JPH0554798A - ブラツクマトリクス型カラー受像管の蛍光面形成方法 - Google Patents
ブラツクマトリクス型カラー受像管の蛍光面形成方法Info
- Publication number
- JPH0554798A JPH0554798A JP21188191A JP21188191A JPH0554798A JP H0554798 A JPH0554798 A JP H0554798A JP 21188191 A JP21188191 A JP 21188191A JP 21188191 A JP21188191 A JP 21188191A JP H0554798 A JPH0554798 A JP H0554798A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- black matrix
- picture tube
- color picture
- type color
- photoresist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ブラックマトリクスホール及びストライプ形状
に優れ、ざらつきがなく、質感の高いブラックマトリク
スを有するブラックマトリクス型カラー受像管の蛍光面
形成方法を提供すること。 【構成】上記目的は、水溶性アジド化ポリマーを感光剤
とするホトレジストを用いたブラックマトリクス型カラ
ー受像管のブラックマトリクス膜形成において、ホトレ
ジスト現像工程の温純水スプレー現像処理の中間あるい
は現像処理終了後にパネル内面の有効面をアルカリ水溶
液を用いてリンスすることによって達成することができ
る。
に優れ、ざらつきがなく、質感の高いブラックマトリク
スを有するブラックマトリクス型カラー受像管の蛍光面
形成方法を提供すること。 【構成】上記目的は、水溶性アジド化ポリマーを感光剤
とするホトレジストを用いたブラックマトリクス型カラ
ー受像管のブラックマトリクス膜形成において、ホトレ
ジスト現像工程の温純水スプレー現像処理の中間あるい
は現像処理終了後にパネル内面の有効面をアルカリ水溶
液を用いてリンスすることによって達成することができ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はホトリソグラフ法を用い
てブラックマトリクス膜を形成するブラックマトリクス
型カラー受像管の蛍光面形成に係り、特に、ブラックマ
トリクスホール及びストライプ形状に優れ、ざらつきが
なく、質感の高いブラックマトリクスを有するブラック
マトリクス型カラー受像管の蛍光面形成方法に関する。
てブラックマトリクス膜を形成するブラックマトリクス
型カラー受像管の蛍光面形成に係り、特に、ブラックマ
トリクスホール及びストライプ形状に優れ、ざらつきが
なく、質感の高いブラックマトリクスを有するブラック
マトリクス型カラー受像管の蛍光面形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】カラー映像表示に用いるカラー受像管
は、映像スクリーンであるパネル部、電子銃を収容する
ネック部、およびパネル部とネック部を連結するファン
ネル部とから構成され、上記ファンネル部分には電子銃
から発射された電子ビームをパネル内面に塗布形成され
た蛍光面上を走査させる偏向装置が装着される。
は、映像スクリーンであるパネル部、電子銃を収容する
ネック部、およびパネル部とネック部を連結するファン
ネル部とから構成され、上記ファンネル部分には電子銃
から発射された電子ビームをパネル内面に塗布形成され
た蛍光面上を走査させる偏向装置が装着される。
【０００３】上記ネック部内に収容される電子銃は、カ
ソード電極、制御電極、集束電極、加速電極等の各種の
電極を備え、カソード電極からの電子ビームを制御電極
に印加される信号で変調し、集束電極、加速電極を通し
て所要の断面形状とエネルギーを付与して、上記蛍光面
に射突させる。電子ビームは、電子銃から蛍光面に達す
る途上において、ファンネル部に設けた前記偏向装置に
より、水平方向、垂直方向の偏向を受けることで、蛍光
面上に映像を形成するものである。
ソード電極、制御電極、集束電極、加速電極等の各種の
電極を備え、カソード電極からの電子ビームを制御電極
に印加される信号で変調し、集束電極、加速電極を通し
て所要の断面形状とエネルギーを付与して、上記蛍光面
に射突させる。電子ビームは、電子銃から蛍光面に達す
