JPH0560557B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0560557B2 JPH0560557B2 JP85291985A JP29198585A JPH0560557B2 JP H0560557 B2 JPH0560557 B2 JP H0560557B2 JP 85291985 A JP85291985 A JP 85291985A JP 29198585 A JP29198585 A JP 29198585A JP H0560557 B2 JPH0560557 B2 JP H0560557B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- deformable
- laser mirror
- workpiece fixing
- fixing device
- main body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば電子ビーム描画装置やステ
ツパ或いは精密測定機等における被処理物載置用
の高精度移動テーブル（ステージ）装置に関す
る。
ツパ或いは精密測定機等における被処理物載置用
の高精度移動テーブル（ステージ）装置に関す
る。
従来、前述の電子ビーム描画装置やステツパ或
いは精密測定機等に用いられる高精度移動テーブ
ル装置は、被処理物を載置固定して、Ｘ・Ｙ・
Ｚ・θ軸線方向（Ｘ・Ｙ軸線方向のみのものもあ
る）に移動して正確に位置決めするものである。
そのうちＸ・Ｙ軸線方向の移動・位置決めを行う
移動テーブル装置部の構成は、第５図及び第６図
に示す如く、最下段のベース１上にガイドウエイ
２を介してＸ軸線方向に直線的に往復移動自在な
Ｘテーブル３が設けられ、更にこのＸテーブル３
上にガイドウエイ４を介して該Ｘ軸線方向と直交
するＹ軸線方向に往復移動自在なＹテーブル５が
設けられて、このＹテーブル５の上面にホルダー
の如き被処理物固定具６が設けられている。そし
てこの固定具６に被処理物（図示せず）を載置セ
ツトした状態で、前記Ｘテーブル３及びＹテーブ
ル５が図示しない駆動手段により各々ガイドウエ
イ２，４に沿つて定められた方向に移動すること
で、該固定具６にセツトした被処理物をＸ−Ｙ両
軸線方向に移動できるようになつている。
いは精密測定機等に用いられる高精度移動テーブ
ル装置は、被処理物を載置固定して、Ｘ・Ｙ・
Ｚ・θ軸線方向（Ｘ・Ｙ軸線方向のみのものもあ
る）に移動して正確に位置決めするものである。
そのうちＸ・Ｙ軸線方向の移動・位置決めを行う
移動テーブル装置部の構成は、第５図及び第６図
に示す如く、最下段のベース１上にガイドウエイ
２を介してＸ軸線方向に直線的に往復移動自在な
Ｘテーブル３が設けられ、更にこのＸテーブル３
上にガイドウエイ４を介して該Ｘ軸線方向と直交
するＹ軸線方向に往復移動自在なＹテーブル５が
設けられて、このＹテーブル５の上面にホルダー
の如き被処理物固定具６が設けられている。そし
てこの固定具６に被処理物（図示せず）を載置セ
ツトした状態で、前記Ｘテーブル３及びＹテーブ
ル５が図示しない駆動手段により各々ガイドウエ
イ２，４に沿つて定められた方向に移動すること
で、該固定具６にセツトした被処理物をＸ−Ｙ両
軸線方向に移動できるようになつている。
またその上段のＹテーブル５上面にはＸ・Ｙ軸
線方向の位置測定用の平面Ｌ形をしたレーザミラ
ー７が取付けられ、このレーザミラー７と図示し
ないが別途定盤等に固定したレーザ干渉計との間
でのレーザ値の変化量をもつてＸ・Ｙ軸線方向の
移動距離を算出し、これにて位置測定しながら被
処理物を正確に位置決めするようにＸテーブル３
及びＹテーブル５の移動制御を行うようになつて
いる。
線方向の位置測定用の平面Ｌ形をしたレーザミラ
ー７が取付けられ、このレーザミラー７と図示し
ないが別途定盤等に固定したレーザ干渉計との間
でのレーザ値の変化量をもつてＸ・Ｙ軸線方向の
移動距離を算出し、これにて位置測定しながら被
処理物を正確に位置決めするようにＸテーブル３
及びＹテーブル５の移動制御を行うようになつて
いる。
ところで、こうした従来の装置では、前述の如
くＹテーブル５上面に直接被処理物固定具６と共
に位置測定用のレーザミラー７を取付け、その被
処理物固定具６とレーザミラーとの間の距離は変
動しないものとして、該レーザミラー７と別途固
定のレーサ干渉計との間でのレーザ値の変化量か
ら移動距離を計算処理して位置測定している。し
かし前記Ｙテーブル５が移動の際などに変形を生
じると、被処理物固定具６とレーザミラー７との
