JPH0554624B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0554624B2 JPH0554624B2 JP59128058A JP12805884A JPH0554624B2 JP H0554624 B2 JPH0554624 B2 JP H0554624B2 JP 59128058 A JP59128058 A JP 59128058A JP 12805884 A JP12805884 A JP 12805884A JP H0554624 B2 JPH0554624 B2 JP H0554624B2
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- JP
- Japan
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- humidity
- casing
- opening
- section
- humidity sensor
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0011—Sample conditioning
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
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- Medicinal Chemistry (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は湿度の計測、あるいは制御に用いられ
る湿度センサに関するものである。
る湿度センサに関するものである。
従来例の構成とその問題点
近年、空調分野をはじめとし各産業分野で湿度
センサに対するニーズが高まつているが、その信
頼性に多くの問題がある。特に塩分粒子、ホコリ
等の無機固体粒子等が存在する汚染環境に対する
信頼性が懸案となつている。
センサに対するニーズが高まつているが、その信
頼性に多くの問題がある。特に塩分粒子、ホコリ
等の無機固体粒子等が存在する汚染環境に対する
信頼性が懸案となつている。
以下、第５図ａ，ｂを参照しながら、上述した
ような従来の湿度センサについて説明を行なう。
ような従来の湿度センサについて説明を行なう。
感湿部１、クリーニング用のヒータ２、電極
３、保持部５、リード線９は第１図の構成と同じ
ものであるので、同一符号をつけて詳細は省略す
る。８は内包する感湿部１、ヒータ２を機械的損
傷から保護するためのプロテクタで、加熱クリー
ニング後の放熱を良くするためにその周囲に多数
の透孔８ａが設けてある。
３、保持部５、リード線９は第１図の構成と同じ
ものであるので、同一符号をつけて詳細は省略す
る。８は内包する感湿部１、ヒータ２を機械的損
傷から保護するためのプロテクタで、加熱クリー
ニング後の放熱を良くするためにその周囲に多数
の透孔８ａが設けてある。
以上のように構成された湿度センサについて、
以下その動作について説明する。
以下その動作について説明する。
上記構成において、まず前記湿度センサを測定
雰囲気に接触させる。雰囲気中の水蒸気は、拡散
あるいは、気流によつて感湿部１に到達し吸着を
する。その際の吸着量に応じて感湿部１はその電
気的特性を変化させる。この変化を、あらかじめ
リード線９を介して電極３に電圧を印加しておけ
ば、雰囲気中の湿度を電気的に検出することがで
きる。
雰囲気に接触させる。雰囲気中の水蒸気は、拡散
あるいは、気流によつて感湿部１に到達し吸着を
する。その際の吸着量に応じて感湿部１はその電
気的特性を変化させる。この変化を、あらかじめ
リード線９を介して電極３に電圧を印加しておけ
ば、雰囲気中の湿度を電気的に検出することがで
きる。
しかしながら、上記のような構成では以下のよ
うな欠点を有している。その第一点は、雰囲気中
に、塩分粒子やホコリ等の加熱クリーニングによ
つて除去不能な無機固体粒子が存在する場合、前
記無機固体粒子はプロテクタ８の透孔８ａを通じ
て、容易に感湿部や電極に付着し、素子の劣化を
生じ再生不能となることである。第２の欠点は、
加熱クリーニング時、ヒータが500℃以上の高温
になるため、雰囲気に引火性物質が存在すると爆
発や火災の危険性があり、使用上安全性に問題が
あることである。
うな欠点を有している。その第一点は、雰囲気中
