために印加され、またフリップフロップ４４４のリセット入力へ印加され て、信号ＣＬＫ１、ＣＬＫ２、ＣＬＫ３、ＣＬＫ４の適正な同期を提供する。

カウンター４７０はまた線４３６上の起動同期パルスによって同期され、インバ ータ回路４７２経由でクロックオシレータ４２２の出力を受信する。カウンター ４７０の出力はチャネル４００．４０２．４０４．４０６．４０８．４１０．４ １２．４１４に２５６画素が出力されている時間の間正になっているデータ有効 信号２６８である。インバータ回路４７２からの反転クロック信号はＡＮＤゲ− ）−４７６および４７８によってゲートされた非反転および反転出力を有するフ リップフロップ回路４７４を作動させてＣＣＤ−ＴＤＩ検出装置へ印加される信 号ＣＲ１およびＣＲ２を生成する。信号ＣＲＩおよびＣＲ２は検出装置のシフト レジスタ３９０を動作させる。インバータ回路４８０による線４７９上の信号Ｃ Ｒ２の反転がＣＣＤ−ＴＤＩ検出装置で使用されるＲＥＳＥＴ信号を生成して、 出力拡散領域３９６から残留電荷を除去する。フリップフロップ４８２は線４３ ６上の起動同期信号によってリセットされ、ＮＯＲゲート４８４を作動させて第 １のＲＥＳＥＴ信号を検出装置へ印加されるＴＲＡＮＳＦＥＲ信号として通過さ せる。ＴＲＡＮＳＦＥＲ信号は転送ゲート３８８を動作させて検出領域３７４の 最下行にある電荷を出力レジスタ３９０へ転送させる。フリップフロップ４８２ はインバータ回路４８６経由のＴＲＡＮＳＦＥＲパルスの終端において設定され て次の起動パルスまでゲート４８４を停止させる。

カメラ回路の一部の変化が図１５に図示しである。ここでは直列絶縁ダイオード ４９０および抵抗４９２が単発信号回路４６０．４６２．４６４．４６６のそれ ぞれの出力をこれに対応する選択回路４５２の六入カへ接続し、図１６の通常の 正の電極信号部分を生成する。へ入力は抵抗４９６によって接地電位にバイアス されている。単発信号回路５００．５０２．５０４．５０６は並列に単発信号回 路４６０．４６２．４６４．４６６と接続され、直列の負の電圧通過ダイオード ５０８および抵抗５１０によってＡ人カへ接続された出力を有している。単発信 号回路５００．５０２．５０４．５０６の動作持続時間は、図１６において持続 ５１４で示したように、単発信号回路４６０．４６２．４６４．４６６の持続時 間より長く設定される。単発信号回路５００．５０２．５０４．５０６の負の電 圧供給ビンは単発信号回路４６０．４６２．４６４．４６６同様に接地ではなく 負の電圧へ接続され、タイミング周期の終端において、単発信号回路５００．５ ０２．５０４．５０６から負の信号部分５１６がダイオード５０８および抵抗５ １０を経由してＡ入力へ通過するようになしである。

図１５の変化は各正の電極パルスが次の電極の正のパルスの先端と重複しなけれ ばならない要件を排除するために埋め込みチャネル型ＣＣＤ−ＴＤＩ検出装置と ともに使用可能である。ＣＬＫ信号の負の電圧部分５１６は、約−０，３Ｖで、 ０電位を有する電極のもとて電位を維持するようにチャネル内の電子の分散に対 する障壁を提供するものである。正のパルスの間の長い持続が図１７で示すよう に可能となしである。正のパルス部分と０電位部分をあわせた持続時間が、図１ ６および図１７に示すように次の電極でのパルスの正の部分に重複しなければな らない。

図１８および図１９を参照すると、ビデオ処理装置２１８のそれぞれが一つまた はそれ以上の回路基板、たとえばマザーボード５３０とマザーボードの対向する 側面に装着された一対のドータボード５３２．５３４から構成されている。図１ ９に示すように、回路部品の間隔によってビデオ処理装置がコンピュータバック プレーン２０４上の一つのコネクタースロットだけを専有するようになせる。

各装置２１８は８列またはチャネルのアナログ画素信号を対応するカメラ回路か ら受信しまたこれらのアナログパルス列をデジタル信号に変換するための回路５ ３６を含む。メモリー回路５３８および５４０はデジタル化したビデオ信号を受 信し一時的に格納する。処理回路５４２は格納しであるデジタル信号を処理して 欠陥の存在を検出する。スイッチ５４４はバス２０４上で通信するために使用さ れる装置２１８内のレジスタのメモリーの番地位置の選択が出来るようになしで ある。

図２０に図示したように、アナログ信号列は列内の各画素のアナログ値を表すも ので、この値はその画素で吸収された光の量に比例しており、信号列はチャネル ４００．４０２．４０４．４０６．４０８．４１０．４１２．４１４−Ｃ”ＤＣ 復帰回路５５０、オフセット回路５５２、利得回路５５４を経由して通過し、ア ナログ／デジタル変換回路（Ａ／Ｄ）５５６をフラッシュする。ＤＣ復帰回路、 オフセット回路、および利得回路５５０．５５２．５５４はＡ／Ｄ装置５５６の アナログ入力用のアナログ信号のレベルおよび増幅度を調整する通常の回路であ るビデオ処理装置主クロツク回路５７０は線４７９上に受信したカメラ１０４の 出力比クロックＣＲ２と同期してケーブル５７４でＡ／Ｄ装置５５６のデジタル 変換率を制御する。

Ａ／Ｄ変換回路５５６はアナログ値のそれぞれの要素の値を、デジタル化がそれ ぞれグレーレベルで２５６諧調または１０２４諧調を意味する８ビツトまたは１ ６ビツトの深さで行なわれるかを決めるディップスイッチブロック５４６の設定 にしたがって変換する。本発明ではアナログ値の列は８ビツトの深さでグレース ケール上のＯから２５５のアナログ値に比例するデジタル値の列に変換され、こ れによって第１段階の処理が実施され、ここでチャネル５６１．５６２．５６３ ．５６４．５６５．５６６．５６７．５６８上で多ポートメモリー５８０へまた 直列バイトから並列ビットへの変換回路５８２経由で並列メモリー５８４へ印加 される。主クロツク回路５７０は線５７６上のパルスをクロックＣＲ２と同期し て生成し、メモリー５８０および５８４へのデジタル値の入力を制御する。

１本の画像線に対応する一列のデジタル画素値の入力の後、処理回路５８６はメ モリー５８０からそれぞれのデジタル化が措置を読み出し、この値を上限および 下限と比較することによって、ウェブ内のあらゆる欠陥の存在を決定する。一つ の欠陥に遭遇した場合、処理回路５８６は欠陥の周囲をトレースして欠陥の領域 または寸法と周辺の長さを測定する。この領域、開始−Ｘおよび開始−Ｙ位置、 開始地点の強度、欠陥を包囲する周辺および窓の座標が共有メモリー５８７に格 納される。処理回路５８６はまた欠陥を含む一つのブロックのデータを選択し、 共通パス２２８経由でビデオカード２２４内のＦＩＦＯバッファ５８８へ転送す る。ビデオカード２２４は一連のデジタル化画像を受信して受信したとおりにむ 通常のグラフィック・ディスプレイ装置である。ビデオカードはコンピュータ２ ０２によって制御されてＦＩＦＯバッファ内に受信した新しい画像によりディス プレイ画像が自動的に置き代わることを防止してあり、一連の近接した間隔の欠 陥の検出に起因する急激な画面の変化、またはＦＩＦＯバッファ内にまだ保存さ れている直前の欠陥の画像を表示するのを防止することができる。

ある行内の欠陥の共有メモリー５８７での指示に応答して、処理回路５９２は並 列処理回路５９０を動作させ、並列メモリー５８４から一度にデータ線全体を読 み込ませる。処理回路５９２の制御下において、並列処理回路５９０および処理 回路５９２は、処理回路５８６によって決定された欠陥を含む窓内で、その欠陥 が、白い背景を有する黒か、黒い背景を有する白か、閾僅か、白のカウントか、 黒のカウントか、白のカウントに対する黒のカウントの比か、輝度値か、輝度に 対する領域の比か、ヒストグラム値かをしらへ、またその欠陥が微粒子か、黒い 点か、白い点か、未定義の点か、孔か、気泡か、ゲルか、酸化していない熱収縮 か、酸化した熱収縮か、または未定義の気泡型欠陥かの分類を行なう。これらの 値および欠陥の位置と寸法がシステムコンピュータ２０２への割り込みを含むレ ジスタへ出力され、システムコンピュータがシステムバス２０４上でレジスタの 値を読み出すことが出来るようにする。

簡潔にする目的で、回路の切欠部分のみが図２１および図２２に図示されている 。以下の説明に置いて、連続した点ｒ、　、　、　Ｊは図面に図示されていない 装置の繰返しを示すために使用している。

多ポートメモリー５８０の配置は図２１に図示しである。８つのメモリー装置（ ６０１，６０２，６０３，６０７，６０８のみが図示しである）は、ＤＭＡ制御 装置６２４が線５７６上のパルスに応じてメモリー装置へのアクセスを許可した 場合に、パス選択回路６１１，６１２．６１３１．、．６１７．６１８によって それぞれのチャネル５６１．５６２．５６３１．、．５６７．５６８へ接続され る。パルス５７６の間、処理回路５８６はＤＭＡ制御装置６２４によって保留さ れた状態にあり、メモリー装置のアドレス入力が逆算カウンターまたはバイトア ドレス装置６２０および行アドレスレジスタ６２２からＤＭＡ制御装置６２４を 経由して供給される。行アドレスレジスタ６２２は処理回路５８６によって装置 ６０１−６０８のそれぞれにあるメモリーの同一ブロックを選択するように設定 されて、カメラ検出装置によって検出された単一の線を構成する２０４８個のデ ジタル画素の対応する２５６画素部分を受信しまた格納する。カウンター６２０ は、カメラ１０４のクロック信号ＣＲ２と等価の、線４７９上のカメラクロック パルスと等しい周期で、ビデオ処理袋ｆｆ１２１８の主クロツク回路５７０から の線５７６上のクロックパルスによってステップ動作され、チャネル５６１−５ ６８上の入力デジタル化ビデオ画素の受信と同期して装置６２２によって設定さ れるメモリーブロック内のメモリーアドレスを通してステップ動作する。メモリ ー装置６０１−６０８へのアクセスの許可と同時に、ＤＭＡ制御装置６２４から の線６３０がＯＲゲート６３１．６３２．６３３１．、．６３７．６３８を作動 させることで、チャネル５６１−５６８上の８画素のワードの各グループが、各 チャネル上の２５６個のデジタル化画素の列が受信されるのと同時に、メモリー 装置６０１−６０８内のそれぞれに対応するメモリ一番地へ保存されるようにす る。よってデータは一度に６４ビツトがメモリーへ入力されることになる。

図２１に図示した実施例において、画素はメモリ一番地が段階的に上昇するよう に昇順に受信される、すなわち、チャネル５６１上の画素は０，１，２．３゜、 、、２５４，２５５の順に受信される。これ以外に、カウンター６２０が逆向き にカウントするように逆順でカメラから画素が出力されることもありうる。線３ ２０上のそれぞれの線有効信号の先頭において、処理回路５８６はデータバス６ ４０によって行アドレスレジスタを次のメモリーブロックへ設定し、カウンター が昇順または逆順にカウントしているかにしたがってカウンター６２０をプリセ ットまたはリセットする。

処理回路５８６は線５７６上にパルスが存在しない場合選択装置６１１−６１８ によってメモリー装置６０１−６０８のデータ入出力へ処理装置のデータバス６ ４０を共通に接続する。処理回路５８６の３つのメモリ一番地出力がメモリー装 ｆｆ１６０１−６０８に対応する８つの番地ブロックを決定し、さらに一つだけ のメモリー装置が処理回路５８６からのそれぞれの番地で選択されるように、対 応するＯＲゲート６３１−６３８の第２の入力に出力を接続しであるデコーダ６ ４２へ印加する。処理装置からの他のメモリ一番地線はメモリー装置６０１−６ ０８へ接続されている。図２２に示したように、処理袋！５８６は連続するメモ リーとしてメモリー装ｆｉ６０１−６０８をアドレスし、ここで画素のそれぞれ の線は対応するメモリーブロック内に順に保存される。

図示した実施例では、処理装置はメモリー装置６０１−６０８の一つから一度に ８ビット読み込む。これ以外では、通常の番地配置を用いて処理装置が１６ビツ トまたは３２ビツトワードを入力できる場合一度にこれらのワードを読ませるこ とも可能である。

ＲＡＭおよびＥＥＦＲＯＭの双方を含むメモリー６４４は、処理回路５８６用の 動作プログラム、パラメータ値、および変数格納領域を含む。

動作プログラムは図２３に図示したハードウェア割り込み手順を含み、これは線 有効信号が高値になるときに呼び出される。段階６５０において、処理回路５８ ６はフレーム有効信号が低値であるかを読み込んで調べる。これが真であれば、 行アドレスレジスタ６２２は段階６５２で０に設定される。偽であれば、行アド レスレジスタはデジタル画素値の次のグループがメモリー装Ｒ６０ｌ−６０８の 次のブロックに保存されるように段階６５４で増分される。６５６の点で、プロ グラムは割り込み手順から復帰する。

起動時または新しい検査実行の開始時に、処理回路５８６は図２４の手順を開始 し、ここでメモリーおよびレジスタは段階６６０で初期化される。段階６６１で は、カウントが０に設定される。次に線有効信号が低値となるまでこれが段階６ ６２で検査される。このあと段階６６４へ進む前に、プログラムは線有効信号が 高値を返すまで段階６６３で待機する。段階６６４ではカウントが増分され、段 階６６５ではカウントが９７に等しくなっているかが調べられる。カウントが９ ７に達するまで、プログラムは段階６６５から段階６６２．６６３．６６４を繰 り返す。これによって信号の処理を行なう以前にカメラ１０４のＣＣＤが全ての それまでの信号をフラッシュされるように確実になしている。さらにビデオ処理 基板へのカメラの出力が阻止できる。基板への人力の阻止は、拡散およびそれぞ れのカメラ１０４の出力クロックレジスタＣＲ２を消去するリセットパルスを阻 止することによって完了し、この間に線ごとの転送は最後のＴＤＩ線からのデー タを第１の出力構造レジスタＣＲＩへ転送する転送ゲート３８８のために転送パ ルスにしたがって維持される。後者は９７線が転送されるまで各線の転送によっ て連続的に上書きされる。

次に段階６６６では、プログラムはフレーム有効低値信号が新しいフレームの開 始を示すのを待ち、６６８の点へ進んで線の処理を開始する。段階６６７に示し たように、第２のカメラ１０４用の処理回路５８６は図８の線３４２上の行カウ ントをリセットする。

処理回路５８６用の主線処理プログラムは図２５．２６．２７．２８．２９．３ ０．３１に図示しである。図２５の段階６７０では、処理装置は線有効信号が低 値かを調べる。線有効信号が高値の場合、画素の線がメモリー５８０へ入力され 、プログラムは段階６７１へ分岐し、ここで現在検査中の線が入力された線と等 しいか調べられる。これが真であれば、その線のデータの幾らかが正しくない場 合があるためプログラムは線有効信号が低値になって画素の線の入力が完了して いることを示すまで段階６７０を繰り返す。段階６７２では画素のポインタが検 査中の線の第１の画素に設定される。次に段階６７４では、画素ポインタによっ て選択された画素の値を検査してその値が所定範囲内にあるか、例えば最初の画 素が１２０以上１２３以下で３段階の範囲にあるかを調べる。

所定範囲は、システム起動時にメモリー６４４のＥＥＦＲＯＭ領域へダウンロー ドされるファームウェアによって、検査すべきウェブの形式にしたがって設定さ れ、処理中にときどき修正される。許容範囲は直前の画素が処理された時点で得 られた値にしたがって再設定（加算または減算）される。

段階６７４が偽であれば、プログラムは段階６７４Ａへ分岐する。処理中の画素 が直前に処理された画素の値に対して１．１７％以上大きい（ｉｉ（グレーレベ ル３．０）かつ２．３４％（グレーレベル６．０）以下またはこれに等しい値を 有している場合、プログラムは段階６７５へ分岐しここで上下の許容範囲の値が 画素間のその差だけ増加される。例えば、直前の画素が値１２２を有しており、 現在処理している画素が値」２５を有していれば、差分のグレーレベル３がウェ ブの厚みによる正常な増分であると見なされ、新しい許容範囲は１２３から１２ ６となる。現在処理している画素が同一の値またはその範囲外の値を有する場合 、プログラムは段階６７４Ｂへ分岐する。

段階６７４Ｂでは、現在処理している画素が直前に処理した画素より１，１７％ （グレーレベルで３．０段階）以下の値で、かつ−２，３４％（グレーレベル６ ．０）と等しいかまたは大きい値を有する場合、プログラムは段階６７５Ａへ分 岐し、ここで上下の許容範囲限度値が画素間の差分だけ減じられる。例えば、直 前の画素が値１２２を有しており、現在処理している画素が値１１９を有してい れば、差分のグレーレベル３段階はウェブの厚さによる正常な減少であると見な され、新しい許容範囲は１１７から１２０となる。

これによって、プログラムは、ウェブの厚さの連続的な増加および減少、変動を 補償できるようになる。これらの変動は正常であり、これと突然グレーレベル３ 段階を越える変化をもたらす欠陥とを峻別している。たとえば、ウェブの左端に おいて、正常値が１２０としても、ウェブの中央部において正常値が厚みの連続 的な増加により１３０である場合がある。

