JPH0560562B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0560562B2 JPH0560562B2 JP22612085A JP22612085A JPH0560562B2 JP H0560562 B2 JPH0560562 B2 JP H0560562B2 JP 22612085 A JP22612085 A JP 22612085A JP 22612085 A JP22612085 A JP 22612085A JP H0560562 B2 JPH0560562 B2 JP H0560562B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor laser
- automatic focusing
- photomask
- amplifier
- chrome
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は自動焦点装置に関し、特にホトマスク
顕微鏡自動焦点装置に関する。
顕微鏡自動焦点装置に関する。
従来、ホトマスク顕微鏡自動焦点装置には、光
源に半導体レーザを用いた分割デイテクト方式光
学系、ホトマスク上のクロム面、またはガラス面
からの反射半導体レーザ光から得られた電気信号
をもとに遂次制御信号を発生する自動焦点回路が
設けられていた。
源に半導体レーザを用いた分割デイテクト方式光
学系、ホトマスク上のクロム面、またはガラス面
からの反射半導体レーザ光から得られた電気信号
をもとに遂次制御信号を発生する自動焦点回路が
設けられていた。
上述した従来のホトマスク顕微鏡自動焦点装置
は、光源に半導体レーザ光を用いているが、半導
体レーザ光のホトマスク面上でのビーム径は、焦
点が合つていた場合で5μｍ程度、焦点がぼける
に従つて10μｍ以上となつていたので、焦点がぼ
けた場合の半導体レーザ光のビームがホトマスク
面上のクロム面とガラス面の境界線上にある場合
には、分割デイテクト方式による２つのデイテク
タから得られる電気信号が安定せず、自動焦点が
振動するという欠点がある。
は、光源に半導体レーザ光を用いているが、半導
体レーザ光のホトマスク面上でのビーム径は、焦
点が合つていた場合で5μｍ程度、焦点がぼける
に従つて10μｍ以上となつていたので、焦点がぼ
けた場合の半導体レーザ光のビームがホトマスク
面上のクロム面とガラス面の境界線上にある場合
には、分割デイテクト方式による２つのデイテク
タから得られる電気信号が安定せず、自動焦点が
振動するという欠点がある。
本発明のホトマスク顕微鏡自動焦点装置は、ホ
トマスク上のクロム面とガラス面上の境界線上に
半導体レーザ光が当たつて、デイテクタから得ら
れた信号を自動焦点用モーターを動かすのに必要
なゲインにまで増幅する幅幅器のゲイン切換えが
微小時間内に所定回数以上行なわれたときに、前
記、自動焦点用モーターのアツプ／ダウン信号を
強制的に停止させるホールド回路を備えたことを
特徴とする。
トマスク上のクロム面とガラス面上の境界線上に
半導体レーザ光が当たつて、デイテクタから得ら
れた信号を自動焦点用モーターを動かすのに必要
なゲインにまで増幅する幅幅器のゲイン切換えが
微小時間内に所定回数以上行なわれたときに、前
記、自動焦点用モーターのアツプ／ダウン信号を
強制的に停止させるホールド回路を備えたことを
特徴とする。
したがつて、半導体レーザ光がクロム面とガラ
ス面の境界線上にある場合に自動焦点が振動する
のが防止される。
ス面の境界線上にある場合に自動焦点が振動する
のが防止される。
次に、本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
第１図は本発明のホトマスク顕微鏡自動焦点装
置の一実施例の光学系の構成図、である。ただ
し、差動アンプも記載されている。
置の一実施例の光学系の構成図、である。ただ
し、差動アンプも記載されている。
連続もしくはパルス点灯された半導体レーザ光
１は、コリメータ２を通過した後ビームスピリツ
タ３から対物レンズ４に照射され、被測定物であ
るホストマスク５の面と対物レンズ４との距離に
比例して、ホトマスク５からの反射半導体レーザ
光は分割ミラー６により、分割デイテクタ７と分