に、塩分粒子やホコリ等の加熱クリーニングによ
つて除去不能な無機固体粒子が存在する場合、前
記無機固体粒子はプロテクタ８の透孔８ａを通じ
て、容易に感湿部や電極に付着し、素子の劣化を
生じ再生不能となることである。第２の欠点は、
加熱クリーニング時、ヒータが500℃以上の高温
になるため、雰囲気に引火性物質が存在すると爆
発や火災の危険性があり、使用上安全性に問題が
あることである。
したがつて、塩分粒子やホコリ等の無機固体粒
子、及び爆発性物質などが存在する環境でも、安
全性が高く、しかも高い信頼性を有する加熱クリ
ーニング型の湿度センサの開発が望まれている。
子、及び爆発性物質などが存在する環境でも、安
全性が高く、しかも高い信頼性を有する加熱クリ
ーニング型の湿度センサの開発が望まれている。
発明の目的
本発明は上記欠点を鑑み、防爆、火災に対して
安全性を有するとともに、塩分粒子やホコリ等の
無機固体粒子が存在する汚染環境に対して高い信
頼性を有する加熱クリーニング型の湿度センサを
提供するものである。
安全性を有するとともに、塩分粒子やホコリ等の
無機固体粒子が存在する汚染環境に対して高い信
頼性を有する加熱クリーニング型の湿度センサを
提供するものである。
発明の構成
この目的を達成するために本発明の湿度センサ
は、感湿部、該感湿部の加熱部、前記感湿部及び
加熱部の保持部、該保持部と結合し、前記感湿部
及び加熱部を内包し、かつ開口を有する第１の筐
体と前記第１の筐体を包合し、多数の透孔を有す
る第２の筐体とから構成され、前記第１の筐体の
内外をを結ぶ開口を第１の筐体の一方向の側面に
設け、前記開口が感湿部ないし筐体中央部からの
立体角が１／10ステラジアンを越えないの範囲に
設けたものである。
は、感湿部、該感湿部の加熱部、前記感湿部及び
加熱部の保持部、該保持部と結合し、前記感湿部
及び加熱部を内包し、かつ開口を有する第１の筐
体と前記第１の筐体を包合し、多数の透孔を有す
る第２の筐体とから構成され、前記第１の筐体の
内外をを結ぶ開口を第１の筐体の一方向の側面に
設け、前記開口が感湿部ないし筐体中央部からの
立体角が１／10ステラジアンを越えないの範囲に
設けたものである。
この構成によつて、感湿部及び電極を雰囲気中
の塩分粒子やホコリ等の無機固体粒子の付着から
守り加熱時の表面温度を低く保持することにより
耐火災、防爆性に秀れた湿度センサを提供するも
のである。
の塩分粒子やホコリ等の無機固体粒子の付着から
守り加熱時の表面温度を低く保持することにより
耐火災、防爆性に秀れた湿度センサを提供するも
のである。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について、図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
第１図ａ，ｂは本発明の一実施例における湿度
センサの構成を示すものである。第１図におい
て、１は湿度を検知するための感湿部、２は感湿
部を加熱するためのクリーニング用のヒータ、３
は湿度を電気信号に変換するための電極、４は感
湿部１、ヒータ２、電極３を収納した有底円筒状
の第１の筐体で、ヒータ２を取付けた円柱状の保
持部５で閉蓋されている。そして、この第１の筐
体は側面に縦方向へスリツト状の開口７を形成
し、感湿部１を雰囲気と直接接触させる。６は第
１の筐体４を包合した有底円筒状の第２の筐体
で、保持部５で底部が閉蓋され、また上部がキヤ
ツプ６ａで閉蓋され、側面を金網で形成してい
る。そして、この第２の筐体は幅が１mm以下の多
数の透孔８を形成している。上記保持部５は感湿
部１及びヒータ２を固定する。９は電圧印加、及
び信号出力用のリード線で、電極３より導出し、
保持部５を貫通している。
センサの構成を示すものである。第１図におい
て、１は湿度を検知するための感湿部、２は感湿
部を加熱するためのクリーニング用のヒータ、３
は湿度を電気信号に変換するための電極、４は感
湿部１、ヒータ２、電極３を収納した有底円筒状
の第１の筐体で、ヒータ２を取付けた円柱状の保
持部５で閉蓋されている。そして、この第１の筐
体は側面に縦方向へスリツト状の開口７を形成
し、感湿部１を雰囲気と直接接触させる。６は第
１の筐体４を包合した有底円筒状の第２の筐体
で、保持部５で底部が閉蓋され、また上部がキヤ
ツプ６ａで閉蓋され、側面を金網で形成してい
る。そして、この第２の筐体は幅が１mm以下の多
