JPH0552623B2 - - Google Patents

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JPH0552623B2
JPH0552623B2 JP59240457A JP24045784A JPH0552623B2 JP H0552623 B2 JPH0552623 B2 JP H0552623B2 JP 59240457 A JP59240457 A JP 59240457A JP 24045784 A JP24045784 A JP 24045784A JP H0552623 B2 JPH0552623 B2 JP H0552623B2
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JP
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stimulable phosphor
image
electron beam
recording
phosphor sheet
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Nobufumi Mori
Juichi Hosoi
Kenji Takahashi
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Fujifilm Holdings Corp
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Fuji Photo Film Co Ltd
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Publication date
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Priority to DE8585114649T priority patent/DE3587188T2/de
Priority to US06/799,261 priority patent/US4942300A/en
Priority to EP85114649A priority patent/EP0182341B1/en
Publication of JPS61121250A publication Critical patent/JPS61121250A/ja
Priority to US07/293,573 priority patent/US4851676A/en
Publication of JPH0552623B2 publication Critical patent/JPH0552623B2/ja
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
    • H01J37/224—Luminescent screens or photographic plates for imaging; Apparatus specially adapted therefor, e. g. cameras, TV-cameras, photographic equipment or exposure control; Optical subsystems specially adapted therefor, e. g. microscopes for observing image on luminescent screen

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Storing Facsimile Image Data (AREA)

Description

【発明の詳现な説明】
発明の分野 本発明は、電子線像情報の蚘録再生方法に関す
るものである。曎に詳しくは本発明は、詊料の透
過電子線像たたは反射電子線像を、高感床か぀高
粟床にお蚘録再生するこずが可胜な電子線像情報
の蚘録再生方法に関するものである。 発明の背景 真空䞋にお電子線を詊料に照射し、そ透過電子
線あるいは反射電子線像を埗る電子顕埮鏡装眮や
電子線回折装眮は以前より知られおいる。電子顕
埮鏡装眮では、詊料を透過した電子線により察物
レンズの埌焊平面に詊料の回折パタヌンが圢成さ
れ、その回折線が再び干枉しお詊料の拡倧像が圢
成されるようにな぀おいる。埓぀お投圱レンズに
より䞊蚘の拡倧像を投圱すれば詊料の拡倧像散
乱像が芳察され、たた䞊蚘埌焊平面を投圱すれ
ば拡倧された詊料の回折パタヌンが芳察される。
なお察物レンズず投圱レンズずの間の䞭間レンズ
を配眮しおおけば、この䞭間レンズの焊点距離を
調節するこずにより、䞊述の拡倧像散乱像あ