画素値がなんらの欠陥も存在しないことを示す許容範囲内に存在していれば、プ ログラムは段階６７４から６７６へ進み、ここで画素ポインタを増加させる。

実際にはプログラムは、段階６７４が真となった後で図２７の手順を呼び比して いるが、検出しつる欠陥が存在しなければプログラムは段階６７６へ復帰する。

次の段階６７８では、画素ポインタが現在検査している線の最後の画素より小さ いかまたは等しい場合、プログラムは段階６７４へ戻って分岐するか、または検 査中の線の最後の画素をポインタが過ぎた場合、行ポインタが増加される段階６ ８０を通って、段階６７０へ分岐する。

画素値が段階６７４から６７４Ｂで許容範囲以上または以下であると判った場合 、プログラムは直前の画素が異常だったかを調べる段階６７４Ｃへ進む。直前の 画素も同様に許容範囲以上または以下の場合、すなわち異常であれば、段階６７ ４Ｃにおいて、現在の画素が無視され、プログラムは段階６７６へ分岐する。

直前の画素が正常であれば、プログラムは直前の線（Ｘ、Ｙ−１）の画素と直前 の線で右側の桁（Ｘ＋１．Ｙ−１）の画素がそれぞれ正常かを調べる段階６７４ Ｄおよび６７４Ｅを経由して進む。両方とも真であれば、プログラムは段階６７ ７へ進み、５ＴＡＲＴ−Ｘ値が画素ポインタの値に等しくなるように設定され、 ５ＴＡＲＴ−Ｙ値が検査中の線に等しくなるように設定されて、欠陥の開始地点 を決定する。段階６７７Ａでは変数ＡＢＮＯＲＭＡＬ−ＬＩＮＥが１に設定され て欠陥が少なくとも１本の線で発見されたことを示す。次に段階６８２で、値５ ＴＡＲＴ−Ｘおよび５ＴＡＲＴ−Ｙ力哄有メモリー５８７内の次に利用可能なレ ジスタまたは記録空間内に値５ＴＡｉ−Ｘの値から決定された線の値とともに保 存される。現在処理している欠陥の数は、レジスタが段階６８２Ａの段階で９よ り太きいがを調べることで判る。これに該当しない場合、プログラムは点６７６ へ分岐してその線の検査を続行する。その線の一つまたはそれ以上の画素が許容 範囲内にあると判った後で別の画素値が段階６７４の許容範囲以下または以上の いずれかであると判明した場合、プログラムは先のように段階６７４Ａから６８ ２Ａへ進み、それ以外の欠陥についての初期５ＴＡＲＴ−ＸＩ（ｉｉとしての画 素ポインタ値およびそれ以外の欠陥についての５ＴＡＲＴ−Ｙ値としての検査中 の線力哄有メモリー５８７の次のレジスタ内に保存される。さらに段階６７６へ と進んでその線での検査を続行する。このようにして、システムが一つの欠陥ま たは複数の欠陥の開始位置または複数位置の割り当てをメモリー５８７内に作成 する。５ＴＡＲＴ−Ｘ９．５ＴＡＲＴ−Ｙまで、またはＹ軸上で同一の開始位置 を有する１０個の欠陥の開始位置までが段階６８２で保存されつる。しかし、こ の最大値は段階６８２Ｂにおいて所定の領域すなわちカメラ１０４の視野幅内に 多すぎる欠陥が存在することを示す警告を行ない、プログラムは線全体すなわち ２０４８画素の処理を中止し、最初の欠陥である５ＴＡＲＴ−Ｘ、　５ＴＡＲＴ −Ｙが検出された領域を注目する。

後者の場合、プログラムは段階６８０へ進み、ここで行ポインタが増加された後 、段階６８０で警告条件がオンになっているかを調べる。これに該当すれば、プ ログラムは段階６８０Ｂへ分岐し、処理装置はメモリー装置６０１−６０８がそ の条件での所定の全ビデオフレーム９６線を含んでいるか、検査中の現在の線と 次の入力線の番地から９６減じた数とを比較して決定する。現在の検査線が次の 入力線より９６線少なくない場合、プログラムは段階６８０Ｂで、充分な線が入 力されるまで待機する。充分な線が段階６８０Ｂで入力された時点で、プログラ ムは段階６８４へ進み注目している領域の検索を開始する。

９６線のフレームである理由は、ウェブ上の解像度２．５ミルでこのフレームが 縦方向（Ｙ軸）の２４０ミル（０，２４インチ）に相当するためである。９９ミ ルを越えて大きいまたはこれと等しい全ての欠陥が同様に報告されているので、 すなわち９９ミル以上またはこれと等しいスポットで５Ｐ９９となるから、その 軸上で同一の開始位置を有する欠陥についてこれ以上の検索を行なう必要は存在 しない。

段階６８４では、処理回路５８６は直接位置５ＴＡＩ’１Ｔ−Ｘ、　５ＴＡＲＴ −Ｙへ行き、ＴＲＡＣＥ−ＥＤＧＥ、　５ＴＡＲＴ−Ｘ、５ＴＡＲＴ−Ｙ、　Ｈ ＩＧＨＴを実行する。これによって欠陥の外部辺縁上にある全ての異常画素で別 のそれと何らかの方向で隣接するものが、上述の位置から開始して時計回りに開 始位置５ＴＡＲＴ−Ｘ、　５ＴＡＲＴ−Ｙへ戻るまで、トレース（位置の決定ン サれる。コノルーチンハ欠陥）ＭＩＮ−Ｘ、　ＭＡＸ−Ｘ、　ＭＩＮ−Ｙ、　Ｍ ＡＸ−Ｙｆ７）値を返す。一端完了スルト、コノルーチンノ後ニルーチンＷＩＮ ＤＯＷ、　ＭＩＮ−Ｘ、　ＭＡＸ−Ｘ、　ＭＩＮ−Ｙ、　ＭＡＸ−Ｙが続き、こ こで欠陥を包囲する窓が形成される。図３２に示した欠陥６９０はＭＩＮ−Ｙ、 　ＭＡＸ−Ｙ、　ＭＩＮ−Ｘ、　ＭＡＸ−Ｘにそれぞれ対応する点７０５ｃ、７ ６４ｃ、７８２ｂ、７４０ｃを有している。しかし、点７０５ｃはその線上でこ れらの開始位置を有する全ての欠陥のＭＩＮ−Ｙ［の全てで最初に識別される。

図２８に示したように、段階６８４では、処理装置はバッファ６０１−６０８内 にある最も左の欠陥の開始位置に相当する５ＴＡＲＴ−Ｘ、　５ＴＡＲＴ−Ｙ位 置へ直接飛ぶ。

段階６８４Ａで初期値Ｘ、　Ｙ、　ＭＩＮ−Ｙ、　ＭＩＮ−Ｘ、　Ｃ０ＵＮＴＪ 、　ＣＯ開Ｔ−Ｐが設定される。段階７０２では画素ポインタは１だけ増分され てその線の右へ行き（Ｘ＋１．Ｙ）、段階７０４でＭＡＸ−ＸおよびＭＡＸ−Ｙ の値が設定され、値が変更された場合にはこれが再設定される。図３２を参照す ると、点７０５ａ−７０５ｆは検索部分の第１のループに対応しており、ここで 画素ポインタは段階７０６でＣＯ［ＩＮＴ−ＰおよびＣＯＯ訂−切Ｓ１だけ増分 された後で発見された異常画素のそれぞれについて１だけ増分される。これらの 値はそれぞれ周辺部および欠陥の領域を構成する異常画素の追跡に使用される。

画素ポインタはその線上で正常な画素が見つかるまで増分される。正常画素が見 つかると、プログラムは段階７０８へ分岐し、ここでその正常画素の位置が処理 回路５８６のＲＡＭメモリー６４４内にこの目的のために割り当てられたレジス タへ保存される。プログラムはさらに段階７１０へ分岐し、ここで行ポインタが １だけ増分され、さらに段階７１２ではＭＡＸ　−Ｙの値が調節され、段階７１ ４では７１０ａで位置が判ったそのＹ線についてのＸ値に画素ポインタが設定さ れる。段階７１６では画素が正常かまたは異常かが調べられる。これは異常であ るから、プログラムは段階７１８へ分岐し、ここで値としてのその位置Ｘ、Ｙが 、５ＴＡＲＴ−ＸにＣ０ＵＮＴ−Ａを足した値およびＹ線に１を足した値と等し いかが調べられる。これも等しいので、プログラムは段階７１９へ分岐し、ここ で（：ＩＪＵＮＴ−Ａにその位置から５ＴＡＲＴ−Ｘ値点へ戻る第２の線にあり 異常と仮定されるその線についての５ＴＡＲＴ−Ｘを含む全ての画素が追加され る。プログラムは段階７２０へ分岐し、ここでその位置が保存されてから、段階 ７２２へ分岐して直前に保存されたＸ、Ｙ位置が正常だったかを調べる。これは 正常であるから、プログラムは段階７２８へ分岐し、ここで画素ポインタが位置 ７２８ａへと１だけ増分される。プログラムは段階７２８Ａへ分岐し、その画素 が範囲内に存在するがを調べる。これは範囲内であるからプログラムは段階７３ ２へ進み、ＭＡＸ−Ｘの値が再調整される。

プログラムは段階７１６の分岐へ戻り、その画素が正常かまたは異常かを調べる 。

これは正常であるから、その位置が段階７３４で保存され、プログラムは段階７ ３６へ分岐して、Ｙ位置が５ＴＡＲＴ−Ｙ　＋１または最初の行から１行下の行 と等しいかまたはこれより大きいか調べる。これはそのとおりであるから、プロ グラムは図２９の段階７４０へ分岐する。

段階７４０において、行ポインタは７４０ａの位置へ１だけ増分される。段階７ ４２においてＭＡＸ−Ｙの値が調節され、段階７４２Ａにおいてその新しいＸ、 Ｙ位置が保存される。段階７４４において画素が正常かまたは異常かが調べられ る。これは正常であるから、プログラムは段階７４６へ分岐して、ここで画素ポ インタが位置７４６ａへ減算される。段階７４８においてその画素が正常かまた は異常かが調べられる。これは異常であるから、プログラムは段階７４８Ａへ分 岐して、　Ｃ０１１ＮＴＪが１だけ増分され、段階７４８Ｂではその位置が保存 され、段階７５０で直前の保存されたＹ値がここで保存されたばかりのＹ値と同 一であるかが調べられる。これはそのとおりであるから、プログラムは段階７５ ０Ａへ分岐し、二こで直前に保存された画素が正常かが調べられる。これは正常 だったので、プログラムは段階７５０Ｂへ進み、現在のＸ位置と５ＴＡＲＴ−Ｘ 位置に１を加えたものの間の画素数を加算した分だけＣ０ＵＮＴ　Ａが増分され る。なお、ここでは、これら全ての画素が異常であると仮定していもプログラム は段階７４０の分岐へ戻り、ここで行ポインタが位１ｆ７４０ｂへと１だけ再度 増分される。画素が異常であるため段階７４４を除いて同様のシーケンスに従い 、プログラムは段階７４４Ａへ分岐し、ここでＣ０ＵＮＴ−Ｐだけ増分され、段 階７４４Ｂでは、これら全ての画素が異常であると仮定して、Ｃ００Ｎ”ｊＡが 現在のＸ位置と５ＴＡＪ’１Ｔ−Ｘ位置に１を加えたものの間の画素数だけ増分 される。プログラムは段階７４４Ｃへ分岐し、ここで保存された直前の画素が正 常だったがを調べる。これは正常ではなかったので、プログラムは段階７４４Ｄ へ分岐し、ここで位置Ｘ＋Ｉ、Ｙ−１が正常だったかを調べる。これは正常だっ たので、プログラムは段階７４４Ｆへ分岐し、画素ポインタが位＠７４０ｃへ１ だけ増分され、段階７４４ＧではＭＡＸ−Ｘの値が調節され、段階７４４Ｈでは 画素７４０ｃが相乗だったかが調べられる。これは正常だったので、プログラム は段階７４４Ｊへ分岐し、ここで最後の位置が保存された後、段階７４０へ戻る 。

段階７４０では同様のシーケンスのために行ポインタが位置７４０ｄへ１つ増分 されるが、段階７４４でその画素が調べられる点が前記とことなり、その結果、 プログラムは段階７４６へ進みここで画素ポインタが位置７４６ｂにあわせて１ つ減じられる。段階７４８において画素値が範囲内にあるか調べられる。これは 範囲内ではないので、プログラムは段階７４８Ａへ分岐し、Ｃ０ＵＮ’ｊＰが− っ増分され、段階７４８Ｂではその位置が保存され、段階７５０ではＹ軸上の位 置が変更されたかを調べる。これは変更されていないので、プログラムは段階７ ５０Ａへ進み、直前に保存されたＸ、Ｙが正常かを調べる。これは正常であるか ら、プログラムは段階７５０Ｂへ進み、全ての画素が異常であると仮定して現在 のＸ位置と５ＴＡＲＴ−Ｘ位置に１を加えたものの間の画素値だけＣ０ＵＮＴ− Ａが加算される。プログラムはここで段階７４０へ復帰する。

段Ｎ７４０では同様のシーケンスのために行ポインタが位１ｔ８４０ｅへ１つ増 分されるが、段階７４４でその画素が異常かを調べる点で前記とは異なり、その 結果、プログラムは段階７４４Ａへ進み、ここで段階７４４ＡのＣ０ＵＮＴ−Ｐ と段階７４４ＢのＣ０ＵＮＴＪがまたそれにしたがって増分される。段階７４４ Ｃでは直前に保存された位置（７４６ｂ）が正常ではないことが調べられ、その 結果プログラムは段階７４４Ｆへ進み、画素ポインタが位置７４０ｆへ１つ増分 される。段階７４４ＧではＭＡＸ−Ｘがこれにしたがって調節され、段階７４４ Ｈではその画素が正常であると判っているのでプログラムは段階７４４Ｊへ進み 、ここで位置が保存されてからプログラムはまた段階７４０へ復帰する。

さらに段階７４０では同様のシーケンスのために行ポインタが位ｆｉ７４０ｇへ １つ増分されるが、段階７４４でその画素が正常かを調べる点で前記とは異なっ ており、結果的にプログラムは段階７４６へ進みここで画素ポインタが位置７４ ｏｈへ１つ減算される。段階７４８において新しい位置もまた正常であると調べ られているので、プログラムは段階７５２へ分岐し、ここでＹ値が直前の値と同 一であるかが調べられる。これは同一であるから、プログラムは段階７５２Ａへ 分岐し、位！（Ｘ＋ｌ、Ｙ−１（７４０ｆ）が正常かを調べる。これは正常であ るから、プログラムは段階７５４へ分岐し、ここで新しい位置が保存され段階７ ５６で画素ポインタが位置７５６ａへ減算される。プログラムはさらに段階７４ ８へ分岐し、ここで画素値が範囲内ではないことを調べる。従って、プログラム は段階７４８Ａへ進み、Ｃ０ＵＮＴ−Ｐの値が増分されて段階７４８Ｂでは新し い位置が保存されプログラムは段階７５０へ進む。

段階７５０においてＹ値が変更されていないことが調べられるため、プログラム は段階７５０Ａへ分岐して直前の位置が正常だったかを調べる。これは正常だっ たのでプログラムは段階７５０Ｂへ分岐してＣ０ＵＮＴ−Ａの値を上記のように 加算してから、段階７４０へ分岐が戻る。段階７４０において同様な手順で、位 置７４０ｉ八行ポインタが１つ増分され、ここで段階７４６では画素ポインタが 位置７４０ｊへ減算され１段階７４８で画素が範囲内にあるか調べられる。

従って、プログラムはまた段階７５２へ分岐して、段階７５２Ａでは少な（とも 最後の段階において位置Ｘ＋１．Ｙ−１（７５６ａ）が正常ではなかった点がこ となるため、プログラムは段階７５８へ分岐してＸ位置が５ＴＡＲＴ−Ｘ位置よ り小さいかを調べる。これは小さくないので、プログラムは段階７６０へ進みこ こで直前に保存した位置が正常かを調べる。これは正常なのでプログラムは段階 ７６４へ分岐して画素ポインタが位置７４６ａへと１つ減算され、段階７６６で その位置が保存され、段階７６８で画素値が範囲内にないことが調べられ、段階 ７７０でＣ０ＵＮ’ｊＰが１つ増分されて段階７５６．では画素ポインタが位ｆ ｉ７６４ｂへ１つ減算される。プログラムはこの後段階７４８へ分岐してその画 素が範囲内にないことを調べ、このあと、プログラムは段階７４８Ａへ分岐して Ｃ０ＵＮＴ−Ｐが］つ省分され、段階７４８Ｂで新しい位置が保存されて段階７ ５０ではＹ値が直前に保存された値と同一であることが調べられる。

従って、プログラムは段階７５０Ａへ分岐して直前に保存した値が正常であるこ とを調べ、これによってプログラムはもう一度段階７４０へ戻る。段階７４０で は同様なシーケンスで行ポインタが位ｆｆ１７６４ｃへ１つ増分されて、段階７ ４６で画素ポインタが位置７６４ｄへ１つ減算され、段階７４８でプログラムは また段階７５２．７５２Ａ、７５８．７６０．７６２．７６４へ分岐して、ここ で行ポインタが位置７６４ｅへ１つ減算される。段階７６６ではその新しい位置 が保存される。段階７６８では画素が正常範囲内には存在していないのでプログ ラムが段階７７０へ進み、Ｃ０ＵＮＴ　Ｐが１つ増加されてまた段階７５６で画 素ポインタが位置７６４ｆへ１つ減算され、プログラムはもう一度段階７４８へ 復帰する。段階７４８では画素値が範囲内には存在していないため、プログラム は段階７４８Ａへ分岐してω開’ｊＰ（ｌを１つ増分し、段階７４８Ｂでその新 しい位！を保存して段階７５０でＹ値が直前に保存した値と同一かを調べる。従 って、プログラムは段階７５０Ａへ分岐して直前の保存段階で保存した値が正常 ではないことを調べ、これによってプログラムはまた段階７４０へ復帰する。

