JPS6193541A - 電子顕微鏡像記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の分野） 本発明は電子顕微鏡像を記録する装置に関するものであ
り、特に詳細には電子顕微！！象を高感度で記録し、ま
た各種画像処理可能に電気信号で再生できるようにＩＪ
だ電子顕微鏡像記録装置に関するものである。

（発明の技術的背景および先行技術） 従来より、試料を透過させた電子線を電界あるいは磁界
によって屈折させて、試料の拡大像を得る電子顕微鏡が
公知となっている。周知のようにこの電子顕微鏡におい
ては、試料を透過した電子線により対物レンズの後熱平
面に試料の回折パターンが形成され、その回折線が再び
干渉して試料の拡大像が形成されるようになっている。

したがって投影レンズにより上記拡大像を投影すれば試
料の拡大像（散乱像）が観察され、また上記後熱平面を
投影すれば拡大された試料の回折パターンが観察される
。なお対物レンズと投影レンズとの間に中間レンズを配
置しておけば、この中間レンズの焦点距離調節により、
上述の拡大像（散乱像）あるいは回折パターンが随意に
得られる。

上述のようにして形成される拡大像あるいは回折パター
ン（以下、一括して透過電子線像と称する）を観察する
ため従来は一般に、投影レンズの結像面に写真フィルム
を配して透過電子線像を露光させたり、あるいはイメー
ジインテンシファイアを配して・透過電子線像を増幅投
影するようにしていた。しかし写真フィルムは電子線に
対して感度が低い上用像処理が面倒であるという欠点を
有し、一方イメージインテンシファイアを用いる場合、
画像の鮮鋭度が低い上、画像に歪みが生じやすいという
問題がある。

また上記のような透過電子線像に対しては、像を見易く
する等の目的で階調処理、周波数強調処理、濃度処理、
減算処理、加算処理等の画像処理や、フーリエ解析法に
よる３次元像の再構成、画像の２値化および粒子径測定
等のための画像解析、ざらには回折パターンの処理（結
晶情報の解析、格子定数、転移、格子欠陥の解明等）等
の処理が施されることが多いが、このような場合従来は
、写真フィルムを現像して得た顕微鏡像をミクロフォト
メータで読み取って電気信号に変換し、この電気信号を
例えばＡ／Ｄ変換してからコンピュータにより処理する
という煩雑な作業を行なっていた。

（発明の目的） 本発明は上記のような事情に鑑みてなされたものであり
、電子顕微鏡像を高感度、高画質で記録再生することを
可能にし、しかも像再生に際し、顕微鏡像を担持する電
気信号が直接前られるように電子類’１１１Ｍ＠を記録
できる電子顕微鏡像記録装置を提供することを目的とす
るものである。

（発明の構成） 本発明の電子顕微鏡像記録装置は、 電子線エネルギーを蓄積する２次元センサを収納するセ
ンサ供給部と、 電子顕微鏡の結像面に上記２次元センサを保持して、試
料を透過した電子線を該センサに蓄積記録させる記録部
と、 上記蓄積記録がなされた２次元センサを収納するセンサ
受納部と、 上記センサ供給部に収納された２次元センサを上記記録
部へ供給するセンサ供給手段と、上記記録部において電
子顕微鏡像記録がなされた後、２次元センサを該記録部
から取り出し、上記センサ受納部へ送り出すセンサ送出
し手段と、上記センサ供給部と記録部との間に設けられ
、２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって、該セ
ンサに蓄積されている残存放！）ＩＩ！！エネルギーを
放出させる消去手段とから構成されたことを特徴とする
ものである。

上記２次元センサとして具体的には、例えば特開昭５５
−１２４２９号、同５５−１１６．３４０号、同５５−
１６３４７２号、同５６−１１３９５号、同５６−１０
４６４５号公報等に示される蓄積性螢光体シートが特に
好適に用いられうる。

すなわら、ある種の螢光体に電子線等の放射線を照射す
るとこの放射線のエネルギーの一部がその螢光体中に蓄
積され、その後その螢光体に可視光等の励起光を照射す
るか又は加熱すると、蓄積されたエネルギーに応じて螢
光体が螢光（輝尽発光又は熱螢光）を示す。このような
性質を示す螢光体を蓄積性螢光体と言い、蓄積性螢光体
シートとは、上記蓄積性螢光体からなるシート状の記録
体のことであり、一般に支持体とこの支持体上に積層さ
れた蓄積性螢光体層とからなる。蓄積性螢光体層は蓄積
性螢光体を適当な結合剤中に分散させて形成したもので
あるが、この蓄積性螢光体層が自己支持性である場合、
それ自体で蓄積性螢光体シートとなりうる。

また、上述の２次元センサとして、例えば特公昭５５−
４７７１９号、同５５−４７７２０号公報等に記載され
ている熱螢光体シートを用いることもできる。この熱螢
光体シートは主として熱の作用によって蓄積している放
射線エネルギーを熱螢光として放出する螢光体く熱螢光
体）からなるシート状の記録体であり、その製造法は上
記蓄積性螢光体シートと同様である。