るいは回折パタヌンが随意に埗られる。たた電子
線回折装眮では詊料衚面に電子線を照射しお反射
しおくる回折線を蚘録しお回折パタヌンを埗るも
の反射法ず詊料を透過しおくる回折線を蚘録
しお回折パタヌンを埗るもの透過法ずがあ
る。 䞊述の拡倧像あるいは回折パタヌン以䞋、こ
れらを電子線像ずいうを可芖画像ずするための
手段ずしお䞀般に、結像面に写真フむルムを眮い
お、これに電子線像を蚘録したり、あるいはむメ
ヌゞむンテンシフアむアを配しお透過拡倧電子線
像を増幅投圱する方法が利甚されおいる。しかし
写真フむルムは電子線に察しお感床が䜎い䞊に、
珟像凊理が面倒であるずいう欠点を有し、䞀方む
メヌゞむンテンシフアむアを甚いる堎合、画像の
鮮鋭床が䜎い䞊、画像に歪みが生じやすいずいう
問題がある。 さらに䞊蚘のようにしお蚘録された電子線像に
察しおは、その画像を芋易くする等の目的で階調
凊理、呚波数匷調凊理、濃床凊理、枛算凊理、加
算凊理等の画像凊理や、フヌリ゚解析法による䞉
次元像の再構成、画像の二倀化および粒子埄枬定
等のための画像解析、さらには回折パタヌンの凊
理結晶情報の解析、栌子定数、転移、栌子欠陥
の解明等等の凊理が斜されるこずが倚い。この
ような凊理は、埓来では写真フむルムを珟像しお
埗た可芖画像をミクロフオトメヌタで読み取぀
お、これを電気信号に倉換し、この電気信号を䟋
えば倉換しおからコンピナヌタを甚いお凊
理するずいうような煩雑な䜜業によ぀お行な぀お
いた。 発明の目的 本発明は、電子線像もしくは該電子線像に察応
する各皮の情報以䞋、これらを電子線像情報ず
いうを高感床か぀高粟床にお蚘録再生するこず
を可胜にし、しかも該電子線像情報に察しお各皮
の凊理を容易に斜すこずができるような電子線像
情報の蚘録再生方法を提䟛するこずを目的ずする
ものである。 発明の芁旚 本発明は、電子顕埮鏡装眮内、たたは電子線回
折装眮内にお圢成された詊料の透過たたは反射電
子線像を、膜厚5ÎŒm以䞋の透明保護膜をその衚面
に備えた蓄積性蛍光䜓局を有する蓄積性蛍光䜓シ
ヌトに電子線゚ネルギヌ朜像ずしお蚘録し、次い
で該蓄積性蛍光䜓シヌトに蓄積された電子線゚ネ
ルギヌの少なくずも䞀郚を該蓄積性蛍光䜓シヌト
に電磁波を照射するこずにより蛍光ずしお攟出さ
せ、この蛍光を怜知したのち、怜知された蛍光に
光電凊理を斜すこずによ぀お該詊料の電子線像情
報を埗るこずからなる電子線像情報の蚘録再生方
法からなるものである。 なお、本発明においお甚いられる電子線像情報
ずの甚語は、電子顕埮鏡画像そのものず、電子線
像を数倀の組合わせなどの蚘号ずしお衚わしたデ
ゞタル情報などを含む意味で甚いられおいる。 発明の詳现な蚘述 本発明は、電子顕埮鏡装眮や電子線回折装眮に
おいお圢成された詊料の電子線像の蚘録再生媒䜓
ずしお、特定の厚さの透明保護膜を衚面に備えた
蓄積性蛍光䜓局を有する蓄積性蛍光䜓シヌトを甚
いるこずを特城ずするものである。 蓄積性蛍光䜓シヌトは、基本構造ずしお、支持
䜓ず、その片面に蚭けられた少なくずも䞀局の蛍
光䜓局ずからなるもので、この基本構造は既に公
知である。蛍光䜓局は、茝尜性蛍光䜓ずこの茝尜
性蛍光䜓を分散状態で含有支持する結合剀からな
る。この蛍光䜓局の支持䜓ずは反察偎の衚面支
持䜓に面しおいない偎の衚面には䞀般に、透明
な保護膜が蚭けられおいお、蛍光䜓局を化孊的な
倉質あるいは物理的な衝撃から保護しおいる。 䞊蚘の構成を有する蓄積性蛍光䜓シヌトは、た
ずえば、たず粒子状茝尜性蛍光䜓ず結合剀ずをア
ルコヌル、ケトン、゚ヌテルなどの適圓な溶剀に
加え、これを充分に混合しお、結合剀溶液䞭に茝
尜性蛍光䜓が均䞀に分散した塗垃液を調補し、こ
れを支持䜓に塗垃したのち、也燥する方法により
圢成するこずができる。 茝尜性蛍光䜓は、電子線を照射した埌、電磁波
励起光を照射するず茝尜発光を瀺す蛍光䜓で
あるが、実甚的な面からは波長が400〜900nmの
範囲にある励起光によ぀お300〜500nmの波長範
囲の茝尜発光を瀺す蛍光䜓であるこずが望たし
い。蓄積性蛍光䜓シヌトに甚いられる茝尜性蛍光
䜓の䟋ずしおは、 (1) 米囜特蚱第3859527号明现曞に蚘茉されおい
るSrSCe、Sm、SrSEu、Sm、ThO2Er、
およびLa2O2SEu、Sm、 (2) 特開昭55−12142号公報に蚘茉されおいる
ZnSCu、Pb、BaO・xAl2O3Euただし、
0.8≊≊10、および、M〓・xSiO2た
だし、M〓はMg、Ca、Sr、Zn、Cd、たたは
Baであり、はCe、Tb、Eu、Tm、Pb、Tl、
Bi、たたはMnであり、は、0.5≊≊2.5で
ある、 (3) 特開昭55−12143号公報に蚘茉されおいる
Ba1-x-y、Mgx、CayFXaEu2+ただし、
はClおよびBrのうちの少なくずも䞀぀であ
り、およびは、≊0.6、か぀xy
≠であり、は、10-6≊≊×10-2であ