段階７４０では、行ポインタが位置７６４ｇへ１つ増分されプログラムは同じ段 階、７４２から７４６をへて、段階７４６で画素ポインタを７６４ｈへ減算する 。プログラムは上記のように段階７５２および７５２Ａへ分岐するが、段階７５ ８において現在の位置のＸ値が５ＴＡＲＴ−Ｘ値より小さいことを調べる点でこ となり、そのため、プログラムは段階７５８Ａへ分岐して新しい位置を保存し、 さらに図３０の段階７７２へ進む。

図３０の段階７７２では、値Ｘが既存のＭＩＮ−Ｘ値より小さい場合ＭＩＮ−Ｘ の値が調節される。段階７７４では行ポインタが位置７７４ａへ１つ減算され、 段階７７６でその値が保存される。プログラムは段階７７８へ分岐し、ここで位 置７７４ａにおける画素を評価する。これが範囲内に存在するため、プログラム は段階７７８Ｂへ分岐して位ＨＸ＋ｌ、Ｙ＋１　（７６４ｇ）が正常かを調べる 。これは正常であるから、プログラムは段階７７８Ａへ進み、直前に保存された 位置（７６４ｈ）が正常だったかを調べる。これは正常だったので、プログラム は段階７７２へ戻り、同様な手順で段階７７４において行ポインタをまた位置７ ７４ｂへ減算し、段階７７６で位置を保存するが、段階７７８でその画素が正常 範囲内にないことを調べる点で異なっている。

従って、プログラムは段階７８０へ分岐して、Ｃ０ＵＮＴ−ＰとＣ０ＵＮＴ−Ａ の画素カウントが１つ加算され、段階７８２で画素ポインタが位置７８２ａヘ一 つ減算される。段階７８４でＭＩＮ−Ｘ値が既存のＭＩＮ−Ｘ値より小さい場合 調節され、段階７８６で画素が正常であるかを調べるため評価される。これは正 常であるから、プログラムは新しい位置を段階７７４Ａで保存した後段階７７２ へ復帰する。段階７７２７４ｄへ１つ加算され、段階７７８Ｄで新しい位置が保 存された後段階７７８Ｅプログラムは段階７９０へ進み、行ポインタが位置７９ ０ａへ１つ減算され、される。プログラムは段階７９０Ｅで新しい位置を保存し た後、段階７８２へ進７８では画素が正常かを調べる。これは正常なので、プロ グラムは段階７７８Ｂへ分岐し、位置Ｘ＋１．Ｙ＋１　（７９Ｑ、ａ）が正常か を調べる。これは正常ではないので、プログラムは段階７７８Ｃへ分岐し、画素 ポインタが位置７７４ｆへ１つ加算されて、段階７７８Ｄで新しい位置が保存さ れ、段階７７８Ｅでその画素が正常かを調べる。これは正常ではないので、プロ グラムは段階７７８Ｆへ分岐Ｌ　テｃＯＵＮＴ−Ｐ値が１つ加算され、段階７７ ８　ＧテＣ０ＵＮＴ−Ａが５ＴＡＲＴ−Ｘニ先立つ位置の量、ここでは１だけ加 算される。

プログラムは段階７９０へ進み、ここで行ポインタが位置７９０ｂへ１だけ減算 され、段階７９０Ａで新しい位置が保存され、段階７９０Ｂで画素が範囲内にあ るかを調べる。これは範囲内ではないので、プログラムは段階７９０Ｃへ分岐シ テ、Ｃ０ＵＮＴ−Ｐ５＜　１　ツ加算され、段階７９０　Ｄ　テＣ０ＵＮＴ−Ａ カ５ＴＡＲＴ−Ｘニ先立つ位置の量、この場合１だけ加算される。プログラムは 段階７８２へ進み、画素ポインタが位１ｉ７８２ｃへ１つ減算され、段階７８４ でＭＩＮ−Ｘ値が必要なら調節され、段階７８６でその画素が正常かを調べる。

これは正常なので、プログラムは段階７７２へ復帰しその後新しい位置が段階７ ７４Ａで保存される。

段階７７２でＭＩＮ−Ｘ値が必要であれば調節され、プログラムは段階７７４へ 進み行ポインタが位置７７４ｇへ１つ減算され、段階７７６で新しい位置が保存 されて、段階７７８で画素が正常かを調べる。これは正常なので、段階７７８Ｂ で位置Ｘ＋１．Ｙ＋１　（７９０ｂ）が正常かを調べる。これは正常ではないの で、プログラムは段階７７８Ｃへ進み、画素ポインタが位置７７４ｈへ１つ加算 され、段階７７８Ｄで新しい位置が保存され、段階７７８Ｅで画素が正常かを調 べる。これは正常なので、プログラムは段階７７８Ｈへ分岐し、Ｘ位置が５ＴＡ ＲＴ−Ｘ　−１に等しいかを調べる。

その位置が５ＴＡＲＴ−Ｘ−１であるから、プログラムは段階７７８Ｉへ分岐し 、Ｃ００ＮＴ−Ａが係数で逓倍される。ここで係数はウェブ上で較正時に設定さ れた画素の寸法であって、欠陥の領域を与えるものである。段階７７８Ｊでその 値が共有メモリー内にその目的専用に割り当てられたレジスタに保存される。段 階７７８にでＣ０ＵＮＴ−Ｐ値が上述と同一の係数で逓倍される。これは欠陥の 周囲を与えるものである。段階７７８Ｌではその値がその目的専用のレジスタ内 に保存される。段階７７８Ｍでｆｉ値ＭＩＮ−Ｘ、　ＭＡＸ−Ｘ、　ＭＩＮ−Ｙ 、　ＭＡＸ−Ｙを用いて窓開けされ、段階７７８Ｎで窓のパラメータが処理回路 ５９２によりて共有メモリーの一部に保存される。

段階７７８０で窓開けした欠陥は、図２１の共通バス２２８を介して表示ボード ２２４のＦＩＦＯバッファへ窓の寸法をブロックとして転送され、図１および図 ４のモニター１８６上で表示される。段階７７８Ｐで保存レジスタが消去され、 段階７７８Ｑで全ての警報がリセットされ、プログラムは注目している領域の検 索で終るＴＲＡＣｊＥＤＧＥルーチンから図２５の段階６６８へ復帰する。

表示ボード２２４は規格手段を用いて、窓の中の欠陥を表すデータブロックを受 信し、そのブロックを５１２画素×４８０行のプログラム可能型表示バッファ内 において中心におき、モニター１８６の画面中央に欠陥が位置するように設定さ れている。

本プログラムはその形状に拘らずあらゆる欠陥の辺縁を追跡することが出来る。

欠陥の大半は円形であるが、あるものはさまざまなほかの形状を有することがあ る。

図３３は不規則な辺縁を有する欠陥を示す。この場合、ＴＲＡＣＥｊＤＧＥ、　 ５ＴＡＲＴ−Ｘ、　５ＴＡＲＴ−Ｙ、　ＲＩＧＨＴプログラムが上述した手順と 同様の図２８の手順によって位置７０５ａから７２８ａまでの位置をめ、同様に 図２９で上述した位置７４０ａから７５６ａを決定する。しかし、段階７６２に おいて、位置がＭＡＸ−Ｙ以下であるから、プログラムは図３１の段階７９２へ 分岐する。欠陥の外延は同様に決定されるが、さきにＣ０ＬＩＮ”ｊＡに加算さ れているそれぞれのＹ線から５ＴＡＲＴ−Ｘまでの画素は画素ポインタが５ＴＡ ＲＴ−Ｘ以下になるまでそのカウントから削除される点で異なる。この点は、こ の場合の７９２１では、異常であると判った各画素がＣ０ＵＮＴ−ＰおよびＣ０ ＵＮＴｊ（７）双方へ図３１の段階７９６Ｂで、　そのＹ軸線上ノ５ＴＡＲＴ− Ｘ以前ニする発見された異常画素の量にしたがって加算される。異常画素が存在 する他のＹ線においては、ループ７９６Ｃから７９６Ｊで、開始点５ＴＡＲＴ− Ｘ−１、５ＴＡＲＴ−Ｙ以前の画素が、先の図３０の段階７７８工でプログラム が分岐する点に到達するまで、Ｃ０ＵＮ’ｊＰとＣ０ＵＮＴ−Ａが増加する。図 ２５の段階６８０Ａにおける警報はリセットされ、プログラムは別の線の検索に 復帰する。

通常、検査実行中に遭遇する欠陥は僅かである。本発明の意図はどの行または複 数行が欠陥を含むか決定するために無作意な位置に存在する欠陥を発見し、これ によってウェブのどの部分が欠陥な賑かを決定することである。

警報なし条件の下では、ある行の走査は５ＴＡＲＴ−Ｘ、　５ＴＡＲＴ−Ｙ位置 を１０ケ所提供しない。ある欠陥の終了が検出された後、処理装置５８６の主プ ログラムは図２５．２８．２９．３０．３１に図示した上述の警報条件と同様の 注目領域の手順を呼び出す。

図３２の欠陥６９０を参照すると、上述のように、処理回路５８６は段階６７０ で決定されたように有効信号が低値になってから最初の行をアクセスする。段階 ６７２で画素ポインタは検査中の線の最初の画素に位置し、段階６７４でその画 素が所定範囲内にあるかを調べる。これは範囲内であるから、プログラムは段階 ６７６へ分岐して画素ポインタを増加させ、段階６７８で画素ポインタ画素の行 の最後の画素を通過したかを調べる。通過していなければ、プログラムは段階６ ７４から６７８のループを繰り返し、さらに段階６７４Ａがら６７４ｃで、その 行の最後の画素を画素ポインタが通過するまで、薄膜の厚みを補償する。そのあ と段階６８０へ分岐して行ポインタが加算され、段階６７０で次の行の検索を行 なう。

上述のように、プログラムは、図３２の欠陥６９０の位置７０５ａが段階６７４ で遭遇するまで、段階６７４から６７８と、６７４Ａから６７４Ｃでループする 。このあとプログラムは段階６ア４Ａと段階６７４Ｂを通って分岐し、段階６７ ４Ｃでプログラムは段階６７４Ｄへ分岐し、直前の行の同一のＸ値の画素が正常 かを調べる。これは正常であるから、プログラムは段階６７４Ｅへ分岐して、直 前の行のＸ値＋１の画素が正常かを調べる。これは正常であるから、プログラム は段階６７７へ分岐して、■Ｎ−ＸおよびＭＩＮ−Ｙと５ＴＡＲＴ−Ｘおよび５ ＴＡＲＴ−Ｙについて初期値が設定され、段階６７７ＡでＡＢＮＯＲＩＩＩＡＬ ユＩＮＥの初期値が設定され、段階６８２で５ＴＡＲＴ−Ｘ、　５ＴＡＲＴ−Ｙ の画素位置が保存される。プログラムは段階６８２Ａへ進んで、その位置が５Ｔ ＡＲＴ−Ｘ９に等しいかを調べる。これは等しくないので、プログラムは段階６ ７６へ分岐し、画素ポインタが１つ加算されて、段階６７８で画素ポインタ画素 の行の最後の画素を通過したかを調べる。これは通過していないので、プログラ ムは段階６７４へ分岐し、新しい画素が所定範囲内にあるかを調べる。これは範 囲内ではないので、プログラムはさらに段階６７４Ａを通って６７４Ｃへ分岐し 、直前の画素が異常か＼調べる。これは異常なので、この画素は無視され、　５ ＴＡＲＴ−Ｘ、５ＴＡＲＴ−Ｙ位置としては保存されず、プログラムは段階６７ ６へ分岐する。プログラムはここで段階６７４から段階６７６の中を循環し、位 置７０５ｆに遭遇するまで異常位置を無視する。その点で、その行の画素ポイン タ画素の行の最後の画素を通過するか、または別の欠陥の開始を表すその行の別 の欠陥画素に遭遇するまで、プログラムは段階６７４から段階６７８と段階６７ ４Ａから６７５または６７５Ａヘルーブする。後者の条件では、プログラムは直 前の欠陥の直前の開始位置と同様に進む。プログラムは段階６８０へ分岐し、こ こで上述の場合のように、行ポインタが１つ加算されて、段階６７０で次の行の 検索に入る。

上述のように、プログラムは、段階６７４で位＠７９０ｂに遭遇するまで、段階 ６７４から６７８と、段階６７４Ａから６７５または６７５Ａを循環する。その 点でプログラムは段階６７４Ａを通って６７４Ｃへ分岐し、その行の直前の画素 が正常だったので段階６７４Ｄへ分岐する。段階６７４Ｄでは直前の行で同一の Ｘ値の画素（Ｘ、Ｙ−１＝位置７７４ｈ）が正常かを調べる。これは正常である から、プログラムは段階６７４Ｅへ分岐し、直前の行でＸ＋１の画素（Ｘ＋１、 Ｙ＋１＝位置７０５ａ）が正常かを調べる。これは正常ではないので、プログラ ムは図２６の段階６７９へ分岐し、Ｘについての値がＭＩＮ−Ｘと比較される。

ＸはＭＩＮ−Ｘより小さいので、後者がＸの値に調節される。プログラムは段階 ６８３へ進み、Ｙが５ＴＡＲＴ−ＹにＡＢＮＯＲＭＡＬユＩＮＥを加えた値と等 しいかを調べる。これは等しいので、プログラムは段階６８３Ａへ分岐し、ＡＢ ＮＯＲＭＡＬユＩＮＥが加算され、ここで二つの行に異常画素を有することを示 す。次にプログラムは図２５の段階６７６へ進み、この異常画素を無視し、これ を５ＴＡＲＴ−Ｘ、　５ＴＡＲＴ−Ｙとして保存しないで、以前のように段階６ ７８へ分岐し、画素ポインタがその行の最後の画素を通過したかを調べる。この あとプログラムは、画素が異常であるから、位置７２８ａに遭遇するまで６７４ から６７４Ｃと６７８をループし、段階６７５および６７５Ａを迂回する。上述 のようにプログラムは正常な画素を通ってその行の終端へ段階的に進み、線を増 やして、位ｆｉ７７４ｆに遭遇するまで同一段階を通して段階的に進む。上述の ように、直前の行の画素が異常であるから、その位置はＳＴプログラムは同一の 段階をへて、７４０ｉを２ポイント通過した位置に遭遇するまで欠陥を決定する 動作を続ける。この点で、段階６７４の範囲内に画素値が発見された後、図２７ の手順からプログラムは自動的に復帰しない。図２７の段階６８５で、Ｙカ５Ｔ ＡＲＴ−Ｙ＋ＡＢＮＯＲＭＡＬ−ＬＩＮＥニ等しいかを調べる。これは等しイ（ ７）で、プログラムは段階６８５Ａへ分岐し、その位置がＭＩＮ−Ｘより大きい かまたは等しいか、またはＭＡＸ−Ｘより小さいかを調べる。これは該当するの で、プログラムは段階６８５Ｂへ分岐し、位置Ｘ、Ｙ−１（７７４ａ）が正常か を調べる。これは正常であるから、プログラムは段階６８５Ｄへ分岐し、現在の Ｘ値がＭＡｘ−ｘと等しいかを調べる。これは等しいので、プログラムは段階６ ８５Ｅへ分岐し、ＭＡＸ−Ｘと等しいその位置が正常かを調べる。これは正常で あるから、プログラムは縦（Ｙ）軸上の欠陥の終了ＭＡＸ−Ｙを示す段階６８５ Ｆへ分岐し、さらに図２８の段階６８４へ分岐して欠陥についての注目領域の検 索が上述のように開始される。

ウェブ１００製造部の通常動作において、検査システムが通常ウェブ搬送機構の 直後に設置され、またはウェブ１００について第１の案内ロールより後ろに設置 されることはないので、側方移動は無視できる。この点でウェブは側方へ移動す ることは出来ない。しかし、何らかの用途において、さらにオフラインでの検査 では側方移動が発生する場合がある。

その影響のために第１のカメラ１０４専用の処理装置５８６内に含まれて第１の カメラ１０４によってウェブｌＯＯの端部３６８を監視する変更したプログラム を図３４に示す。システムの設定および較正で、第１の最も右にあるカメラ１０ １のための端部３６８における画素量が調べられて設定されている。幅が６０． ０インチまたは６０．０００ミル（１，５２メートル）のウェブ１００では、１ ２台のカメラ１０１を使用してカメラ１０１から取得可能な画素の総量は、全幅 ６１，４４０ミル（１，５６メートル）で画素あたり２．５ミルで、２４．５７ ６である（カメラ１０１あたり２，０４８画素の１２倍）。カメラ２から１２に ついて重複３６６が２．５ミルが８画素（２０ミル）になるから、実際にウェブ の検査のために取得可能な画素量は２，５ミルの２４，４８８倍または６１゜２ ２０　（１，５６メートル）の幅について、２４．５７６より８８少ない２４゜ ４８８画素となる。ウェブ１００は６０．０００ミル幅であり、端部３６８は６ １．２２０ミル−６０，０００ミル＝１．２２０ミルまたは４８８画素（１，２ ２０ミル／２．５ミル）となる。よってそれぞれの端部３６８は２．５ミル画素 で２４４画素（４８８／２）または６１０ミル（１，５５センチメートル）とな る。較正でシステムのソフトウェアはこの値が与えられる。よって、第１のカメ ラ１０１について端部はＸ値が２４４または２４５番目の画素で終了することが システムに判る。同様に、最も右または１２番目のカメラ１０１で端部はＸ値が １８０４またはそのカメラ１０１について１８０４８０４画素で開始するはずで あるとシステムに判る。システムはそれぞれのカメラ１０１がウェブ１００の特 定領域を検査できるような方法で設定および較正されていることから、１２台の カメラ１０１について端部の開始は、より特定すれば重複３６６のためウェブの 幅で２４，２４５画素（２４，４８８−２４５）となる。図２５の点６６８にお いて、最も左側のカメラまたはカメラ１についてプログラムは図３４の段階１６ ０２へ進み、ウェブの左端を検出するための手順が開始される。段階１６０２で は画素ポインタは第１の画素に位置しており、段階１６０４では画素値が２５５ 以下かを調べる。これに該当しない場合、プログラムは段階１６０６へ分岐して 、画素ポインタが１つ加算され、段階１６０４へ戻ってから新しい画素を評価す る。２５５以下の値を有する画素に遭遇するまで、プログラムは段階１６０４と １６０６の間をループする。