電子顕微鏡の結像面に上記２次元センサを配置して、該
センサに透過電子線による電子顕微ｉ？Ｉ像を蓄積記録
したならば、例えば特願昭５９−１５０１７５号明細書
に示されるように、このセンサに可視等の励起光を照射
するか掃引加熱して、該センサに蓄積記録された電子線
エネルギーを光として放出させ、この放出光を光電的に
読み取れば、透過電子Ｉｌｌに対応する電気信号が得ら
れる。こうして得られた電気的画像信号を用いれば、Ｃ
ＲＴ等のディスプレイに電子顕微鏡像を表示させること
もできるし、あるいはハードコピーとして永久記録すす
ることもできるし、さらには上記画像信号を−Ｈ磁気テ
ープ、磁気ディスク等の記憶媒体に記憶させておくこと
もできる。

そして上記２次元センサを用いれば、電子顕微鏡像を高
感度で記録することが可能になる。またこの２次元セン
サに電子顕微鏡像を蓄積記録すれば、上述の通り、像読
取りに際して電子顕微鏡像を担持する電気信号が直接得
られるから、電子顕微鏡像に階調処理、周波数強調処理
等の画像処理を施すことも極めて容易になる。

また本発明装置においては、センサ供給部に収納された
２次元センサをセンサ供給手段により電子顕微鏡結像面
に供給し、電子顕微鏡像記録後は２次元センサをこの結
像面からセンサ送出し手段によって排出するようにして
いるから、上記センサ供給部に多量の２次元センサを収
納しておいて、連続的に能率良く多数の電子顕微鏡像記
録を行なうことが可能になる。

前述の蓄積性螢光体シート等には、再使用されるものに
あっては前回記録された電子顕微鏡像の残像が残ってい
ることがあったり、放置されているうちに螢光体内に不
純物として混入しているＲａなどの放射性元素環境放射
線の影響を受けであるいは微小な残像の浮き上り現象に
よるノイズ成分を蓄積したりしていることがある。本発
明装置においては前記のような消去手段を設け、これら
残像放射線エネルギー（すなわら前記ノイズ成分または
前記ノイズ成分と前記残存の双方）を像記録直前に消去
するようにしているから、電子顕微鏡像は高Ｓ／Ｎで画
質良好に記録されるようになる。

本発明において利用される蓄積性螢光体シートに用いら
れる輝尽性螢光体の例としては、米国特許第３．８５９
．５２７号明細書に記載されているＳｒＳ　：　Ｃｅ、
Ｓｍ１ＳｒＳ　：　Ｆ：ＬＩ。

３ｍ、ＴｈＯ２：　Ｅｒ、およびＬａ２Ｏ２Ｓ：Ｅｕ、
Ｓｍなどの組成式で表わされる螢光体、特開昭５５−１
２１４２号公報に記載されているｚｎ３：Ｑｕ、ｐｂ、
Ｂａ０−ＸＡｌｚ　０３　：ＥＵ［ただし、０．８≦ｘ
≦１０］、おヨヒ、Ｍ”０−ｘｓ　ｉ　０２　　：　Ａ
　［ただし、Ｍ２＋はＭＣＩ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｚｎ、Ｃｄ
、またはＢａであり、ＡはＣｅ、Ｔｂ１Ｅｕ、Ｔｍ、Ｐ
ｂ、Ｔ９Ｊ、Ｂ　ｉ、またはＭｎであり、Ｘは、０．５
≦Ｘ≦２．５であるコなどの組成式で表わされる螢光体
、特開昭５５−１２１４３号公報に記載されている（Ｂ
ａｓ−ｘ−ｙ　、　ＭＱｘ　、　Ｃａｙ　）　ＦＸ　：
　ａＥｕ”［ただし、ＸはＣＱ、およびＢｒのうちの少
なくとも一つで、Ｘおよびｙは、０＜ｘ＋ｙ≦０．６、
かつＸｙｆＯであり、ａは、１０″６≦ａ≦５×１０″
２であるＪの組成式で表わされる螢光体、特開昭５５−
１２１４４号公報に記載されているＬｎＯＸ：ｘＡ［た
だし、Ｌｎはｌ−ａ、　Ｙ、　Ｇｄ１およびＬＬＩのう
ちの少なくとも一つ、ＸはＣ２およびＢｒのうちの少な
くとも一つ、ＡはＣｅおよびＴｂのうちめ少なくとも一
つ、そして、Ｘは、Ｑ＜ｘ＜０．１である］の組成式で
表わされる螢光体、 特開昭５５−１２１４５号公報に記載されていす る（Ｂａｔ−Ｘ　、Ｍ　Ｘｌ　ＦＸ　：　ｙＡ［ただし
、ＭＩＧｔｆＶＩｇ、Ｑａ、ｓｒ、ｚｎ、およびＣｄの
うらの少なくとも一つ、ＸはＣ９Ｊ、Ｂｒ、および１の
うちの少なくとも一つ、ＡはＥｕ、Ｔｂ、Ｃｅ、Ｔｍ１
ＤＶ、Ｐｒ、ＨＯｌＮｄ、Ｙｔ）、おにヒＥ　ｒのうち
の少なくとも一つ、モしてＸは、０≦Ｘ≦０．６、ｙは
、０≦ｙ≦０．２である］の組成式で表わされる螢光体
、 特開昭５５−１６００７８号公報に記載されて且 いるＭ　　ＦＸ−ｘＡ：ｙＬｎ［ただし、ＭＸはＢａ、
Ｃａ、Ｓｒ１Ｍｇ、ｚｎ、およびＣｄのうちの少なくと
も一種、ＡはＢｅ０１Ｍｇ０．Ｃａｂ。