る途上において、ファンネル部に設けた前記偏向装置に
より、水平方向、垂直方向の偏向を受けることで、蛍光
面上に映像を形成するものである。
【０００４】現在、カラー受像管は、蛍光体層の間隙に
黒色物質を配置して画面のコントラストを向上させたい
わゆるブラックマトリクス型カラー受像管が主流となっ
ているが、このブラックマトリクス型カラー受像管の蛍
光面は、通常、まず水溶性ホトレジストを用いたホトリ
ソグラフ法によりブラックマトリクス膜を形成し、次い
で所定の位置に緑、青、赤の蛍光体層を露光により付着
させることによって形成される。
黒色物質を配置して画面のコントラストを向上させたい
わゆるブラックマトリクス型カラー受像管が主流となっ
ているが、このブラックマトリクス型カラー受像管の蛍
光面は、通常、まず水溶性ホトレジストを用いたホトリ
ソグラフ法によりブラックマトリクス膜を形成し、次い
で所定の位置に緑、青、赤の蛍光体層を露光により付着
させることによって形成される。
【０００５】ブラックマトリクス膜形成に用いられる水
溶性ホトレジストとしては、ポリビニルアルコールに感
光剤として重クロム酸アンモニウムや重クロム酸ナトリ
ウムなどを用いた相反則型ホトレジストと、ポリビニル
ピロリドン及びポリアクリルアミドの混合液やポリアク
リルアミドとジアセトンアクリルアミドとの共重合体に
ビスアジドを感光剤として添加した相反則不軌型ホトレ
ジストとがある。相反則不軌型ホトレジストは、光学的
に、シャドウマスク孔径よりも小さなブラックマトリク
スホール及びストライプを形成することができるという
特徴を有する。
溶性ホトレジストとしては、ポリビニルアルコールに感
光剤として重クロム酸アンモニウムや重クロム酸ナトリ
ウムなどを用いた相反則型ホトレジストと、ポリビニル
ピロリドン及びポリアクリルアミドの混合液やポリアク
リルアミドとジアセトンアクリルアミドとの共重合体に
ビスアジドを感光剤として添加した相反則不軌型ホトレ
ジストとがある。相反則不軌型ホトレジストは、光学的
に、シャドウマスク孔径よりも小さなブラックマトリク
スホール及びストライプを形成することができるという
特徴を有する。
【０００６】また、近年、カラー受像管は画面の大型化
及び蛍光面の微細化が進んで露光照度が低下する傾向に
あり、ホトレジストの高感度化が必要となってきてい
る。ホトレジストの高感度化については、これまでにも
種々検討が進められてきているが、最近、相反則不軌型
ホトレジストの感光剤としてアジド基を有するポリマー
を用いることによって、相反則不軌特性を変えることな
くホトレジストを高感度化する方法が提案されている
(特開平1‐302348号公報)。
及び蛍光面の微細化が進んで露光照度が低下する傾向に
あり、ホトレジストの高感度化が必要となってきてい
る。ホトレジストの高感度化については、これまでにも
種々検討が進められてきているが、最近、相反則不軌型
ホトレジストの感光剤としてアジド基を有するポリマー
を用いることによって、相反則不軌特性を変えることな
くホトレジストを高感度化する方法が提案されている
(特開平1‐302348号公報)。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術に示されているような水溶性のアジド化ポリマー
を感光剤とする高感度ホトレジストを用いてブラックマ
トリクス膜を形成した場合には、ブラックマトリクスホ
ール及びストライプの形状が悪く、透過率に微小なゆら
ぎを生じるため、ブラックマトリクス膜がざらついて見
え、質感が損なわれるという欠点を有していることが認
められた。
来技術に示されているような水溶性のアジド化ポリマー
を感光剤とする高感度ホトレジストを用いてブラックマ
トリクス膜を形成した場合には、ブラックマトリクスホ
ール及びストライプの形状が悪く、透過率に微小なゆら
ぎを生じるため、ブラックマトリクス膜がざらついて見
え、質感が損なわれるという欠点を有していることが認
められた。
【０００８】本発明の目的は、上記のような従来技術の
有していた課題を解決して、ブラックマトリクスホール
及びストライプ形状に優れ、ざらつきがなく、質感の高
いブラックマトリクスを有するブラックマトリクス型カ
ラー受像管の蛍光面形成方法を提供することにある。
有していた課題を解決して、ブラックマトリクスホール
及びストライプ形状に優れ、ざらつきがなく、質感の高
いブラックマトリクスを有するブラックマトリクス型カ
ラー受像管の蛍光面形成方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的は、水溶性アジ