間の距離が変動し、その分だけ位置測定値に誤差
が生じて、これが精度低下の原因となり、高精度
な移動テーブル装置としては好ましくない問題が
あつた。
くＹテーブル５上面に直接被処理物固定具６と共
に位置測定用のレーザミラー７を取付け、その被
処理物固定具６とレーザミラーとの間の距離は変
動しないものとして、該レーザミラー７と別途固
定のレーサ干渉計との間でのレーザ値の変化量か
ら移動距離を計算処理して位置測定している。し
かし前記Ｙテーブル５が移動の際などに変形を生
じると、被処理物固定具６とレーザミラー７との
間の距離が変動し、その分だけ位置測定値に誤差
が生じて、これが精度低下の原因となり、高精度
な移動テーブル装置としては好ましくない問題が
あつた。
つまり、被処理物固定具６をＸ・Ｙ軸線方向に
移動せしめる際に、各テーブルのガイドウエイ
２，４の加工精度や、各テーブル３，５のガイド
ウエイ取付面の加工精度や、テーブル移動による
重量バランスの変化等から、プリロード変動等が
起り、Ｙテーブル５に歪みなどの変形が発生す
る。これにより該Ｙテーブル５の被処理物固定具
６及びレーザミラー７の取付面（上側表面）に引
張り又は圧縮現象が起きて伸縮が生じ、被処理物
固定具６とレーザミラー７との間の距離が変動し
て位置測定値の誤差となる。特に電子ビーム描画
装置においては前記テーブルは通常非磁性体であ
る必要からアルミニウム製などの剛性の低い材料
で作られているので、移動の際に変形が起き易
い。そのテーブル表面の伸縮による被処理物固定
具６とレーザミラー７との間の距離変動が0.05μ
ｍ程度となると、位置精度が3σで0.1μｍ以下等に
要求されているこの種の高精度移動テーブル装置
ではもはや無視できない状況となつて来ている。
移動せしめる際に、各テーブルのガイドウエイ
２，４の加工精度や、各テーブル３，５のガイド
ウエイ取付面の加工精度や、テーブル移動による
重量バランスの変化等から、プリロード変動等が
起り、Ｙテーブル５に歪みなどの変形が発生す
る。これにより該Ｙテーブル５の被処理物固定具
６及びレーザミラー７の取付面（上側表面）に引
張り又は圧縮現象が起きて伸縮が生じ、被処理物
固定具６とレーザミラー７との間の距離が変動し
て位置測定値の誤差となる。特に電子ビーム描画
装置においては前記テーブルは通常非磁性体であ
る必要からアルミニウム製などの剛性の低い材料
で作られているので、移動の際に変形が起き易
い。そのテーブル表面の伸縮による被処理物固定
具６とレーザミラー７との間の距離変動が0.05μ
ｍ程度となると、位置精度が3σで0.1μｍ以下等に
要求されているこの種の高精度移動テーブル装置
ではもはや無視できない状況となつて来ている。
また前記Ｙテーブル５の変形によりレーザミラ
ー７を取付けている表面が伸縮すると、該レーザ
ミラー７の平面度が単体時λ／20〜λ／10程度の
ものが悪化されて、移動位置の測定誤差を招き、
装置の精度低下の要因となつている。
ー７を取付けている表面が伸縮すると、該レーザ
ミラー７の平面度が単体時λ／20〜λ／10程度の
ものが悪化されて、移動位置の測定誤差を招き、
装置の精度低下の要因となつている。
なお、第５図に示す如く、Ｙテーブル５の一部
に断面縦割にスリツト８を設けて、これにて前記
ガイドウエイ４とテーブル３，５の加工誤差を吸
収して、Ｙテーブル５の変形を減ずる効果を得よ
うとしたものがあるが、これはいわゆる弾性を利
用したスプリングプリロードと称するもので、ス
リツト８を設けた部分が低剛性となるので振動に
対して弱い問題があり、又そこを高剛性に近づけ
るとＹテーブル５を歪ませる問題となつて、いず
れにしても精度向上にはあまり役立つていない問
題があつた。
に断面縦割にスリツト８を設けて、これにて前記
ガイドウエイ４とテーブル３，５の加工誤差を吸
収して、Ｙテーブル５の変形を減ずる効果を得よ
うとしたものがあるが、これはいわゆる弾性を利
用したスプリングプリロードと称するもので、ス
リツト８を設けた部分が低剛性となるので振動に
対して弱い問題があり、又そこを高剛性に近づけ
るとＹテーブル５を歪ませる問題となつて、いず
れにしても精度向上にはあまり役立つていない問
題があつた。
この発明はそうした従来の問題を解決して、移
動に伴いテーブルが変形しても、該テーブル上の
被処理物固定具と位置測定用のレーザミラーとの
間の距離の変動を大幅に低減できて、正確な位置
測定が可能となる高精度の移動テーブル装置を提
供することを目的とする。
動に伴いテーブルが変形しても、該テーブル上の
被処理物固定具と位置測定用のレーザミラーとの
間の距離の変動を大幅に低減できて、正確な位置