ｓｒｏ、Ｂａｄ、Ｚｎ０１Ａ９Ｊ２０３　、Ｙ２０３、
Ｌａｚ　０３　、Ｉｎｚ　０３　、Ｓ　！Ｏｚ　、Ｔｌ
０ｚ、Ｚｒ０ｚ　、Ｇｅ０ｚ　、５ｎ０２、Ｎｂｚ　Ｏ
ｓ　、Ｔａｚ　Ｏｓ　、およびＴｈ０ｚのうちの少なく
とも一種、ＬｎはＥｕ、Ｔｂ、Ｃｅ、Ｔｍ、Ｄｙ、Ｐｒ
。

ＨＯｌＮｄ、Ｙｂ、Ｅｒ、Ｓｍ、およびＧｄのうちの少
なくとも一種、ＸはＣ９Ｊ、Ｂｒ、およびＩのうちの少
なくとも一種であり、Ｘおよびｙはそれぞれ５Ｘ１０′
！≦Ｘ≦０．５、およびｏ＜ｙ≦０．２である］の組成
式で表わされる螢光体、特開昭５６−１１６７７７号公
報に記載されている（Ｂａｔ−ｘ　、Ｍ”ｙ　）Ｆ２　
・ａＢａＸｚ　：　ｙｔ＝ｕ、ｚＡ　［ただし、ＭＸは
ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウ
ム、亜鉛、およびカドミウムのうちの少なくとも一種、
Ｘは塩素、臭素、および沃素のうちの少なくとも一種、
Ａはジルコニウムおよびスカンジウムのうちの少なくと
も一種であり、ａ、ｘ、ｙ、および２はそれぞれ０．５
≦ａ≦１．２５．０≦Ｘ≦１．１０４≦ｙ≦２Ｘ１０’
、およびＯ＜ｚ≦１０１である］の組成式で表わされる
螢光体、 特開昭５７−２３６７３号公報に記載されている（Ｂａ
ｔ−ｘ　、　Ｍ”ｘ　）　Ｆ２　・ａＢａＸｚ：　ｙＥ
ｕ、ｚ８［ただし、Ｍｌはベリリウム、マグネシウム、
カルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカドミウム
のうちの少なくとも一種、Ｘは塩素、臭素、および沃素
のうちの少なくとも一種であり、ａｌｘ、ｙ、及びＺは
それぞれ０．５≦ａ≦１．２５．０≦Ｘ≦１．１０″！
Ｉ≦ｙ≦２Ｘ１０−１、および０＜ｚ≦１０−１である
］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５７−２３６７５号公報に記載されている（Ｂａ
ｔ　−Ｘ　、　Ｍ”Ｘ）　Ｆ２　・ａＢａＸｚ　：　ｙ
［：ｕ、ＺＡ［ただし、Ｍ　はベリリウム、マグネシウ
ム、カルシウム、ストロンチウム、亜鉛、およびカドミ
ウムのうちの少なくとも一種、Ｘは塩素、臭素、および
沃素のうちの少なくとも一種、Ａは砒素および硅素のう
ちの少なくとも一種であり、ａ、Ｘ、ｙ、および２はそ
れぞれ０．５≦ａ≦１．２５、Ｏ≦Ｘ≦１．１０（≦ｙ
≦２Ｘ１０’、および０〈２≦５Ｘ１０→である］の組
成式で表わされる螢光体、 特開昭５８−２０６６７８号公報に記載されている８　
ａ　ｔ　−Ｘ　Ｍｙ７ｚ　Ｌ−）／ｚ　Ｆ　Ｘ　：　’
／　Ｅ　Ｕ　２＋［ただし、Ｍは、Ｌ　ｉ、　Ｎａ、に
、Ｒｂ、およびＣ５からなる群より選ばれる少なくとも
一種のアルカリ金属を表わし：Ｌは、Ｓｃ、ＹｌＬａ、
Ｃｅ、ｐｒ、Ｎｄ、Ｐｍ、Ｓｍ、Ｇｄ、Ｔｂ、ａｙ、Ｈ
ｏ、Ｅｒ、　Ｔｍ、’ｙ’ｂ、Ｌｕ、Ａ９Ｊ、Ｇａ、Ｉ
ｎ、およびＴ９Ｊからなる群より選ばれる少なくとも一
種の三価金属を表わし：Ｘは、Ｃ９Ｊ、ｓｒ、およびＩ
からなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンを表
わし；そして、Ｘは１０４≦Ｘ≦０．５、ｙは０くｙ≦
０．１である］組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−２７９８０号公報に記載されているＢａＦ
Ｘ−ｘＡ：ｙＥｕ２＋［ただし、Ｘは、Ｃ免、Ｂｒ、お
よびＩからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲ
ンであり：Ａは、テトラフルオＯホウ酸化合物の焼成物
であり；そして、Ｘは１０″ｌＩ≦Ｘ≦０．１、ｙはＯ
＜１≦０．１である］の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−４７２８９号公報に記載されているＢａＦ
Ｘ−ｘＡ：ＶＥｕ２÷［ただし、Ｘは、Ｃ見、３ｒ１お
よびＩからなる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲ
ンであり；Ａは、ヘキサフルオロケイ酸、ヘキサフルオ
ロケイ酸ン酸およびヘキサフルオロジルコニウム酸の一
価もしくは二価金属の塩からなるヘキサフルオロ化合物
群より選ばれる少なくとも一種の化合物の焼成物であり
：そして、Ｘは１０”≦Ｘ≦０．１、ｙは０くｙ≦０．
１である］の組成式で表わされる螢光体、特開昭５９−
５６４７９号公報に記載されていＢａＦＸ−ｘＮａＸ’
　　：ａＥｕ’　［ただし、ＸおよびＸ′は、それぞれ
Ｃ９，、Ｓｒ、およびＩのうちの少なくとも一種であり
、ＸおよびａはそれぞれＯ＜Ｘ≦２、およびＱ＜ａ≦０
．２である１の組成式で表わされる螢光体、 特開昭５９−５６４８０号公報に記載されているＭＸＦ
Ｘ−ｘＮａＸ’　　：　ｙＥｕ２＋：ｚ　Ａ　［ｔ；：
だし、Ｍ　は、Ｂａ、Ｓｒ’、およびＣａからなる群よ
り選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属であり：
ＸおよびＸ′は、それぞれＣ９Ｊ、Ｂｒ、および■から
なる群より選ばれる少なくとも一種のハロゲンであり；
Ａは、Ｖ、Ｃｒ、Ｍｎ、　Ｆｅ。

