JPS6285211A - ホトマスク顕微鏡自動焦点装置 - Google Patents
ホトマスク顕微鏡自動焦点装置Info
- Publication number
- JPS6285211A JPS6285211A JP60226120A JP22612085A JPS6285211A JP S6285211 A JPS6285211 A JP S6285211A JP 60226120 A JP60226120 A JP 60226120A JP 22612085 A JP22612085 A JP 22612085A JP S6285211 A JPS6285211 A JP S6285211A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- semiconductor laser
- photomask
- automatic focusing
- amplifier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Automatic Focus Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は自動焦点装置に関し、特にホトマスク顕微鏡自
動焦点装置に間する。
動焦点装置に間する。
（従来の技術）
従来、ホトマスク顕微鏡自動焦点装置には、光源に半導
体レーザを用いた分割ディテクト方式光学系、ホトマス
ク上のクロム面、またはガラス面からの反射半導体レー
ザ光から得られた電気信号をもとに逐次制御信号を発生
する自動焦点回路が設けられていた。
体レーザを用いた分割ディテクト方式光学系、ホトマス
ク上のクロム面、またはガラス面からの反射半導体レー
ザ光から得られた電気信号をもとに逐次制御信号を発生
する自動焦点回路が設けられていた。
（発明が解決しようとする問題点〕
上述した従来のホトマスク顕微鏡自動焦点装置は、光源
に半導体レーザ光を用いているが、半導体レーザ光のホ
トマスク面上でのビーム径は、焦点が合っていた場合で
５鱗程度、焦点がぼけるに従って１０μ以上となってい
たので、焦点がぼけた場合の半導体レーザ光のビームが
ホトマスク面上のクロム面とガラス面の境界線上にある
場合には、分割ディテクト方式による２つのディテクタ
から得られる電気信号が安定せず、自動焦点が振動する
という欠点かある。
に半導体レーザ光を用いているが、半導体レーザ光のホ
トマスク面上でのビーム径は、焦点が合っていた場合で
５鱗程度、焦点がぼけるに従って１０μ以上となってい
たので、焦点がぼけた場合の半導体レーザ光のビームが
ホトマスク面上のクロム面とガラス面の境界線上にある
場合には、分割ディテクト方式による２つのディテクタ
から得られる電気信号が安定せず、自動焦点が振動する
という欠点かある。
Ｃ問題点を解決するための手段〕
本発明のホトマスク顕微鏡自動焦点装置は、ホトマスク
上のクロム面とガラス面上の境界線上に半導体レーザ光
が当たって、ディテクタから得られた信号を自動焦点用
モーターを動かすのに必要なゲインにまで増幅する増幅
器のゲイン切換えが微小時間内に所定回数似上行なわれ
たときに、前記、自動焦点用モーターのアップ／ダウン
信号を強制的に停止させるホールド回路を備えたことを
特徴とする。
上のクロム面とガラス面上の境界線上に半導体レーザ光
が当たって、ディテクタから得られた信号を自動焦点用
モーターを動かすのに必要なゲインにまで増幅する増幅
器のゲイン切換えが微小時間内に所定回数似上行なわれ
たときに、前記、自動焦点用モーターのアップ／ダウン
信号を強制的に停止させるホールド回路を備えたことを
特徴とする。
したがって、半導体レーザ光がクロム面とガラス面の境
界線上にある場合に自動焦点が振動するのが防止される
。
界線上にある場合に自動焦点が振動するのが防止される
。
次に、本発明の実施例について図面を参照しで説明する
６ 第１図は本発明のホトマスク顕微鏡自動焦点装置の一実
施例の光学系の構成図、である、ただし、差動アンプも
記載されでいる。
６ 第１図は本発明のホトマスク顕微鏡自動焦点装置の一実
施例の光学系の構成図、である、ただし、差動アンプも
記載されでいる。
連続らしく ＋、ｌｔパルス点灯された半導体レーザ光
１は、コリメータ２を通過しＩと後ビームスブリ・ンタ