後者の条件に合致した場合、プログラムは段階１６０８へ分岐し、ＬＩＮｊＳＴ ＡＲＴパラメータが設定されＸの値と保存されるＬＩＮＥ−５ＴＡＲＴパラメー タの値が等しくなるようになし、段階１６１０でＷＥＩｊＳＴＡＲＴパラメータ が設定されてＸの値と保存されるＷＥＢ−５ＴＡＲＴパラメータの値が等しくな るようになし、段階１６１２でＸの値が２４５に等しいかが調べられる。これが 等しい場合、プログラムは段階１６１４へ分岐し、値２４，２４４　（正常なＬ ＩＮｊＥＮＤ位Ｒ）と等しくなるようにＬＩＮＥＥＮＤパラメータが設定されて 、そのＬＩＮＥＪＮＤパラメータが保存され、段階１６１６でＷＥｆｊＥＮＤパ ラメータが値２４，２４４　（通常のＷＥＢ　ＥＮＤ位置）と等しくなるように 設定されて、そのＷＥＩｊＥＮＤパラメータが保存され、段階１６１８でＬＩＮ Ｅ−５ＴＡＲＴフラグが低値に設定され、段階１６２０でＬＩＮｊＢＥＧＩＮレ ジスタが抹消されて図２５の段階６７０へ復帰して行の検索を開始する。図２５ の段階６７２が図３４の段（！ｌ６７２Ｂで置き換えられて、第１のカメラ１０ ４の画素ポインタがその行の第１の画素としてＬＩＮＥ−８ＴＡＲＴのＸ値を指 すようにする。

段階１６１２においてＸ値が値２４５と等しくないように設定された場合、プロ グラムは段階１６２４へ分岐してＬＩＮＥ−５ＴＡＲＴフラグを高値に設定する 。プログラムは段階１６２６へ分岐して、Ｘ値が２４５より小さいかを調べる。

これが小さい場合、プログラムは段階１６２８へ分岐してＬＩＮＥｊＮＤが２４ ，２４４−（２４４−Ｘ）に設定されてそのＬＩＮＥ−巳り値が保存され、段階 １６３０でＷＥＢ−凸Ｄパラメータが２４，２４４−（２４４−Ｘ）４：設定す ｔ’Ｌテソ（７）ＷＥＢ　ＥＮＤパラメータが保存され、段階１６３２でＬＩＮ ｊＢＥＧＩＮパラメータが負の値をとるようにＸ−２４４に設定サレ、段階１６ ４０　テＬＩＮＥ−ＢＥＧＩＮハラメ９　カビチオボード２０８内のその目的専 用のレジスタに保存され、プログラムは図２５の段階６７０へ分岐して行の検索 を開始する。

段階１６２６においてＸ値が２４５以下ではなく設定された場合、プログラムは 段階１６３４へ分岐してＬＩＮＥｊＮＤが２４，２４４＋　（Ｘ−２４４）に設 定されてそのＬ丁ＮｊＥＮＤパラメータが保存され、段階１６３６でＷＥＢ−Ｅ ＮＤパラメータが２４．２４４＋　（Ｘ−２４４）に設定されてそのＷＥＢ　Ｅ ＮＤパラメータが保存され、段階１６３８でＬＩＮｊＢＥＧＩＮパラメータがオ フセットとして正の値をとるｘ−２４４に等しくなるように設定され、段階１６ ４０でＬＩＮＥ　ＢＥＧＩＮパラメータがビデオボード２０８のその目的専用の レジスタに保存され、図２５の段階６７０で行の検索を開始する。

この方法によって、プログラムは第１のカメラ１０４についてＬＩＮｊＳＴＡＲ ＴおよびＷＥＢ〜５ＴＡＲＴと、最も右端または１２番目のカメラ１０４につい てＬＩＮＥ−ＥＮＤおよびＷＥＢ−ＥＮＤを主プログラムに知らせる。２５５以 下の値を有する図３４の段階１６０４の位置に遭遇すると、プログラムはＬＩＮ Ｅ　５ＴＡＲＴ、ＷＥｔｊＳＴＡＲＴ、　ＬＩＮＥ　ＥＮＤ、ＷＥＢｊＮＤの位 置を正しく設定したことになる。

好適実施例において、コンピュータ２０２はＬＩＮｊＳＴＡＲＴ、　ＷＥＢ　５ ＴＡＲＴ、　ＬＩＮＥＪＮＤ、およびＷＥＢｊＮＤの値を読み込む。ＬＩＮＥ− ＥＮＤの値は１２番目のカメラ１０４に転送され、１２番目のカメラはウェブの 端部がどこかを予測できるようになる。これ以外に１２台のカメラ用のプログラ ムは図３４と類似しているがウェブの左端ではなく右端を発見するための変更さ れた手順を含むことも出来る。

１２番目のカメラ１０４について、ビデオ処理装置２１８のそのカメラ専用の処 理回路５８６は図３５に示したように図２５のプログラムの変更を含む。変更に おいて、プログラムは段階６７６から段階１５５２へ進み、画素位置がＬＩＮＥ 　ＥＮＤに保存された値と等しいかを調べる。この段階は図２５の手順の段階６ ７８に代わるものである。段階１５５２が偽であれば、プログラムは段階６７４ へ分岐して戻る。真であれば、プログラムは段階６８０へ分岐し行ポインタが増 加される。

端部領域はいずれの方向についても処理中のウェブの正常な側方移動に基づいて 経験的に決定される。これらの経験的な決定から得られた情報は主プログラムに よって用いられてＸ軸上の欠陥の位置の報告を正確に保ち、連続する線に含まれ る画素について正確に位置合わせを保つようにする。

ウェブの側方移動の補償を達成するため、システムの設定および較正でそれぞれ のカメラ１０４は、全てのカメラ１０１を統合した全視野に比例した画素の視野 が割り当てられる。

上述のように利用可能な画素の総量が２４，５７６であり、８８８画素の重複に よってカメラ１０１の１番目から１２番目までで実際に利用可能な画素は２４． ４８８となるので、実際の全視野は２４，４８８画素または６１，２２０ミル（ １，５５メートル）となる。

利用可能な画素は１２０の線分に分割され、それぞれの線分は２０４画素となる 。第１のカメラ１０４は画素番号１から２０４８が割り当てられ、画素番号１か ら２０４０は線分番号ｌから１０を含み、最後の８画素２０４１から２０４８は 次の線分と共通である。第２のカメラ１０４は画素番号２０４１から４０８８が 割り当てられ、画素番号２０４１から４０８０は線番号１１から２０を含み、最 後の８画素４０８１から４０８８は次の線分と共通である。この割当が、右端に ある１２番目のカメラ１０４まで続き、１２番目のカメラ１０４では画素番号２ ２．４４１から２４，４４８までが割り当てられ、直前の１１番目のカメラ１０ ４と１１０番目の線分を共用し、画素２２，４４１から２４，４８８は線分番号 １１０から１２０を含む。線分番号１２０は２１２画素を含み、０．５１０イン チまたは５１０ミル（１，２９５４センチメートル）幅を有する線分番号１がら １１９に対向して０．５３０インチまたは５３０ミル（１，３４６２センチメー トル）を有する。利用可能な画素は上述のように線分に割り当てられるが、それ ぞれのビデオボード２１８はまたｌから２４８までの固有の画素割り当てを維持 している。

図３６において、直列バイトから並列ビットへの変換器５８２、並列メモリー５ ８４、並列処理回路５９０、処理回路５９２の配置が詳細に示しである。チャネ ル５６１−５６８はそれぞれ１２８直列バイト入力並列ビット出力装置８０１ａ −８０１ｐの１６装置のグループの入力に接続される。簡略化するために装置８ ０１ａ、８０１ｂ、８０１ｃ１．、ｇｏｉｐの入力へのチャネル５６１と、装置 ８０２ａ、８０２ｂ１９０．へのチャネル５６２と９０．装置、、、８０８ｐの 入力へのチャネル５６８の接続が図３６では図示しである。装置８０４ａ−８０ ８ｐのそれぞれは線２６８上のデータ有効信号が真の場合シフトレジスタ方式に チャネル５６１−５６８からの１６バイトのグループをそれぞれが受信する。

８ビツトカウンタ８１０は線４７９上のカメラクロツタパルスＣＲ２の２５６パ ルス・パケットによって動作する。カウンタ８１０の最上位４出力は、１６個の 直列バイト入力並列ビット出力装置８０１ａ−８０８ｐそれぞれのグループにお けるそれぞれに対応する装置の有効入力へ接続された出力を有するデコーダ８１ ２によって復号される。図３６は、装置８０１ｐ、、、、８０８ｐへ接続された 出力０と１．５．装置８０１ｃ、、、へ接続された出力１３と、８０１ｂ、８０ ２ｂ、、、、へ接続された出力１４と、装置８０１ａ、８０２ａ、、、、　へ接 続された出力１５とを有し、チャネル５６１上の２５６バイト線画素部分の１６ バイトのグループを連続して受信するために順次起動される装置８０１ｐ、、、 。

８０１ｃ、８０１ｂ、８０１ａへ、チャネル５６２上の２５６バイト線画素部分 の１６バイトグループを連続して受信するために順次起動される装置、、、８０ ２ｂ、８０２ａへ１６３．およびチャネル５６８上の２５６バイト線画素部分の １６バイトグループを連続して受信するために順次起動される装置８０８ｐへの デコーダを示す。よって直列バイト入力並列ビット出力装置８０１　ａ−８０８ ｐは検査しているウェブのそれぞれの線を表す２０４８バイトを正しい順番で受 信する。

シフトレジスタ方式での装置８０１ａ−８０８ｐの動作に代わるものとして、こ れらの装置は、ランダムアクセスメモリーと同様の方法でカウンター８１０の最 下位出力（装置を下向きに順次アドレスするように装置８０１ａ−８０８ｐへ逆 向きに接続される）によってアドレスすることもできる。

線３２０上の線有効信号が偽になると、装置８０１ａ−８０８ｐは直列バイト入 力モードから並列ビット出力モードへ切り換えられる。処理回路５９２は低値に なるデータ有効信号に応答して３ビツト番地カウンター８１４をリセットし、こ れがＮＯＲゲート８１６を有効にして、線８２０上でカウンタ８１４と装置８０ １ａ−８０８ｐの入力へ印加される線８１８からの一連の８クロツクパルスを通 過させる。線８２０上のクロックパルスは、装置８０１ａ−８０８ｐの２０４８ 画素バイト全てを、各クロックパルスの間に一度に１ビツトづつ、２５６個のメ モリー装置８２２の入出力へ接続された並列データ線へ読み出す。メモリー装置 ８２２の番地入力は番地カウンタ８１４の二進出力と処理回路５９２によって設 定される行アドレスレジスタ８２４の出力で制御される。装置８０１ａ−８０８ ｐの２０４８個の並列ビット出力はメモリー装置内でカウンタ８１４によって制 御される連続した番地で、行アドレスレジスタ８２４によってあらかじめ設定さ れたブロックまたは行アドレスに書き込まれる。この方式で複数の画素線、例え ば１ｏ２４１１を並列メモリー５８４へ保存できる。メモリー５８４は環状メモ リーバッファとして働く、すなわち、番地レジスタ８２４の出力１０２３に保存 された行の次の行はレジスタ８２４の出力０に保存される。

メモリー装置８２２のデータ入出力は並列処理装置５９０を形成する２５６個の 装置８３０の入力へ接続されている。制御処理袋Ｗ５９２は行アドレスレジスタ ８２４内の行アドレスを設定し、またカウンター８１４をリセットして処理装置 ５９２への一行の転送を開始し、各画素のビットが直列に転送されると同時に２ ０４８ｍ素が転送される。制御処理装置は並列処理装置の制御入力へ並列に接続 されて行の並列処理を制御する。処理装置８３０内のレジスタは制御処理回路５ ９２のメモリ一番地内に割り当てられ、処理回路５９２がバス８３２上の個々の 装置８３０から検査結果および画素バイトを読み出せるようになしである。ＲＡ ＭおよびＥＥＦＲＯＭを含むメモリー８３４はオペレーティングシステムおよび 処理回路５９２用制御パラメータを含み、装置８３０を動作させテスト結果をシ ステムコンピュータ２０２へ転送する。

各処理袋！８３０は詳細を図３７に図示しであるように、図３６の対応するメモ リー装置８２２のそれぞれのデータ入出力線に接続された８本の直列入出力線８ ４０を有している。線８’４０はスイッチ８４２によって、処理回路５９２がら の司令の選択制御の下で３つのシフトレジスタのバンク８４４．８４６．８４８ の一つの入力または出力、または論理回路装置８５０の入力へ接続される。スイ ッチ８４２はシフトレジスタ８４４，８４６、または８４８のバンクの入力また は出力を対応する論理回路装置の第１の入力へ選択的に接続することもできる。

スイッチ８５４および８５６はシフトレジスタ８４４．８４６．８４８のバンク の入力または出力を線８５８および８６０を介して論理回路装置８５０の対応す る第２の入力または出力へ選択的に接続する。線８６１はレジスタ８４４．８４ ６、または８４８の選択された一つのバンク内の右または左いずれかのバイトお よび隣接する処理回路装置の対応する端部シフトレジスタのシフトを提供する。

論理回路８５０は通常の直列処理装置で処理装置５９２からの制御入力によって 制御されて加算、減算、比較などの算術演算およびＡＮＤ、ＯＲなどのプール代 数演算を入力上に表れる８ビット直列ワードに対して実行し、さらにこれの出力 に表れる演算結果をシフトレジスタの一つのバンクへ逆に転送する。さらに論理 回路８５０内の算術および論理演算は８ビツト状態レジスタ８６２内に保存され る状態ビットを生成する。例えば、レジスタ８４４内の８ビツトワードは一つの 比較命令によってレジスタ８４６内の８ビツトワードと比較でき、また対応する ビットはレジスタ８４６内のそれぞれのワードについて状態レジスタ８６２内で 高値に設定される。状態レジスタ８６２内の対応するビットはレジスタ８４６内 の対応するワードに等しいかまたは大きいシフトレジスタ８４４内のそれぞれの ワードについて低値に設定される。別の比較命令では、対応するビットはレジス タ８４６内の対応するビットに等しいレジスタ８４４内のそれぞれのワードにつ いて状態レジスタ８６２内で高値に設定され、状態レジスタ８６２内の対応する ビットはレジスタ８４６内の対応するワードより大きいまたは小さいシフトレジ スタ８４４内のそれぞれのワードについて低値に設定される。

入出力レジスタ８６４は処理装置５９２のバス８３２のデータ線へ接続された並 列人出力を有し、選択回路８６６の共用人出力と状態レジスタ８６２の出力へ接 続された直列入力を有し、また選択回路８６６の共用入出力と共用コネクタスイ ッチ８６８の入力へ接続された直列出力を有する。共用コネクタスイッチ８６８ は処理装置５９２の制御下においてレジスタの直列出力を全ての線８５８へ接続 できることで、例えば、レジスタ８６４からの許容しつる画素値について上限を シフトレジスタ８４６の全てへ同時転送することまたはレジスタ８６４からの許 容しつる画素値について下限をシフトレジスタ８４８の全てに同時転送すること を可能にしている。選択スイッチ８６６は個々の線８５８をシフトレジスタ８６ ４の入力または出力へ接続し、これによって例えば一度に一つづつ、個々の画素 がシフトレジスタ８４４からレジスタ８６４へ読み出されることができ、処理装 置５９２が一つまたはそれ以上の画素を並列メモリー５８４内に読み込むことが 出来るようになる。

ＯＲゲート８７０は状態レジスタ８６２の出力へ接続された入力と、処理装置８ ３０の端末８７２に接続された出力を有する。図３８に示したように、１６個の 処理装置８３０の各グループの端末８７２は１６個のＯＲゲート８７４の対応す るＯＲゲートの入力へ接続される。ＯＲゲート８７４の出力はゲート装置８７６ によって対応するバス８３２のデータ線へ接続される。バス８３２のアドレス線 はデコーダ８７８を作動させ、これが一つの番地でゲート装置８７６を起動して 、処理装置５９２がＯＲゲート８７４の出力を読み出せるようにする。この方法 で処理装置５９２は２つの比較および２つの読みだし周期を使って２０４８画素 の行全体が所望する画素値の範囲以上または以下となる欠陥画素を含むかを調べ ることが出来る。通常状態では、ウェブは極めて僅かな欠陥しか含まないので、 ２０４８画素の各行についての処理時間は極めて短（、比較的高速のウェブ移動 で欠陥検査が行なえることになる。

