JPH0552542A - 変位検出装置の測定子移動機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 操作性が良好なうえ防塵性が良好かつ構造が
簡単にできる変位検出装置の測定子移動機構の提供。 【構成】 レリーズロッド34を測定子101 の移動方向に
進退駆動する駆動機構30と、本体101 のレリーズロッド
34の先端部に沿って形成された連通孔22と、連通孔22を
貫通するように配置されてレリーズロッド34が測定子10
1 の後退方向に移動した際にレリーズロッド34と測定子
101 とを係合させる係合機構38と、レリーズロッド34な
いし係合機構38を一体的に覆って密閉するケース21とを
設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、変位検出装置の測定子
を測定時等に移動させる測定子移動機構に関する。

【０００２】

【背景技術】従来より、被測定物の寸法や形状等を測定
する装置として、スピンドル等の進退自在な測定子を備
え、この測定子の先端を前記被測定物に対して一方向か
ら当接させ、その変位を測定して前記寸法や形状等を測
定する形式の装置が多用されている。このような変位検
出装置においては、測定子を任意に変位させるために測
定子移動機構が装着されているものがある。

【０００３】前述した測定子移動機構としては、先ず、
測定子に設けられた指掛け部により手動操作で測定子を
変位させられるようにしたものがある。しかし、このよ
うな指掛け式の測定子移動機構では、構造が簡単である
反面、操作にあたって測定子の移動方向以外の力を不用
意に加えてしまいやすく、測定誤差の原因となってい
た。また、測定子に指掛け部が突出することから、測定
作業にあたって邪魔になることがあった。

【０００４】これに対し、ワイヤを介して測定子を間接
的に操作するレリーズ機構を用いた測定子移動機構が採
用されている。このような間接レリーズ式の測定子移動
機構では、ワイヤの測定子接続側を測定子に沿った一定
方向に保持しておくことにより、操作側の向きに関わら
ず測定子に対する駆動力を常に測定子に沿った方向とす
ることができ、他方向の力による誤差を低減することが
できる。

【０００５】一方、このような間接レリーズ式の測定子
移動機構においては、手操作により駆動を行う手動式に
加え、エアシリンダ等の遠隔制御可能な駆動機構を用い
て測定子の移動の自動化が図られている。特に、製造工
程におけるインライン計測を行う場合、ラインの自動化
等に対応して測定操作までをも自動化することがなされ
ており、このような場合には遠隔制御可能な測定子移動
機構がきわめて有用である。

【０００６】前述したエア等で遠隔制御可能な測定子移
動機構としては、本願出願人により図７のような構造が
提案されている（特願平２−９５９７０号）。図７にお
いて、変位検出装置100 は筒状の本体101 を有し、本体
101 の先端側には進退自在な測定子110 が内装され、本
体101 の基端側には測定子110 の移動量を検出する検出
機構120が内蔵されているとともに、本体101 の中間部
表面には測定子移動機構130 が設置されている。

【０００７】測定子110 は棒状のスピンドル111 を有
し、その先端には被測定物に当接される接触チップ112
が設けられている。スピンドル111 はリテーナ113 で一
定配置に保持されたボール114 からなるベアリング115
を介して本体101 内に進退自在に保持されている。スピ
ンドル111 の基端側にはガイドピン116 が植設され、本
体101 のガイドピン116 に対向する部位には所定長さに
わたってガイド孔117 が形成されている。ガイドピン11
6 は先端部をガイド孔117 内に挿入係合されており、こ
れらによりスピンドル111 は所定ストローク移動可能で
あるが回転が規制されている。

【０００８】スピンドル111 基端側と本体101 との間に
は圧縮コイルばね118 が介装され、このコイルばね118
によりスピンドル111 は本体101 の先端側向きに付勢さ
れており、接触チップ112 に当接した図示しない被測定
物が移動した場合にはスピンドル111 が追従移動するよ
うになっている。接触チップ112 と本体101 の先端との
間には伸縮自在な筒状のゴムブーツ119が装着され、こ
のゴムブーツ119 によりスピンドル111 の本体101 から
進出する部分は常に外部から遮蔽されて防塵性等が確保
されている。

【０００９】検出機構120 は、スピンドル111 の基端側
に連結されたスケール121 と、このスケール121 の移動
経路に沿った位置で本体101 に固定された検出器122 と
を備えている。スケール121 は光学読み取り用のスケー
ルであり、透明な基板に微細な一定間隔で縞模様が形成
されている。