ＣＯ，およびＮ１より選ばれる少なくとも一種の遷移金
属であり；そして、ＸはＯ＜Ｘ≦２、ｙは０＜ｙ≦０．
２、および２は０〈Ｚ≦１０４である］の組成式で表わ
される螢光体、 本出願人による特開昭５９−７５２００号公報に記載さ
れているＭ　　ＦＸ−ａＭ１Ｘ’　　−ｂＭ”Ｘ”２　
・ｃＭＩＸ”　’　３　　・ＸＡ　：　ｙＥｕ２＋［た
だし、Ｍｌは１３ａ、３ｒ、およびＣａからなる群より
選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属であり；Ｍ
ｌはｌ　ｉ、Ｎａ、に、Ｒｂ、およヒＣ５からなる群よ
り選ばれる少なくとも一種のアルカ力金属であり、Ｍ′
π　はＢｅおよびＭｇからなる群より選ばれる少なくと
も一種の二価金属であり；ＭＩｌハＡ９．、Ｇａ、ｉｎ
、およびＴ９．からなる群より選ばれる少なくとも一種
の三価金属であり；Ａは金属酸化物であり：ＸはＣ９，
、Ｂｒ、およびＩからなる群より選ばれる少なくとも一
種のハロゲンでありＨＸ　＊　、　Ｘ　ＩＩ、およびＸ
”′は、Ｆ２Ｏ応、３ｒ、および１かうなる群より選ば
れる少なくとも一種のハロゲンであり：そして、ａはＯ
≦ａ≦２、ｂは、０≦ｂ≦１０″２、ＣはＯ≦Ｃ≦１０
−２、かつａ＋ｂ＋ｃ≧１０−’であり；Ｘは０＜ｘ≦
０．５、ｙはｏ＜ｙ≦０．２である］の組成式で表わさ
れる螢光体、 特願昭５８−１９３１６１号明細書に記載された ＭＴｉＸｚ　、ａｖＩＩ　Ｘ’　ｚ　：Ｘ　Ｅｕ　２＋
（ただし、ＭｌはＢａ、ＳｒおよびＣａからなる群より
選ばれる少なくとも一種のアルカリ土類金属であり；Ｘ
およびＸ′は（４，Ｓｒおよび■かうなる群より選ばれ
る少なくとも一種のハロゲンであって、かつＸ≠Ｘ′で
あり；そしてＣ５は０゜１≦ａ≦１０．０の範囲の数値
であり、×はＯく×≦０．２の範囲の数値である）なる
組成式で表わされる螢光体、 などを挙げることができる。

ただし、本発明に用いられる輝尽性螢光体は上述の螢光
体に限られるものではなく、放射線を照射したのちに励
起光を照射した場合に、輝尽性発光を示す螢光体であれ
ばいかなるものであってもよい。

また好ましく使用し得る熱螢光体としてはＮａ　　　。

ＳＯａ　、Ｍｎ５Ｏｔ　、Ｃａ５Ｏａ　、５ｒＳＯｔ、
３　ａ　Ｓ　Ｏａ等の硫酸化合物にＭＬＪ、Ｄｙ、Ｔｍ
等の微量の添加物を少なくとも一種添加した化合物が挙
げられる。

これらの螢光体シートは保護層や、光反射性もしくは光
吸収性の下引層を有していてもよく、またその螢光体層
は特開昭５５−１６３５００号公報に開示されているよ
うに顔料又は染料で着色されていてもよい。

（実施態様） 以下、図面を参照して本発明の実施態様を詳細に説明す
る。

第１図は、本発明の一実７１１態様による電子顕微鏡像
記録装置の大略を示すものである。電子顕微鏡の鏡体部
１は、一様の速度の電子線２を射出する電子銃３と、電
子線２を試料面に絞り込む磁気レンズ、静電レンズ等か
らなる少なくとも１コの集束レンズ４と、試料台５と、
上記集束レンズ４と同様の対物レンズ６と、投影レンズ
７とを有してなる。試料台５上に載置された試料８を透
過した電子線２は上記対物レンズ６により屈折され、該
試料８の拡大散乱＠８ａを形成する。この拡大散乱（ｓ
１８ａは投影レンズ７により、結像面９に結像投影され
る（図中の８ｂ）。