デコーダ８７８の他の出力はそれぞれの処理装置８３０の有効入力へ接続され、 処理装置５９２がそれぞれの処理装置８３０の入出力レジスタ８６４から読みだ しおよびこれへの書き込みが出来るようになしである。さらに、デコーダ８７８ の一つの出力が処理装置８３０の有効入力を共通有効線８８２へ接続するゲート 装置８８０を作動させ、処理装置５９２が同時に全ての処理装置８３０の入出力 レジスタ８６４へ並列に書き込むことが出来る。この同時書き込みを用いて上限 および下限の画素値を処理装置８３０内へ転送することが出来る。

処理装置５９２用のオペレーティングプログラムは図３９に示したタイマー割り 込み手順を含み、これが全てのデータ有効信号の終端で呼び出される。これ以外 では、タイマー割り込みの代わりにデータ有効信号の終結を用いて割り込みを起 動することもできる。段階９０２では行アドレスレジスタ８２４は次の入力行の 番地に設定されている。段階９０４ではプログラムは各チャネルの２５６画素全 てが直並列変換回路５８２内に読み込まれたことを示すデータ有効パルスの終端 まで待機する。タイマーが段階９０６でリセットされて次のデータ有効パルスの 終端の直前で再度作動する。段階９０８では、処理装置５９２はピットアドレス カウンタ８１４をリセットし、直並列変換回路からの一行の画素の並列メモリー ５８４内への転送を開始させる。−行に含まれる２０４８０４８画素全時に転送 され、各画素のビットは直列に転送される。−行の画素の転送に続いて、割り込 みの時刻における行アドレスが段階９１０で行アドレスレジスタ内に修復され、 段階９１２で割り込みからの復帰が実行される。

直並列変換回路５８２から並列メモリー５８４への一行の画素の転送は比較的短 時間、すなわち、直並列変換回路の各段階からこれに対応する並列メモリー内の 位置へ直列に８ビツト転送する時間で行なわれる。データ有効低値周期の残りの 部分はデータ有効高値の残りの周期とともに並列メモリー内の画素の処理に利用 可能である。画素処理時間は行入力時間の大半と行入力時間の間の大半を占める ことから、本発明の欠陥検出システムは比較的高速で移動するウェブ上で動作で き、特に従来技術によるビデオカメラ式欠陥検出装置で可能な速度より大幅に高 速で動作可能である。

処理装置５９２用の主動作手順は、図４１に図示してあり、移動するウェブ１０ ０中の検出された欠陥を分析するために処理装置５８６内のプログラムと密接に 結合されている。段階９１６で処理装置８３０が初期化される。段階９１８で一 行がメモリー５８０内に入力されたかを調べる。入力されていなければ、プログ ラムは段階９１８で一行が入力されたことが示されるまでループを戻る。次に、 段階９２０で共有メモリー５８７内の行ポインタがある行が処理装置５８６によ って分析されたことを示すように増分されたかを調べる。増加されていなければ 、プログラムは段階９２０でメモリー５８７内の行ポインタが増分されたことが 示されるまでループを戻る。次に段階９２２で欠陥または複数の欠陥が検出され たことを示す共有メモリー５８７内の何らかの５ＴＡＲＴ−Ｘ、　５ＴＡＲＴ− Ｙ位置または複数の位置を処理装置５８６が報告したか調べる。報告されていな ければ、プログラムはひとつまたは複数の位置が報告されるまで段階９１８ヘル ープを戻る。次にプログラムは段階９２４に進んで、窓開けした欠陥または複数 の欠陥のパラメータが決定されたかを調べる。これが決定されていなければ、プ ログラムはメモリー５８０内で少なくとも一つの窓開けした欠陥が処理装置５８ ６によって処理装置５９２へ報告されるまでループを戻る。

窓開けした欠陥または複数の欠陥の存在が段階９２４で報告されると、プログラ ムは段階９２６へ分岐して窓開けした欠陥または複数の欠陥が、並列メモリ−５ ８４内部で処理装置５９２のために処理装置５８６によって定義されたように、 　ＭＩＮ−Ｘ、　ＭＡＸ−Ｘ、　ＭＩＮ−Ｙ、　ＭＡＸ−Ｙテ定義される注目領 域まタハ複数の領域とする。これの例は図４０と、ＭＩＮ−Ｙ６９２、ＭＩＮ− Ｘ６９４、ＷＡＸ−Ｘ　６９６、ＭＡＸ−Ｙ６９８テ定義された窓１０９５を参 照されたい。それぞれの注目領域について、処理装置５９２はこれのレジスタを 読み込み、それぞれの欠陥、注目領域について５ＴＡＲＴ−Ｘ。

５ＴＡＲＴ−Ｙの濃度値が処理装置５８６で保存されている。これは処理段階の 第１であって、これによって分析すべき欠陥が黒い欠陥例えば微粒子、スポット または同様な欠陥の領域内に存在するかまたは白い欠陥例えば孔、気泡、ゲル、 熱収縮または同様な欠陥に存在するかを決定する。

次にプログラムは段階９２８へ進み、注目領域または複数領域内の画素の第１ノ 行、ＭＩＮ−Ｙ、ＭＩＮ−Ｘ　ＴＯＭＡｘ−ｘ炉処理装置８３０のシフトレジス タ８４４へも見込まれる。次に段階９３０で５ＴＡＲＴ−Ｘ、　５ＴＡＲＴ−Ｙ 位置が範囲上限より上の値を有するかを調べる。これが偽であれば、プログラム は段階９３２へ分岐しさらに図４２の段階９５０へ分岐する。

段階９３０において５ＴＡＲＴ−Ｘ、　５ＴＡＲＴ−Ｙ位置が範囲の上限より上 の場合、プログラムは段階９３４および図４３の段階１１００へ分岐する。

図４２を参照すると、図４０の段階９３２へ分岐した段階９３０につづいて段階 ９５０で背景パラメータが白に設定される。プログラムは段階９５２へ進み、こ こでヒストグラムパラメータが５０に設定される。この５ｏという値はもつと低 い範囲、すなわち１２０からＯの値で、上述の範囲において６０となるその範囲 の５０％である値を意味する。処理装置５９２から並列処理装置８３０への命令 はグレースケール上で６０に等しいかまたはそれ以下の値を有する画素を黒と見 なし、グレースケール上で６０より大きい値を有する画素を白と見なせ、という ものである。この手順で段階９５４において、通常の下限１２０についてＴ）Ｉ ＲＥＳＨＯＬＤ値を６０に設定できる。

プログラムは段階９５６へ進み、並列処理装置８３０のレジスタ８４６にＴＨＲ ＥＳＨＯＬＤがロードされ、レジスタ８４８は下限がロードされる。段階９５８ で並列処理装置８３０のレジスタ８４４の値がレジスタ８４６の値と比較されて 、６０に等しい画素がめられ、次に６０の値を有する全ての比較した値が加算さ れることで、段階９６０において積算されるＩ（ＩＳＴ−ＶＡＬＩ値が生成され る。段階９６２でレジスタ８４４内の値はレジスタ８４８内の値と比較され、１ ２０の正常下限値以下の全ての画素の値が加算されて、段階９６４で積算される ＴＯＴＡＬ　ＢＥＬＯＷ値が生成される。

プログラムは段階９６６へ進み、ここでレジスタ８４６および８４４が関数命令 を用いて比較され、ＴＨＲＥＳＨＯＬＤに等しいかまたはこれ以下の値を有する 全ての画素が識別される。段階９６８においてＴＨＲＥＳＨＯＬＤ値６０に等し いかまたはこれ以下の値を有する全ての画素が計数され、これによって段階９７ ０において積算される値ＢＬＡＣＫ−ＣＯＩＪＮＴカ生成さレル。段階９７２　 ニオイテＴＨＲＥＳＨＯＴ−Ｄ値６０より大きな値を有する全ての画素が計数さ れることによって、段階９７４において積算されるＷＨＩＴｊＣＯＵＮＴ値が生 成される。

プログラムは段階９７６へ進み、ここでＹ値が増分されＡＯＩのその次の行が並 列処理袋ｒ１１８３０のレジスタ８４４内に読み込まれる。プログラムは段階９ ７８へ進み、ここでその新しい行が値ＭＡＸ−Ｙに等しいかを調べる。等しくな い場合、プログラムは同様の手順で段階９５６へ分岐して戻る。

段階９７８においてＹ値がＭＡＸ−Ｙ値と等しい場合、プログラムは段階９８０ へ分岐して、ここでＢＬＡＣＫ−ＣＯＵＮＴ値およびＷＲＩＴＥ−ＣＯＵＮＴ値 が加算され、欠陥を含む窓内に存在する画素の総量を示す値Ｃ０ＵＮＴＩが生成 される。このＣ０ＵＮＴＩ値は段階９８２で保存される。プログラムは次に段階 ９８４へ進み、ここでＢＲＩＧＨ″ＴＮＥＳＳパラメータがＴＯＴＡＪＢＥＬＯ Ｗの値を与えられることによって設定され、段階９８６でＢＲＩＧＨＴａｌｌＥ ＳＳ値が保存され、段階９８８でプログラムは図４４の段階９９０へ進む。

図４４を参照すると、段階９９０で値ＴＯＴＡＩ、ＢＥＬＯＷがＯに等しいかが 調べられる。全ての処理装置または加算された画素が値Ｏを有する場合（欠陥内 の全ての画素が全体として黒い、すなわちウェブ１００の側を通って光の転送が 行なわれない値０を有する場合）　、　ＴＯＴＡＬ−ＢＥＬＯＷ値はＯになる。

こうした場合、プログラムは段階９９２へ分岐し、欠陥が微粒子型欠陥であると 決定され、段階９９１において分類の第１の段階が、パラメータＣＬＡＳＳＩを ＳＰに等しくすることで作られる。段階９９６においてＴＹＰＥパラメータが作 られ、欠陥が黒い形態であることから１に等しくなされる。段階９９８では背景 が白に設定されているのでＢＡ（ＪＧＲＯＵＮＤパラメータが０に等しくなされ る。段階１０００において、プログラムは図４７の段階１０５０へ進み、欠陥を 含む線分専用のレジスタ内にデータを保存または格納する。

段階９９０において、パラメータＴＯＴＡＬ−ＢＥＬＯＷが０と等しくない場合 、プログラムは段階１００４へ分岐して、ＢＬＡＣＫ−ＣＯＵＮＴをｎＴＴＥ− ＣＯ酊で除することによってＲＡＴｌｏｊが計算され、その値が段階１００５で 保存され、段階１００６において欠陥のＡＲＥＡパラメータをＢＨＩＧＨＴＮＥ ＳＳパラメータで除することによってＲＡＴＩＯｊパラメータが計算され、その 値が段階１００７で保存される。さらに段階１００８でＣ０ＵＮＴＩパラメータ をＢＲＩＧ）ｒｒＮＥＳＳパラメータで除することによってＲＡ丁ｌ０−３が計 算され、その値が段階１００９で計算される。プログラムはさらに段階１０１０ へ進み、ここでＨＩＳＴ−ＶＡＬＩパラメータが欠陥内のどの画素もグレースケ ール上の値６０を有していないことを表す値Ｏに等しいかを調べる。ＨＩＳＴ− ＶＡＬ１パラメータが０に等しい場合、プログラムは段階１０工２へ分岐して、 ここでＷＨＩＴｊＣＯＵＮＴパラメータの値が１より大きいかを調べる。これが 偽の場合、プログラムは段階１０１４へ分岐し、欠陥は暗いスポットの形状の欠 陥であると決定して、段階１０１６でパラメータＣＬＡＳＳＩをＳＴに等しくな すことにより分類の第１段階を作り、段階９９４へ進み、段階９９４から１００ ２までの手順について上述のとおりである。

段階１０１０においてＨＩＳ’ｊＶＡＬ１パラメータが０に等しくない場合、プ ログラムは段階１０２０へ分岐する。同様に、段階１０１ＯにおいてＨＩＳ’ｊ ＶＡＬ１パラメータが０と等しいが、段階１０１２においてＷＨＩＴＥ−ωＵＮ Ｔパラメータが１より大きい場合も、プログラムは段階１０２０へ分岐する。段 階１０２０において、ＲＡＴＩＯＪパラメータが評価されてこれが１以下かつ０ ．１以上かが調べられる。これに該当しなければプログラムは段階１０３０へ分 岐し、欠陥は未定義であるが、おそらくはスポットの形状であると決定し、段階 １０３２でパラメータＣＬＡＳＳＩをＵＳと等しくすることによって分類の第１ 段階を作り、段階９９４へ進んで、段階９９４から１００２までの手順について 上述のとおりである。段階１０２０においてＲＡＴＩＯＪパラメータが上述の範 囲内に存在する場合、プログラムは段階１０２２へ分岐し、ＲＡＴＩＯｊパラメ ータを評価してこれが０．１以下かつ０．０１以上であるかを調べる。これが偽 であれば、プログラムは上述のように段階１０３０へ分岐する。これが真であれ ば、プログラムは段階１０２４へ分岐して、ＲＡＴＩＯ３パラメータが評価され 、これが１以下かを調べる。偽であれば、プログラムは上述のように段階１０２ ６へ分岐する。これが真であれば、プログラムは段階１０２６へ分岐し、欠陥が 明るいスポットの形状の欠陥であると決定し、段階１０２８でパラメータＣＬＡ ＳＳＩをＬＳに等しくして分類の第１段階を作り、段階９９４に進み、段階９９ ４から１００２までの手順については上述のとおりである。

図４１を参照すると、段階９３０において５ＴＡＲＴ−Ｘ、　５ＴＡＲＴ−Ｙ位 置が上限範囲以上の場合、プログラムは段階９３４へ分岐して図４３の段階１１ ００へ分岐する。

図４３を参照すると、段階１１００で背景パラメータが黒に設定される。これは 処理装置５９２から並列処理装置８３０へ正常限界内の全ての画素を黒と見なす 命令によって実行される。プログラムは段階１１０２へ分岐し、ヒストグラムパ ラメータが５０に設定される。処理装置５９２から並列処理装置８３０への命令 は正常下限以下またはこれに等しい値を有する画素を黒または下側５０％以内と 見なし、上限に等しいまたはこれ以上の値を有する画素を白または上側５０％以 内とみなすものである。この手順で段階１１０４において、１２０の正常下限を 下側とし１２３を範囲上側とするＴＨＲＥＳ）ＩＯＬＤ範囲が得られる。

プログラムは段階１１０６へ進み、ここでレジスタ８４６および８４８に正常上 限および下限が読み込まれる。段階１１０８において並列処理装置８３０がレジ スタ８４４の値をレジスタ８４６および８４８の値と比較して、窓内でＴＨＲＥ ＳＨＯＬＤ範囲内にある値を有する画素を調べ、これによって段階１１１０で積 算される値ＨＩＳＴ−ＶＡＬＩを生成する。段階１１１２において並列処理装置 ８３０はレジスタ８４４内の値をレジスタ８４８の値と比較し、１２３の正常値 以上またはＴＨＲＥＳＨＯＬＤ埴上限より上の画素の値が加算されて段階１１１ ４で積算される値ＴＯＴＡＬ−Ａ釦ＶＥが生成される。

プログラムは段階１１１６へ進み、ここでレジスタ８４４と８４６が比較される 。段階１１１８で、下側ＴＨＲＥＳＨＯＬＤ値１２０に等しいかまたはこれ以下 の値を有する全ての画素がカウントされることによって、段階１１２０で積算さ れて保存されるＢＬＡＣＫ−ＣＯｔＪＮＴ値が生成される。段階１１２２におい て、ＴＨＲＥＳＨＯＬＤ値上限１２３以上の値を有する全ての処理装置がカウン トされることによって段階１１２４で積算され保存されるＷＲＩＴＥ−ＣＯＵＮ Ｔ値が生成される。

プログラムは段階１１２６へ進み、ここでＹ値が増分され、ＡＯＩの次の行が並 列処理装置８３０へ読み込まれる。プログラムは段階１１２８へ分岐し、ここで 新しい行が値ＭＡＸ−Ｙに等しいかを調べる。これが偽であれば、プログラムは 同様の手順で段階１１０６へ分岐して戻る。

段階１１２８においてＹ値がＭＡＸ−Ｙ値に等しい場合、プログラムは段階１１ ３０へ分岐し、ここでＢＬＡＣＫ−ＣＯＵＮＴと訃ＩＴＥ−ＣＯＵＮＴの値が加 算され、欠陥を含む窓内部に存在する異常画素の総量を表すＣ００ＮＴｌ値が生 成される。このＣ０ＵＮＴＩ値は段階１１３２で保存される。プログラムは段階 １１３４へ進み、ここでＢＲＩＧＨＴＮＥＳＳ値カＴＯＴＡＬＪＢＯＶＥ値を与 えられることで設定され、段階１１３６　Ｔ＝オイテＢＲＩＧＨＴＮＥＳＳ値が 保存され、段階１１３８でプログラムは図４５の段階１１５０へ分岐する。

図４５を参照ナルト１段階１１５０テｃＯＵＮＴ１（７）２５５倍がＴＯＴＡＬ −ＡＢＯＶＥ値と等しいかを調べる。全ての処理装置または加算された画素が２ ５５の値を有する場合（欠陥内の全ての画素が完全に白、すなわちウェブ１００ の側からの全等側光量を表す値１２５を有する場合）　、ＴＯＴＡＬ−ＡＢＯＶ Ｅ値はＣ０ＵＮＴＩ　（欠陥内部の画素の総量）の２５５倍となる。このような 場合では、プログラムは段階１１５１へ分岐し、欠陥は礼状の欠陥であると決定 し、段階１１５２でパラメータＣＬＡＳＳＩをＨＯと等しくすることによって第 １の段階の分類を生成し、段階１１５３で欠陥が実際に存在するのでパラメータ ＣＮＴを１に等しくなし、段階１１５４において欠陥が白い形状の一つであるか 一６ＴＹＰＥパラメータを０に等しくなし、段階１１５５においてＢＡＣＫＧＲ ＯＵＮＤが黒に設定されていたのでＢＡＣＸＧＲＯＵＮＤパラメータを１に等し く設定し、段階１１５６でプログラムは図４７の段階１８５０へ進んで欠陥を含 む線分専用のレジスタ内にデータを保存または格納する。