【００１０】検出器122 はスケール121 を挟むように本
体101 に固定された発光部123 および受光部124 により
構成され、発光部123 からスケール121 を通して受光部
124に到る光ビームがスケール121 の縞模様で遮られる
毎に変位を積算し、スケール121 の移動つまりスピンド
ル111 の移動を検出するようになっている。検出器122
には本体101 の基端側から外部に延びるケーブル125 が
接続され、このケーブル125 により外部の図示しない計
測装置から受光部123 および発光部124 への電源供給お
よび信号伝達が行われるようになっている。

【００１１】測定子移動機構130 は、本体101 に固定さ
れたケース131 と、ケース131 内に移動自在に設けられ
たスライド板132 と、スライド板132 をケース131 に対
して移動させる駆動機構133 とを備えている。ケース13
1 は本体101のガイド孔117 を覆うように設置され、ガ
イド孔117 に対応した連通孔134 を備えている。

【００１２】スライド板132 の本体101 側面には先端側
に当接ピン135 が植設され、この当接ピン135 は連通孔
134を通してガイド孔117 内まで突出され、先端側向き
に付勢されているスピンドル111 のガイドピン116 と通
常は当接されている。スライド板132 とケース131 との
間には圧縮コイルばね136 が介装され、このコイルばね
136 によりスライド板132 は本体101 の先端側向きに付
勢されており、前述した被測定物の移動によりスピンド
ル111 およびガイドピン116 が基端側へ移動して互いの
当接が解除された場合でも一定位置に保持されるように
なっている。

【００１３】駆動機構133 は、スライド板132 の基端側
の折り曲げ部分に接続されたケース137 を有し、このケ
ース137 には先端側へ突出するプッシュロッド138 が設
けられている。プッシュロッド138 は先端がケース131
に当接され、内部のエアシリンダ機構140 で駆動されて
ケース137 から進退し、スライド板132 をケース131 に
対して移動させる。

【００１４】エアシリンダ機構140 はケース137 の内部
のシリンダ状部分に摺動自在に収容されたピストン141
を有し、このピストン141 にはプッシュロッド138 の基
端が接続されている。ピストン141 は圧縮コイルばね14
2 で常時ケース137 の基端側に付勢されている。また、
ピストン141 の基端側の圧力室143 には外部の図示しな
い圧縮空気供給源に到る圧力パイプ144 が接続されてい
る。

【００１５】ここで、圧力パイプ144 を通して圧力室14
3 に圧縮空気を導入することで、ピストン141 はコイル
ばね142 に抗してケース137 の先端側へ移動し、プッシ
ュロッド138 がケース137 から進出する。これによりス
ライド板132 はケース137 とともにケース131 に対して
基端側へ駆動され、当接ピン135 がガイドピン116 に当
接してこれを基端側へ移動させ、スピンドル111 が圧縮
コイルばね118 に抗して基端側へ移動され、測定子110
は本体101 の基端側へ後退される。

【００１６】また、圧力パイプ144 を通して圧力室143
の圧縮空気を排出することで、ピストン141 はコイルば
ね142 によりケース137 の基端側へ移動し、プッシュロ
ッド138 がケース137 内へ後退する。これによりスライ
ド板132 はケース137 とともにケース131 に対して先端
側へ駆動され、当接ピン135 の先端側への移動に伴いこ
れに当接するガイドピン116およびスピンドル111 は圧
縮コイルばね118 によって先端側へ移動され、測定子11
0 は本体101 の先端側へ進出される。

【００１７】このような測定子移動機構130 を有する変
位検出装置100 においては、エア供給の切り換えにより
測定子110 の進退を自由に遠隔操作できる。従って、イ
ンライン測定等に適用した際などには大幅な自動化や省
略化が実現できる。また、測定子110 の移動にあたって
のエア駆動の方向が測定子110 の移動軸線に沿っている
ため、他の方向の力による誤差等を生じないようにでき
る。そして、測定子移動機構130は変位検出装置100 の
本体101 に沿って設けられるため、装置の大型化による
周囲との干渉、あるいは設置の制約等の障害を未然に解
消することができる。従って、インライン測定等への適
用などもきわめて簡単かつ広範囲に行うことができる。
さらに、スライド板132 に取付けられた駆動機構133 を
手動ワイヤレリーズ式の駆動機構に交換することで、手
動操作による測定子移動機構に改変することもできる。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前述した測
定子移動機構130 を有する変位検出装置100 において
は、駆動機構133 の交換を考慮していたため、測定子移
動機構130 のケース131 と駆動機構133 のケース137 と
が分離されており、スライド板132 を一部露出させる必
要があるため、ケース131 には開口部が必要であった。

