JPH0551429B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0551429B2
JPH0551429B2 JP62224956A JP22495687A JPH0551429B2 JP H0551429 B2 JPH0551429 B2 JP H0551429B2 JP 62224956 A JP62224956 A JP 62224956A JP 22495687 A JP22495687 A JP 22495687A JP H0551429 B2 JPH0551429 B2 JP H0551429B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chips
chip
disk
transfer jig
polishing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP62224956A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6471664A (en
Inventor
Koji Matsuzaki
Kazue Oota
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NGK Insulators Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Insulators Ltd filed Critical NGK Insulators Ltd
Priority to JP62224956A priority Critical patent/JPS6471664A/ja
Publication of JPS6471664A publication Critical patent/JPS6471664A/ja
Publication of JPH0551429B2 publication Critical patent/JPH0551429B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は磁気ヘツドのコアチツプのような小型
で肉薄のチツプの研摩方法に関するものである。
(従来の技術) 上記のようなチツプの製造工程においては、薄
板状にスライスされたチツプの側面を研摩仕上げ
する必要がある。このため、従来は研摩用の円板
の表面にチツプを1枚ずつ手作業によつて接着
し、これを研摩盤にセツトして研摩したうえで再
び手作業によりチツプを1枚ずつ円板から剥離
し、表面の接着剤を洗浄するという工程が採用さ
れていた。ところが、このような従来法において
は小型で肉薄の多数枚のチツプを手作業で取扱わ
ねばならぬため、作業能率が悪いうえに取扱い時
にチツプを破損して歩留りを低下させるおそれも
あつた。
(発明が解決しようとする問題点) 本発明は上記のような従来の問題点を解決し
て、小型で肉薄のチツプを手作業によつて1枚ず
つ取扱うことなく能率良く研摩することができる
チツプの研摩方法を目的として完成されたもので
ある。
(問題点を解決するための手段) 本発明は、薄板状にスライスされた多数枚のチ
ツプを中空筒体の内部に収納してその下端からイ
ンデツクステーブルの表面のチツプ受入用の凹部
に1枚ずつ落下させて分離したうえ取出機により
円周方向に多数のチツプ保持部を備えた転写治具
上に整列させ、表面に接着層が形成された円板を
この転写治具の表面に押付けてチツプを円板上に
転写させたうえで研摩盤による研摩を行うことを
特徴とするものである。
(実施例) 次に本発明を図示の実施例に基いて更に詳細に
説明する。
第1図は基板1上にカーボン板2を介して基板
を接着された状態でスライスされたチツプ50を
示すもので、このチツプ50は上面にコア51が
埋設されており、また下面には2つの足溝52,
52が形成されたE字形をなしている。前述のよ
うに、従来はこのようなスライスされたチツプ5
0を1枚ずつ手作業により扱つていたのである
が、本発明においては第3図に示されるような治
具3の上に基板1とともにセツトする。
治具3は第3図に示されるように中央に平板部
4を備えその両側に突部5を突出させたものであ
つて、平板部4には基板1を位置決めするための
ピン6と段部7等の位置決め用の突起が形成され
ている。また両側の突部5,5にはチツプ下面の
足溝52,52内に2本の針8,8を正確に挿通
するための針位置決め部9が形成されている。針
位置決め部9は透孔であつてもよいが、図示のよ
うな凹部としておく方が針8を通し易い。なお1
0は治具3の外側に必要に応じて取付けられる針
持上げ用の枠である。
このような治具3によりチツプ50の足溝52
内に2本の針8,8を通したうえでチツプ50を
基板1に接着している接着剤を溶解させると、第
2図に示されるようにスライスされた多数枚のチ
ツプ50はそのまま持上げることができるように
なる。そこでこれらのチツプ50を針8を通した
ままで第4図に示される供給機の中空筒体11の
内部に収納させたうえ、針8を抜き取る。
供給機はインデツクステーブル12の上方に中
空筒体11を垂直に取付けたものである。インデ
ツクステーブル12のテーブル表面には、チツプ
50を1枚ずつ受入れることができるチツプ受入
用の凹部13が円周方向に等間隔で形成されてい
る。第5図に拡大して示したとおり、中空筒体1
1はその下面とテーブル表面との間〓Aがチツプ
50の厚さCよりも小さいが、中空筒体11の下
面と凹部13の内面との間〓Bはチツプ50の厚
さCよりも大きくなるように高さが調節されてい
る。なおチツプ50の厚さは実際には0.3mm程度
であり、これらの図面はチツプ50の厚さ及び大
きさを著しく誇張して図示してあることに留意さ
れたい。上記のような高さに中空筒体11を設定
しておけば、中空筒体11の直下にチツプ受入用
の凹部13がインデツクスされてくるたびにチツ
プ50が1枚ずつ凹部13内に自動的に落下し、
収納されることとなる。
このように供給機のインデツクステーブル12
上に1枚ずつ分離されたチツプ50は、第4図に
示されるロボツト式の取出機14のヘツド15に
よつて転写治具16上に整列状態で取出される。
転写治具16は円周方向に多数の浅いチツプ保持
部17を備えた円板状のものである。
次に第6図に示すように、研摩用の円板18の