上記電子顕微鏡の鏡体部１の下方には、本発明による電
子顕微鏡像記録装置１０が配置されている。

この電子顕微鏡像記録装置１０は、２次元センサとして
の蓄積性螢光体シート１２を多数枚収めた供給用マガジ
ン１４が収納されるセンサ供給部１６と、前記結像面９
を含むように形成された記録部１８と、上記供給用マガ
ジン１４と同様の受納用マガジン２０が収納されるセン
サ受納部２２とを有し、上記センサ供給部１６と記録部
１８との間には消去光源２４が配設されている。そして
上記センサ供給部１６と記録部１８との間に差し渡して
、水平方向に移動可能なシート供給テーブル２６が設け
られている。該シート供給テーブル２６には歯車２８に
噛合するラック３０が固定され、歯車２８が回転される
と、シート供給テーブル２６は図中左右方向に移動する
ようになっている。またセンサ受納部２２には、前記記
録部１８内の蓄積性螢光体シート１２を保持して受納用
マガジン２０内に落とし込むシート送出しアーム３２が
設けられている。なお鏡体部１と電子顕微鏡像記録装置
１０との間には、それぞれ図中左右方向に回動可能なシ
ャッター３４と、螢光スクリーン３６とが設けられ、こ
れらシャッター３４とスクリーン３６は各々図示しない
レバーによって回動操作されるようになっている。また
上記シャッター３４の上方において、鏡体部１の周壁に
は例えば鉛ガラスからなる観察窓３８が設けられている
。

そして上記鏡体部１の内部と、電子顕微鏡像記録装置１
０の内部は、電子顕微鏡の稼働中、公知の排気装置によ
って真空状態に維持されるが、鏡体部１と電子顕微鏡像
記録表Ｍ１０との間には公知の遮断部材（図示せず）が
設けられ、該遮断部材によって鏡体部１内部と電子顕微
鏡像記録装置１０の内部とを互いに遮断することにより
、供給用マガジン１４の装着および受納用マガジン２０
の取出しの際に、電子顕微鏡像記録装置１０内の真空を
破壊しても、鏡体部１内は真空状態に維持できるように
なっている。

電子顕微鏡像の記録を行なう際、センサ供給部１６内に
は蓄積性螢光体シート１２を多数枚収めた供給用マガジ
ン１４が収納され、またセンサ受納部２２内には空の受
納用マガジン２０が収納される。そして前記シャッター
３４と螢光スクリーン３６は、電子線２を遮る位置（図
中水平位置）に設定される。

また前記歯車２８が図中反時計方向に回転されてシート
供給テーブル２６が図中左方に移動され、供給用マガジ
ン１４の最下位の蓄積性螢光体シート１２が記録部１８
に送られる。こうして蓄積性螢光体シート１２が送られ
るとき、前記消去光源２４が点灯され、該シート１２は
残存放射線エネルギーの消去を受ける（この消去につい
ては後に詳述する）。シート供給テーブル２６はシート
１２が前記結像面９に位置すると停止される。前記電子
線２は螢光スクリーン３６に当たって螢光を発生させる
ので、該電子線２が担持する拡大散乱像８ａが、観察窓
３８を通して観察される。このように螢光スクリーン３
６を観察して拡大散乱像８ａのピント、倍率および視野
範囲が決定された後、シャッター３４と螢光スクリーン
３６は、前述のレバーを操作することにより、電子１１
２を遮らない位置まで跳ね上げられる。こうすると電子
線２は、記録部１８にセットされている蓄積性螢光体シ
ート１２に到達し、拡大散乱像８ｂを担持する電子線エ
ネルギーが該シート１２に蓄積記録される。

上記のようにシャッター３４を開いて電子線露光を行な
った後、シャッター３４が閉じられる。そし・て拡大散
乱像８ｂを蓄積記録した蓄積性螢光体シート１２は、シ
ート送出しアーム３２によって受納用マガジン２０内に
落とし込まれる。そしてシート供給テーブル２６は、歯
車２８を逆転することによってセンサ供給部１６に戻さ
れ、次回の電子顕微鏡像記録に備えて、前述と同様にし
て供給用マガジン１４内の蓄積性螢光体シート１２を１
枚記録部１８に供給する。

上記の操作が繰り返されると、受納用マガジン２０内に
は、電子顕微鏡像記録済みの蓄積性螢光体シート１２が
まとめて収納される。そこで一連の電子顕微鏡像記録が
終了したならば、この受納用マガジン２０をセンサ受納
部２２から取り出し、蓄積性螢光体シート１２を電子顕
微鏡像読取りにかける。

第２図はこの電子顕微鏡像読取りを行なう画像読取装置
の一例を示すものである。この装置において蓄積性螢光
体シート１２は、例えばエンドレスベルトからなるシー
ト搬送手段４０上に載置される。

そしてＨｅ−Ｎｅレーザ管等の励起光源４２から射出さ
れる励起光ビーム４４を、ガルバノメータミラー等の光
偏向器４６によって偏向し、蓄積性螢光体シート１２を
該ビーム４４により矢印Ｘ方向に走査する（主走査）。