【００１９】しかし、このようなケース131 の開口があ
ると、製造工程中のインライン測定に利用する場合な
ど、当該開口から周囲の油や粉塵等がケース131 内に進
入し、さらには連通孔134 およびガイド孔117 を通して
本体101 内へ進入する可能性がある。そして、本体101
内に油や粉塵等が進入すると、精密な光学特性が要求さ
れる検出器122 に影響を及ぼして正確な測定ができなく
なるという問題があり、スピンドル111 等に影響して測
定子110 の円滑な移動を妨げて正確な測定ができなくな
るという問題もある。

【００２０】さらに、前述した図７の測定子移動機構13
0 は、概して部品点数が多く、機構が複雑であり、組立
てや保守等が煩雑なうえ製造コストの低減が難しい等の
問題があり、構造の簡略化が望まれていた。

【００２１】本発明の目的は、操作性が良好なうえ防塵
性が良好かつ構造が簡単にできる変位検出装置の測定子
移動機構を提供することにある。

【００２２】

【課題を解決するための手段】本発明は、被測定物に関
与する測定子と、この測定子を摺動自在に支持する検出
装置本体と、この検出装置本体内に設置されて測定子の
移動量を検出する検出器とを備えた変位検出装置に取付
けられ、前記測定子を所望の方向に移動させるための測
定子移動機構において、前記検出装置本体に支持されか
つ先端部が露出したレリーズロッドを前記測定子の移動
方向に進退駆動する駆動機構と、前記検出装置本体のレ
リーズロッドの先端部に沿った部分に形成された連通孔
と、前記連通孔を貫通するように配置されてレリーズロ
ッドが測定子の後退方向に移動した際にレリーズロッド
と測定子とを係合させる係合機構と、前記レリーズロッ
ドないし係合機構を一体的に覆って密閉するケースとを
備えて構成されたことを特徴とする。

【００２３】ここで、前記駆動機構は、前記検出装置本
体に固定されかつ軸線が前記測定子の移動方向と平行に
設定されたシリンダと、このシリンダ内を移動自在に配
置されかつ前記レリーズロッドの基端部が接続されたピ
ストンとを備えて構成されたものが好ましい。

【００２４】

【作 用】このような本発明においては、測定にあたっ
て、測定子が先端側で被測定物に当接して基端側に移動
した際には、係合機構によりレリーズロッドと測定子と
の係合が適宜解除されるため、測定子は通常通りの測定
を行えることになる。そして、駆動機構によりレリーズ
ロッドを測定子の基端側へ移動させることにより、レリ
ーズロッドが係合機構を介して測定子に係合し、測定子
はレリーズロッドとともに基端側へ移動されることにな
る。さらに、駆動機構によりレリーズロッドを測定子の
先端側へ移動させることにより、測定子は係合機構を介
してレリーズロッドの移動に伴って先端側へ移動するこ
とになる。従って、従来通りの遠隔操作による測定子移
動が行えることになり、良好な操作性が得られることに
なる。

【００２５】一方、本発明においては、駆動機構のレリ
ーズロッドと測定子とが直接的に解除可能な係合機構を
介して係合されるため、従来のようなスライド板等の機
構部分が解消され、構造を簡略化できることになる。ま
た、レリーズロッドないし係合機構をケースで一体的に
覆って密閉することにより、高い防塵性を確保できると
ともに、前述のように駆動機構部分の構造が簡略小型化
されることでケースも小型化できることになる。従っ
て、これらにより良好な操作性を得ながら構造の簡略化
および防塵性の確保が実現され、これにより前記目的が
達成される。

【００２６】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１に示すように、本実施例の変位検出装置10
は筒状の本体101 を有し、本体101 の先端側には進退自
在な測定子110 が内装され、本体101 の基端側には測定
子110 の移動量を検出する検出機構120 が内蔵されてい
るとともに、本体101 の中間部表面には測定子移動機構
20が設置されている。このうち本体101 、測定子110、
検出機構120 は前述した図７の従来例と同様であり、簡
略化のためここでは各々の説明を省略し、以下には従来
と異なる部分である測定子移動機構20について説明す
る。