数の透孔８を形成している。上記保持部５は感湿
部１及びヒータ２を固定する。９は電圧印加、及
び信号出力用のリード線で、電極３より導出し、
保持部５を貫通している。
以上のように構成された湿度センサについて、
以下その動作について説明する。
以下その動作について説明する。
上記構成において、開口７を鉛直下向にして所
定置に設ければ、感湿部１及び電極３はその周囲
を第１、及び第２の筐体に覆われ、透孔８及び開
口７を通して雰囲気と接触し湿度を検知する。こ
のようにすれば雰囲気中の塩分粒子やホコリ等の
無機固体粒子、特に塩害等で寿命性能に影響を及
ぼす塩分粒子（海塩粒子）は、重く、重力沈降が
主体となり、水蒸気の如く拡散により移動できな
いため、無風状態では開口６から侵入しにくく、
感湿部１及び電極３に付着し難い。また有風の場
合も、感湿部１及び電極３が開口７より上部にあ
ること、さらに開口７がその立体角が1/10ステラ
ジアン以下で、しかも風向に対して片方しか設け
られず、第１の筐体４の通風しがたい構成となつ
ているなどの理由により、万一鉛直上方に風が吹
き上げても、感湿部１、及び電極３に付着し難
い。このように、いずれの状態にしろ感湿部１及
び電極３は前記無機固体粒子の付着を免れる。第
２図は上記構成の湿度センサに開口７に対し真横
より海水を0.55m／ｓ程度の風速で噴霧した苛酷
条件下での、前記第１の筐体の開口７の立体角と
センサの劣化量の関係を示した。図に示すごと
く、前記立体角を1/10以下にすることにより、た
とえ横向の風が吹いても、塩分粒子によるセンサ
の劣化を著しく低下させることができる。なお、
塩分除去の観点からは、この開口の面積が小さい
程有効であるといえるが、一方環境の変化に対す
る湿度センサの応答性を考えると、ある一定以上
の開口面積は必要となる。実用上、湿度センサの
応答性を10秒程度と考えると、開口サイズは１／
1000ステラジアンとなる。ところでタバコや油蒸
気等の有機物質が感湿部１や電極３に付着して、
センサが劣化した場合、ヒータ２を用いて前記有
機物を加熱除去し、劣化した特性を回復すること
ができる。しかし、何らかの原因でヒータが通電
状態で長時間放置され、第１の筐体４の表面温度
が100℃以上に過熱されることが考えられるが、
その場合、第２の筐体６で第１の筐体４を覆つて
いるため、本実施例の湿度センサの実質的な表面
温度は第２の筐体６の表面温度と見なすことがで
きる。
定置に設ければ、感湿部１及び電極３はその周囲
を第１、及び第２の筐体に覆われ、透孔８及び開
口７を通して雰囲気と接触し湿度を検知する。こ
のようにすれば雰囲気中の塩分粒子やホコリ等の
無機固体粒子、特に塩害等で寿命性能に影響を及
ぼす塩分粒子（海塩粒子）は、重く、重力沈降が
主体となり、水蒸気の如く拡散により移動できな
いため、無風状態では開口６から侵入しにくく、
感湿部１及び電極３に付着し難い。また有風の場
合も、感湿部１及び電極３が開口７より上部にあ
ること、さらに開口７がその立体角が1/10ステラ
ジアン以下で、しかも風向に対して片方しか設け
られず、第１の筐体４の通風しがたい構成となつ
ているなどの理由により、万一鉛直上方に風が吹
き上げても、感湿部１、及び電極３に付着し難
い。このように、いずれの状態にしろ感湿部１及
び電極３は前記無機固体粒子の付着を免れる。第
２図は上記構成の湿度センサに開口７に対し真横
より海水を0.55m／ｓ程度の風速で噴霧した苛酷
条件下での、前記第１の筐体の開口７の立体角と
センサの劣化量の関係を示した。図に示すごと
く、前記立体角を1/10以下にすることにより、た
とえ横向の風が吹いても、塩分粒子によるセンサ
の劣化を著しく低下させることができる。なお、
塩分除去の観点からは、この開口の面積が小さい
程有効であるといえるが、一方環境の変化に対す
る湿度センサの応答性を考えると、ある一定以上
の開口面積は必要となる。実用上、湿度センサの
応答性を10秒程度と考えると、開口サイズは１／
1000ステラジアンとなる。ところでタバコや油蒸
気等の有機物質が感湿部１や電極３に付着して、
センサが劣化した場合、ヒータ２を用いて前記有
機物を加熱除去し、劣化した特性を回復すること
ができる。しかし、何らかの原因でヒータが通電
状態で長時間放置され、第１の筐体４の表面温度
が100℃以上に過熱されることが考えられるが、
その場合、第２の筐体６で第１の筐体４を覆つて
いるため、本実施例の湿度センサの実質的な表面