測定が可能となる高精度の移動テーブル装置を提
供することを目的とする。
この発明の高精度テーブル装置は、上記目的を
達成するために、ガイドウエイを介して移動する
テーブル本体の上部に該テーブル本体の面積より
十分小さい面積の部分的結合部を除いてテーブル
本体の変形時に非変形テーブルとの接触を避ける
〓間を設け、この非変形テーブル上に位置測定用
レーザミラー及び被処理物固定具を取付けて構成
したものである。
達成するために、ガイドウエイを介して移動する
テーブル本体の上部に該テーブル本体の面積より
十分小さい面積の部分的結合部を除いてテーブル
本体の変形時に非変形テーブルとの接触を避ける
〓間を設け、この非変形テーブル上に位置測定用
レーザミラー及び被処理物固定具を取付けて構成
したものである。
［作用］
上記構成により、ガイドウエイを介して移動さ
せられるテーブル本体が該ガイドウエイやその取
付面等の加工精度などにより変形を生じても、そ
のテーブル本体の変形はこの上部に部分的結合に
より設けた非変形テーブルには殆ど伝わらず、こ
れにて該非変形テーブル上に取付けた被処理物固
定具と位置測定用レーザミラーとの間の距離が従
来のように変動することが無くなり、位置の測定
誤差が非常に少なくなつて大幅な精度の向上が図
れるようになる。
せられるテーブル本体が該ガイドウエイやその取
付面等の加工精度などにより変形を生じても、そ
のテーブル本体の変形はこの上部に部分的結合に
より設けた非変形テーブルには殆ど伝わらず、こ
れにて該非変形テーブル上に取付けた被処理物固
定具と位置測定用レーザミラーとの間の距離が従
来のように変動することが無くなり、位置の測定
誤差が非常に少なくなつて大幅な精度の向上が図
れるようになる。
［実施例］
以下この発明の一実施例を第１図及び第２図に
より説明する。なお図中前述した第５図及び第６
図のものと同一構成をなすものには同一符号を付
して説明の簡略化を図ることにする。しかして図
中１０はＸテーブル３上にガイドウエイ４を介し
てＹ軸線方向に往復移動可能に設けられたＹテー
ブル本体で、このＹテーブル本体１０の上部には
非変形テーブル１１が下面中央部のみにて部分的
結合されて設けられている。即ち、従来のものと
略同様の厚みのＹテーブル本体１０上にこれより
やや薄い板状をなした非変形テーブル１１が中央
の部分的結合部１２のみにて一体に結合して成形
されている。なおそのＹテーブル本体１０の上面
と非変形テーブル１１の下面との間には前記中央
の部分的結合部１２を除いて〓間１３が切削等に
より形成されている。この〓間１３の巾ｔはＹテ
ーブル本体１０が変形した時に非変形テーブル１
１の下面に接触しない程度とされている。こうし
たＹテーブル本体１０上の非変形テーブル１１上
面に被処理物固定具６と位置測定用のレーザミラ
ー７とが取付け固定されている。
より説明する。なお図中前述した第５図及び第６
図のものと同一構成をなすものには同一符号を付
して説明の簡略化を図ることにする。しかして図
中１０はＸテーブル３上にガイドウエイ４を介し
てＹ軸線方向に往復移動可能に設けられたＹテー
ブル本体で、このＹテーブル本体１０の上部には
非変形テーブル１１が下面中央部のみにて部分的
結合されて設けられている。即ち、従来のものと
略同様の厚みのＹテーブル本体１０上にこれより
やや薄い板状をなした非変形テーブル１１が中央
の部分的結合部１２のみにて一体に結合して成形
されている。なおそのＹテーブル本体１０の上面
と非変形テーブル１１の下面との間には前記中央
の部分的結合部１２を除いて〓間１３が切削等に
より形成されている。この〓間１３の巾ｔはＹテ
ーブル本体１０が変形した時に非変形テーブル１
１の下面に接触しない程度とされている。こうし
たＹテーブル本体１０上の非変形テーブル１１上
面に被処理物固定具６と位置測定用のレーザミラ
ー７とが取付け固定されている。
而して、上述した構成であれば、被処理物固定
具６をＸ・Ｙ軸線方向に移動せしめる際に、各テ
ーブルのガイドウエイ２，４の加工精度や、Ｘテ
ーブル３及びＹテーブル本体１０のガイドウエイ
取付面の加工精度や、テーブル移動による重量バ
ランスの変化等から、プリロード変動等が起つ
て、Ｙテーブル本体１０に歪みなどの変形が発生
しても、その中央の狭い断面積の部分的結合部１
２のみで結合している非変形テーブル１１には該
Ｙテーブル本体１０の変形がそのままに伝わるこ
とが無く、即ちＹテーブル本体１０の変形は部分
的結合部１２以外の部分からは一切非変形テーブ
ル１１に対して影響を与えることが無い。従つて
非変形テーブル１１の変形は殆ど無く、この上面
に取付けられている被処理物固定具６とレーザミ