ド化ポリマーを感光剤とするホトレジストを用いたブラ
ックマトリクス型カラー受像管のブラックマトリクス膜
形成において、ホトレジスト現像工程の温純水スプレー
現像処理の中間あるいは現像処理終了後にパネル内面の
有効面をアルカリ水溶液を用いてリンスすることによっ
て達成することができる。
ド化ポリマーを感光剤とするホトレジストを用いたブラ
ックマトリクス型カラー受像管のブラックマトリクス膜
形成において、ホトレジスト現像工程の温純水スプレー
現像処理の中間あるいは現像処理終了後にパネル内面の
有効面をアルカリ水溶液を用いてリンスすることによっ
て達成することができる。
【００１０】
【作用】上記技術は発明者等が実験的検討を重ねた結果
見出したものであるが、アルカリ水溶液リンスによる改
善の効果は次のような作用に基づくものである。
見出したものであるが、アルカリ水溶液リンスによる改
善の効果は次のような作用に基づくものである。
【００１１】すなわち、高感度ホトレジストに感光剤と
して用いるアジド化ポリマーは水よりもアルカリ性溶液
に良く溶解する性質を有しているため、温純水スプレー
現像で十分に洗い落すことができずに半影部に残ってい
る弱い露光硬化部をアルカリ性溶液によるリンスによっ
て洗浄除去することができ、これによってホトレジスト
の露光硬化部の境界がより鮮明に形成されることによる
ものである。
して用いるアジド化ポリマーは水よりもアルカリ性溶液
に良く溶解する性質を有しているため、温純水スプレー
現像で十分に洗い落すことができずに半影部に残ってい
る弱い露光硬化部をアルカリ性溶液によるリンスによっ
て洗浄除去することができ、これによってホトレジスト
の露光硬化部の境界がより鮮明に形成されることによる
ものである。
【００１２】
【実施例】以下、本発明によるブラックマトリクス型カ
ラー受像管の蛍光面形成方法について、実施例によって
具体的に説明する。
ラー受像管の蛍光面形成方法について、実施例によって
具体的に説明する。
【００１３】図１は本発明の蛍光面形成方法によって得
られたカラー受像管を示す概略構成図であって、１はパ
ネル部、２はファンネル面、３はネック部、４は蛍光面
(画面)、５はシャドウマスク、６は磁気シールド、７は
偏向ヨーク、11は電子銃、またＢcはセンタービーム、
Ｂsはサイドビームである。
られたカラー受像管を示す概略構成図であって、１はパ
ネル部、２はファンネル面、３はネック部、４は蛍光面
(画面)、５はシャドウマスク、６は磁気シールド、７は
偏向ヨーク、11は電子銃、またＢcはセンタービーム、
Ｂsはサイドビームである。
【００１４】また、パネル１の外表面には、必要により
反射、帯電を防止する例えば SnO2、In2O3等を含む薄膜
が一層または多層に形成されている。さらに、図示しな
いが、ファンネル２、ネック３の内表面には黒鉛などか
らなる内装導電膜が被着されており、導電膜としてはア
ーク抑制を目的として黒鉛に加えて二酸化チタン等を含
み抵抗値を制御している。
反射、帯電を防止する例えば SnO2、In2O3等を含む薄膜
が一層または多層に形成されている。さらに、図示しな
いが、ファンネル２、ネック３の内表面には黒鉛などか
らなる内装導電膜が被着されており、導電膜としてはア
ーク抑制を目的として黒鉛に加えて二酸化チタン等を含
み抵抗値を制御している。
【００１５】次に、図２は蛍光面４及びシャドウマスク
５の一例の詳細を示すもので、パネル部の内面に形成さ
れた蛍光面４は垂直方向に切目なく延在するブラックマ
トリクスストライプ224を多数水平方向に並列し、これ
らブラックマトリクスストライプ224間に夫々発光色が
異なり、かつ垂直方向全体に亘って切目なく延在する複
数の蛍光体ストライプ225R(赤)、225G(緑)、225B(青)を
水平方向に一定順序に多数配列しており、また前記パネ
ル内面に対応して曲面で前記蛍光面４に対応して配置さ
れ、前記垂直方向全体に亘って切目なく延在する蛍光体
ストライプ225に対応して垂直方向に細長く、かつ垂直
方向にブリッジ部229を介して多数分離形成されたスリ
ット状透孔228を水平方向に所定ピッチで列状に配列し
たシャドウマスク５を示す。
５の一例の詳細を示すもので、パネル部の内面に形成さ
れた蛍光面４は垂直方向に切目なく延在するブラックマ
トリクスストライプ224を多数水平方向に並列し、これ
らブラックマトリクスストライプ224間に夫々発光色が
異なり、かつ垂直方向全体に亘って切目なく延在する複