温度は第２の筐体６の表面温度と見なすことがで
きる。
第３図は、直径Ｄmmφ、高さ30mmの密閉された
円筒の側面に巾１mm、長さ30mmのスリツト状の開
口を設け、その中に4.5Wのヒータを入れ、室温
25℃、風速０，05m／ｓ以下の雰囲気で連続的に
加熱をした場合の円筒表面飽和温度と円筒の直径
Dφの関係を示すものである。Dφ＝20mm以上にす
れば、表面温度を70℃以下とすることが可能とな
る。したがつて、加熱クリーニングの際、何らか
の原因で、第１の筐体の表面温度が100℃以上の
高温に過熱されても、側面に多数の透孔をする直
径20mmφ程度の第２の筐体６が記第１の筐体４を
覆つているため、センサの表面温度７０℃以下の
温度に制限できる。
円筒の側面に巾１mm、長さ30mmのスリツト状の開
口を設け、その中に4.5Wのヒータを入れ、室温
25℃、風速０，05m／ｓ以下の雰囲気で連続的に
加熱をした場合の円筒表面飽和温度と円筒の直径
Dφの関係を示すものである。Dφ＝20mm以上にす
れば、表面温度を70℃以下とすることが可能とな
る。したがつて、加熱クリーニングの際、何らか
の原因で、第１の筐体の表面温度が100℃以上の
高温に過熱されても、側面に多数の透孔をする直
径20mmφ程度の第２の筐体６が記第１の筐体４を
覆つているため、センサの表面温度７０℃以下の
温度に制限できる。
一方、雰囲気中の水蒸気は、無風状態でも拡散
により、透孔８及び開口７を通じて感湿部１に到
達し、吸着する。その際の吸着量に応じて、その
電気的特性を変化させる。その変化量をリード線
９を介して電圧印加された電極３により電気信号
に変換される。
により、透孔８及び開口７を通じて感湿部１に到
達し、吸着する。その際の吸着量に応じて、その
電気的特性を変化させる。その変化量をリード線
９を介して電圧印加された電極３により電気信号
に変換される。
以上の如く、本実施例の湿度センサは、雰囲気
中の無機固体粒子の付着を免がれ、また加熱クリ
ーニング時のセンサ外皮温度を常に70℃以下の温
度に制限し、安全性を保ちつつ雰囲気の湿度を検
出する。
中の無機固体粒子の付着を免がれ、また加熱クリ
ーニング時のセンサ外皮温度を常に70℃以下の温
度に制限し、安全性を保ちつつ雰囲気の湿度を検
出する。
なお、上記の一実施例では、第２の筐体６の側
面に透孔８を設けたが、第４図ａの如く、多数の
スリツト８ａを設けてもよい。また、第２の筐体
そのものを第４図ｂの如く、全体を網状にして透
孔８ｂを形成してもよい。
面に透孔８を設けたが、第４図ａの如く、多数の
スリツト８ａを設けてもよい。また、第２の筐体
そのものを第４図ｂの如く、全体を網状にして透
孔８ｂを形成してもよい。
また、上記実施例の開口７及び透孔８を1m／
ｍにすることにより、第１，２の筐体に防爆性が
付与され、センサ全体として２重の防爆構造を持
つことになり、加熱クリーニング時に、周囲に引
火性物質が存在しても、爆発の危険を免がれるこ
とができる。
ｍにすることにより、第１，２の筐体に防爆性が
付与され、センサ全体として２重の防爆構造を持
つことになり、加熱クリーニング時に、周囲に引
火性物質が存在しても、爆発の危険を免がれるこ
とができる。
発明の効果
以上のように、本発明は感湿部及び電極を感湿
部からの立体角が1/10〜1/1000の範囲にある開口
を有する第一の筐体に収納し、さらに前記第一の
筐体を包含する多数の透孔を有する第２の筐体を
設けることにより、塩分粒子やホコリ等の無機固
体粒子の感湿部や電極への付着によるセンサの劣
化を防止できる。第２の筐体に設けられた透孔の
巾を１mm以下とすることにより、センサの表面温
度を70℃以下に保持し、しかも防爆構造が筐体に
付与され、加熱クリーニング時に火災や爆発が防
止でき、使用上の安全性が確保できる。
部からの立体角が1/10〜1/1000の範囲にある開口
を有する第一の筐体に収納し、さらに前記第一の
筐体を包含する多数の透孔を有する第２の筐体を
設けることにより、塩分粒子やホコリ等の無機固
体粒子の感湿部や電極への付着によるセンサの劣
化を防止できる。第２の筐体に設けられた透孔の
巾を１mm以下とすることにより、センサの表面温
度を70℃以下に保持し、しかも防爆構造が筐体に
付与され、加熱クリーニング時に火災や爆発が防
止でき、使用上の安全性が確保できる。
第１図ａは本発明の一実施例における湿度セン
サの構成を示す一部破断の縦断面図、第１図ｂは