割デイテクタ８に当る反射半導体レーザ光の光量
が分割させられる。分割デイテクタ７と分割デイ
テクタ８に当たる反射半導体レーザ光の光量差は
差動アンプ９により電気信号で示され、この差動
アンプ９の電気的出力が０になるように顕微鏡焦
点の位置は自動的に補正される。
１は、コリメータ２を通過した後ビームスピリツ
タ３から対物レンズ４に照射され、被測定物であ
るホストマスク５の面と対物レンズ４との距離に
比例して、ホトマスク５からの反射半導体レーザ
光は分割ミラー６により、分割デイテクタ７と分
割デイテクタ８に当る反射半導体レーザ光の光量
が分割させられる。分割デイテクタ７と分割デイ
テクタ８に当たる反射半導体レーザ光の光量差は
差動アンプ９により電気信号で示され、この差動
アンプ９の電気的出力が０になるように顕微鏡焦
点の位置は自動的に補正される。
第２図は自動焦点回路のクロツク図である。
反射半導体レーザ光は分割ミラー６により、焦
点位置に対応して、分割デイテクタ７，８にレー
ザ光を照射する。焦点が合つた時には分割デイテ
クタ７，８が受ける光量は等しいが、焦点が合つ
ていない時は分割デイテクタ７，８が受ける光量
は異なる。分割デイテクタ７，８で照射された光
量は電気信号に変換され、プリアンプ１１ａ，１
１ｂにより各々増幅される。クロム／ガラスアン
プ１２ａ，１２ｂは半導体レーザ光がクロム面上
にある時またガラス面上にある時各々に対して、
適当な出力を得るためにアンプのゲインが２種類
ある。クロム／ガラスアンプ１２ａ，１２ｂのア
ンプゲイン値はアンプ選択回路１３により決定さ
れる。クロム／ガラスアンプ１２ａ，１２ｂの出
力はアンプ１４ａ，１４ｂで各々増幅された後コ
ンパレータ１５により、分割デイテクタ７，８が
受ける光量差に対応する電気信号を発生する。こ
の電気信号の正負信号を基に、遂次制御の自動焦
点がモーター駆動回路１７により行なわれる。半
導体レーザ光がクロム面とガラス面の境界線にあ
る時はアンプ選択回路１３の信号が不安定とな
り、クロム／ガラスアンプ１２ａ，１２ｂのアン
プゲイン値が一定せず自動焦点用モーターのモー
ター駆動回路１７のアツプ／ダウン信号が振動す
る。ホールド回路１６はクロム／ガラスアンプ１
２ａ，１２ｂのゲイン切換えが頻発する場合に限
り、強制的にモーター駆動回路１７のアツプ／ダ
ウン信号をホールドして焦点位置を動かさないよ
うにする。
点位置に対応して、分割デイテクタ７，８にレー
ザ光を照射する。焦点が合つた時には分割デイテ
クタ７，８が受ける光量は等しいが、焦点が合つ
ていない時は分割デイテクタ７，８が受ける光量
は異なる。分割デイテクタ７，８で照射された光
量は電気信号に変換され、プリアンプ１１ａ，１
１ｂにより各々増幅される。クロム／ガラスアン
プ１２ａ，１２ｂは半導体レーザ光がクロム面上
にある時またガラス面上にある時各々に対して、
適当な出力を得るためにアンプのゲインが２種類
ある。クロム／ガラスアンプ１２ａ，１２ｂのア
ンプゲイン値はアンプ選択回路１３により決定さ
れる。クロム／ガラスアンプ１２ａ，１２ｂの出
力はアンプ１４ａ，１４ｂで各々増幅された後コ
ンパレータ１５により、分割デイテクタ７，８が
受ける光量差に対応する電気信号を発生する。こ
の電気信号の正負信号を基に、遂次制御の自動焦
点がモーター駆動回路１７により行なわれる。半
導体レーザ光がクロム面とガラス面の境界線にあ
る時はアンプ選択回路１３の信号が不安定とな
り、クロム／ガラスアンプ１２ａ，１２ｂのアン
プゲイン値が一定せず自動焦点用モーターのモー
ター駆動回路１７のアツプ／ダウン信号が振動す
る。ホールド回路１６はクロム／ガラスアンプ１
２ａ，１２ｂのゲイン切換えが頻発する場合に限
り、強制的にモーター駆動回路１７のアツプ／ダ
ウン信号をホールドして焦点位置を動かさないよ
うにする。
ここで、ホールド回路１６はクロムアンプ１２
ａとガラスアンプ１２ｂの切換えが少なくとも３
回切換わる場合にモーター駆動回路１７の信号を
強制的に禁止し、クロムアンプ１２ａとガラスア
ンプ１２ｂの切換えが一定時間行なわれない場合
には解除するように構成されている。
ａとガラスアンプ１２ｂの切換えが少なくとも３
回切換わる場合にモーター駆動回路１７の信号を
強制的に禁止し、クロムアンプ１２ａとガラスア