数の蛍光体ストライプ225R(赤)、225G(緑)、225B(青)を
水平方向に一定順序に多数配列しており、また前記パネ
ル内面に対応して曲面で前記蛍光面４に対応して配置さ
れ、前記垂直方向全体に亘って切目なく延在する蛍光体
ストライプ225に対応して垂直方向に細長く、かつ垂直
方向にブリッジ部229を介して多数分離形成されたスリ
ット状透孔228を水平方向に所定ピッチで列状に配列し
たシャドウマスク５を示す。
【００１６】また、蛍光面４の別の形状としては図３に
示すようにドット状の蛍光体ホール226R(赤)、226G
(緑)、226B(青)と、そのまわりを埋めるブラックマトリ
クス膜227とを有している。
示すようにドット状の蛍光体ホール226R(赤)、226G
(緑)、226B(青)と、そのまわりを埋めるブラックマトリ
クス膜227とを有している。
【００１７】また、前記シャドウマスク５としては、鋼
板材と、熱膨張係数の小さなアンバー材等で形成されて
いる。さらに、シャドウマスク５には、図示しないが、
熱膨張を抑制する例えばビスマス等が被覆される構成も
ある。また、スリット状透孔228に代えて丸孔の透孔も
用いられる。
板材と、熱膨張係数の小さなアンバー材等で形成されて
いる。さらに、シャドウマスク５には、図示しないが、
熱膨張を抑制する例えばビスマス等が被覆される構成も
ある。また、スリット状透孔228に代えて丸孔の透孔も
用いられる。
【００１８】（実施例１）まず、表１の組成により水溶
性アジド化ポリマーを感光剤とする高感度ホトレジスト
液を調製し、図１に示す34cm(14型) 0.39mmドットピッ
チ カラー受像管用パネル１に塗布、乾燥して、0.9μm
の厚さのホトレジスト膜を形成した。
性アジド化ポリマーを感光剤とする高感度ホトレジスト
液を調製し、図１に示す34cm(14型) 0.39mmドットピッ
チ カラー受像管用パネル１に塗布、乾燥して、0.9μm
の厚さのホトレジスト膜を形成した。
【００１９】
【表１】 ホトレジスト液組成
【００２０】次いで、上記パネル１にシャドウマスク５
を装着し、超高圧水銀灯を光源とした露光台上で露光照
度 0.4 W/m2の光を各色につき 20 秒ずつ３回照射し
て、緑、青、赤各蛍光体の付着すべき位置を露光した。
次に、シャドウマスク５をパネル１から外し、40℃の温
純水を用い、24.5×104 Paの圧力で 20 秒間スプレー現
像を行った後、0.1％のアンモニア水を用い棒ノズルで
パネル内面の有効面を10秒間リンスし、その後、再び温
純水スプレー現像を30秒間実施した。その後、濃度 5
重量％の黒鉛スラリー液を回転塗布、乾燥して黒鉛膜を
形成した後、H2O22.0％とアミド硫酸0.2％とを混合した
剥離液で60秒間処理し、さらに、40℃の温純水を用い、
34.3×104Paの圧力で60秒間スプレー現像して図３に示
すブラックマトリクス膜227を形成した。
を装着し、超高圧水銀灯を光源とした露光台上で露光照
度 0.4 W/m2の光を各色につき 20 秒ずつ３回照射し
て、緑、青、赤各蛍光体の付着すべき位置を露光した。
次に、シャドウマスク５をパネル１から外し、40℃の温
純水を用い、24.5×104 Paの圧力で 20 秒間スプレー現
像を行った後、0.1％のアンモニア水を用い棒ノズルで
パネル内面の有効面を10秒間リンスし、その後、再び温
純水スプレー現像を30秒間実施した。その後、濃度 5
重量％の黒鉛スラリー液を回転塗布、乾燥して黒鉛膜を
形成した後、H2O22.0％とアミド硫酸0.2％とを混合した
剥離液で60秒間処理し、さらに、40℃の温純水を用い、
34.3×104Paの圧力で60秒間スプレー現像して図３に示
すブラックマトリクス膜227を形成した。
【００２１】上記のブラックマトリクス膜227と、中間
のアルカリ処理を行わなかった以外同様にして作成した
ブラックマトリクス膜とについてホール形状を比較観察
したところ、後者のブラックマトリクスホールの境界部
に凹凸が多く認められるのに対して、前者ではこの凹凸
が少なく、ざらつきがなく、質感の高いブラックマトリ
クス膜であることが明瞭に認められた。
のアルカリ処理を行わなかった以外同様にして作成した
ブラックマトリクス膜とについてホール形状を比較観察
したところ、後者のブラックマトリクスホールの境界部
に凹凸が多く認められるのに対して、前者ではこの凹凸
が少なく、ざらつきがなく、質感の高いブラックマトリ
クス膜であることが明瞭に認められた。
