JPH0552616A - 可変コンダクタンス - Google Patents
可変コンダクタンスInfo
- Publication number
- JPH0552616A JPH0552616A JP21358991A JP21358991A JPH0552616A JP H0552616 A JPH0552616 A JP H0552616A JP 21358991 A JP21358991 A JP 21358991A JP 21358991 A JP21358991 A JP 21358991A JP H0552616 A JPH0552616 A JP H0552616A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- orifice
- vacuum container
- variable conductance
- movable
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 機構が簡単で、操作が容易であり、構成部品
によるガス放出の少ない可変コンダクタンス装置を提供
することを目的とする。 【構成】 真空容器１内に、固定オリフィス２と、この
固定オリフィス２の開口を開閉する可動オリフィスを備
える可変コンダクタンス装置において、可動オリフィス
３０は強磁性体で形成され、真空容器１外に配設された
外部電磁石６で駆動されることを特徴とする。
によるガス放出の少ない可変コンダクタンス装置を提供
することを目的とする。 【構成】 真空容器１内に、固定オリフィス２と、この
固定オリフィス２の開口を開閉する可動オリフィスを備
える可変コンダクタンス装置において、可動オリフィス
３０は強磁性体で形成され、真空容器１外に配設された
外部電磁石６で駆動されることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空容器内に設けられ
る可変コンダクタンス装置に関する。
る可変コンダクタンス装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、例えば刊行物Ａｍｅｒｉｃａｎ
Ｖａｃｕｕｍ ＳｏｃｉｅｔｙのＪ．Ｖａｃ．Ｓｃ
ｉ．Ｔｅｃｈｎｏｌ．，１８（３），Ａｐｒｉｌ１９８
１に示された可変コンダクタンス装置を示す断面図であ
る。同図において、１は真空容器、２は固定オリフィ
ス、３は可動オリフィス、３Ａはオリフィス支持体、４
は気体、５はベローズである。
Ｖａｃｕｕｍ ＳｏｃｉｅｔｙのＪ．Ｖａｃ．Ｓｃ
ｉ．Ｔｅｃｈｎｏｌ．，１８（３），Ａｐｒｉｌ１９８
１に示された可変コンダクタンス装置を示す断面図であ
る。同図において、１は真空容器、２は固定オリフィ
ス、３は可動オリフィス、３Ａはオリフィス支持体、４
は気体、５はベローズである。
【０００３】可動オリフィス３はベローズ５、オリフィ
ス支持体３Ａを介して上下駆動される。真空容器１中を
流れる気体４は可動オリフィス３が全て引き上げられた
状態では、固定オリフィス２の開口部のコンダクタンス
により絞られて通過し、流量の制御、またはその時に生
じる圧力差により流量の測定が可能になる。
ス支持体３Ａを介して上下駆動される。真空容器１中を
流れる気体４は可動オリフィス３が全て引き上げられた
状態では、固定オリフィス２の開口部のコンダクタンス
により絞られて通過し、流量の制御、またはその時に生
じる圧力差により流量の測定が可能になる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の可変コンダ
クタンス装置は、複雑な機構を有し、構成部品点数が多
く、超高進行中で使用するには、自身のガス放出が問題
になる上、操作が面倒であるという問題があった。
クタンス装置は、複雑な機構を有し、構成部品点数が多
く、超高進行中で使用するには、自身のガス放出が問題
になる上、操作が面倒であるという問題があった。
【０００５】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、機構が簡単で、操作が容易であり、構成部品
によるガス放出が少ない可変コンダクタンス装置を提供
することを目的とする。
たもので、機構が簡単で、操作が容易であり、構成部品
によるガス放出が少ない可変コンダクタンス装置を提供
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、真空容器内に、固定オリフィスと、この固
定オリフィスの開口を開閉する可動オリフィスを備える
可変コンダクタンス装置において、上記可動オリフィス
は強磁性体で形成され、上記真空容器外に近接配置され
た外部電磁石により駆動される構成とした。
するために、真空容器内に、固定オリフィスと、この固
定オリフィスの開口を開閉する可動オリフィスを備える
可変コンダクタンス装置において、上記可動オリフィス
は強磁性体で形成され、上記真空容器外に近接配置され
た外部電磁石により駆動される構成とした。
【０００７】
【作用】本発明では、外部電磁石が付勢されると、その
磁気力によって可動オリフィスが変位し、コンダクタン
スが変化する。
磁気力によって可動オリフィスが変位し、コンダクタン
スが変化する。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【０００９】図１において、固体オリフィス２の開口
（絞り部）２Ａは真空容器１の周壁寄りに形成されてい
る。３０は絞り部３０Ａを有する可動オリフィスであっ
て、強磁性体で構成されており、その中心が固定オリフ
ィス２の開口２Ａの中心に対してスライド状に左右動可