る、 (4) 特開昭55−12144号公報に蚘茉されおいる
LnOXxAただし、LnはLa、、Gd、およ
びLuのうちの少なくずも䞀぀、はClおよび
Brのうちの少なくずも䞀぀、はCeおよびTb
のうちの少なくずも䞀぀、そしお、は、
0.1である、 (5) 特開昭55−12145号公報に蚘茉されおいる
Ba1-xM2+ xFXyAただし、M2+はMg、
Ca、Sr、Zn、およびCdのうちの少なくずも䞀
぀、はCl、Br、およびのうちの少なくず
も䞀぀、はEu、Tb、Ce、Tm、Dy、Pr、
Ho、Nd、Yb、およびErのうちの少なくずも
䞀぀、そしおは、≊≊0.6、は、≊
≊0.2である、 (6) 特開昭55−160078号公報に蚘茉されおいる
M〓FX・xAyLnただし、M〓はBa、Ca、
Sr、Mg、Zn、およびCdのうちの少なくずも
䞀皮、はBeO、MgO、CaO、SrO、BaO、
ZnO、Al2O3、Y2O3、La2O3、In2O3、SiO2、
TiO2、ZrO2、GeO2、SnO2、Nb2O5、Ta2O5、
およびThO2のうちの少なくずも䞀皮、Lnは
Eu、Tb、Ce、Tm、Dy、Pr、Ho、Nd、Yb、
Er、Sm、およびGdのうちの少なくずも䞀皮、
はCl、Br、およびのうちの少なくずも䞀
皮であり、およびはそれぞれ×10-5≊
≩0.5、および≊0.2であるの組成匏で
衚わされる蛍光䜓、 (7) 特開昭56−116777号公報に蚘茉されおいる
Ba1-xM〓xF2・aBaX2yEu、zAただ
し、〓はベリリりム、マグネシりム、カルシり
ム、ストロンチりム、亜鉛、およびカドミりム
のうちの少なくずも䞀皮、は塩玠、臭玠、お
よび沃玠のうちの少なくずも䞀皮、はゞルコ
ニりムおよびスカンゞりムのうちの少なくずも
䞀皮であり、、、、およびはそれぞれ
0.5≊≊1.25、≊≊、10-6≊≊×
10-1、および≊10-2であるの組成匏で
衚わされる蛍光䜓、 (8) 特開昭57−23673号公報に蚘茉されおいる
Ba1-xM〓xF2・aBaX2yEu、zBただ
し、〓はベリリりム、マグネシりム、カルシり
ム、ストロンチりム、亜鉛、およびカドミりム
のうちの少なくずも䞀皮、は塩玠、臭玠、お
よび沃玠のうちの少なくずも䞀皮であり、、
、、およびはそれぞれ0.5≊≊1.25、
≊≊、10- 6≊≊×10-1、および
≊×10-1であるの組成匏で衚わされる蛍
光䜓、 (9) 特開昭57−23675号公報に蚘茉されおいる
Ba1-xM〓xF2・aBaX2yEu、zAただ
し、M〓はベリリりム、マグネシりム、カルシ
りム、ストロンチりム、亜鉛、およびカドミり
ムのうちの少なくずも䞀皮、は塩玠、臭玠、
および沃玠のうちの少なくずも䞀皮、は砒玠
および硅玠のうちの少なくずも䞀皮であり、
、、、およびはそれぞれ0.5≊≊
1.25、≊≊、10-6≊≊×10-1、およ
び≊×10-1であるの組成匏で衚わさ
れる蛍光䜓、 (10) 特開昭58−206678号公報に蚘茉されおいる
Ba1-xMx/2Lx/2FXyEu2+ただし、はLi、
Na、、Rb、およびCsからなる矀より遞ばれ
る少なくずも䞀皮のアルカリ金属を衚わし
は、Sc、、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、
Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Al、
Ga、In、およびTlからなる矀より遞ばれる少
なくずも䞀皮の䞉䟡金属を衚わしは、Cl、
Br、およびからなる矀より遞ばれる少なく
ずも䞀皮のハロゲンを衚わしそしお、は
10-2≊≊0.5、は≊0.1であるの組
成匏で衚わされる蛍光䜓、 (11) 特開昭59−27980号公報に蚘茉されおいる
BaFX・xAyEu2+ただし、は、Cl、Br、
およびからなる矀より遞ばれる少なくずも䞀
皮のハロゲンでありは、テトラフルオロホ
り酞化合物の焌成物でありそしお、は10-6
≊≊0.1、は≊0.1であるの組成匏
で衚わされる蛍光䜓、 (12) 特開昭59−47289号公報に蚘茉されおいる
BaFX・xAyEu2+ただし、は、Cl、Br、
およびからなる矀より遞ばれる少なくずも䞀
皮のハロゲンでありは、ヘキサフルオロケ
む酞、ヘキサフルオロチタン酞およびヘキサフ
ルオロゞルコニりム酞の䞀䟡もしくは二䟡金属
の塩からなるヘキサフルオロ化合物矀より遞ば
れる少なくずも䞀皮の化合物の焌成物であり
そしお、は10-6≊≊0.1、は≊0.1
であるの組成匏で衚わされる蛍光䜓、 (13) 特開昭59−56479号公報に蚘茉されおいる
BaFX・xNaX′aEu2+ただし、および
X′は、それぞれCl、Br、およびのうちの少
なくずも䞀皮であり、およびはそれぞれ
≊、および≊0.2であるの組成
匏で衚わされる蛍光䜓、 (14) 特開昭59−56480号公報に蚘茉されおいるM〓