片面にスプレイノズル19等を用いて接着剤をス
プレイし、第7図に示されるように接着層を下向
きとして円板18を上記した転写治具16の表面
に重ねる。この結果、転写治具16上に整列され
ているチツプ50は円板18の接着剤が塗布され
た表面上に整列状態のままで転写(移動)され
る。そこでこのようなチツプ50が転写された円
板18を第8図に示されるように加圧機20にセ
ツトして熱とプレス圧力とを加え、チツプ50を
円板18に強固に接着させる。その後、この円板
18を研摩盤21に取付け、研摩及びラツプ作業
を行えば、チツプ50の表面が研摩されることと
なる。
なお、チツプ50の反対面を研摩するには、こ
の円板18の表面に再び転写治具16を重ね合わ
せてトリクレンのような溶剤中に浸漬し、接着剤
を溶かしてチツプ50を転写治具16上へ取り出
す。これを再度転写治具16上へ反転して転写さ
せたうえで第6図以下の工程を繰返せば、同様に
チツプ50の裏面も研摩することができる。研摩
終了後は接着剤を溶剤で溶かしたうえでチツプ5
0の洗浄すればよい。
(発明の効果) 以上の実施例による説明からも明らかなよう
に、小型で肉薄のチツプの表面を能率良く研摩す
ることができ、従来のようにチツプを1枚ずつ手
作業によつて取扱う必要がないため、チツプ1枚
当たりの研摩に要する作業時間を従来の約50秒か
ら12秒程度にまで大幅に減少させることが可能と
なつた。しかも取扱い中のチツプの破損も防止さ
れ、歩留りの向上にも有効である。
よつて本発明は従来の問題点を一掃したチツプ
の研摩方法として、産業の発展に寄与するところ
は極めて大である。
【図面の簡単な説明】
第1図は基板上に接着された状態でスライスさ
れたチツプを示す斜視図、第2図はチツプの足溝
に針を通して持上げた状態を示す斜視図、第3図
はチツプの足溝に針を通すために用いられる治具
の一部切欠斜視図、第4図は供給機と転写治具と
を示す斜視図、第5図は供給機の要部を示す拡大
断面図、第6図は円板に接着剤を塗布する工程を
示す斜視図、第7図はこの円板と転写治具とを重
ね合わせる状況を示す斜視図、第8図は円板の表
面にチツプを加熱及び加圧により強固に固定する
工程を示す斜視図、第9図は研摩盤を示す斜視図
である。 1:基板、3:治具、4:平板部、5:突部、
8:針、11:中空筒体、12:インデツクステ
ーブル、13:凹部、16:転写治具、18:円
板、21:研摩盤、50:チツプ、52:足溝。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 薄板状にスライスされた多数枚のチツプを中
    空筒体の内部に収納してその下端からインデツク
    ステーブルの表面のチツプ受入用の凹部に1枚ず
    つ落下させて分離したうえ取出機により円周方向
    に多数のチツプ保持部を備えた転写治具上に整列
    させ、表面に接着層が形成された円板をこの転写
    治具の表面に押付けてチツプを円板上に転写させ
    たうえで研磨盤による研摩を行うことを特徴とす
    るチツプの研摩方法。
JP62224956A 1987-09-08 1987-09-08 Polishing method for chip and jig used for said polishing and supplying machine Granted JPS6471664A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62224956A JPS6471664A (en) 1987-09-08 1987-09-08 Polishing method for chip and jig used for said polishing and supplying machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62224956A JPS6471664A (en) 1987-09-08 1987-09-08 Polishing method for chip and jig used for said polishing and supplying machine

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4073884A Division JPH0688202B2 (ja) 1992-03-30 1992-03-30 チップ整列用治具

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6471664A JPS6471664A (en) 1989-03-16
JPH0551429B2 true JPH0551429B2 (ja) 1993-08-02

Family

ID=16821826

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62224956A Granted JPS6471664A (en) 1987-09-08 1987-09-08 Polishing method for chip and jig used for said polishing and supplying machine

Country Status (1)

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JP (1) JPS6471664A (ja)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52147417A (en) * 1976-06-02 1977-12-07 Shigeo Makita Jig for magnetic head grinding machine
JPS60118467A (ja) * 1983-11-30 1985-06-25 Fujimi Kenmazai Kogyo Kk 半導体ウエハ−の取付方法
JPS61151859U (ja) * 1985-03-11 1986-09-19

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6471664A (en) 1989-03-16

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