それとともに上記シート搬送手段４０により、蓄積性螢
光体シート１２を上記主走査方向と略直角なＹ方向に移
動させろく副走査）。それにより蓄積性螢光体シート１
２は、その全面に亘って励起光ビーム４４の照射を受け
る。この励起光照射により蓄積性螢光体シート１２は、
蓄積記録した電子線エネルギーに応じたレベルの輝尽発
光光４８を放出する。この輝尽発光光４８は集光体５０
の入射端面５０ａから該集光体５０内に入射し、該集光
体５０内を全反射を繰り返して進んで射出端面５０ｂか
ら射出し、この射出端面５０ｂに接続されたフォトマル
等の光検出器５２に受光され、上記輝尽発光光量が光電
的に読み取られる。光検出器５２から出力される電気信
号は前記電子線エネルギーのレベルを示すものとなり、
この電気信号は画像処理回路５４に送られて必要な画像
処理が施された上、画像再生装置５６に入力される。こ
の画像再生装置５６は、ＣＲＴなどのディスプレイでも
よいし、また感光フィルムに光走査記録を行なう記録装
置であってもよい。このように前記輝尽発光光量に対応
した電気信号を用いて画像を出力することにより、上記
輝尽発光光４８が担持する前記拡大散乱像８ｂが再生さ
れる。

前述のように電子顕微鏡像読取り時に、蓄積性螢光体シ
ート１２に励起光を照射しても、該シート１２に蓄積さ
れている電子線エネルギーはすべて放出する訳ではなく
、電子顕微鏡像の残像が残る場合がある。またこの残像
の他に蓄積性螢光体シート１２には、その蓄積性螢光体
に不純物として含まれる　Ｒａなどの放射性元素による
ノイズ成分や、環境放射線からのノイズ成分が蓄積しや
すくなっている。そこで前述のように、電子顕微鏡像記
録前に、該シート１２に消去光［２４から消去光５８を
照射する。この消去光５８は蓄積性螢光体シート１２の
励起波長領域に含まれるものであり、このような消去光
５８が照射されることにより、シート１２に蓄積してい
た上記残存放射線エネルギーが消去される。上記の消去
光源２４としては、例えば特開昭５６−１１３９２号に
示されているようなタングステンランプ、ハロゲンラン
プ、赤外線ランプ、キセノンフラッジ１ランプあるいは
レーザ光源等が任意に選択使用されうる。またこのよう
な光源を用いず、蓄積性螢光体シート１２を加熱するこ
とによっても、上記残像やノイズ成分を消去することが
できる。

したがって画像読取り後の蓄積性螢光体シート１２は、
そのまま供給用マガジン１４に収納してセンサ供給部１
６に装填し、再度使用可能であるが、上記消去光源２４
と同様の光源を有する消去装置を別に設け、画像読取り
後の蓄積性螢光体シート１２をこの消去装置にかけて消
去を行ない、上記記録装置１０の消去光源２４は主とし
て、前記放射性元素や環境放射線および残像の浮き上が
り現象による微小ノイズ成分を消去するために使用する
ようにしてもよい。そうすればこの消去光源２４として
、比較的小容量のものが使用できるようになる。蓄積性
螢光体シート１２に照射する消去光量については、例え
ば特開昭５８−８０６３３号公報等に詳しく示されてい
る。消去光儀＝照度Ｘ時間であるから、所望の消去光量
を設定するためには、消去光源２４の発光強度、あるい
は消去光照射位置におけるシ−ト１２の搬送速度（必要
によっては、消去光照射位置でシート１２を停止させて
もよい）を適当に決定すればよい。

第３図は本発明の第２実施態様装置を示すものである。

この電子顕微鏡像記録装置６０においては、センサ供給
部１６とセンサ受納部２２とが上下に並べて配設されて
いる。センサ供給部１６に装着された供給用マガジン１
４内の蓄積性螢光体シート１２は、例えば該シート１２
の端部を把持するシート供給アーム６２によって供給用
マガジン１４から１枚ずつ取り出され、２枚のガイド板
６４間に送られ、シート供給ローラ６６およびシート給
排ローラ６８ａ　、　６８ｂ　。

６８ｃによって、電子顕微鏡の結像面９を含む記録部１
８に送られる。そしてセンサ供給部１６から記録部１８
に送られる途中で蓄積性螢光体シート１２には、消去光
源２４から消去光５８が照射され、前記残存放射線エネ
ルギーが消去される。記録部１８において蓄積性螢光体
シート１２は、シート給排ローラ６８ｂ、６８ｃによっ
て結像面９に保持され、前記第１実施態様におけるのと
同様にして、該シート１２に試料８の拡大散乱像８ｂが
蓄積記録される。この電子顕微鏡像記録後、シート給排
ローラ６８ｂ、６８ｃが逆転され、またガイド板７０が
第３図の破線表示位置に動かされることにより、シート
１２はシート給排ローラ６８ａおよびシート送出しロー
ラ７２を介して２枚のガイド板７４の間に送られ、前記
シート供給アーム６２と同様のシート送出しアーム７６
により、センサ受納部２２の受納用マガジン２０内に収
納される。