FX・xNaX′yEu2+zAただし、M〓は、
Ba、Sr、およびCaからなる矀より遞ばれる少
なくずも䞀皮のアルカリ土類金属でありお
よびX′は、それぞれCl、Br、およびからな
る矀より遞ばれる少なくずも䞀皮のハロゲンで
ありは、、Cr、Mn、Fe、Co、および
Niより遞ばれる少なくずも䞀皮の遷移金属で
ありそしおは≊、は≊
0.2、およびは≊10-2であるの組成
匏で衚わされる蛍光䜓、 (15) 特開昭59−75200号公報に蚘茉されおいるM〓
FX・aM〓X′・bM′〓X″2・cM〓3・xA
yEu2+ただし、M〓はBa、Sr、およびCaから
なる矀より遞ばれる少なくずも䞀皮のアルカリ
土類金属でありM〓はLi、Na、、Rb、お
よびCsからなる矀より遞ばれる少なくずも䞀
皮のアルカリ金属でありM′〓はBeおよびMg
からなる矀より遞ばれる少なくずも䞀皮の二䟡
金属でありM〓はAl、Ga、In、およびTlか
らなる矀より遞ばれる少なくずも䞀皮の䞉䟡金
属でありは金属酞化物でありはCl、
Br、およびからなる矀より遞ばれる少なく
ずも䞀皮のハロゲンでありX′、X″、および
は、、Cl、Br、およびからなる矀よ
り遞ばれる少なくずも䞀皮のハロゲンであり
そしお、は≊≊、は≊≊10-2、
は≊≊10-2、か぀≧10-6であ
りは≊0.5、は≊0.2であ
るの組成匏で衚わされる蛍光䜓、および (16) 特願昭58−193161号明现曞に蚘茉されたM〓
X2・aM〓X′2xEuただし、M〓はBa、Sr、
およびCaからなる矀より遞ばれる少なくずも
䞀皮のアルカリ土類金属でありおよび
X′は、Cl、Br、およびからなる矀より遞ば
れる少なくずも䞀皮のハロゲンであ぀お、か぀
≠X′でありそしお、は0.1≊≊10.0の
範囲の数倀であり、は≊0.2の範囲の
数倀であるなる組成匏で衚わされる蛍光䜓、 などを挙げるこずができる。 䞊蚘の茝尜性蛍光䜓のうちで、二䟡ナヌロピり
ム賊掻アルカリ土類金属ハロゲン化物系蛍光䜓
(3)、(5)〜(16)および垌土類元玠賊掻垌土類オキ
シハロゲン化物系蛍光䜓(4)は高茝床の茝尜発光を
瀺すので特に奜たしい。ただし、本発明に甚いら
れる茝尜性蛍光䜓は䞊述の蛍光䜓に限られるもの
ではなく、電子線を照射したのちに励起光を照射
した堎合に、茝尜発光を瀺す蛍光䜓であればいか
なるものであ぀おもよい。 蛍光䜓局の結合剀の䟋ずしおは、れラチン等の
蛋癜質、デキストラン等のポリサツカラむド、た
たはアラビアゎムのような倩然高分子物質およ
び、ポリビニルブチラヌル、ポリ酢酞ビニル、ニ
トロセルロヌス、゚チルセルロヌス、塩化ビニリ
デン・塩化ビニルコポリマヌ、ポリアルキルメ
タアクリレヌト、塩化ビニル・酢酞ビニルコポ
リマヌ、ポリりレタン、セルロヌスアセテヌトブ
チレヌト、ポリビニルアルコヌル、線状ポリ゚ス
テルなどのような合成高分子物質などにより代衚
される結合剀を挙げるこずができる。このような
結合剀のなかで特に奜たしいものは、ニトロセル
ロヌス、線状ポリ゚ステル、ポリアルキルメ
タアクリレヌト、ニトロセルロヌスず線状ポリ
゚ステルずの混合物およびニトロセルロヌスずポ
リアルキルメタアクリレヌトずの混合物であ
る。なお、これらの結合剀は架橋剀によ぀お架橋
されたものであ぀おもよい。 結合剀ず茝尜性蛍光䜓ずの混合比は、目的ずす
る蓄積性蛍光䜓シヌトの特性、蛍光䜓の皮類など
によ぀お異なるが、䞀般には結合剀ず蛍光䜓ずの
混合比は、乃至100重量比の範囲か
ら遞ばれ、そしお特に乃至40重量比
の範囲から遞ぶこずが奜たしい。 支持䜓ずしおは、埓来の電子線写真法における
増感玙たたは増感甚スクリヌンの支持䜓ずし
お甚いられおいる各皮の材料、あるいは蓄積性蛍
光䜓シヌトの支持䜓ずしお公知の材料から任意に
遞ぶこずができる。そのような材料の䟋ずしお
は、セルロヌスアセテヌト、ポリ゚ステル、ポリ
゚チレンテレフタレヌト、ポリアミド、ポリむミ
ド、トリアセテヌト、ポリカヌボネヌトなどのプ
ラスチツク物質のフむルム、アルミニりム箔、ア
ルミニりム合金箔などの金属シヌト、通垞の玙、
バラむタ玙、レゞンコヌト玙、二酞化チタンなど
の顔料を含有するピグメント玙、ポリビニルアル
コヌルなどをサむゞングした玙などを挙げるこず
ができる。 ただし、蓄積性蛍光䜓シヌトの情報蚘録材料ず
しおの特性および取扱いなどを考慮した堎合、本
発明においお特に奜たしい支持䜓の材料はプラス
チツクフむルムである。このプラスチツクフむル
ムにはカヌボンブラツクなどの光吞収性物質が緎
り蟌たれおいおもよく、あるいは二酞化チタンな
どの光反射性物質が緎り蟌たれおいおもよい。 公知の蓄積性蛍光䜓シヌトにおいお、支持䜓ず
蛍光䜓局の結合を匷化するため、あるいは蓄積性
蛍光䜓シヌトずしおの感床もしくは画質鮮鋭
床、粒状性を向䞊させるために、蛍光䜓局が蚭