ンプ１２ｂの切換えが一定時間行なわれない場合
には解除するように構成されている。
以上説明したように本発明は、自動焦点回路中
にホールド回路を設けることにより、半導体レー
ザ光がクロム面とガラス面の境界線上にある場合
に自動焦点が振動するのを防ぐことができる効果
がある。
にホールド回路を設けることにより、半導体レー
ザ光がクロム面とガラス面の境界線上にある場合
に自動焦点が振動するのを防ぐことができる効果
がある。
第１図は、本発明のホトマスク顕微鏡自動焦点
装置の一実施例の光学系の構成図、第２図は自動
焦点回路のブロツク図である。 １……レーザ光、２……コリメータ、３……ビ
ームスピリツタ、４……対物レンズ、５……ホト
マスク、６……分割ミラー、７，８……分割デイ
テクタ、９……差動アンプ、１１ａ，１１ｂ……
プリアンプ、１２ａ，１２ｂ……クロム／ガラス
アンプ、１３……アンプ選択回路、１４ａ，１４
ｂ……アンプ、１５……コンパレータ、１６……
ホールド回路、１７……モーター駆動回路。
装置の一実施例の光学系の構成図、第２図は自動
焦点回路のブロツク図である。 １……レーザ光、２……コリメータ、３……ビ
ームスピリツタ、４……対物レンズ、５……ホト
マスク、６……分割ミラー、７，８……分割デイ
テクタ、９……差動アンプ、１１ａ，１１ｂ……
プリアンプ、１２ａ，１２ｂ……クロム／ガラス
アンプ、１３……アンプ選択回路、１４ａ，１４
ｂ……アンプ、１５……コンパレータ、１６……
ホールド回路、１７……モーター駆動回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 光源に半導体レーザを用いた分割デイテクト
方式光学系と、ホトマスクのクロム面からの反射
半導体レーザ光とガラス面からの反射半導体レー
ザ光によつて得られた電気信号により遂次制御を
行なう自動焦点回路を有するホトマスク顕微鏡自
動焦点装置において、 前記ホトマスク上のクロム面とガラス面上の境
界線上に半導体レーザ光が当たつて、デイテクタ
から得られた信号を自動焦点用モーターを動かす
のに必要なゲインにまで増幅する増幅器のゲイン
切換えが微小時間内に所定回数以上行なわれたと
きに、前記、自動焦点用モーターのアツプ／ダウ
ン信号を強制的に停止させるホールド回路を備え
たことを特徴とするホトマスク顕微鏡自動焦点装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60226120A JPS6285211A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | ホトマスク顕微鏡自動焦点装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60226120A JPS6285211A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | ホトマスク顕微鏡自動焦点装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6285211A JPS6285211A (ja) | 1987-04-18 |
| JPH0560562B2 true JPH0560562B2 (ja) | 1993-09-02 |
Family
ID=16840150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60226120A Granted JPS6285211A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | ホトマスク顕微鏡自動焦点装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6285211A (ja) |
-
1985
- 1985-10-09 JP JP60226120A patent/JPS6285211A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6285211A (ja) | 1987-04-18 |
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