段階１１５０においてパラメータＣ０ＵＮＴＩの２５５倍がＴＯＴＡＬ−ＡＢＯ ＶＥパラメータの値と等しくない場合、プログラムは段階１１６０へ分岐して、 ＲＡＴＴＯＪパラメータがＢＬＡＣＩｊＣＯＵＮＴをＷ）ＩＩＴＥ　Ｃ０ＵＮＴ で除することによって計算され、その値が段階１１６１で保存され、段階１１６ ２で欠陥のＡＲＥＡパラメータをＢＲＩＧＨＴＮＥｓｓパラメータで除すること でＲＡＴＩ（ｊ２パラメータが計算され、その値が段階１１６３で保存され、段 階１１６４でＣＯ［ＪＮＴ１パラメータをＢＲＩＧＨＴＮＥＳＳパラメータで除 することによってＲＡＴＩＯｊパラメータが計算され、その値が段階１１６５で 保存される。

プログラムはこの後段階１１６６へ分岐し、ＨＩＳＴ−ＶＡＬｌパラメータが、 欠陥内のどの画素もＴＨＲＥＳＨＯＬＤ範囲内の画素を有さないことを示すＯに 等しいかを調べる。ＨＩＳＴ−ＶＡＬＩパラメータがＯに等しい場合はプログラ ムが段階１１６８へ分岐し、　ＢＬＡＣＫ−ＣＯＩＪＮＴパラメータの値が１よ り大きいまたはこれに等しいかを調べる。

これが偽であれば、プログラムは段階１１７０へ分岐し、ＲＡＴＩＯｊが０．１ 以下かつ０．０１以上かを調べる。これが真であれば、プログラムは段階１１７ １へ分岐し、ここでＲＡＴＩＯｊが０．００８以下かつ０．００５以上かを調べ る。これがそのとおりなら、プログラムは段階１１７２へ分岐し、欠陥が気泡状 の欠陥であると決定し、段階１１７４でパラメータＣＬＡＳＳＩ−ｔ−ＢＵと等 しくすることで第１段階の分類を生成し、段階１１５３から礼状の欠陥の場合と 同様の手順を実行する。

段階１１６６においてＨＩＳＴ−ＶＡＬ１パラメータがＯに等しくない場合、プ ログラムは段階１１７５へ分岐する。段階１１β６において）ＩＩＳ’ｊＶＡＬ １パラメータがＯと等しくはないが段階１１６８においてＢＬＡＣＫ−ＣＯＵＮ Ｔパラメータが１以上の場合も、プログラムは段階１１７５へ分岐する。段階１ １７０と段階１１７１で結果が偽の場合も、プログラムは段階１１７５へ分岐す る。

段階１１６６から１１７１のいずれかから、プログラムが段階１１７５へ分岐し た場合、その段階でＢＬＡＣＫ−ＣＯＵＮＴが１より大きいかが調べられる。こ れが偽であれば、プログラムは段階１１７６へ分岐し、ＲＡＴＩＯＪパラメータ を評価してこれが０に等しいかを調べる。これが真であれば、プログラムは段階 １１７８へ分岐し、ＲＡＴＩ（ｊ２バラメー゛夕を評価してこれが０．０１５以 下またはこれと等しくかつｏ、ｏｉｏ以上であるかを調べる。これが真であれば 、プログラムは段階１１８０へ分岐し、ＲＡＴＩＯｊパラメータを評価してこれ が０．０５以下かを調べる。これが真であれば、プログラムは段階１１８２へ分 岐し、欠陥はゲル状の欠陥であると決定し、段階１１８４でパラメータＣＬＡＳ ＳＩをＧＬに等しくなして第１の段階の分類を作り、段階１１５３からは礼状お よび気泡状の欠陥の場合と同様の手順を実行する。

段階１１７５において条件が真または段階１１７６．１１７８．１１８０のいず れかで条件が偽の場合、プログラムは段階１１８６および図４６の段階１１８８ へ分岐する。

図４６を参照すると、段階１１８８においてＢＬＡＣＩｊＣＯＵＮＴが１より大 きいかを調べる。これが偽の場合、プログラムは段階１１８９へ分岐してＲＡＴ Ｉ（ｊ２パラメータを評価し、これが０．２０以下かつ０．０１８以上かを調べ る。これが真であれば、プログラムは段階１１９０へ分岐し、ＲＡＴＩ（ｊ３パ ラメータを評価してこれが０．０２０以下かつ０．０１８以上かを調べる。これ が真であればプログラムは段階１１９１へ分岐してその欠陥が熱収縮状の欠陥で これの内部に酸化粒子を含まないことを決定し、段階１１９２でパラメータＣｕ ５Ｓｌを皿に等しくすることで第１段階の分類を設定し、段階１１９８でプログ ラムは図４５の段階１１５３へ復帰して上述の白い形状の欠陥と同様の手順を実 行する。

段階１１８８においてＢＬＡＣＫ−ＣＯＵＮＴが１以上であると判った場合、ま たは段階１１８９または段階１１９０が偽の場合、プログラムは段階１１９３へ 分岐し、ここでプログラムは段階１１９４へ分岐して、ＲＡＴＩＯｊパラメータ を評価してこれが０．０２５に等しいかまたはこれ以上かを調べる。これが真で あれば、プログラムは段階１１９５へ分岐して、欠陥は酸化粒子を内部に含む熱 収縮状の欠陥であると決定し、段階１１９６でＣｕ５ＳｌパラメータをＯＢに等 しくなすことで第１の段階の分類を設定し、段階１１９８でプログラムは図４５ の段階１１５３へ分岐して戻り、上述の白い形状の欠陥と同様の手順を実行する 。

段階１１９３または段階１１９４において条件が偽であれば、プログラムは段階 １１９７へ分岐して欠陥が未定義の形状であるがおそらくは気泡状の欠陥である と決定し、段階１１９７ＡでパラメータＣＬＡＳＳＩを■に等しくなすことで第 １段階の分類を設定し、段階１１９８でプログラムは図４５の段階１１５３へ分 岐して戻り、上述の白い形状の欠陥の場合と同様の手順を実行する。

図４７を参照すると、プログラムが図４４の段階１００２から段階１０５０へ分 岐した時点で欠陥が内部に存在する線分が調べられている。検査は実際に処理開 始時点で実行され、ここで各線分専用の各レジスタの読取機能を行なう処理装置 ５９２は、欠陥の５ＴＡＲＴ−Ｘ位置にしたがって処理装置５８６により保存さ れた線分番号が処理すべきＡＯＩを有することを発見している。同様に、段階１ ０５２のデータは実際にはＡＯＩの処理中に保存される。段階１０５４はデータ が保存されたことを反映する。

プログラムが図４５の段階１１５６から段階１８５０へ分岐した場合、欠陥が内 部に存在する線分がめられている。検査は実際に処理開始時点で実行され、ここ で各線分専用の各レジスタの読取機能を行なう処理装置５９２は、欠陥の５ＴＡ ＲＴ−Ｘ位置にしたがって処理装置５８６により保存された線分番号が処理すべ きＡＯＩを有することを発見している。同様に、段階１８５２のデータは実際に はＡＯＩの処理中に保存される。段階１８５４はデータが保存されたことを反映 する。

各線分は一組１６個のレジスタを有し、全体として１２０の線分に対して１９２ ０のレジスタを有する。これらは共有メモリー内に割り当てられている。線分ご との画素の割り当ては上述したとおりである。同様に、各線分についての画素範 囲の割当も上述のように処理装置５８６によって割り当てられる。しかし線分ｌ および線分１２０のレジスタはウェブ１００の端部追跡用に使用される。

図４７に示したように、装置２１８によってそれの専用のレジスタの組に保存さ れたデータは段階１０５６でレコードをコンピュータ２０２内のメモリー空間に 割り当てであるレジスタへ転送し、コンピュータ２０２の割り込みを設定するこ とでシステムコンピュータ２０２へ転送される。一つまたは複数の線分について 何らかのレジスタの組へ装置２１８がデータを書き込むと、図５０の点１２００ で開始するコンピュータ２０２内の割り込み手順が起動される。段階１２０２で システムコンピュータは装Ｗ２１８用のレジスタをアドレスしてそれぞれの装置 ［２１８ごとに４つのＯＨレジスタビットのそれぞれに読み込み機能を実行して 、どの装置または複数の装置が欠陥の存在を示しているかを決定する。段階１２ ０４でビット４　（ＣＮＴＩ）で１の値を有するＯＨレジスタに遭遇すると、手 順は１２０４へ分岐し、その線分についてそのレジスタの組に処理のためのフラ グを立て、手順は段階１２０６へ分岐して手順は次のＯＨレジスタへ向かう。手 順はこの後段階１２０８へ進み、全ての装置２１８で最後のＯＨレジスタが読み 込まれたかを調べる。これが偽の場合、手順は段階１２０４へ戻る。段階１２０ ８において最後のＯＨレジスタが読み込まれたと判った場合、手順は段階１２１ Ｏへ進みレジスタの処理が開始され、段階１２１２で割り込みからの復帰が実行 される。

図５１を参照すると、図５０の段階１２１０によって段階１２１８でレジスタの 処理が開始されると、システムコンピュータ２０２に含まれる主プログラムは段 階１２１９へ進み、ここでシステムコンピュータ２０２が所定の線分についてフ ラグの立てられたレジスタの第１の組をアドレスし、レジスタからデータを読み 込み、コンピュータ２０２のメモリー内の適切な位置にこの情報を格納する。

プログラムは次に段階１２２０へ進み、ここで主タイミング兼同期装Ｍ２１６の 長手方向の位置レジスタ３４０から長手方向の位置データを読み込む。このデー タは装置２１８のメモリー５８０および５８４が線有効信号によって第１の線で データ入力用にリセットされたときにレジスタ３４０内に保存されている。レジ スタ３４０のデータ線アドレスがビデオ処理装置のメモリー内にある現在の線ア ドレス０または次のページに対応するかが調べられる。後者の場合、線アドレス は減算される。その値についてプログラムは装置２１８によって報告された５Ｔ ＡＲＴ−Ｙ値をレジスタ４Ｈに加算する。例えば、レジスタ３４０内の値が１０ ０．５０フイートで、装Ｍ２１８のメモリー内で５ＴＡＲＴ−Ｙ位置が線番号２ ５であれば、Ｙ軸上のその欠陥の正確な位置はウェブ１００上の画素寸法２，５ ミルの２５倍を、１０００で除１．ｆ：０．０６２５０−ｉ’ンｆ［ｊ、）は０ ．００５２０８フイートとなる。この値がレジスタ３４０内の値に加算されて、 新しい値１００．５０＋０．００５２０８＝１００．５０５２０８が生成される 。報告は０．００１フィート以内であるから長手方向の位置は１００．５０５フ イートと報告される。この新しい値が段階１２２１で通常の第１の報告印刷手段 である１次元アレイＦＯＯＴｊＣＯＬＩＮＴＥＲＡ　（１）内の適切な位置に格 納され、ここで保存された値は装置２１８のメモリー内部の１．０２４行内の一 つの位置の値にレジスタ３４０の値を加えたものを表す。

プログラムは段階１２２２に分岐し、ここでプログラムは欠陥が含まれる線分番 号についてのレジスタＩＨを読み込み、段階１２２３で装置２１８によって一時 的に決定されている欠陥の種類（ＣＬＡＳＳＩ）についてレジスタ１８Ｈを読み 込む。プログラムは段階１２２４へ分岐し、このデータは、２次元アレイＴＹＰ Ｅ　０ＪＤＥＦＥＣＴ＄（１，１２０）である第２の報告印刷手段内の適切な位 置（線分）に保存される。ここでそれぞれの位置はウェブ】００を横断する１２ ０の線分のそれぞれでの位置を表す。

プログラムは段階工２２５へ分岐し、欠陥寸法についてレジスタ１２Ｈが読み込 まれる。プログラムは段階１２２６へ分岐し、値が第３の報告印刷手段である２ 次元アレイＰＲＩＮＴＯＵＴＡ−ＲＥＳＵＬＴＡ（１，１２０）内の適切な位置 （線分）ニ格納すレル。ここでそれぞれの位置はウェブ１００を横断する１２０ の線分のそれぞれの位置を表す。

プログラムは段階１２２７へ分岐し、フラグの立てられた最後の組のレジスタが 読み込まれたかを調べる。これが偽であれば、プログラムは段階１２２８’＼分 岐し、フラグの立てられたレジスタの次の組へ行き、段階１２２０へ戻ってレジ スタのフラグの立てられた全ての組が読み込まれるまで同様の手順を実行する。

図５３に示したように、コンピュータ２０２の主欠陥処理プログラムは段階１２ ３０で始まり、オペレータがウェブ形式および処理すべきフィルムの形式のロー ル番号を入力する。段階１２３２において、入力されたウェブ形式についての制 御データおよび欠陥定義データが呼び出される。次に段階１２３４でカメラ、照 明制御、およびビデオ処理装置が段階１２３２で取り込まれた制御データにした がって初期化される。これにはカメラ制御回路のレジスタ４２６の設定、ビデオ 処理装置２１８の処理装置５８６および５９２での画素の上限および下限の設定 、照明制御回路の人出力制御装置１４８用の照明値の設定が含まれる。

初期化に続いて、システムコンピュータ・プログラムは点１２３６で主欠陥処理 ループの開始が準備できる。段階１２３８で、照明検出装置１５４の状態が検出 され、さらに焼損電球が検出された場合、入出力制御１４８が作動して次の電球 を上部の位置に回転させる。次に段階１２４２で、プログラムは未処理の欠陥レ コードを検証する。図５１の段階１２１９から１２２６で生成されたそれぞれの レコードは図５３の手順によって処理されることによって処理装置５８６および ５９２による欠陥の一時的分類を肯定、否定、置き換えするものである。プログ ラムは段階１２４２（装置２１８がレジスタの組または複数の組にフラグを立て た段階）で新しいレコードまたは未処理のレコードが検出されるまで段階１２３ ８へ戻る。段階１２４２で新しいレコードまたは未処理のレコードが検出される と、プログラムは段階１２４４へ進み、未処理レコードの数、装置２１８がフラ グを立てたレジスタの組が調べられる。この数が２５以上の場合、プログラムは 段階１２４６へ分岐し、オンラインシステムでは実行の終了がオペレータによっ て選択されたかを調べ、またはオフラインシステムでは検査部をウェブのロール の終端が通過したかを調べる。ビデオ処理菌Ｍ２１８は検査終了後またはウェブ のロールの終端が検査部を通過した後、オペレータの検査機能終了の選択以前に 残っている未処理レコードを処理する時間がないため、多数の欠陥（未処理レコ ード）を提示することがある。段階１２４６が偽の場合、段階１２４８で警報が 作動してフィルムの製造中に重大な障害が発生したことを示し、段階１２４６が 真の場合１段階１２４８でプログラムは図５４に示したものと似た欠陥の要約を 印刷する。

通常、段階１２４４は２５以上の欠陥の存在（未処理レコードの存在）を検出せ ず、段階１２５２へ進み、警報条件の存在が検出される。これが真の場合、警報 は段階】２５４で停止される。段階１２４８から、段階１２５４から、または段 階１２５２から偽の場合、プログラム、に段階１２５６−１２７９へ進み、主ブ ログラムが欠陥のさまざまな特徴および特性が保存されている知識モジュールを アクセスすることによって、専用のレジスタの組内部にあり装Ｗ２１８上の局部 処理装置５８６および５９２によって報告された一時的結論を評価する。これら の特徴および特性は表１．２．３に示したパラメータを含む。これらの特徴およ び特性は上記知識モジュール内に手動で、コンピュータ２４０からの入力により 、または主プログラムそれ自体によって修正されることで、プログラムされてい る。後者の場合、主プログラムによってオペレータが未定義の欠陥をモニター上 に、製造検査中に保存されたこの未定義の欠陥の特定の特徴および特性と合わせ て提示された場合将来の製造検査において未定義の欠陥をどのように定義するか をオペレータによって指示された場合である。段階１２５６においてプログラム は図５１の手順で定義されるようにフラグの立てられ得た第１の組のレジスタを アクセスし、レジスタ１８８を読み込んで局部処理装置によって与えられた欠陥 の分類（ＣＬＡＳＳＩ）を照会する。段階１２６０−１２７９では関連するレジ スタを評価する。第１の例として、レジスタ１８Ｈ（ＣＬＡＳＳＩ）が微粒子（ ｓｐ）を報告し、レジスタＯＨビット６　（ＴＹＰＩ）が１　（黒い形状の欠陥 ）を報告し、レジスタＯＨビット７　（ＴＹＰ２）が０（白い背景）を報告して いる場合、プログラムは段階１２６０で窓開けした欠陥内部の異常画素の総量を 報告するレジスタ１６Ｈ（ＣＯＬＩＮＴＩ）ならびにレジスタ８８　（ＢＬＡＣ に−ＣＯＵＮＴ）を評価して、同一の結論に到達しているか、すなわちＴＯＴＡ Ｌ−ＢＥＬＯＷが０に等しいかを調べる。同一の結論に到達している場合、プロ グラムは報告印刷手段のアレイＴＹＰｊＯｊＤＥＦＥＣＴ＄（１，１２０）内に 保存されたワードを改変しない。第２の例として、レジスタ１８Ｈ（ＣＬ、ＡＳ Ｓｌ）が黒いスポット（ＳＴ）を報告し、レジスタＯＨビット６　（ＴＹＰＩ） が１　（黒い形状の欠陥）を報告し、レジスタＯＨビット７　（ＴＹＰ２）がＯ （白い背景）を報告している場合、プログラムは段階１２６２　テＷＨＩＴＥ　 Ｃ０ＵＮＴテ除シｆ：ＢＬＡｃに−ＣＯＵＮＴヲ報告ｔルｔ、ジスタフＨ（ＲＡ ＴＩＯ−１）、　ＢＲＩＧＨＴＮＥＳＳで除したＡＲＥＡを報告するレジスタＥ Ｈ（ＲＡＴＩＯ−２）　、レジスタ１４Ｈ、レジスタＣＨ、レジスタＡＨ、レジ スタ８Ｈを評価して、同一の結論に到達するかを調べる。同一の結論に到達する 場合、プログラムは報告印刷手段のアレイＴＹＰｊＯｊＤＥＦＥＣＴ＄（１，１ ２０）内に保存されたワードを改変しない。