ラー７との間の距離の変動は略零となり、これに
てＸ及びＹ軸線方向の移動の位置測定値に誤差が
生じるようなことなく、装置の精度向上が可能と
なる。
具６をＸ・Ｙ軸線方向に移動せしめる際に、各テ
ーブルのガイドウエイ２，４の加工精度や、Ｘテ
ーブル３及びＹテーブル本体１０のガイドウエイ
取付面の加工精度や、テーブル移動による重量バ
ランスの変化等から、プリロード変動等が起つ
て、Ｙテーブル本体１０に歪みなどの変形が発生
しても、その中央の狭い断面積の部分的結合部１
２のみで結合している非変形テーブル１１には該
Ｙテーブル本体１０の変形がそのままに伝わるこ
とが無く、即ちＹテーブル本体１０の変形は部分
的結合部１２以外の部分からは一切非変形テーブ
ル１１に対して影響を与えることが無い。従つて
非変形テーブル１１の変形は殆ど無く、この上面
に取付けられている被処理物固定具６とレーザミ
ラー７との間の距離の変動は略零となり、これに
てＸ及びＹ軸線方向の移動の位置測定値に誤差が
生じるようなことなく、装置の精度向上が可能と
なる。
また前記Ｙテーブル本体１０が変形しても非変
形テーブル１１のレーザミラー７を取付けている
表面が変形するようなことが無いので、該レーザ
ミラー７の平面度が悪化して位置測定の精度低下
を招くようなこともなくなる。
形テーブル１１のレーザミラー７を取付けている
表面が変形するようなことが無いので、該レーザ
ミラー７の平面度が悪化して位置測定の精度低下
を招くようなこともなくなる。
なお、この発明は上記実施例のみに限定される
ことはない。例えば上記実施例のものにおいてＸ
テーブル本体１０に対する非変形テーブル１１の
部分的結合部１２は両者の中央部に四角形状とし
たが、それ以外に横断面円形状でも可であり、ま
た第３図に示した如くＹテーブル本体に対してこ
の移動方向（Ｙ軸線方向）に長く帯状に亘る部分
的結合部１２Ａで非変形テーブル１１を結合して
も同様の効果が得られる。
ことはない。例えば上記実施例のものにおいてＸ
テーブル本体１０に対する非変形テーブル１１の
部分的結合部１２は両者の中央部に四角形状とし
たが、それ以外に横断面円形状でも可であり、ま
た第３図に示した如くＹテーブル本体に対してこ
の移動方向（Ｙ軸線方向）に長く帯状に亘る部分
的結合部１２Ａで非変形テーブル１１を結合して
も同様の効果が得られる。
更には、第４図に示す如く、互いに別体に成形
したＹテーブル本体１０Ｂと板状非変形テーブル
１１Ｂとを上下に重ねて、その相互の中央部付近
にその少なくとも一方から突出した凸状部を部分
的結合部１２Ｂとして、そこで数本のボルト１４
或いはその他接着等により両者結合して構成して
も良い。この場合も該ボルト１４による部分的結
合部１２Ｂ以外は相互間に〓間１３Ｂを存するよ
うになす。こうした構成のものでも前述したと同
様な効果が得られる。
したＹテーブル本体１０Ｂと板状非変形テーブル
１１Ｂとを上下に重ねて、その相互の中央部付近
にその少なくとも一方から突出した凸状部を部分
的結合部１２Ｂとして、そこで数本のボルト１４
或いはその他接着等により両者結合して構成して
も良い。この場合も該ボルト１４による部分的結
合部１２Ｂ以外は相互間に〓間１３Ｂを存するよ
うになす。こうした構成のものでも前述したと同
様な効果が得られる。
また、前述した非変形テーブル１１，１１Ｂを
熱膨張係数の小さい材料とすれば、熱変形の影響
も減らすことができ、更に剛性の高い材質とすれ
ばより一層の高精度なものとなせる。
熱膨張係数の小さい材料とすれば、熱変形の影響
も減らすことができ、更に剛性の高い材質とすれ
ばより一層の高精度なものとなせる。
［発明の効果］
この発明は上述した如く、ガイドウエイを介し
て移動するテーブル本体の上部に該テーブル本体
の面積より十分小さい面積の部分的結合部を介し
て非変形テーブルを設けると共に、前記テーブル
本体と非変形テーブルとの間に部分的結合を除い
てテーブル本体の変形時に非変形テーブルとの接
触を避ける〓間を設け、この非変形テーブル上に
位置測定用レーザミラー及び被処理物固定具を取
付けた構成としたから、テーブル本体が移動に伴
いガイドウエイやその取付面等の加工精度などに
より変形を生じても、そのテーブル本体の変形は
この上部に部分的結合により設けた非変形テーブ
ルには殆ど伝わらず、これにて該非変形テーブル
上に取付けた被処理物固定具と位置測定用レーザ
ミラーとの間の距離が従来のように変動すること
が無くなり、位置の測定誤差が非常に少なくなつ
て大幅な精度の向上が図れる非常に高精度の移動
テーブル装置となる。
て移動するテーブル本体の上部に該テーブル本体