けられる偎の支持䜓衚面にれラチンなどの高分子
物質を塗垃しお接着性付䞎局ずしたり、あるいは
二酞化チタンなどの光反射性物質からなる光反射
局、もしくはカヌボンブラツクなどの光吞収性物
質からなる光吞収局などを蚭けるこずが知られお
いる。本発明においお甚いられる蓄積性蛍光䜓シ
ヌトの支持䜓に぀いおも、これらの各皮の局を蚭
けるこずができ、それらの構成は所望の蓄積性蛍
光䜓シヌトの目的、甚途などに応じお任意に遞択
するこずができる。 曎に、本出願人による特開昭58−200200号公報
に蚘茉されおいるように、埗られる画像の鮮鋭床
を向䞊させる目的で、支持䜓の蛍光䜓局偎の衚面
支持䜓の蛍光䜓局偎の衚面に接着性付䞎局、光
反射局あるいは光吞収局などが蚭けられおいる堎
合には、その衚面を意味するには埮小の凹凞が
圢成されおいおもよい。 本発明の電子顕埮鏡画像情報の蚘録再生方法に
おいお甚いられる蓄積性蛍光䜓シヌトに備えられ
る蛍光䜓局の局厚は通垞は300ÎŒm以䞋ずされる。
ただし、蛍光䜓局の局厚は10〜150ÎŒmの範囲内ず
するこず奜たしい。 なお、蓄積性蛍光䜓シヌトの補造に際しお茝尜
性蛍光䜓局は、必ずしも䞊蚘のように支持䜓䞊に
塗垃液を盎接塗垃しお圢成する必芁はなく、たず
えば、別に、ガラス板、金属板、プラスチツクシ
ヌトなどのシヌト䞊に塗垃液を塗垃し也燥するこ
ずにより蛍光䜓局を圢成したのち、これを、支持
䜓䞊に抌圧するか、あるいは接着剀を甚いるなど
しお支持䜓ず蛍光䜓局ずを接合しおもよい。 さらに、塗垃液には、画像の鮮鋭床を向䞊させ
る目的で、茝尜性蛍光䜓の励起光波長領域におけ
る平均反射率が、茝尜性蛍光䜓の茝尜発光波長領
域における平均反射率よりも小さいような反射特
性を有する着色剀が含有されおいおもよい。その
ような着色剀ずしおは、たずえば、特開昭55−
163500号公報および特開昭57−96300号公報に開
瀺されおいるような着色剀を挙げるこずができ
る。あるいは、同じく画像の鮮鋭床を向䞊させる
目的で、塗垃液には特開昭55−146447号公報に蚘
茉されおいるような癜色粉䜓が含有されおいおも
よい。なお蓄積性蛍光䜓シヌトの圢状ぱンドレ
スベルト状、ロヌル状、䞀枚毎に切りはなされた
圢状等のいずれであ぀おもよい。 本発明で甚いる蓄積性蛍光䜓シヌトの蛍光䜓局
の䞊には透明保護膜が蚭けられる。ただし、本発
明においおこの透明保護膜の膜厚は5ÎŒm以䞋であ
るこずが必芁であり、さらには4ÎŒm以䞋であるこ
ずが望たしい。 すなわち、公知の蓄積性蛍光䜓シヌトを利甚す
る画像再生系の代衚的な系である線撮圱などに
おいおは、透過明保護膜ずしおは、特に厚いもの
でない限り、任意の膜厚のものを利甚するこずが
でき、通垞は膜厚10ÎŒm皋床のものが利甚されお
いる。しかしながら、本発明者の研究によるず、
このような膜厚10ÎŒm皋床の透明保護膜を備えた
蛍光䜓局を有する蓄積性蛍光䜓シヌトを電子線像
の画像蚘録手段ずしお甚いた堎合、埗られる画像
の鮮鋭床が必ずしも満足できるレベルに達しない
こずが刀明した。 本発明者はその理由を曎に研究した結果、電子
顕埮鏡や電子線回折に甚いられる電子線は、透明
保護膜ずしお甚いられるプラスチツク材料により
散乱されやすく、たた蛍光䜓局に蚘録蓄積された
電子線゚ネルギヌ像朜像を読み出す際に甚い
られるレヌザヌなどの電磁波励起光も透明保
護膜により散乱される傟向があり、これらの䜜甚
が再生画像の鮮鋭床を䜎䞋させる原因ずなるずの
結論に到達した。 本発明者は䞊蚘の結論に基づき曎に研究を進め
た結果、蓄積性蛍光䜓シヌトの蛍光䜓局の衚面に
蚭けられる透明保護膜の膜厚を5ÎŒm以䞋特に
4ÎŒm以䞋にした堎合には実甚䞊満足できる鮮鋭
床を有する再生画像が埗られるこずを芋い出しお
本発明に到達したものである。 透明保護膜は、たずえば、酢酞セルロヌス、ニ
トロセルロヌスなどのセルロヌス誘導䜓あるい
はポリメチルメタクリレヌト、ポリビニルブチラ
ヌル、ポリビニルホルマヌル、ポリカヌボネヌ
ト、ポリ酢酞ビニル、塩化ビニル・酢酞ビニルコ
ポリマヌなどの合成高分子物質のような透明な高
分子物質を適圓な溶媒に溶解しお調補した溶液を
蛍光䜓局の衚面に塗垃する方法により圢成するこ
ずができる。あるいは、ポリ゚チレンテレフタレ
ヌト、ポリ゚チレン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ
アミドなどから別に圢成した透明な薄膜を蛍光䜓
局の衚面に適圓な接着剀を甚いお接着するなどの
方法によ぀おも圢成するこずができる。接着剀を
甚いた堎合は、接着剀局の厚みも前蚘透明保護膜
の厚みずしお蚈算する。 すなわち、䞊蚘のような方法によ぀お本発明で
甚いる蓄積性蛍光䜓シヌトを補造するこずができ
る。 次に、本発明の電子線像情報の蚘録再生方法の
各操䜜の䟋を、電子顕埮鏡装眮を䟋にしお詳しく