【００２７】測定子移動機構20は、本体101 に固定され
たケース21を有し、このケース21は本体101 のガイド孔
117 を覆うように設置され、ガイド孔117 に対応した連
通孔22を備えている。また、ケース21の基端側面には駆
動機構30が接続固定されている。

【００２８】駆動機構30は、ケース21に接続された中間
ブロック31と、この中間ブロック31の基端側にシール状
態で接続されたシリンダケース32とを備えている。シリ
ンダケース32内にはピストン33が収容され、このピスト
ン33は検出子110と平行な軸線方向に移動可能である。
ピストン33の先端側にはレリーズロッド34が連結され、
このレリーズロッド34は中間ブロック31を貫通してケー
ス21内まで延長されている。レリーズロッド34の先端に
は先端部材35が取付けられ、先端部材35には当接ピン36
が植設されている。当接ピン36は連通孔22を通してガイ
ド孔117 内まで突出され、先端側向きに付勢されている
スピンドル111 のガイドピン116 と通常は当接されてい
る。

【００２９】ピストン33の基端側にはシリンダケース32
の基端側内面との間に圧縮コイルばね37が介装され、こ
のコイルばね37によりピストン33は本体101 の先端側へ
付勢され、レリーズロッド34ないし当接ピン36も本体10
1 の先端側向きに付勢されており、前述した被測定物の
移動によりスピンドル111 およびガイドピン116 が基端
側へ移動して互いの当接が解除された場合でも一定位置
に保持されるようになっている。これらの先端部材35、
当接ピン36、圧縮コイルばね37、ガイドピン116 により
係合機構38が構成され、レリーズロッド34が基端側つま
り測定子110 の後退方向に移動した場合にレリーズロッ
ド34と測定子110 とが係合されるようになっている。

【００３０】図２にも示すように、ピストン33は、レリ
ーズロッド34の基端側端に締め付け固定されたピストン
部材41を有し、ピストン部材41の両フランジ間にはリン
グ状でリップ式のシール部材42が嵌め付けられている。
シール部材42のリップは先端側向きとされ、ピストン33
の先端側に圧力を受けた際にシリンダケース32内周に対
して高いシール性を維持しながら摺接するように設定さ
れている。

【００３１】中間ブロック31の先端側面にはレリーズロ
ッド34と同軸で突起部43が形成され、中間ブロック31は
突起部43をケース21の開口44に圧入することでケース21
と結合されている。突起部43と開口44との間は全周を密
封シールされている。

【００３２】中間ブロック31の基端側にはレリーズロッ
ド34と同軸で突起部46が形成され、中間ブロック31は突
起部46をシリンダケース32の開口部内周に螺合挿入する
ことでシリンダケース32と結合されている。突起部46の
螺合部分にはシール剤等が塗布され、シリンダケース32
の開口部内周との間は気密状態となるように密封シール
されている。

【００３３】中間ブロック31の基端側突起部46の端面に
はレリーズロッド34に沿って先端側に向かう通気孔51が
形成され、その先端部には中間ブロック31の上面から形
成された通気孔52が連通されている。

【００３４】通気孔52には導入管53が接続され、この導
入管53にはチューブ54により外部の図示しない圧縮空気
供給装置から圧縮空気が供給される。ここで、チューブ
54から供給される圧縮空気は、導入管53から通気孔52,
51を経てピストン33の先端側との間の圧力室55に充填さ
れ、これによりピストン33が基端側に移動される。ま
た、圧縮空気供給装置でチューブ54から排気することに
より、圧力室55内の圧縮空気は通気孔51, 52から導入管
53を経て排出され、ピストン33は前述した圧縮コイルば
ね37により先端側へ移動される。

【００３５】通気孔51内にはレリーズロッド34と同軸配
置された筒状の通気調整部材56が挿入されている。通気
調整部材56の外周には一部領域に雄ねじ部57が突起形成
されており、この雄ねじ部57は通気孔51の内周に基端側
開口部から所定長さにわたって形成された雌ねじ部58に
螺合されている。これにより、通気孔51を通過する空気
は雄ねじ部57と雌ねじ部58との隙間を通して絞られ、流
速を抑制されるようになっている。なお、通気調整部材
56の基端側端にはフランジ59が形成され、このフランジ
59はピストン33に当接して先端側への移動規制を行うス
トッパを兼用するようになっている。

【００３６】このように構成された本実施例において
は、次のような操作により各種動作が行われる。通常
は、圧力室55内に圧縮空気を供給しないでおくことで、
ピストン33およびレリーズロッド34は圧縮コイルばね37
により先端側の前進限に維持される。そして、測定子11
0 は圧縮コイルばね118 により先端側に付勢され、ガイ
ドピン116が当接ピン36に係止される位置に維持される
（通常状態、図３参照）。