主プログラムにより異なる結論に、また局部処理装置５８６および５９２によっ て一時的に異なる結論に到達した場合、主プログラムは段階１２６０−１２７９ を経由して進み、対応する段階１２８０−１２９９で報告印刷手段のアレイボＰ ｊＯＦＪＥＦＥＣＴ＄（１，１２０）内に保存されたワードを、それ自身の結論 が結果的に欠陥を定義する場合これの結論に改変する。例えば、局部処理装置５ ９２が暗いスポット（ＳＴ）であると結論し、主プログラムが欠陥を明るいスポ ット（ＬＳ）と定義シタ場合、段階１２８４テＴＹＰＥ−ＯＦ−ＤＥＦＥＣＴ＄ （１，１２０）内の位置テエントリーをＬＳニ装き換える。ディスプレイ基板２ ２４のディスプレイバッファ内に存在する欠陥と同期して処理が実行されるため 、主プログラムの結論が決定的ではない場合、主プログラムはエントリーをＵＳ に変更しその欠陥をオペレータによる再呼び出しのために保存する。

段階１２６０−１２７９は知識モジュール内に保存され欠陥の形式を検査するた めの一組の規則からなる。各規則は表１．２．３に示すように局部処理装置内に 含まれる規則と同様のデータの組み合せを有する。これは、これらの規則がシス テム起動時に主プログラムによってダウンロードされたためである。主プログラ ムが汎用性をさらに有する場合は除外する。このデータは検査しているフィルム の特定の形式に基づいて経験的に導かれている。表１．２．３はポリイミド製フ ィルムの１．０ミル（０，０２５４ミリメートル）の薄膜についての標準的な値 を示している。

表１ 白い欠陥についての標準的な最小および量大パラメータ欠陥　Ｔ／Ａ　ＲＡＴＩ ＯＪ　ＲＡＴＩ（ｊ２　ＲＡＴＩＯｊ　ＢＬＡＣＫ／ＣＨＩＳＴ−ＶＡＬＩ孔　 ＭＡＸ　Ｎ／Ａ　Ｎ／Ａ　Ｎ／Ａ　Ｎ／Ａ　Ｎ／Ａ気泡　Ｎ／Ａ　Ｎ／Ａ　＜０ ．０２０　＜０．００８　０　０ＡＮＤ　ＡＮＤ ＞０．０１５　＞０．００５ ゲル　Ｎ／Ａ　Ｏ＜＝０．０１５＜０．０５　０　Ｎ／ＡＮＤ 〉０．達０ 熱収縮（酸化なし） Ｎ／Ａ　Ｎ／Ａ　＜０．２０　＜０．０２０　０　Ｎ／ＡＡＮＤ　ＡＮＤ ＞０．０１８　＞０．０１８ 熱収縮（酸化） Ｎ／Ａ　Ｎ／Ａ　＞＝０．０２５　Ｎ／Ａ　＞Ｉ　Ｎ／Ａ未定義・気泡 Ｎ／Ａ　＞Ｏ＞＝０．２０　＞＝Ｏ，Ｑ５　０　０表２ ダイフィルタの欠陥についての標準的な最大および最小パラメータ定義コード： ＤＦ 条件： ２０ミル以内の気泡または孔に続く２０ミル以内のゲルに続く気泡または孔 表３ 黒い欠陥についての標準的な最大および最小パラメータ欠陥　Ｔ／Ｂ　ＲＡＴＩ Ｏ／ｌ　ＲＡＴＩＯ／２　ＲＡＴＩＯｊ　ＷＨＩＴＥ／ＣＨＩＳ’ｊＶＡＬ１微 粒　ＯＮ／Ａ　Ｎ／Ａ　Ｎ／Ａ　Ｎ／Ａ　Ｎ／Ａ暗いスポット Ｎ／Ａ　Ｎ／Ａ　Ｎ／Ａ　Ｎ／Ａ　０　０明るいスポット Ｎ／Ａ　Ｇ　＜０．１　＜Ｉ　Ｎ／Ａ　Ｎ／ＡＡ、’ＪＤ　ＡＮＤ ）Ｑ、ｌ　＞０．０１ 未定義スポット Ｎ／Ａ　＞＝１　＞＝０．１　＞＝Ｉ　Ｎ／Ａ　Ｎ／Ａプログラムは局部処理装 置５８６および５９２によって報告された条件に適合する欠陥の形式について真 の条件が見つかるまで段階１２６０−１２７９を下へ進む。局部処理装置５８６ および５９２によって報告された条件に適合するような真条件が見つかると、プ ログラムは対応する段階１２８０−１２９９へ分岐し、ここで欠陥がそれぞれＳ Ｐ、　ＳＴ、　ＬＳ、　ＵＳ、　ＨＯ，ＢＩＪ、　ＧＬ、　ＨＢ、　０８．　Ｕ Ｂ、　ＤＦとラベルがつけられる。全ての規則が偽の場合、欠陥は段階１３０８ で叩にラベルされる。段階１２８０−１２９９から、プログラムは段階１３１０ へ進み、欠陥の種類についての上述の分類が印刷レコードＴＹＰｊＯＦ　ＤＥＦ ＥＣＴ＄（１，１２０）に含まれている局部処理装置５９２による一時的分類と 比較される。印刷レコード内の分類はこれが適合すれば変更されずに残り、上述 のように適合しない場合は変更される。

結果の印刷は全部または完全に１２０の線分について印刷される。つまり、結論 は装置２１８のメモリー内部の１２４行の中の一つの位置を表す上述のアレイＦ ＯＯＴＡ／Ｃ０ＵＮＴＥＲＡ（１）と、上述のコードによって報告されるべき欠 陥の種類について１２０の線分のそれぞれで一つの位置を表すＴＹＰｊＯｊＤＥ ＦＥＣＴ＄（１，１２０）と、報告すべき欠陥の寸法について１２０の線分のそ れぞれについて一つの位置を表すＰＲＩＮＴＯＵＴｊＲＥＳＩＴＡ（１，１２０ ）ニ保存される。

従って、プログラムは第１に、所定の行についてＹまたは縦軸上の欠陥または複 数の欠陥の開始位置であるアレイＦＯＯＴｊＣＯＵＮＴＥＲＡ内に含まれる第１ の値を印刷し、次に正しい線分にあるＤＰＥ−ＯｊＤＥＦＥＣＴ＄アレイに含ま れるワードまたは複数のワードを同一行に印刷し、さらにＴＹＰｊＯｊＤＥＦＥ ＣＴ＄の位置または複数の位置のもとで正しい線分にあるＰＲＩＮＴＯｌＪＴＡ 　ＲＥＳＵＬＴＡアレイにある値または複数の値を印刷することになる。

例えば、Ｙ軸位ｆｆ１ｉｊｏｏｏ０２．００１ではこの値が印刷アレイＦＯＯＴ Ａ−ＣＯＵＮＴＥＲＡ（１）内に保存されることになる。ワードＳＴは、これが ６番目の線分に位置しているので印刷アレイＴＹＰｊＯｊＤＥＦＥＣＴ＄（１， ６）に保存され、ワードＵＳはこれの位置が線分１０３であるから印刷アレイＴ ＹＰｊＯｊＤＥＦＥＣＴ＄（１，１０３）に保存されることになる。同様に値３ ０および４０はそれぞれがＰＲＩＮＴＯＵＴｊＲＥＳＵＬＴＡ（１，６）と（１ ，１０３）に保存されている。印刷段階１３１４から、プログラムは点１２３６ で処理ループの開始への周期に入る。

段階１３１４で印刷された典型的な報告を図５４に示す。報告の幅はカメラと線 分に分割され、それぞれのカメラは１０の線分を有する。左行開始位置でＹ位置 、フィルムの長さに沿った位置が印刷され、対応するカメラおよび線分のしたに 欠陥のラベルおよび直径が印刷されている。

図５５の報告は検査によって発見された異なる形式の欠陥の数の印刷を示したも のである。

図５２に示したように、コンピュータ２０２はまたコンピュータ２４０からの入 力データにしたがって欠陥定義データを変更するための手順１３５０を含むプロ グラムも含んでいる。異なるフィルム形式についての制御データおよび欠陥定義 データがそれぞれの知識モジュール内に保存されており、また手順１３５０によ って、これらの知識モジュールの選択した一つのデータが変更できる。さらにコ ンビエータ２０２および２４０は在来のファイル転送プログラムを含み、これに よってコンピュータ２４０は図５１の段階１２１９で保存されたファイルをダウ ンロードすることが出来る。在来のプログラムを用いて、オペレータはコンピュ ータ２４０のモニター２４６上で欠陥を観察することが出来る。

図４８では、ビデオ処理基板２１８用の典型的な出力レジスタ情報が図示しであ る。

図４９では、ビデオ処理基板２１８用の典型的な入力およびアクセス制御レジス タ情報が図示しである。

本発明の範囲を逸脱することなく上述の好適実施例について多くの変化、変更、 改変を細部に加えつるが、上述のおよび図面に図示した全ての内容は解説を意図 したものであり、添付の請求の範囲に定めた本発明の範囲をなんら制限するもの ではないことは理解されよう。

ＦＩＧ、５ ＦＩＧ、６ ＦＩＧ、１０ ＦＩＧ、１６ ＦＩＧ、１７ ＦＩＧ、２２ ＦＩＧ、２４ ＦＩＧ、３５ ＦＩＧ、３９ ＦＩＧ、４１ ＦＩＧ、４６ ！トへｎ慴Ｉ−匍、、、６：二＝二ｕ’ｌ　Ｗ　Ｐ−ｅ　６’１３ＦＩＧ、５１ ＦＩＧ、５４ ＦＩＧ、５５ 要約書 ウェブ検査システムはウェブの動きを検出するパルスエンコーダ（１１０）によ って同期される複数の時間遅延積分型で横断方向に間隔を開けて配置したカメラ （１０４）を有する。それぞれのカメラの出力はデジタル化され、対応するビデ オ処理そう値（２１８）の並列メモリー（５８４）内に格納され、ここで並列の 直列処理装置（５９０）が欠陥の白の計数値、黒の計数値、および中央値を検出 する。それぞれのビデオ処理装置用の制御コンピュータ（５９２）は上記直列処 理装置の上記データ出力を読み取り、欠陥のデータと位置情報をシステムコンピ ュータ（２０２）へ転送する。システムコンピュータは欠陥の形式と絶対位置を 上記転送されたデータおよびウェブ位置レジスタ（３４０）からのデータによっ て測定する。複数の照明用電球（１２０，１２２，１２４）を支持するキャリッ ジ（１２６）は電球の焼損が検出された場合に回転されて、ウェブを照明するた め次の電球を配置する。