説明する。 第図は本発明の蚘録再生方法の実斜に際しお
䜿甚するのに奜たしい電子顕埮鏡画像情報蚘録再
生装眮の倧略を瀺すものである。 この電子顕埮鏡画像情報蚘録再生装眮は、通
垞の電子顕埮鏡の鏡䜓郚の䞋郚に、少なくず
も電子顕埮鏡画像情報の蚘録時は透過電子線像の
結像面ず同䞀の真空系に属するように配眮された
蓄積性蛍光䜓シヌト、蓄積性蛍光䜓シヌト
を真空状態に眮いたたたで励起光で走査する励
起手段および蓄積性蛍光䜓シヌト攟出される
茝尜発光を光電的に怜出する怜出手段からなる読
取郚を蚭けおなるものである。この鏡䜓郚
及び読取郚の䞀郚図䞭ハツチングで瀺し
た枠の内郚は、電子顕埮鏡の皌動䞭、呚知の手
段によ぀お真空状態に維持される。 鏡䜓郚は、䞀様の速床の電子線を射出す
る電子銃、電子線を詊料面に絞り蟌む磁気レ
ンズず静電レンズ等からなる少なくずも䞀個の集
束レンズ、詊料台、集束レンズず同様の察
物レンズ、そしお投圱レンズから構成され
る。詊料台䞊に茉眮された詊料を透過した電
子線は察物レンズにより屈折され、詊料の
拡倧散乱像を圢成する。この拡倧散乱像
は投圱レンズにより、結像面に結像投圱され
る図䞭の。 読取郚は、円筒圢の駆動ロヌラず同
じく円筒圢の埓動ロヌラに掛けわたされた
゚ンドレスベルトに固定茉眮された耇数個の蓄積
性蛍光䜓シヌト、He−Neレヌザ管等の励起
光源ず励起光源から攟出される励起光ビ
ヌムをシヌトの幅方向に偏向させるガ
ルバノメヌタミラヌ等の光偏向噚ずからなる
励起手段、および励起光の照射によ぀おシヌト
から攟出される茝尜発光を集光する集光䜓
の射出端面に蚭けられ、前蚘茝尜光を光電倉化し
お電気信号に倉えるフオトマル等の光電倉換噚
からなる怜出手段を有しおいる。゚ンドレスベ
ルトは、駆動装眮図瀺せずによ぀お回転され
る駆動ロヌラにより矢印方向に適宜回転
移動される。 鏡䜓郚ず読取郚の間に蚭けられおいる
シダツタヌ図瀺なしを開くず、蚘録䜍眮す
なわち結像面に配眮された蓄積性蛍光䜓シヌ
トに、詊料を透過した電子線が照射され、
詊料の拡倧散乱像に察応する電子線゚ネルギ
ヌ像朜像が蚘録蓄積される。次いで、この蓄
積性蛍光䜓シヌトは駆動ロヌラの回転により
読取箇所ぞ移動される。第図の装眮では、倖郚
に配眮されたレヌザ光源等の励起光源ずガル
バノメヌタミラヌ等の光偏向噚により蓄積性
蛍光䜓シヌトの幅方向を走査する励起光ビヌ
ムを、鉛ガラス等の透光性の壁郚材
を通しおこのシヌトに入射させる䞀方、この
シヌトを駆動ロヌラによ぀お幅方向ず
は盎角の方向矢印方向ぞ移動させるこずに
より、このシヌト䞊の画像蓄積郚分を走査す
る。この励起光によ぀お蓄積性蛍光䜓シヌト
から発生する茝尜発光は、集光䜓の入射端面
シヌトに向けられた端面から集光䜓
内に入射し、この䞭を党反射によ぀お案内されな
がら射出端面に接続された光電子増倍管フオト
マルチプラむダで連続的に受光され、そこ
で茝尜発光の光量が光電的に逐次怜知される。 光電子増倍管によ぀お読み取られた電気信
号は、画像凊理回路に䌝えられ、必芁な画像
凊理が斜された䞊、必芁な画像再生装眮ぞ送られ
る。この再生装眮は、CRT等のデむスプレむ
でもよいし、写真フむルムに光走査蚘録を行な
う蚘録装眮でもよいし、あるいは䞀旊磁気テヌプ
の蚘憶装眮に蚘録するものでもよい。 読取りが終了した埌、蓄積性蛍光䜓シヌト
はベルトに茉眮されたたた消去ゟヌンに送ら
れる。この消去ゟヌンでは、真空系倖に蚭け
られた蛍光灯等の消去甚光源から攟出される
消去光が透光性の壁郚材を通しお前蚘シヌ
トに照射される。この消去甚光源は蓄積
性蛍光䜓シヌトに、該蛍光䜓の励起波長領域
に含たれる光を照射するこずにより、この蓄積性
蛍光䜓シヌトの蛍光䜓局に蓄積されおいる残
像や、センサの原料䞭に含たれおいる攟射性元玠
によるノむズを攟出させるものであり、この消去
甚光源ずしおは、䟋えば特開昭56−11392号公報
に瀺されおいるようなタングステンランプ、ハロ
ゲンランプ、赀倖線ランプ、あるいはレヌザ光源
等が任意に遞択䜿甚され埗る。 以䞊では透過拡倧電子線による詊料の拡倧散
乱像を蚘録再生する䟋に぀いお説明したが、本発
明は前述した詊料の回折パタヌンを蚘録再生する
ために適甚するこずもできる。第図は詊料
の回折パタヌンを蚘録する様子を瀺すもの
である。この䟋においお、電子顕埮鏡は、察
物レンズず投圱レンズずの間に䞭間レン
ズを備えたものが䜿甚され、察物レンズ
の埌焊平面に圢成された詊料の回折パタヌン
は、䞊蚘埌焊平面に焊点を合わせた䞭間レ
ンズおよび投圱レンズにより、結像面
に拡倧投圱される。この堎合にも䞊蚘結像面
に蓄積性蛍光䜓シヌトを配眮すれ
ば、該シヌトに透過拡倧電子線に
よる䞊蚘回折パタヌンの拡倧像朜像が
蚘録される。この蚘録された回折パタヌン
は、前蚘第図で説明したのず党く同様にしお読
取り可胜であり、その読取り像はCRTに衚瀺し
たり、あるいはハヌドコピヌずしお再生したりす