【００３７】測定を行う場合、測定子110 の先端に被測
定物を当接させる。被測定物との当接により、測定子11
0 は圧縮コイルばね118 に抗して基端側へ後退する。そ
して、ガイドピン116 は当接ピン36から離隔する。この
際、測定子110 は圧縮コイルばね118 により被測定物と
の当接を維持されており、測定子110 には被測定物の当
接位置に応じた変位D が生じ、この変位D が検出器120
で測定される（測定状態、図４参照）。なお、測定子11
0 の先端から被測定物を除去すれば、圧縮コイルばね11
8 により測定子110 が先端側へ前進し、図３の通常状態
に自動的に復帰する。

【００３８】測定子110 を強制的に後退させる場合、圧
力室55にチューブ54から圧縮空気を供給する。この圧縮
空気供給により、ピストン33が圧縮コイルばね37に抗し
て基端側へ後退し、レリーズロッド34および当接ピン36
も同じ距離R だけ後退する。これにより、当接ピン36に
当接係止されたガイドピン116 が基端側へ駆動され、測
定子110 は圧縮コイルばね118 に抗して距離R だけ後退
する（レリーズ状態、図５参照）。この際、圧力室55に
チューブ54から供給される圧縮空気は通気調整部材56で
絞られ、圧力室55への流入流速を抑制されるため、ピス
トン33の後退は緩やかに行われ、測定子110 等に急激な
動作による衝撃等を生じることはない。

【００３９】レリーズを解除する場合、圧力室55の圧縮
空気をチューブ54から排出する。この圧縮空気排出によ
り、ピストン33が圧縮コイルばね37によって先端側へ前
進し、レリーズロッド34および当接ピン36も一体に前進
する。これにより、当接ピン36に当接係止されていたガ
イドピン116 が先端側へ移動可能となり、測定子110は
圧縮コイルばね118 によって前進し、図３の通常状態に
復帰する（レリーズ解除状態、図６参照）。この際で
も、圧力室55からチューブ54へと排出される圧縮空気が
通気調整部材56で絞られ、圧力室55からの流出流速を抑
制されるため、ピストン33の前進は緩やかに行われ、測
定子110 等に急激な動作による衝撃等を生じることはな
い。

【００４０】なお、各状態において、動作部分である測
定子110 、ガイドピン116 、当接ピン36、レリーズロッ
ド34等は本体101 およびケース21に密閉され、外部から
遮断されており、油や塵埃等が進入することはない。

【００４１】このような本実施例によれば、以下に示す
ような効果がある。すなわち、測定にあたって、測定子
110 が先端側で被測定物に当接して基端側に移動した際
には、当接ピン36およびガイドピン116 の当接による係
合機構38によりレリーズロッド34と測定子110との係合
が適宜解除されるため、測定子110は測定子移動機構20
に関わらず、通常通りの測定を行うことができる。

【００４２】そして、駆動機構30のピストン33を圧縮空
気で駆動することで、係合機構38によるレリーズロッド
34と測定子110 との係合が行われ、測定子110 をレリー
ズロッド34とともに基端側へ後退（レリーズ）させ、あ
るいは先端側へ前進（レリーズ解除）させることができ
る。従って、圧縮空気の供給または排出の操作により、
測定子110 を遠隔操作でレリーズおよび解除することが
でき、従来と同様に良好な操作性を得ることができる。

【００４３】この際、本実施例においては、当接ピン36
およびガイドピン116 の当接による係合機構38を介して
レリーズロッド34と測定子110 とが直接的に係合される
ため、従来のようなスライド板等の機構部分が解消さ
れ、構造を簡略化することができる。

【００４４】そして、測定子110 から係合機構38を経て
レリーズロッド34等の駆動機構30に到る部分の構造が簡
略化されることでケース21が小型化でき、測定子移動機
構20ひいては変位検出装置10としての小型化、軽量化も
実現できる。

【００４５】さらに、レリーズロッド34ないし係合機構
38はケース21で一体的に覆われて密閉されているため、
外部からの油や塵埃に対する高い防塵性を確保できる。
従って、製造工程等でのインライン測定等に使用しても
高い精度および信頼性を長期間にわたって確保すること
ができる。