【００２２】（実施例２）実施例１の場合と同一条件
で、アルカリの種類とアルカリ水溶液濃度とを下記範囲
で変えた場合についてブラックマトリクス膜を形成して
観察を行った所、何れの場合も実施例１の場合と同様な
効果が得られることが確認された。
で、アルカリの種類とアルカリ水溶液濃度とを下記範囲
で変えた場合についてブラックマトリクス膜を形成して
観察を行った所、何れの場合も実施例１の場合と同様な
効果が得られることが確認された。
【００２３】 アルカリの種類 濃度検討範囲 アンモニア水 … 0.0001〜5％ NaOH 水溶液 … 0.0001〜5％ KOH 水溶液 … 0.0001〜5％ （実施例３）実施例１および２においてはアルカリ水溶
液リンスを温純水現像の中間で行った例について説明し
たが、温純水スプレー現像50秒間終了後、実施例２のア
ルカリ水溶液を用いてリンスを行う工程を経てブラック
マトリクス膜を形成した場合にも、全く同様な効果が得
られた。
液リンスを温純水現像の中間で行った例について説明し
たが、温純水スプレー現像50秒間終了後、実施例２のア
ルカリ水溶液を用いてリンスを行う工程を経てブラック
マトリクス膜を形成した場合にも、全く同様な効果が得
られた。
【００２４】なお、上記のリンスに用いるアルカリの種
類は上記実施例記載の内容に限定されるものではない。
類は上記実施例記載の内容に限定されるものではない。
【００２５】
【発明の効果】以上述べてきたように、ブラックマトリ
クス型カラー受像管の蛍光面形成方法を本発明の方法と
することによって、従来技術の有していた課題を解決し
て、ブラックマトリクスホール及びストライプ形状に優
れ、ざらつきがなく、質感の高いブラックマトリクスを
有するブラックマトリクス型カラー受像管の蛍光面形成
方法を提供することができた。
クス型カラー受像管の蛍光面形成方法を本発明の方法と
することによって、従来技術の有していた課題を解決し
て、ブラックマトリクスホール及びストライプ形状に優
れ、ざらつきがなく、質感の高いブラックマトリクスを
有するブラックマトリクス型カラー受像管の蛍光面形成
方法を提供することができた。
【図１】本発明の蛍光面形成方法によって得られたカラ
ー受像管を示す概略構成図である。
ー受像管を示す概略構成図である。
【図２】図１の蛍光面及びシャドウマスクの一例の要部
を示す一部切欠斜視図である。
を示す一部切欠斜視図である。
【図３】図１の蛍光面の他の例の要部を示す平面図であ
る。
る。
１…パネル部、２…ファンネル部、３…ネック部、４…
蛍光面、５…シャドウマスク、224…ブラックマトリク
スストライプ、225R、225G、225B…蛍光体ストライプ、
226R、226G、226B…蛍光体ホール、227…ブラックマト
リクス膜、228…シャドウマスク透孔。
蛍光面、５…シャドウマスク、224…ブラックマトリク
スストライプ、225R、225G、225B…蛍光体ストライプ、
226R、226G、226B…蛍光体ホール、227…ブラックマト
リクス膜、228…シャドウマスク透孔。
Claims (1)
- 【請求項１】フェースプレートパネルの内表面にカラー
蛍光体のスクリーン及びこれを囲繞するブラックマトリ
クス膜が形成され、このスクリーンに対して隔離してカ
ラー選択用のシャドウマスクが配設されるように構成さ
れているブラックマトリクス型カラー受像管の蛍光面形
成における水溶性アジド化ポリマーを感光剤とするホト
レジストを用いたブラックマトリクス膜の形成におい
て、ホトレジスト現像工程の温純水スプレー現像処理の
中間あるいは現像処理終了後にパネル内面をアルカリ水
溶液を用いてリンスすることを特徴とするブラックマト
リクス型カラー受像管の蛍光面形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21188191A JPH0554798A (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | ブラツクマトリクス型カラー受像管の蛍光面形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21188191A JPH0554798A (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | ブラツクマトリクス型カラー受像管の蛍光面形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0554798A true JPH0554798A (ja) | 1993-03-05 |