３から対物レンズ４に照射され、被測定物であるホトマ
スク５の面と対物レンズ４との距離に比例しＣ、ホトマ
スク５からの反射半導体レーザ光は分割ミラー６により
、分割ディチク）９７と分割ディテクタ８に当る反射半
導体レーザ光の光量か分割させられる０分割ディテクタ
フと分割ディテクタ８に当たる反射半導体Ｌレーザ光の
光量差は差動アンプ９により電気信号て示され、（二の
差動アンプ９の電気的出力が０になるように顕微鏡焦点
の位置は自動的に補正される。
１は、コリメータ２を通過しＩと後ビームスブリ・ンタ
３から対物レンズ４に照射され、被測定物であるホトマ
スク５の面と対物レンズ４との距離に比例しＣ、ホトマ
スク５からの反射半導体レーザ光は分割ミラー６により
、分割ディチク）９７と分割ディテクタ８に当る反射半
導体レーザ光の光量か分割させられる０分割ディテクタ
フと分割ディテクタ８に当たる反射半導体Ｌレーザ光の
光量差は差動アンプ９により電気信号て示され、（二の
差動アンプ９の電気的出力が０になるように顕微鏡焦点
の位置は自動的に補正される。
第２図は自動焦点回路のクロック図である９反射半導体
レーザ光は分割ミラー６により、焦点位置に対応して、
分割ディテクタ７．８にレーザ光を照射する。焦点か合
った時１こは分割ディテクタ７．８か受ける光量は等（
〕いが、焦点が合っていない時は分割ディテクタ７．８
が受ける光量は異なる。分割ディテクタ７．８Ｃ照射さ
れた光量は電気信号に変換され、プリアンプ１１ａ。
レーザ光は分割ミラー６により、焦点位置に対応して、
分割ディテクタ７．８にレーザ光を照射する。焦点か合
った時１こは分割ディテクタ７．８か受ける光量は等（
〕いが、焦点が合っていない時は分割ディテクタ７．８
が受ける光量は異なる。分割ディテクタ７．８Ｃ照射さ
れた光量は電気信号に変換され、プリアンプ１１ａ。
１１ｂにより各々増幅される。クロム／ガラスアンプ１
２ａ、 １２ｂは半導体レーザ光がクロム面上にある時
またガラス面上にある特番々に対して、適当な出力を得
るためにアンプのゲインが２種類ある。
２ａ、 １２ｂは半導体レーザ光がクロム面上にある時
またガラス面上にある特番々に対して、適当な出力を得
るためにアンプのゲインが２種類ある。
クロム／ガラスアンプ１２ａ、 １２ｂのアンプゲイン
値はアンプ選択回路１３により決定される。クロム／ガ
ラスアンプ１２ａ、 １２ｂの出力はアンプ１４ａ、１
４ｂて各々増幅された後コンパレータ１５により、分割
ディテクタ７．８か受ける光量差に対応する電気信号を
発生する。この電気信号の正負信号を基に、逐次制御の
自動焦点がモーター駆動回路１７により行なわれる。半
導体レーザ光がクロム面とガラス面の境界線にある時は
アンプ選択回路１３の信号か不安定となつ、クロム／ガ
ラスアンプ１２ａ。
値はアンプ選択回路１３により決定される。クロム／ガ
ラスアンプ１２ａ、 １２ｂの出力はアンプ１４ａ、１
４ｂて各々増幅された後コンパレータ１５により、分割
ディテクタ７．８か受ける光量差に対応する電気信号を
発生する。この電気信号の正負信号を基に、逐次制御の
自動焦点がモーター駆動回路１７により行なわれる。半
導体レーザ光がクロム面とガラス面の境界線にある時は
アンプ選択回路１３の信号か不安定となつ、クロム／ガ
ラスアンプ１２ａ。
＋２ｂのアンプゲイン値が一定せず自動焦点用モーター
のモーター駆動回路１７のアップ／ダウン信号が振動す
る。ホールド回路１６はクロム／ガラスアンプ１２ａ、
＋２ｂのゲイン切換えが頻発する場合に限り、強制的に
モーター駆動回路１７のアップ／ダウン信号をホールド
して焦点位置を動かさないようにする。
のモーター駆動回路１７のアップ／ダウン信号が振動す
る。ホールド回路１６はクロム／ガラスアンプ１２ａ、
＋２ｂのゲイン切換えが頻発する場合に限り、強制的に
モーター駆動回路１７のアップ／ダウン信号をホールド
して焦点位置を動かさないようにする。
ここで、ホールド回路１６はクロムアンプ１２ａとガラ
スアンプ＋２ｂの切換えか少なくとも３回切喚わる場合
にモー−ター駆動回路１７の信号を強制的（こ楚止し、
クロムアンプ１２ａとガラスアンプ＋２ｂの切換えが一
定時間行なわれない場合には解除するように構成されで
いる。
スアンプ＋２ｂの切換えか少なくとも３回切喚わる場合
にモー−ター駆動回路１７の信号を強制的（こ楚止し、
クロムアンプ１２ａとガラスアンプ＋２ｂの切換えが一