るこずができる。 曎に蚘録条件の倉動による圱響をなくし、ある
いは芳察性の優れた電子顕埮鏡画像を埗るために
は、蓄積性蛍光䜓シヌトに蚘録蓄積さ
れた透過拡倧朜像拡倧散乱像あるいは拡倧回折
パタヌンの蚘録状態、詊料の性状、あるいは蚘
録方法等によ぀お決定される蚘録パタヌンを詊料
芳察のための可芖像の出力に先立぀お把握し、こ
の把握した蓄積蚘録情報に基づいお読取ゲむンを
適圓な倀に調節し、あるいは適圓な信号凊理を斜
すこずが奜たしい。 たた、蚘録パタヌンのコントラストに応じお分
解胜が最適化されるように収録スケヌルフアクタ
ヌを決定するこずが、芳察性のすぐれた再生画像
を埗るために芁求される。 このように可芖像の出力に先立぀お蓄積性蛍光
䜓シヌトの蓄積情報を把握する方法ず
しお、䟋えば特開昭58−89245号公報に瀺されお
いるような方法が䜿甚可胜である。すなわち詊料
の芳察のための可芖像を埗る読取り操䜜本
読みの際に照射すべき励起光の゚ネルギヌより
も䜎い゚ネルギヌの励起光を甚いお、前蚘本読み
に先立぀お予め蓄積性蛍光䜓シヌトに
蚘録されおいる情報を把握するための読取り操䜜
先読みを行ない、シヌトの蓄積蚘
録情報を把握し、しかる埌に本読みを行な぀お、
前蚘先読み情報に基づいお読取ゲむンを適圓に調
節し、或いは信号凊理を斜すこずにより、実珟す
るこずができる。 たた蓄積性蛍光䜓シヌトから攟出さ
れた茝尜発光を読み取る光電読取手段ずしおは、
前述のような光電子増倍管を甚いる他に、光
導電䜓およびフオトダむオヌドなどの固䜓光電倉
化玠子を甚いるこずもできる特願昭58−86226
号、特願昭58−86227号、特願昭58−219313号お
よび特願昭58−219314号の各明现曞、および特開
昭58−121874号公報参照。この堎合には、倚数
の固䜓光電倉換玠子がシヌト党衚面を
芆うように構成され、シヌトず䞀䜓化
されおいおもよいし、あるいはシヌト
に近接した状態で配眮されおいおもよい。たた、
光電読取手段は耇数の光電倉化玠子が線状に連な
぀たラむンセンサであ぀おもよいし、あるいは䞀
画玠に察応する䞀個の固䜓光電倉化玠子が蓄積性
蛍光䜓シヌトの党衚面にわた぀お走査
移動されるように構成されおもよい。 䞊蚘の堎合の読取光源ずしおは、レヌザ等のよ
うな点光源のほかに、発光ダむオヌドLED
や半導䜓レヌザ等を列状に連ねおなるアレむなど
の線光源であ぀おもよい。このような装眮を甚い
お読取りを行なうこずにより、蓄積性蛍光䜓シヌ
トから攟出される茝尜発光の読取り効
率を高める同時に、受光立䜓角を倧きくしお
を高めるこずができる。たた、埗られる電気信
号は励起光の時系列的な照射によ぀おではなく、
光怜出噚の電気的な凊理により時系列化されるた
めに、読出し速床を速くするこずが可胜である。 䞊蚘のおいおは蓄積性蛍光䜓シヌトに蚘録され
た透過拡倧電子線像朜像などの電子線像の読
出し操䜜は、該シヌトを真空系に眮いたたた実斜
しおいるが、この読出し操䜜は該シヌトを真空系
倖に取り出しお行なうこずもできるこずは勿論で
ある。 たた、蓄積性蛍光䜓シヌトに蚘録された電子線
像を読み出し、再生するに際しおは、その像を可
芖画像ずしお再生する以倖にも、たずえば、画像
を数倀などの蚘号ずしお衚瀺するこずもできる。 発明の効果 本発明によれば、感床ず鮮鋭床ずの均衡がずれ
た蓄積性蛍光䜓シヌトに電子線像を蚘録するよう
にしたため、電子線像情報を高粟床にお再生する
こずが可胜になり、したが぀お電子線露光量を䜎
枛でき、詊料の損傷を少なくするこずができる。
たた再生画像を高粟床にお即時に像をCRT等に
衚瀺するこずができるので、この再生画像を電子
顕埮鏡や電子線回折のフオヌカス調敎甚モニタ画
像ずしお利甚すれば明瞭なモニタ画像が埗られ、
埓来䞍可胜であ぀た䜎電子線露光量でのフオヌカ
ス調敎が可胜になる。 しかも本発明においおは電子線像情報が電気信
号ずしお読取られるから、電子線像情報に階調凊
理、呚波数匷調凊理等の画像凊理を斜すこずも極
めお容易になり、たた前述したような回折パタヌ
ンの凊理や、䞉次元像の再構成、画像の二倀化等
の画像解析も、䞊蚘電気信号をコンピナヌタに入
力するこずにより、埓来に比べ極めお簡単か぀迅
速に行なえるようになる。 さらに、電子線画像情報を蓄積蚘録する蓄積性
蛍光䜓シヌトは、光照射加熱等の凊理を斜すこず
により繰返しの䜿甚が可胜であるから本発明によ
れば埓来の銀塩写真システムを採甚する堎合等に
比べ、高粟床であるのみならず、より経枈的に電
子線像情報を再生できる。 次に本発明の実斜䟋を蚘茉する。 実斜䟋  蛍光䜓BaFBr0.0005Eu2+の粒子ず線状
ポリ゚ステル暹脂ずの混合物にメチル゚チルケト
ンを添加し、さらに硝化床11.5のニトロセルロ
ヌスを添加しお蛍光䜓粒子を分散状態で含有する
分散液を調補した。次に、この分散液に燐酞トリ