能に配設されている。６は外部電磁石であって、真空容
器１の周壁の外側にあって、可動オリフィス３０に最近
接する位置に配設されている。
（絞り部）２Ａは真空容器１の周壁寄りに形成されてい
る。３０は絞り部３０Ａを有する可動オリフィスであっ
て、強磁性体で構成されており、その中心が固定オリフ
ィス２の開口２Ａの中心に対してスライド状に左右動可
能に配設されている。６は外部電磁石であって、真空容
器１の周壁の外側にあって、可動オリフィス３０に最近
接する位置に配設されている。
【００１０】この構成において、外部電磁石６が付勢さ
れると、その磁気力によって可動オリフィス３０は図示
しないばねのばね力に抗して電磁石６側へ駆動され、そ
の絞り部３０Ａが図に示すように開口２Ａと同心に重な
り、コンダクタンス値は可動オリフィス３０が持つコン
ダクタンス値となる。外部電磁石６が消勢されると、可
動オリフィス３０は図示しないばね力によって、固体オ
リフィス２の開口（絞り部）２Ａから離れた位置へ変位
させられ、コンダクタンス値は固定オリフィス２が持つ
コンダクタンス値となる。
れると、その磁気力によって可動オリフィス３０は図示
しないばねのばね力に抗して電磁石６側へ駆動され、そ
の絞り部３０Ａが図に示すように開口２Ａと同心に重な
り、コンダクタンス値は可動オリフィス３０が持つコン
ダクタンス値となる。外部電磁石６が消勢されると、可
動オリフィス３０は図示しないばね力によって、固体オ
リフィス２の開口（絞り部）２Ａから離れた位置へ変位
させられ、コンダクタンス値は固定オリフィス２が持つ
コンダクタンス値となる。
【００１１】本実施例では、外部電磁石６が発生する磁
気力で可動オリフィス３０の変位を制御するので、その
制御のための操作は簡単容易であり、真空容器１内にお
ける部品点数、機械的接触部分も少ない。
気力で可動オリフィス３０の変位を制御するので、その
制御のための操作は簡単容易であり、真空容器１内にお
ける部品点数、機械的接触部分も少ない。
【００１２】
【発明の効果】本発明は以上説明した通り、可動オリフ
ィスを固定オリフィスに対してスライド状に変位可能と
し、この可動オリフィスを外部から磁気力で駆動する構
成としたので、真空容器内部の部品点数を少なくし、機
械的接触部分も少ないので、前記したガス放出も著しく
低減する。
ィスを固定オリフィスに対してスライド状に変位可能と
し、この可動オリフィスを外部から磁気力で駆動する構
成としたので、真空容器内部の部品点数を少なくし、機
械的接触部分も少ないので、前記したガス放出も著しく
低減する。
【図１】本発明の実施例を示す断面図である。
【図２】従来の可変コンダクタンス装置を示す断面図で
ある。
ある。
１ 真空容器 ２ 固定オリフィス ２Ａ 固定オリフィスの開口 ３０ 可動オリフィス ３０Ａ 可動オリフィスの開口 ６ 外部電磁石
Claims (1)
- 【請求項１】 真空容器内に、固定オリフィスと、この
固定オリフィスの開口を開閉する可動オリフィスを備え
る可変コンダクタンス装置において、上記可動オリフィ
スは強磁性体で形成され、上記真空容器外に近接配置さ
れた外部電磁石により駆動されることを特徴とする可変
コンダクタンス装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21358991A JPH0552616A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | 可変コンダクタンス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21358991A JPH0552616A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | 可変コンダクタンス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0552616A true JPH0552616A (ja) | 1993-03-02 |
Family
ID=16641704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21358991A Pending JPH0552616A (ja) | 1991-08-26 | 1991-08-26 | 可変コンダクタンス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0552616A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007121267A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Korea Research Inst Of Standards & Science | Ｉｎ−Ｓｉｔｕ法による真空ゲージの絶対校正及び比較校正装置とその校正方法 |
-
1991
- 1991-08-26 JP JP21358991A patent/JPH0552616A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007121267A (ja) * | 2005-10-27 | 2007-05-17 | Korea Research Inst Of Standards & Science | Ｉｎ−Ｓｉｔｕ法による真空ゲージの絶対校正及び比較校正装置とその校正方法 |
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