定時間行なわれない場合には解除するように構成されで
いる。
以上説明したように本発明は、自動焦点回路中にホール
ト回路を設けることによつ、半導体レーザ光かクロム面
とガラス面の境界線１にある場合に自動焦点か振動する
のを防ぐことかできる幼果がある。
ト回路を設けることによつ、半導体レーザ光かクロム面
とガラス面の境界線１にある場合に自動焦点か振動する
のを防ぐことかできる幼果がある。
第１図は、本発明のホトマスク顕微鏡自動焦点装置の一
実施例の光学系の構成図、第２図は自動焦点回路のブロ
ック図である。 １−一一レーザ光、 ２−−−コリメータ、３−
ビームスブリ・ンタ、 ４一対物レンズ、 ５−ｍ−ホトマスク、６−−−
分割ミラー、 ７．８−ｍ−分割ディテクタ、 ９−一一差動アンブ、 １１ａ、ｌ１ｂ−−−プリアンプ、 １２ａ、ｌ２ｂ−−−クロム／ガラスアンプ、１３−−
−アンプ選択回路、 １４ａ、ｌ４ｂ−−−アンプ、 １５−一一コンバレータ、 １６−−−ホールド回路、 １７−−−モーター駆動回路。
実施例の光学系の構成図、第２図は自動焦点回路のブロ
ック図である。 １−一一レーザ光、 ２−−−コリメータ、３−
ビームスブリ・ンタ、 ４一対物レンズ、 ５−ｍ−ホトマスク、６−−−
分割ミラー、 ７．８−ｍ−分割ディテクタ、 ９−一一差動アンブ、 １１ａ、ｌ１ｂ−−−プリアンプ、 １２ａ、ｌ２ｂ−−−クロム／ガラスアンプ、１３−−
−アンプ選択回路、 １４ａ、ｌ４ｂ−−−アンプ、 １５−一一コンバレータ、 １６−−−ホールド回路、 １７−−−モーター駆動回路。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光源に半導体レーザを用いた分割ディテクト方式光学系
と、ホトマスクのクロム面からの反射半導体レーザ光と
ガラス面からの反射半導体レーザ光によって得られた電
気信号により逐次制御を行なう自動焦点回路を有するホ
トマスク顕微鏡自動焦点装置において、 前記ホトマスク上のクロム面とガラス面上の境界線上に
半導体レーザ光が当たって、ディテクタから得られた信
号を自動焦点用モーターを動かすのに必要なゲインにま
で増幅する増幅器のゲイン切換えが微小時間内に所定回
数以上行なわれたときに、前記、自動焦点用モーターの
アップ／ダウン信号を強制的に停止させるホールド回路
を備えたことを特徴とするホトマスク顕微鏡自動焦点装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60226120A JPS6285211A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | ホトマスク顕微鏡自動焦点装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60226120A JPS6285211A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | ホトマスク顕微鏡自動焦点装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6285211A true JPS6285211A (ja) | 1987-04-18 |
| JPH0560562B2 JPH0560562B2 (ja) | 1993-09-02 |
Family
ID=16840150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60226120A Granted JPS6285211A (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 | ホトマスク顕微鏡自動焦点装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6285211A (ja) |
-
1985
- 1985-10-09 JP JP60226120A patent/JPS6285211A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0560562B2 (ja) | 1993-09-02 |
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