第１図ａの横断面図、第２図は本実施例の湿度セ
ンサに海水噴霧した場合の開口の立体角とセンサ
の劣化量の関係を示すグラフ、第３図は連続加熱
した場合のスリツト付の円筒の直径Dφと表面飽
和温度の関係を示すグラフ、第４図ａ，ｂは、第
１図における第２の筐体、及び透孔の他の例を示
す側面図、第５図ａは従来の加熱クリーニング型
の湿度センサの構成を示す一部破断の縦断面図、
第５図ｂは第５図ａの横断面図である。 １……感湿部、２……ヒータ、３……電極、４
……第１筐体、５……開口、６……第２筐体、８
……透孔。
サの構成を示す一部破断の縦断面図、第１図ｂは
第１図ａの横断面図、第２図は本実施例の湿度セ
ンサに海水噴霧した場合の開口の立体角とセンサ
の劣化量の関係を示すグラフ、第３図は連続加熱
した場合のスリツト付の円筒の直径Dφと表面飽
和温度の関係を示すグラフ、第４図ａ，ｂは、第
１図における第２の筐体、及び透孔の他の例を示
す側面図、第５図ａは従来の加熱クリーニング型
の湿度センサの構成を示す一部破断の縦断面図、
第５図ｂは第５図ａの横断面図である。 １……感湿部、２……ヒータ、３……電極、４
……第１筐体、５……開口、６……第２筐体、８
……透孔。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 電極を有する感湿部と該感湿部の加熱部と、
前記感湿部及び加熱部の保持部と、該保持部と結
合し、前記感湿部及び加熱部を内包する第一の筐
体と、前記第１の筐体の内外を結ぶ開口を前記第
１の筐体の一方向の側面に設け、前記開口を前記
感湿部からの立体角が１／10ステラジアンを越え
ない大きさに設け、の前記第一の筐体を包含し多
数個の透孔を有する第２の筐体とからなる湿度セ
ンサ。 ２ 第２湿度センサが網状である特許請求の範囲
第１項記載の湿度センサ。 ３ 第２筐体の透孔がスリツトで構成される特許
請求の範囲第１項記載の湿度センサ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59128058A JPS617456A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 湿度センサ |
| DE8585903047T DE3579686D1 (de) | 1984-06-21 | 1985-06-18 | Feuchtigkeitsfuehler. |
| US06/834,308 US4737707A (en) | 1984-06-21 | 1985-06-18 | Humidity sensor |
| EP85903047A EP0191106B1 (en) | 1984-06-21 | 1985-06-18 | Humidity sensor |
| PCT/JP1985/000342 WO1986000409A1 (fr) | 1984-06-21 | 1985-06-18 | Capteur d'humidite |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59128058A JPS617456A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 湿度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS617456A JPS617456A (ja) | 1986-01-14 |
| JPH0554624B2 true JPH0554624B2 (ja) | 1993-08-13 |
Family
ID=14975432
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59128058A Granted JPS617456A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS617456A (ja) |
-
1984
- 1984-06-21 JP JP59128058A patent/JPS617456A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS617456A (ja) | 1986-01-14 |
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