クレゞル、−ブタノヌル、そしおメチル゚チル
ケトンを添加した埌、プロペラミキサヌを甚い充
分に撹拌混合しお、蛍光䜓が均䞀に分散し、か぀
結合剀ず蛍光䜓ずの混合比が10、粘床が25〜
35PS25℃の塗垃液を調補した。 次に、ガラス板䞊に氎平に眮いた二酞化チタン
緎り蟌みポリ゚チレンテレフタレヌトシヌト支
持䜓、厚み250ÎŒmの䞊に䞊蚘塗垃液をドクタ
ヌブレヌドを甚いお均䞀に塗垃した。そしお塗垃
埌に、塗膜が圢成された支持䜓を也燥噚内に入
れ、この也燥噚の内郚枩床を25℃から100℃に
埐々に䞊昇させお、塗膜の也燥を行な぀た。この
ようにしお、支持䜓䞊に局厚80ÎŒmの蛍光䜓局を
圢成した。 そしお、この蛍光䜓局の䞊にポリ゚チレンテレ
フタレヌトの透明フむルム厚み4ÎŒmを茉眮
しお、透明保護膜を圢成し、支持䜓、蛍光䜓局、
および透明保護膜から構成された蓄積性蛍光䜓シ
ヌトを埗た。 比范䟋  蛍光䜓局の䞊に接着するポリ゚チレンテレフタ
レヌトの透明フむルムの厚みを6ÎŒmに倉えた以倖
は実斜䟋ず同様にしお、支持䜓、蛍光䜓局、お
よび透明保護膜から構成された蓄積性蛍光䜓シヌ
トを埗た。 電子顕埮鏡画像の蚘録再生詊隓 実斜䟋および比范䟋で埗られた蓄積性蛍光
䜓シヌトに぀いお䞋蚘の方法にお、電子顕埮鏡画
像の蚘録再生時の鮮鋭床の評䟡を行な぀た。 (1) 電子顕埮鏡 日本電子(æ ª)補の電子顕埮鏡JEM−100CX
を甚い䞋蚘の電子線照射条件にお枬定を行な぀
た。 加速電圧100KV 電流密床1.4×10-10Acm2 照射時間秒 (2) 画像鮮鋭床の枬定 同䞀線幅を有する䞉本の黒色線が暪方向に同
䞀間隔で䞊べられた䞀組の被枬定線単䜍が耇数
個、線幅ず線間隔ずが順次倉えられお䞊列され
おなる画像鮮鋭床枬定甚チダヌト0.50ラむ
ン・ペアmm〜1.6ラむン・ペアmm〜5.00ラ
むン・ペアmmを蓄積性蛍光䜓シヌトの䞊に
茉せ、䞊蚘の条件にお電子線照射を行な぀た。
次いで、該シヌトの透明フむルムを取り陀き、
シヌトの蛍光䜓局をHe−Neレヌザ光波長
632.8nmで走査しお蛍光䜓を励起し、蛍光䜓
局から攟射される茝尜発光を受光噚分光感床
−の光電子倍増管で受光しお電気信号に
倉換し、これを画像再生装眮によ぀お写真フむ
ルム䞊に可芖画像ずしお再生しお、画像鮮鋭床
枬定甚チダヌト像を埗た。このチダヌト像の濃
床分垃をミクロフオトメヌタで読み取り、1.60
ラむン・ペアmmに盞圓するチダヌト像の出力
振幅(B)を0.50ラむン・ペアmmに盞圓するチダ
ヌト像の出力振幅(A)で陀した倀を鮮
鋭床倀ずした。すなわち、この鮮鋭床倀が倧き
ければ倧きい皋、画像鮮鋭床が高いこずを意味
する。 埗られた結果を第衚に瀺す。
【衚】 第衚に瀺した結果から、透明保護膜の膜厚
が5ÎŒm以䞋の蓄積性蛍光䜓シヌトは、電子顕埮
鏡画像の蚘録再生においお高い鮮鋭床を有し、
実甚的に優れた蚘録再生手段ずしお有甚である
こずがわかる。
【図面の簡単な説明】
第図は、本発明の電子線像情報の蚘録再生方
法の実斜に甚いるこずのできる電子顕埮鏡像蚘録
再生装眮の䟋を瀺す暡匏図であり、そしお第図
は、同様の蚘録再生装眮の他の構成䟋を瀺す暡匏
図である。  電子線像情報蚘録再生装眮電子顕埮鏡、
 電子線、 電子顕埮鏡の結像面、 蓄
積性蛍光䜓シヌト、 励起光源、 励
起光ビヌム、 光偏光噚、 集光䜓。

Claims (1)

  1. 【特蚱請求の範囲】  詊料を透過した、たたは詊料から反射した電
    子線像を、膜厚5ÎŒm以䞋の透明保護膜をその衚面
    に備えた蓄積性蛍光䜓局を有する蓄積性蛍光䜓シ
    ヌトに電子線゚ネルギヌ朜像ずしお蚘録し、次い
    で該蓄積性蛍光䜓シヌトに蓄積された電子線゚ネ
    ルギヌの少なくずも䞀郚を、該蓄積性蛍光䜓シヌ
    トに電磁波を照射するこずにより蛍光ずしお攟出
    させ、この蛍光を怜知したのち、怜知された蛍光
    に光電凊理を斜すこずによ぀お該詊料の電子線像
    情報を埗るこずからなる電子線像情報の蚘録再生
    方法。  䞊蚘蓄積性蛍光䜓シヌトの透明保護膜の膜厚
    が4ÎŒm以䞋であるこずを特城ずする特蚱請求の範
    囲第項蚘茉の蚘録再生方法。  䞊蚘蓄積性蛍光䜓シヌトの透明保護膜がポリ
    ゚チレンテレフタレヌトからなるものであるこず
    を特城ずする特蚱請求の範囲第項蚘茉の蚘録再
    生方法。  䞊蚘蓄積性蛍光䜓シヌトの蓄積性蛍光䜓局
    が、結合剀に分散された二䟡ナヌロピりム賊掻ア
    ルカリ土類金属ハロゲン化物系蛍光䜓もしくは垌
    土類元玠賊掻垌土類オキシハロゲン化物系蛍光䜓
    であるこずを特城ずする特蚱請求の範囲第項乃
    至第項にいずれかの項蚘茉の蚘録再生方法。
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