【００４６】また、本実施例の駆動機構30においては、
ピストン33を駆動するための圧縮空気の通路に通気調整
部材56を設け、雄ねじ部57および雌ねじ部58の隙間を通
すことで圧縮空気の流れを絞って流速を抑えたため、レ
リーズおよび解除動作におけるピストン33ないし測定子
110 の移動を緩やかにすることができる。このため、精
度を要求される検出器120 等に対する衝撃等を未然に防
止でき、この点でも精度や信頼性を長く維持することが
できる。

【００４７】なお、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、以下に示すような変形等は本発明に含まれ
るものである。例えば、本体101 、ケース21、中間ブロ
ック31、シリンダケース32の形状や材質、取付け位置や
形態、ケース21内と本体101 内を連通する連通孔22の形
態等は実施にあたって適宜選択すればよく、要するに本
体101ないし駆動機構30に到る係合機構38やレリーズロ
ッド34等の機構部分を連通状態で一体的に密閉できれば
よい。

【００４８】また、変位検出装置10における測定子110
や検出器120 の具体的構造や形式、仕様等は前記実施例
の態様に限らず、適宜選択すればよい。さらに、測定子
移動機構20におけるレリーズロッド34や駆動機構30の具
体的構造や形式等も適宜選択すればよい。そして、駆動
機構30におけるピストン33の構造や中間ブロック31の圧
縮空気の流路形態、チューブ54の取り出し形態等は前記
実施例の態様に限らず、適宜選択すればよい。

【００４９】特に、前記実施例では圧縮空気により進退
する駆動機構30を用いたが、圧縮空気を解除した際の前
進動作は圧縮コイルばね37等に限らず、他の形式のばね
や磁力、ピストン33の基端側への圧縮空気供給によるも
のであってもよい。あるいは、圧縮空気による駆動に限
らず、電磁力などの他の方式の駆動を行うようにしても
よく、操作によりワイヤが突出する形式であれば手動操
作式のレリーズ機構等を用いてもよい。

【００５０】また、係合構造38の具体的構造も任意であ
り、レリーズロッド34の当接ピン36および測定子110 の
ガイドピン116 の取付け構造や係合状態等は適宜選択す
ればよく、回転止めのガイドピン116 とは別の部分を利
用して係合するようにしてもよい。

【００５１】

【発明の効果】以上に述べたように、本発明によれば測
定子とレリーズロッドとを直接的に係合解除させるとと
もに、これらの機構部分を一体的に覆うことで、遠隔操
作による操作性を良好に維持しながら、防塵性を良好に
でき、かつ構造を簡単にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す断面図。

【図２】前記実施例の要部を示す拡大断面図。

【図３】前記実施例の通常状態を示す概略図。

【図４】前記実施例の測定状態を示す概略図。

【図５】前記実施例のレリーズ状態を示す概略図。

【図６】前記実施例のレリーズ解除状態を示す概略図。

【図７】従来例を示す断面図。

【符号の説明】

10 変位検出装置 20 測定子移動機構 21 ケース 22 連通孔 30 駆動機構 33 ピストン 34 レリーズロッド 36 当接ピン 38 係合機構 56 通気調整手段 101 本体 110 測定子 116 ガイドピン 120 検出器

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定物に関与する測定子と、この測定
   子を摺動自在に支持する検出装置本体と、この検出装置
   本体内に設置されて測定子の移動量を検出する検出器と
   を備えた変位検出装置に取付けられ、前記測定子を所望
   の方向に移動させるための測定子移動機構において、 前記検出装置本体に支持されかつ先端部が露出したレリ
   ーズロッドを前記測定子の移動方向に進退駆動する駆動
   機構と、前記検出装置本体のレリーズロッドの先端部に
   沿った部分に形成された連通孔と、前記連通孔を貫通す
   るように配置されてレリーズロッドが測定子の後退方向
   に移動した際にレリーズロッドと測定子とを係合させる
   係合機構と、前記レリーズロッドないし係合機構を一体
   的に覆って密閉するケースとを備えて構成されたことを
   特徴とする変位検出装置の測定子移動機構。
2. 【請求項２】 前記請求項１に記載した変位検出装置の
   測定子移動機構において、前記駆動機構は、前記検出装
   置本体に固定されかつ軸線が前記測定子の移動方向と平
   行に設定されたシリンダと、このシリンダ内を移動自在
   に配置されかつ前記レリーズロッドの基端部が接続され
   たピストンとを備えて構成されたことを特徴とする変位
   検出装置の測定子移動機構。