Family
ID=16613174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21188191A Pending JPH0554798A (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | ブラツクマトリクス型カラー受像管の蛍光面形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0554798A (ja) |
-
1991
- 1991-08-23 JP JP21188191A patent/JPH0554798A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3917794A (en) | Method of pattern formation | |
| EP0707335B1 (en) | Method of forming a shadow mask | |
| US3663997A (en) | Method for making a kinescope comprising production and treatment of a temporary mask | |
| JPH0241861B2 (ja) | ||
| US3614504A (en) | Color picture tube screen with phosphors dots overlapping portions of a partial-digit-transmissive black-surround material | |
| US3882347A (en) | Color stripe cathode ray tube having bridged strip apertures | |
| US3362804A (en) | Method of making cathode ray tube with integral light trapping filter | |
| JPH0355021B2 (ja) | ||
| US3653901A (en) | Color kinescope production with a temporary mask | |
| US4960659A (en) | Method for preparing a shadow mask for a color picture tube | |
| JPH0554798A (ja) | ブラツクマトリクス型カラー受像管の蛍光面形成方法 | |
| US3767395A (en) | Multiple exposure color tube screening | |
| US3631576A (en) | Method of producing a color kinescope | |
| JPS6367308B2 (ja) | ||
| US3730719A (en) | Method and article for color kinescope screen and mask production | |
| JP2517007B2 (ja) | カラ―受像管用蛍光面 | |
| US4245019A (en) | Method for reducing pattern stripes in slotted mask screens for cathode ray tubes | |
| JPH09231914A (ja) | カラーブラウン管用シャドウマスクおよびその製造に用いられるフォトマスク | |
| KR100298386B1 (ko) | 칼라 음극선관의 형광막 제조방법 | |
| KR100194096B1 (ko) | 모아레 개선 음극선관 | |
| US20030059692A1 (en) | Method of manufacturing a matrix for cathode-ray tube | |
| JP3353582B2 (ja) | カラー陰極線管とその製造方法 | |
| KR100209649B1 (ko) | 칼라 음극선관의 스크린 제조방법 | |
| KR200155319Y1 (ko) | 칼라 음극선관 제작용 노광장치 | |
| JPH01187740A (ja) | カラー受像管用シャドウマスクおよびその製造方法 |