第４図は本発明の第３実施態様装置を示すものである。

この電子顕微鏡像記録装置８０においては、２次元セン
サとしてベルト状の蓄積性螢光体シート８２が使用され
ている。この蓄積性螢光体シート８２はシート供給ロー
ル８４に巻回されてセンサ供給部１６に収納され、シー
ト保持用ローラ８６．８８によって張架されて記録部１
８の結像面９に保持され、そしてその先端は、センサ受
納部２２内に配されたシート巻取ロール９０に係止され
ている。電子顕微鏡像記録を行なうとき蓄積性螢光体シ
ート８２は、シート巻取ロール９０が回転されることに
より、シート供給ロール８４から該巻取ロール９０側に
所定長さずつ送られる。こうして順次結像面９に配置さ
れる蓄積性螢光体シート８２の各部には、前記第１、第
２実ＩＭ態様におけるのと同様にして、試料８の拡大散
乱像８ｂが蓄積記録される。またシート供給ロール８４
から記録部１８に送られる蓄積性螢光体シート８２には
、消去光＠２４から消去光５８が照射され、前記残存放
射線エネルギーが消去される。

以上の操作が繰り返されて蓄積性螢光体シート８２が全
量使用されると、該蓄積性螢光体シート８２はシート巻
取ロール９０ごとセンサ受納部２２から取り出されるか
、あるいはシート供給ロール８４に巻き戻して該供給ロ
ール８４ごとセンサ供給部１６から取り出され、前述し
たような画像読取りにかけられる。本実施態様装置にお
いては、センサ供給部１６、記録部１８およびセンサ受
納部２２内の蓄積性螢光体シ・−ト８２は、遮光板９２
によって遮光されるようになっており、したがって消去
光源２４を常時点灯しておくことも可能となっている。

しかし経済性の点からは、消去光源２４は必要な時間だ
け聞けつ的に点灯させるのが好ましい。

なお、前記の各実施態様において、消去光源２４は電子
顕微鏡像記録装置の真空系外に置き、この記録装置の器
壁に透光性の窓を設けて、その窓を介して蓄積性螢光体
シートに消去光を照射するようにしてもよい。

以上透過電子線による試料８の拡大散乱像８ｂを記録す
る実施態様について説明したが、本発明装置は、前述し
た試料の回折パターンを記録することもできる。第５図
は試料８の回折パターン８Ｃを記録する様子を示すもの
である。本実施態様において電子顕微鏡１００は、対物
レンズ６と投影レンズ７との間に中間レンズ１０２を備
えたものが使用され、対物レンズ７の後熟平面に形成さ
れた試料ｉの回折パターン８Ｃは、上記後熟平面に焦点
を合わせた中間レンズ１０２および投影レンズ７により
、結像面９に拡大投影される。この場合にも上記結像面
９に２次元センサとしての蓄積性螢光体シート１２を配
置すれば、該シート１２に透過電子線２による上記回折
パターン８Ｃの拡大像が蓄積記録される。この蓄積記録
された回折パターン８Ｃは、前記第２図で説明したのと
全く同様にして読取り可能であり、その読取り像はＣＲ
Ｔに表示したり、あるいはハードコピーとして再生した
りすることができる。

なお、以上述べた蓄積性螢光体・シートに代えて熱螢光
体シートを用いる場合、このシートから蓄積エネルギー
を加熱によって放出させるには、例えばＣＯｚレーザな
どの熱線を放出する加熱源を用い、この熱線で熱螢光体
シートを走査すればよく、そのためには例えば特公昭５
５−４７７２０号公報等の記述を参考にすればよい。

（発明の効果） 以上詳細に説明した通り本発明の電子顕微鏡像装置は、
蓄積性螢光体シート等の高感度の２次元センサに電子類
Ｗ１鏡像を蓄積記録するものであるから、電子顕微鏡像
を高感度で記録することが可能になり、したがって電子
顕微鏡の電子線露光量を低減でき、試料の損傷を少なく
することができる。

また上記のような２次元センサに電子類＠鏡像を記録す
るようにしたから、画像読取りに際して電子顕微鏡像が
直接電気信号として読み取られ、したがって電子顕微鏡
像に階調処理、周波数強調処理等の画像処理を施すこと
も極めて容易になり、また前述したような回折パターン
の処理や、３次元像の再構成、画像の２値化等の画像解
析も、上記電気信号をコンピュータに入力することによ
り、従来に比べ極めて簡単かつ迅速に行なえるようにな
る。

ざらに、電子顕微鏡像を蓄積記録する２次元センサは、
光照射、加熱等の処理を施すことにより再使用可能であ
るから、本発明によれば従来の銀塩写真システムを採用
する場合等に比べ、より経済的に電子顕微鏡像を記録で
きる。

