JPH0555277B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、平面研磨装置の定盤に研磨用パツド
を取付ける場合に、該パツドに予め研磨剤供給孔
を穿設する際の孔位置決定用の治具として、ま
た、該パツドを定盤に貼着する際の貼着用の治具
として好適に使用することのできる研磨用パツド
の穿孔兼取付用治具に関するものである。

［従来の技術］ 従来より公知の平面研磨装置として、第６図に
示すように、上下の定盤１，２と太陽歯車３、及
び内歯歯車４を備え、両歯車３，４で遊星歯車状
に駆動されるキヤリヤ５に保持させたワーク６を
上下の定盤１，２で研磨するようにしたものがあ
る。

かかる構成の平面研磨装置においては、上下の
定盤１，２の一方または研磨面にパツドを取付
け、このパツドによつてワークを研磨するように
しているが、該パツドの取付け、特に、パツドに
対する研磨材供給孔の穿設が非常に面倒であつ
た。即ち、従来では、無穿孔のパツドを定盤に貼
着し、パツドに対し、定盤に設けられている研磨
材供給孔と対応する位置にパツド側から供給孔を
穿設するようにしていたため、供給孔の位置決め
が非常に難しく、その穿設も困難であつた。特
に、上定盤にパツドを取付ける場合には、下から
見上げるようにしながらその貼着及び供給孔の穿
設を行わなければならないため、姿勢が非常に不
安定になつて正確な作業を行いにくいばかりでな
く、大重量の定盤の下での作業であることから、
安全性の面でも大きな問題があつた。

パツドに予め供給孔を設け、その後にこのパツ
ドを定盤に貼着するようにすると、その取付作業
が非常に容易になるが、その際には、パツドに対
して定盤に設けられている研磨材供給孔と正確に
対応するように供給孔を穿設しなければならない
ばかりでなく、該パツドを供給孔同士を正確に対
応させて定盤に貼着しなければならないため、そ
れらの位置決めが面倒で多くの手数を必要とする
ことになる。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の課題は、予め研磨剤供給孔を穿設した
パツドを定盤に取付けるに際し、該パツドに研磨
剤供給孔を穿設するための正確な孔位置の設定を
行うことができ、且つ、穿孔したパツドを供給孔
同士を正確に対応させた状態で定盤へ貼着させる
ことができる穿孔兼取付用治具を提供することに
ある。

［問題点を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本発明の穿孔兼取付
溶着治具は、円板状の基板に、定盤に設けられた
研磨剤供給孔に対応する多数の孔位置設定用の貫
通孔と、上記供給孔に挿入可能な複数の位置決め
用のピンとを設けたものとして構成したことを特
徴とするものである。

［作用］ パツドに研磨剤供給孔を穿設する場合には、該
パツド上に治具を重合させ、その孔位置設定用の
貫通孔に沿つて孔位置のけがきを行い、ポンチ等
の孔開け工具によつてけがきした位置に供給孔を
穿設する。

次に、上記パツドを、治具上に設けられている
位置決め用のピンを供給孔に挿通させた状態で該
治具上に載置し、該治具を、定盤き研磨剤供給孔
に上記ピンを挿入させた状態で定盤の研磨面に押
し付け、而して該パツドを定盤に貼着する。これ
によつて上記パツドは、供給孔同士が正確に対応
する状態で定盤へ貼着されることになる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照しながら詳
述する。

第１図及び第２図に示す穿孔兼取付用治具１０
は、金属板や合成樹脂板等により形成した円環状
の基板１１に，定盤に設けられている研磨剤供給
孔と対応する多数の孔位置設定用の貫通孔１２，
１２，…を円周方向に所定間隔で穿設すると共
に、上記定盤の供給孔に挿入可能な複数の位置決
め用のピン１３，１３，…を立設することにより
構成したもので、該ピン１３，１３，…は、上記
貫通孔１２と重合しない位置において、隣接する
２つの貫通孔１２，１２が基板１１の中心に対し
てなす角度θの整数倍の角度φで円周方向に配設
されている。

上記ピン１３は、ねじ止めや溶接等の適宜手段
によつて基板１１に固定することができ、また、
その本数は複数本であればよいが、２〜３本程度
が適当である。

次に、上記構成を有する治具１０の使用方法に
ついて説明する。

第３図に示すように、平面研磨装置の定盤に取
付けるための研磨用パツド１４が用意されると、
該パツド１４上に上記治具１０が重合され、貫通
孔１２に従つて孔位置のけがきが行われる。この
パツド１４には、その一面に定盤に貼着するため
の両面接着テープ１５が取付けられており、その
接着面には保護シートが被着されている。

このようにしてけがきが行われたパツド１４に
は、ポンチ等の孔開け工具によつて所定の位置に
供給孔１６が穿設される。

次に、穿設されたパツド１４は、第４図に示す
ように、治具１０上に設けられた位置決め用のピ
ン１３が供給孔１６に挿通するように接着面を外
にして該治具１０上に載置され、接着テープ上の
保護シートが剥離された後、第５図に示すよう
に、上記治具１０が、定盤１の研磨剤供給孔１８
にピン１３が挿入するように該定盤１の研磨面に
押し付けられ、パツド１４の貼着が行われる。こ
の時、上記ピン１３，１３，…は、隣接する２つ
の貫通孔１２，１２が基板１１の中心に対してな
す角度θの整数倍のφで円周方向に配設されてい
るため、これらのピン１３が定盤１の供給孔１８
に嵌入せしめられることにより、上記パツド１４
は、自動的に定盤１に対して供給孔１６，１８同
士が正確に対応した状態に位置決めされることに
なる。

［発明の効果］ このように、本発明の穿孔兼貼着用治具によれ
ば、研磨用パツドに定盤の研磨剤供給孔に対応す
る供給孔を正確に位置決めして穿設することがで
きるばかりでなく、穿孔したパツドを供給孔同士
が正確に対応する状態で定盤に貼着させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す正面図、第２
図はその断面図、第３図〜第５図は本発明の治具
の使用方法についての説明図、第６図は平面研磨
装置の構成を示す部分断面図である。 １０……治具、１１……基板、１２……貫通
孔、１３……ピン。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 円板状の基板に、定盤に設けられた研磨剤供
   給孔に対応する多数の孔位置設定用の貫通孔と、
   上記供給孔に挿入可能な複数の位置決め用のピン
   とを設けたことを特徴とする研磨用パツドの穿孔
   兼取付用治具。