の面積より十分小さい面積の部分的結合部を介し
て非変形テーブルを設けると共に、前記テーブル
本体と非変形テーブルとの間に部分的結合を除い
てテーブル本体の変形時に非変形テーブルとの接
触を避ける〓間を設け、この非変形テーブル上に
位置測定用レーザミラー及び被処理物固定具を取
付けた構成としたから、テーブル本体が移動に伴
いガイドウエイやその取付面等の加工精度などに
より変形を生じても、そのテーブル本体の変形は
この上部に部分的結合により設けた非変形テーブ
ルには殆ど伝わらず、これにて該非変形テーブル
上に取付けた被処理物固定具と位置測定用レーザ
ミラーとの間の距離が従来のように変動すること
が無くなり、位置の測定誤差が非常に少なくなつ
て大幅な精度の向上が図れる非常に高精度の移動
テーブル装置となる。
第１図はこの発明の一実施例を示す一部断面し
た側面図、第２図は第１図の平面図、第３図はこ
の発明の他の実施例を示す平面図、第４図はこの
発明の更に他の実施例を示す一部断面した側面
図、第５図は従来例を示す側面図、第６図は同従
来例の平面図である。 １……ベース、２，４……ガイドウエイ、３…
…Ｘテーブ、５……Ｙテーブル、１０……Ｙテー
ブル本体、６……被処理物固定具、７……位置測
定用レーザミラー、１１，１１Ｂ……非変形テー
ブル、１２，１２Ａ，１２Ｂ……部分的結合部、
１３，１３Ｂ……〓間。
た側面図、第２図は第１図の平面図、第３図はこ
の発明の他の実施例を示す平面図、第４図はこの
発明の更に他の実施例を示す一部断面した側面
図、第５図は従来例を示す側面図、第６図は同従
来例の平面図である。 １……ベース、２，４……ガイドウエイ、３…
…Ｘテーブ、５……Ｙテーブル、１０……Ｙテー
ブル本体、６……被処理物固定具、７……位置測
定用レーザミラー、１１，１１Ｂ……非変形テー
ブル、１２，１２Ａ，１２Ｂ……部分的結合部、
１３，１３Ｂ……〓間。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 少なくとも一軸方向に移動可能なテーブル上
に位置測定用レーザミラー及び被処理物固定具が
備えられてなる高精度移動テーブルにおいて、ガ
イドウエイを介して移動するテーブル本体の上部
に該テーブル本体の面積より十分小さい面積の部
分的結合部を介して非変形テーブルを設けると共
に、前記テーブル本体と非変形テーブルとの間に
部分的結合部を除いてテーブル本体の変形時に非
変形テーブルとの接触を避ける〓間を設け、この
非変形テーブル上に位置測定用レーザミラー及び
被処理物固定具を取付けて構成したことを特徴と
する高精度移動テーブル装置。 ２ 非変形テーブルはテーブル本体及び部分的結
合部と一体に成形されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の高精度移動テーブル装
置。 ３ 非変形テーブルはテーブル本体と別体に成形
されて該テーブル本体上に部分的結合されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の高
精度移動テーブル装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60291985A JPS62151783A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | 高精度移動テ−ブル装置 |
| US07/368,150 US4953965A (en) | 1985-12-26 | 1989-06-15 | High-accuracy traveling table apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60291985A JPS62151783A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | 高精度移動テ−ブル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62151783A JPS62151783A (ja) | 1987-07-06 |
| JPH0560557B2 true JPH0560557B2 (ja) | 1993-09-02 |
Family