濁　際　ｔｌ　香　磐　失 階１σ／ＩＳＡ／２′ＩＯｌａ＋ｐｅｗｗｍ＋　ａｌｌ＠ａｌｌ　ｆｉｌｌ　− ｎａ＋ｘ１肩国際調査報告

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．移動するウェブ（１００）中の欠陥を検出するための装置であって、上記移 動するウェブの速度に比例する周波数でパルスを発生するためのエンコーダ装置 （１１０，２３４）と、 時間遅延積分モードにおいて動作するための手段（２１６，４２０，３７８，３ ８０，３８２，３８４，３８８，３９０，３９６）を有する電荷結合素子２次元 アレイ検出装置（３７４）と、 上記移動するウェブの領域を上記アレイ検出装置上で画像化するための手段（３ ７０）からなり、 上記時間遅延積分動作手段は上記エンコーダによって生成されたパルスに応答し てアレイを横断する画像の動きに対応する隣接行へ上記アレイ中の電荷を転送す るための手段（２６０，２６２，２６４，４３０，４３２，４３４，４３６，４ ４０，４４２，４４４，４６０，４６４，４６６，４５２）を含み、上記時間遅 延積分動作手段はさらに隣接する行へ電荷を転送する時間の間に面素値の端部行 を出力するための手段（４２２，４７２，４７４，４８２，４８４，４８６）を 含み、 さらに欠陥を検出するために上記面素値を分析するための手段（２１８）を含む 装置。 ２．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置において、上記時間遅延積分 動作手段はまた上記エンコーダによって生成されたパルスに応答して検出手段を 起動し、所定の間隔の期間のみで光により惹起された電荷を積分して上記電荷の 積分時間が上記移動するウェブの速度の変化で変動しないようになすための手段 （４６０，４６２，４６４，４６６）を含むことを特徴とする請求の範囲第１項 に記載の装置。 ３．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置において、上記画素値の端部 行を出力するための手段（３９６，４００，４０２，４０４，４０６，４０８， ４１０，４１２，４１４）は一連のアナロク値を出力」上記画素値を分析するた めの手段はアナログ画素値をデジタル画素値に変換するためのアナロク・デジタ ル変換手段（５５６）と、第１のデジタルメモリー（５８０）と、上記第１のメ モリー中の連続した位置に一行の上記デジタル画素値を保存するための通常の手 段（５７０）と、第２のデジタルメモリー（５８４）と、上記第２のメモリー中 の連続した位置に一行の上記デジタル画素値を保存するための直列バイト並列ピ ット変換手段（５８２）と、それぞれのメモリー内の各行について保存された画 素値を分析して欠陥を検出するためのコンピュータ手段（５８６，５９２）を含 むことを特徴とする請求の範囲第１項に記載の装置。 ４．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置において、上記第１のメモリ ーは多ポートバイト直列メモリー（６０１−６０８）からなり、上記コンピュー タ手段は画素値の所定の許容範囲以上および以下の画素値を調べるための手段（ ６７４）と、上記画素値の所定の許容範囲以上および以下の画素値を表す対応す る出力を生成するための手段（２２４）と、上記第１のデジタルメモリー内で上 記所定範囲以上または以下のいずれかである第１の異常画素の水平軸および垂直 軸上の位置を調べ、欠陥の開始位置をｓｔａｒｔ−ｘ，ｓｔａｒｔ−ｙとして定 義するための手段（６７４Ｃ，６７４Ｄ，６７４Ｅ，６７７）と、上記ｓｔａｒ ｔ−ｘ，ｓｔａｒｔ−ｙ位置の上記第１の異常画素の濃度値を調べるための手段 （６７４）と、それぞれの欠陥におけるそれぞれの異常画素についてそれぞれの 領域の領域全体からなる領域値を調べるための手段（６８４Ａ，７０６，７１９ ，７５０Ｂ，７８０，７８６Ａ，７９０Ｄ，７７８Ｇ，７９２，７９４，７９６ Ｊ）と、ひとつの欠陥の外部境界上の各画素の全長の総和からなる上記欠陥の周 囲値を調べるための手段（６８４Ａ，７０６，７２４，７３０，７７０，７４８ Ａ，７４４Ａ，７８０，７８６Ａ，７９０Ｃ，７７８Ｆ，７９６Ｂ，７９６Ｇ， ７９６Ｍ）と、上記欠陥を包囲する窓を決定しこれに上記欠陥を含むための手段 （６７７，６７９Ａ，６８１Ａ，６８４Ａ，７０４，７１２，７４２，７４４Ｇ ，７７２，７８４，７８８Ａ，７９６Ｌ）と、上記第１の異常画素の上記ｓｔａ ｒｔ−ｘ，ｓｔａｒｔ−ｙ位置と、上記濃度値と、上記領域値と、上記周囲値と 、上記窓を定義する値を保存するための手段（６８２，７７８Ｊ，７７８Ｌ，７ ７８Ｎ）を含むことを特徴とする請求の範囲第３項に記載の装置。 ５．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置において、上記第２のメモリ ーは多ポート並列メモリー（８２２）であり、上記コンピュータ手段は一行の画 素中の画素数に対応する複数の直列処理装置（８３０）と、上記直列処理装置を 平行して動作させて一行のデジタル画素全てを分析し同時に上記行の画素内に欠 陥を検出するための制御コンピュータ手段（８３０）を含むことを特徴とする請 求の範囲第３項に記載の装置。 ６．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置において、上記複数の直列処 理装置（８３０）は、窓内部で所定の画素値の許容範囲以上および以下の画素値 を調べるための手段（８５０）と、上記所定の画素値の許容範囲以上および以下 の画素値を表す対応する出力を生成するための手段（８６２）を含み、上記制御 コンピュータ手段（５９２）は上記直列処理装置の上記出力を読み込んで各欠陥 の位置を調べるための手段（８３２）と、上記窓について背景パラメータを黒に 設定するかまたは白に設定するかを決定するための手段（９５０，１１００）と 、上記窓内の閾値範囲パラメータを測定しこれによって上記閾値範囲の低値以下 の値を有する画素を黒と見なし、それに対して上記閾値範囲の高値以上の値を有 する画素を白と見なすための手段（９５２，１１０２）と、所定の許容範囲の画 素値以上の各欠陥中の画素数よりなる上記窓内部の白の計数値を測定するための 手段（９７２，１１２２）と、上記所定範囲以下の各欠陥中の画素数よりなる上 記窓内部の黒の計数値を測定するための手段（９６８，１１６０）と、上記黒の 計数値を上記白の計数値で除した比率値を求めるための手段（１００４，１１６ ０）と、上記窓内部の輝度値を測定することによって２５６段階または１０２４ 段階のグレースケール上で上記欠陥の全体的濃度を求めるための手段（９８４， １１３４）と、ヒストグラム値を測定するための手段（９５８．１１０８）と、 上記欠陥が上記閾値範囲値以上または以下かを決定する分類値を測定するための 手段（９９０，１０１２，１０２０，１１５０，１１６６，１１７５，１１８８ ，１１９３）を含むことを特徴とする請求の範囲第５項に記載の装置。 ７．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置において、上記コンピュータ 手段はさらにそれぞれの欠陥について欠陥の形式を上記領域、上記窓、上記背景 パラメー久上記閾値範囲パラメータ、上記白の計数値、上記黒の計数値、上記黒 の計数値を上記白の計数値で除した比率値、上記輝度値、上記領域を上記輝度値 で除した比率値から求めるための手段（９９０，１０１２，１０２０，１１５０ ，１１６６，１１７５，１１８８，１１９３）と、上記欠陥の形式を報告するた めの手段（１０５２，１８５２）を含むことを特徴とする請求の範囲第６項に記 載の装置。 ８．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置であって、上記ウェブの伝導 率または反射率条件を表す一連のアナログ走査信号を生成するための走査手段（ １０４，２１６）と、上記一連のアナロク走査信号を、ウェブの状態の大きさを これのそれそれの画素で表す一連のデジタル信号に変換するための手段（２１８ ，５５６）と、上記一連のデジタル信号を一時的に格納するためのメモリー手段 （５８０．５８２）と、 上記保存されたデジタル信号を処理して、第１の異常画素の水平軸および垂直軸 の位置によりｓｔａｒｔ−ｘ，ｓｔａｒｔ−ｙとして求めた欠陥の開始位置と、 上記第１の異常画素の濃度値と、領域値と、上記欠陥を包囲することによって上 記保存されたデジタル信号中の各ウェブの欠陥について上記欠陥を含む窓を決定 するパラメータを生成するための第１のコンピュータ処理手段（５８６）と、上 記保存されたデジタル信号を処理して黒に設定するかまたは白に設定される上記 窓の背景パラメータと、閾値範囲と、上記窓中の白の計数値と、上記窓中の黒の 計数値と、上記黒の計数値を上記白の計数値で除した比率値と、上記窓中の輝度 値と、上記領域値を上記窓中の所定の許容範囲の画素値異常または以下の画素値 の輝度値によって除した比率を生成するための第２のコンピュータ処理手段（５ ９０，５９２）を含む装置。 ９．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置におし、て、上記第２のコン ピュータ処理手段は上記背景パラメータ、上記閾値パラメータ、上記白の計数値 、上記黒の計数値、上記黒の計数値を上記白の計数値で除した上記比率値、上記 輝度値、上記領域値を上記輝度値で除した上記比率値を処理して欠陥の種類を調 べるための手段（９５０，１１０，９５４，１１０４，９６８，１１１８，９７ ２１１２２，１００４，１１６０，１００６，１１６２）を含むことを特徴とす る請求の範囲第８項に記載の装置。 １０．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置において、上記メモリー手 段は並列メモリー（５０４）を含み、上記第２のコンピュータ手段は位置行の画 素中の画素数に対応する複数の直列処理装置（８３０）と、上記直列処理装置を 並列に作動するための制御コンピュータ手段（５９２）を含み、上記複数の直列 処理装置は画素値の所定の許容範囲以上および以下の画素値を調べるための手段 （８５０）と、上記所定の許容範囲値以上および以下の画素値を表す対応する出 力を生成するための手段（８６２）を含み、上記制御コンピュータ手段は上記直 列処理装置の上記出力を読み込んで各欠陥の位置を調べるための手段て８３２） と、閾値範囲パラメータを測定することによって上記閾値範囲の低値以下の値を 有する画素を黒と見なし、それに対して上記閾値範囲の高値以上の値を有する画 素を白と見なすための手段（９５２，１１０２）と、所定の許容範囲の画素値以 上の各欠陥内の画素数よりなる上記窓内部の白の計数値を調べるための手段（９ ７２，１１２２）と、上記所定の許容範囲以下の各欠陥内の画素数よりなる上記 寒中の黒の計数値を調べるための手段（９６８，１１１８）と、上記黒の計数値 を上記白の言十数値で除した比率値を調べるための手段（１００４，１１６０） と上記窓内部の輝度値を調べることによって２５６段階または１０２４段階のグ レースケール上で上記欠陥の全体的濃度が決定されるようになすための手段（９ ８４，１１３４）と、上記領域値を上記輝度値で除した比率を求めるための手段 （１００６，１１６２）と、ヒストグラム値を求めるための手段（９５８，１１ ０８）と、上記欠陥が上記閾値範囲値以下または以上かを決定する分類値を求め るための手段（９８０，１０１２，１０２０，１１５０，１１６６，１１７５， １１８８，１１９３）を含むことを特徴とする装置。 １１．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置であって、複数のカメラ（ １０４）と、 上記移動するウェブを横断するように一列に上記カメラを装置して、それぞれの カメラが上記移動するウェブを横断する方向に延在する線の対応する部分を観察 するようになすための手段（３６０）と、上記移動するウェブの速度に比例した 周波数でパルスを生成するエンコーダ手段（１１０）よりなり、 上記カメラのそれぞれは上記エンコーダ手段からの各パルスに応答して上記ウエ ブの観察された線部分のそれぞれの画素に一連の画素信号を生成するための手段 （４２０，３７４，３８８，３９６，４００，４０２，４１４）を含み、上記カ メラの全てからの上記一連の信号が同時に平行して生成され、さらに上記それぞ れの複数のカメラに接続されて対応する上記一連の画素信号を受信するための複 数のピデオ処理装置（２１８）と、コンピュータバス（２０４）と、 上記コンピュータバスに接続されここからデータを受信するためのシステムコン ピュータ（２０２）を含み、 各ピデオ処理装置は上記対応するデータ列内の欠陥画素を検出するためと上記欠 陥画素の相対的Ｘ位置情報を上記コンピュータバス上で上記システムコンピュー タへ転送するための手段（５９６，５９０，５９２）を含み、上記システムコン ピュータは上記エンコーダ手段に応答して上記ウェブの長手方向の向きに沿って Ｙ位置情報を求めるための手段（３４０，１２２０）と、上記ピデオ処理装置か らの上記Ｘ位置情報に応答する手段（１２２０）と、上記Ｘ方向の情報を受信し た装置を調べる手段（１２１９）と、上記ウェブ内の欠陥の絶対位置について報 告するための手段（１２２１）を含むことを特徴とする装置。 １２．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置において、それぞれのカメ ラは、 時間遅延積分モードで動作するための手段（４２０）を有する電荷結合素子２次 元アレイ検出装置（３７４）と、 上記アレイ検出装置内で上記移動するウェブの領域を画像化するための手段（３ ７０）を含み、 上記時間遅延積分動作する手段は上記エンコーダ手段によって生成された上記パ ルスに応答して上記アレイ内の電荷を上記アレイを横断する上記画像の動きに合 わせて隣接する行へ転送するための手段（４３０，４４０，４４２，４４４，４ ６０，４６２，４６４，４６６）を含み、上記時間遅延積分動作する手段はさら に隣接する行への電荷の転送時間の間に画素値の終端行を出力するための手段（ ４７６，４７８，４８０，４８４）を含むことを特徴とする請求の範囲第１１項 に記載の方法。 １３．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置において、上記時間遅延積 分動作する手段はまた、上記エンコーダ手段によって生成された上記パルスに応 答して検出装置を作動させ、光で惹起された電荷を所定の間隔の間だけ積分して 上記電荷積分時間が上記移動するウェブの速度の変化によって変動しないように なすための手段（４６０，４６２，４６４，４６６）を含むことを特徴とする請 求の範囲第１２項に記載の装置。 １４．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置において、上記エンコーダ 手段からの各パルスに応答して上記ウェブの上記観察された線部分のそれぞれの 画素に対応する一連の画素信号を生成するための手段（３９６，４００，４０２ ，４０４，４０６，４０８，４１０，４１２，４１４）は一連のアナログ値を出 力し、上記データ列内の欠陥画素を検出するための各ピデオ処理装置の上記処理 手段（２１８）はアナロク画素値をデジタル画素値へ変換するためのアナロク・ デジタル変換手段（５５６）と、第１のデジタルメモリー（６０１−６０８）と 、上記第１のメモリー内の連続した位置に一行の上記デジタル画素値を格納する ための手段（６１１−６１８，６２０，６２２，６２４，６３０−６３８）と、 第２のデジタルメモリー（５９０）と、上記第２のメモリー内の連続した位置に 一行の上記デジタル画素値を格納するための直列バイト並列ピット変換手段（５ ８２）と、各メモリー内の各行について上記格納された画素値を分析して欠陥を 検出するためのビデオコンピユータ手段（５８６，５９０，５９２）を含むこと を特徴とする請求の範囲第１１項に記載の装置。 １５．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置において、上記第１のメモ リーは多ポートバイト直列メモリー（６０１−６０８）からなり、上記ビデオコ ンピユータ手段は所定の画素値の許容範囲以上および以下の画素値を調べるため の手段（６８４）と、上記所定の画素値許容範囲以上および以下の画素値を表す 対応する出力を生成するための手段（２２４）と、上記第１のデジタルメモリー 内で上記所定範囲以上または以下の第１の異常画素の水平軸および垂直軸の位置 を求め、これによって欠陥の開始位置をｓｔａｒｔ−ｘ，ｓｔａｒｔ−ｙとして 決定するための手段（６７４Ｃ，６７４Ｄ，６７４Ｅ，６７７）と、上記ｓｔａ ｒｔ−ｘ，ｓｔａｒｔ−ｙ位置での上記第１の異常画素の濃度値を調べるための 手段（６７４）と、各欠陥内の各異常画素についてそれぞれの領域の領域総量か らなる領域値を求めるための手段（６８４Ａ，７０６，７１９，７５０Ｂ，７８ ０，７８６Ａ，７９０Ｄ，７７８Ｇ，７９２，７９４，７９６Ｊ）と、欠陥の外 延上の各画素の全長の総和からなる上記欠陥の周囲値を求めるための手段（６８ ４Ａ，７０６，７２４，７３０，７７０，７４８Ａ，７８０，７８６Ａ，７９０ Ｃ，７７８Ｆ，７９６Ｂ，７９６Ｇ，７９６Ｍ）と、上記欠陥を包囲することに よって上記欠陥を含む窓を決定するための手段（６７７，６７９Ａ，６８１Ａ， ６８４Ａ，７０４，７１２，７４２，７４４Ｇ，７７２，７８４，７８８Ａ，７ ９６Ｌ）と、上記第１の異常画素の上記ｓｔａｒｔ−ｘ，ｓｔａｒｔ−ｙ位置、 上記濃度値、上記領域値、上記周囲値、および上記窓を定義する値を保存するた めの手段（６８２，７７８Ｊ，７７８Ｌ，７７８Ｎ）を含むことを特徴とする請 求の範囲第１４項に記載の装置。 １６．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置において、上記第２のメモ リーが並列メモリー（８２２）からなり、上記ビデオコンピユータ手段は一行の 画素の画素数に対応する複数の直列処理装置（８３０）と、上記直列処理装置を 並列に動作させて一行のデジタル画素全てを分析し同時に上記画素の行内の欠陥 を検出するための制御コンピュータ手段（５９２）を含むことを特徴とする請求 の範囲第１４項に記載の装置。 １７．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置において、上記ビデオコン ピユータ手段は上記第１の異常画素の上記ｓｔａｒｔ−ｘ，ｓｔａｒｔ−ｙにお ける上記位置と、上記第１の異常画素の上記濃度値と、上記領域値と、上記周囲 値と、上記窓を定義するパラメータを含む値およびパラメータを受信するための 手段（５８７）を含み、さらに上記窓を黒に設定するかまたは白に設定するため の背景パラメータを決定するための手段（９７２，１１２２）と、上記窓内で閾 値範囲パラメータを求めることにより上記閾値範囲の低値以下の値を有する画素 を黒と見なし、それに対して上記閾値範囲の高値以上の値を有する画素を白と見 なすようになすための手段（９５２，１１０２）と、所定の許容範囲内の画素値 以上のそれぞれの欠陥における画素数からなる上記窓内の白の計数値を求めるた めの手段（９７２，１１２２）と、上記所定の許容範囲内の画素値以下のそれぞ れの欠陥における画素数からなる上記窓内の黒の計数値を求めるための手段（９ ６８，１１１８）と、上記黒の計数値を上記白の計数値で除した比例値を求める ための手段（１００４，１１６０）と、上記窓内の輝度値を求めることによって ２５６段階または１０２４段階のグレースケール上で上記欠陥の全体的濃度が決 定されるようになすための手段（９８４，１１３４）と、上記領域値を上記輝度 値で除した比率を求めるための手段（１００６，１１６２）と、ヒストグラム値 を求めるための手段（９５８，１１０８）と、上記第１の異常画素の上記ｓｔａ ｒｔ−ｘ，ｓｔａｒｔ−ｙにおける上記位置、上記第１の異常画素の上記濃度値 、上記領域値、上記周囲値、上記窓を定義するパラメータ、上記背景パラメータ 、上記白の計数値、上記黒の計数値、上記黒の計数値を上記白の計数値で除した 上記比率値、上記輝度値、上記領域値を上記輝度値で除した上記比率、上記ヒス トグラム値を上記コンピュータパス上で上記システムコンピュータへ転送するた めの手段（１０５６）を含み、さらに上記システムコンピュータは上記第１の異 常画素の上記ｓｔａｒｔ−ｘ，ｓｔａｒｔ−ｙにおける上記位置、上記第１の異 常画素の上記濃度値、上記領域値、上記周囲値上記窓を定義するパラメータ、上 記背景パラメータ、上記閾値範囲パラメータ、上記白の計数値、上記黒の計数値 、上記黒の計数値を上記白の計数値で除した上記比率値、上記輝度値、上記領域 値を上記輝度値で除した上記比率、および上記ヒストグラム値から欠陥の形式を 求めるための手段（１２６０，１２６２，１２６４，１２６６，１２６８，１２ ７０，１２７２，１２７４，１２７６，１２７８，１２７９）を含むことを特徴 とする請求の範囲第１４項に記載の装置。 １８．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置において、上記複数の直列 処理装置は上記窓内の所定の許容範囲の画素値以上および以下の画素値を求める ための手段（８５０）と、上記所定の許容範囲値以上および以下の画素値を表す 対応する出力を生成するための手段（８６２）を含み、上記制御コンピュータ手 段は上記直列処理装置の出力を読み込んでそれぞれの欠陥の相対的Ｘ位置を求め るための手段（８３２）と、上記相対的Ｘ位置を上記コンピュータバス上で上記 システムコンピュータへ転送するための手段（１０５６）を含むことを特徴とす る請求の範囲第１６項に記載の装置。 １９．移動するウェブ中の欠陥を検出するための装置であって、さらに上記カメ ラ（１０４）の観察する上記行に隣接してウェブ（１００）の動く経路に直交し て装置された長い回転自在な支持（１２６）と、上記回転自在な支持の軸に対し て間隔を開けて配置し長手方向に装置され、上記ウェブと並置する位置へ上記支 持の回転により選択的に移動されて上記カメラの観察する上記行を照明するため の複数の筒状蛍光灯（１２０，１２２，１２４）と、 上記ウェブの上記照明を検出して所定レベル以下に上記照明が低下した場合に信 号を生成するための手段（１５４）とを含み、上記システムコンピュータは上記 検出手段からの信号に応答して上記支持を回転させもう一つのランプを上記ウェ ブと並置する位置へ移動させるための手段（１４８，１５８，１６０）を含むこ とを特徴とする請求の範囲第１１項に記載の装置。 ２０．上記ウェブ（１００）の移動径路に直交して装置された長い回転自在な支 持（１２６）と、 上記回転自在な支持の軸に対して間隔を開けて配置し長手方向に装置され、上記 ウェブと並置する位置へ上記支持の回転により選択的に移動されるようになした 筒状蛍光灯（１２０，１２２，１２４）と、上記ウェブの上記照明を検出して所 定レベル以下に上記照明が低下した場合に信号を生成するための手段（１５４） と、上記検出手段からの上記信号に応答して上記支持を回転させもう一つのラン プを上記ウェブと並置する位置へ移動させるための手段（２０２，１４８，１６ ０）を含むことを特徴とするウェブ検査部用照明システム。 ２１．上記照明検出手段（１５４，１５６）に応答して上記ウェブと並置する上 記ランプの動作を制御し所定の照明を維持するための可変式電源供給手段（１３ ６，１３８，１４０）を含むことを特徴とする請求の範囲第２０項に記載のウエ ブ検査部用照明システム。 ２２．上記複数のランプ（１２０，１２２，１２４）に対応しまた動作入力と制 御入力を有し、上記対応するランプの動作を制御して所定の照明を維持するため の複数の可変式電源供給手段（１３６，１３８，１４０）と、上記ウェブに並置 する位置にあるランプの移動に応答して上記並置したランプの上記電源供給手段 の動作入力を動作させるための切り換え手段（１３０，１３２，１３４）を含む ことを特徴とする請求の範囲第２０項に記載のウェブ検査部用照明システム。