また本発明装置においては、蓄積性螢光体シート等の２
次元センサを、センサ供給手段とセンサー送出し手段に
よって自動給排するようにしているから、センサ供給部
に多量の２次元センサを収納しておいて、連続的に能率
良く多数の電子顕微鏡像記録を行なうことが可能になる
。そして本発明装置においては、電子顕微鏡像記録直前
に残像やノイズ成分の消去を行なうようにしているから
、Ｓ／Ｎのよい高画質の電子顕微鏡像を記録することが
可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施態様装置を示す概略図、 第２図は本発明装置により電子顕微鏡像記録がなさねた
蓄積性螢光、体シートから、画像読取りを行なう装置の
一例を示す概略図、 第３図は本発明の第２実施態様装置を示す概略図、 第４図は本発明の第３実施態様装置を示す概略図、 第５図は本発明装置に組み合わされる電子顕微鏡の他の
例を示す概略図であ、る。 １・・・電子顕微鏡の鏡体部　　２・・・電子線９・・
・電子顕微鏡の結像面 １０．６０．８０・・・電子顕微鏡像記録装置１２．８
２・・・蓄積性螢光体シート １４・・・供給用マガジン　　　１６・・・センサ供給
部１８・・・記録部　　　　　　　２０・・・受納用マ
ガジン２２・・・センサ受納部　　　　２４・・・消去
光源２６・・・シート供給テーブル ３２・・・シート送出しアーム　５８・・・消去光６２
・・・シート供給アーム　　６６・・・シート供給ロー
ラ６８ａ、６８ｂ、６８ｃ、＝・・シート給排ローラ７
２・・・シート送出しローラ ８４・・・シート供給ロール ８６．８８・・・シート保持用ローラ ９０・・・シート巻取ロール 第２図 第３図 第４′図 手続ネ甫正書（方　式） １．事件の表示 特願昭５９−２１４６８２号 ２、発明の名称 電子顕微鏡像記録装置 ３、補正をする者 事件との関係　　　　　特許出願人 任　所　　　神奈川県南足柄市中沼２１０番地名　称　
　　　富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 昭和６０年１月９日　（発送日　昭和６０年１月２９日
）６、補正により増加する発明の数　　　な　　しく自
　発）手続ネ甫正書 特許庁長官　殿　　　　　　　　　　　昭和６０年２月
１２日特願昭５９−２１４６８２号 ２、発明の名称 電子顕微鏡像記録装置 ３、補正をする者 事件との関係　　　　　特許出願人 任　所　　　神奈川県南足柄市中沼２１０番地名　称　
　　　冨士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 ５、補正命令の日付　　　な　　し ６、補正により増加する発明の数　　　な　　し−−Ｌ
−、／ｐへ　　　　− ８、補正の内容 １）明細書第１５頁第１４行 「されてい」を「されている、」と訂正する。 ２）同第１８頁第８行 ｒ　Ｎ　ａ　Ｊを「Ｎａ２」と訂正する。 ３）同頁第１０行 「Ｍ　ＣＩ　Ｊを［〜ＩｎＪと訂正する。 ４）同第２１頁第１６行 「反時計方向Ｊを「時計方向」と訂正する。 ５）同頁第１７行 「左方」を「右方」と訂正する。 Ｏとして小サイズのものが使用可能で、それとともに光
電変換器１５も小型のものが使用可能となり、装置は全
体として小型に形成されうる。 第６図の如き画像走査記録装置にて拡大した画像を出力
するためには、その走査線密度を蓄積性螢光体シート１
０から画像情報を得る際の読み取り走査線密度より粗に
すればよい。 本発明のような小サイズの蓄積性螢光体シートから充分
な画像情報を得るには読み取り走査線密度は１０ビクセ
ル／Ｉｆｉｍ以上、特に１５ビクセル／ｍｍ〜１００ビ
クセル／闘の範囲に設定するのが好ましいが、再生像記
録のための走査線密度はこれよりも粗とし、好ましくは
５ビクセル／ｍｍ〜２０ピクセル／ｍｍの範囲において
使用した読み取り走査線密度よりも粗い走査線密度を選
択すれば、画質の低下なく拡大再生像を１稈ることがで
きる。」 ４）明細書第３３頁第１７行 「概略図である。」を［概略図、第６図は本発明方法に
基づいて電子顕微鏡像を再生する画像再生装置の一例を
示す概略図である。」と訂正する。 ５）図面中筒３図を添付のとおり補正する。 ６）図面に第６図を追加します。 特許請求の範囲 （１）　電子線エネルギーを蓄積する２次元センサを収
納するセンサ供給部、 前記センサ供給部に収納された前記２次元センサを前記
記録部へ供給するセンサ供給手段、前記蓄積記録がなさ
れた後、前記２次元センサを前記記録部から取り出し、
前記センサ受納部へ送り出すセンサ送出し手段、および 前記センサ供給部と前記記録部との間に設けられ、前記
２次元センサに光照射あるいは加熱を行ζって、該セン
サにＮ積されている残存放射線エネルギーを放出させる
消去手段からなる電子顕微鏡像記録装置。 （２）　前記２次元センサとして蓄積性螢光体シートを
用いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電
子顕微！、ｔ＠記録装置。 （自　発）手続ネ甫正書 特願昭５９−２１４６８２号 ２、発明の名称 電子顕微鏡像記録装置 ３、補正をする者 事件との関係　　　　　特許出願人 性　所　　神奈川県南足柄市中沼２１０番地名　称　　
　富士写真フィルム株式会社４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１号 ６、補正により増加する発明の数　　　な　　し方式畠

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）電子線エネルギーを蓄積する２次元センサを収納
   するセンサ供給部、 前記蓄積記録がなされた２次元センサを収納するセンサ
   受納部、 電子顕微鏡の結像面に前記２次元センサを保持して、試
   料を透過した電子線を該センサに蓄積記録させる記録部
   、 前記センサ供給部に収納された前記２次元センサを前記
   記録部へ供給するセンサ供給手段、前記蓄積記録がなさ
   れた後、前記２次元センサを前記記録部から取り出し、
   前記センサ受納部へ送り出すセンサ送出し手段、および 前記センサ供給部と前記記録部との間に設けられ、前記
   ２次元センサに光照射あるいは加熱を行なって、該セン
   サに蓄積されている残存放射線エネルギーを放出させる
   消去手段からなる電子顕微鏡像記録装置。
2. （２）前記２次元センサとして蓄積性螢光体シートを用
   いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子
   顕微鏡像記録装置。