ID=17776019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60291985A Granted JPS62151783A (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 | 高精度移動テ−ブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62151783A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0753059Y2 (ja) * | 1986-02-05 | 1995-12-06 | 東芝機械株式会社 | 高精度移動テーブル装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5958825A (ja) * | 1982-09-29 | 1984-04-04 | Hitachi Ltd | 測長誤差を少なくする機能を備えた移動装置 |
| US4534047A (en) * | 1984-01-06 | 1985-08-06 | The Perkin-Elmer Corporation | Mask ring assembly for X-ray lithography |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP60291985A patent/JPS62151783A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62151783A (ja) | 1987-07-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4852267A (en) | Coordinate measuring machine having a guide section for a column of a measuring member support body | |
| US4575942A (en) | Ultra-precision two-dimensional moving apparatus | |
| JP3413122B2 (ja) | 位置決め装置及びこれを用いた露光装置並びにデバイス製造方法 | |
| JP7154879B2 (ja) | 門形構造の位置決め装置 | |
| JPS6140085B2 (ja) | ||
| EP1749247B1 (en) | A measurement configuration based on linear scales able to measure to a target also moving perpendicular to the measurement axis | |
| KR100634722B1 (ko) | 이동식 갠트리 위치 측정 장치 | |
| JPS63281009A (ja) | 位置測定装置用の組み付け方法及びその方法を実施するための装置 | |
| US4953965A (en) | High-accuracy traveling table apparatus | |
| JPH08178694A (ja) | 変位センサ用のスケール | |
| US5101301A (en) | High-accuracy traveling table apparatus | |
| JP5717431B2 (ja) | ステージ装置、露光装置及びデバイスの製造方法 | |
| JPS63140989A (ja) | 位置決め装置 | |
| JPH04317Y2 (ja) | ||
| JP4962779B2 (ja) | ステージ装置およびその浮上制御方法と、ステージ装置を用いた露光装置 | |
| JPH11300581A (ja) | スライダ装置およびスライダ装置を用いた工作機械ならびにこの工作機械を用いた回折格子の加工方法 | |
| JPS62151783A (ja) | 高精度移動テ−ブル装置 | |
| JPH0562713B2 (ja) | ||
| JPH0753059Y2 (ja) | 高精度移動テーブル装置 | |
| US4378482A (en) | Electron-beam stage X-Y positioning instrumentation | |
| JPH05134753A (ja) | 位置決め装置 | |
| JPH1047931A (ja) | ２次元測定装置 | |
| JP3046635B2 (ja) | 超高精度三次元測定機 | |
| JPH04258711A (ja) | スケール装置 | |
| JP2582210B2 (ja) | 変位測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |