JPH0562594A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
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- JPH0562594A JPH0562594A JP22152091A JP22152091A JPH0562594A JP H0562594 A JPH0562594 A JP H0562594A JP 22152091 A JP22152091 A JP 22152091A JP 22152091 A JP22152091 A JP 22152091A JP H0562594 A JPH0562594 A JP H0562594A
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- JP
- Japan
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- correction lens
- auxiliary correction
- wedge
- exposure
- light source
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 カラー受像管の蛍光スクリーン面を焼付露光
するに際し、とくに、蛍光体スクリーン2の左右両サイ
ド色を露光するための補助補正レンズを1つもので共用
化するため、補助補正レンズ回転駆動機構11の駆動に
よって、くさび型補助補正レンズ9bを補助補正レンズ
設置位置9にて180°回転させ、くさび傾斜面が左右
逆転状態にセットできるように構成したものである。 【効果】 補助補正レンズを1枚削減できることでコス
ト低減がはかれ、削減された補助補正レンズの分だけ、
補助補正レンズ格納庫を小型軽量化でき、かつ補助補正
レンズの出し入れ時間の短縮による露光機の生産効率の
向上がはかれる。
するに際し、とくに、蛍光体スクリーン2の左右両サイ
ド色を露光するための補助補正レンズを1つもので共用
化するため、補助補正レンズ回転駆動機構11の駆動に
よって、くさび型補助補正レンズ9bを補助補正レンズ
設置位置9にて180°回転させ、くさび傾斜面が左右
逆転状態にセットできるように構成したものである。 【効果】 補助補正レンズを1枚削減できることでコス
ト低減がはかれ、削減された補助補正レンズの分だけ、
補助補正レンズ格納庫を小型軽量化でき、かつ補助補正
レンズの出し入れ時間の短縮による露光機の生産効率の
向上がはかれる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、カラー受像管の蛍光
体スクリーンおよび黒色無反射膜層を製作する際に用い
る露光装置に関するものである。
体スクリーンおよび黒色無反射膜層を製作する際に用い
る露光装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図3は一般的なカラー受像管の動作原理
を説明するための図で、とくに、主要部分の断面と代表
的な電子ビーム軌跡を描いたものである。
を説明するための図で、とくに、主要部分の断面と代表
的な電子ビーム軌跡を描いたものである。
【0003】同図において、カラー受像管のパネル1の
内面には蛍光体スクリーン2が形成されており、この蛍
光体スクリーン2は、具体的には、シャドウマスク3に
多数形成された小孔3a群のうちの1個に対応して設け
られた、左サイドに位置する蛍光体2a(以下、単に、
左サイド色という場合がある)、センターに位置する蛍
光体2b(以下、単に、センター色と場合がある)およ
び右サイドに位置する蛍光体2c(以下、単に、右サイ
ド色という場合がある)の3色の蛍光体(たとえば、左
サイド色は赤、センター色が緑、右サイド色は青)と、
各色蛍光体相互間に配置された黒色無反射膜層2dから
構成されている。
内面には蛍光体スクリーン2が形成されており、この蛍
光体スクリーン2は、具体的には、シャドウマスク3に
多数形成された小孔3a群のうちの1個に対応して設け
られた、左サイドに位置する蛍光体2a(以下、単に、
左サイド色という場合がある)、センターに位置する蛍
光体2b(以下、単に、センター色と場合がある)およ
び右サイドに位置する蛍光体2c(以下、単に、右サイ
ド色という場合がある)の3色の蛍光体(たとえば、左
サイド色は赤、センター色が緑、右サイド色は青)と、
各色蛍光体相互間に配置された黒色無反射膜層2dから
構成されている。
【0004】電子銃4から発射された3本の電子ビーム
4a,4b,4cはシャドウマスク3の小孔3aで色選
別されてそれぞれ、特定の蛍光体2a,2b,2cにラ
ンディングし発光させる。すなわち、電子銃4の右サイ
ドから発射された電子ビーム4aはシャドウマスク3a
で交差し、蛍光体スクリーン2の左サイドに位置する蛍
光体2aに当たり、同じく、センターから発射された電
子ビーム4bはセンターの蛍光体2bに当たり、左サイ
ドから発射された電子ビーム4cは右サイドの蛍光体2
cに当たる。
4a,4b,4cはシャドウマスク3の小孔3aで色選
別されてそれぞれ、特定の蛍光体2a,2b,2cにラ
ンディングし発光させる。すなわち、電子銃4の右サイ
ドから発射された電子ビーム4aはシャドウマスク3a
で交差し、蛍光体スクリーン2の左サイドに位置する蛍
光体2aに当たり、同じく、センターから発射された電
子ビーム4bはセンターの蛍光体2bに当たり、左サイ
ドから発射された電子ビーム4cは右サイドの蛍光体2
cに当たる。
【0005】また、それぞれの電子ビーム4a,4b,
4cの強さを適当に調整することによって、各色蛍光体
の発光量をコントロールし、所望の色彩を発生させるこ
とになる。このため、電子ビーム4a,4b,4cのラ
ンディングする位置に精度よく3色の蛍光体2a,2
b,2cを形成しておく必要があり、このような蛍光体
スクリーン2は一般的につぎのような工程によって形成
されている。
4cの強さを適当に調整することによって、各色蛍光体
の発光量をコントロールし、所望の色彩を発生させるこ
とになる。このため、電子ビーム4a,4b,4cのラ
ンディングする位置に精度よく3色の蛍光体2a,2
b,2cを形成しておく必要があり、このような蛍光体
スクリーン2は一般的につぎのような工程によって形成
されている。
【0006】まず、カラー受像管パネル1の内面全体に
レジスト膜を塗布し、シャドウマスク3の小孔3aを介
して所定の3箇所(3色の色別電子ビームの軌跡と同等
の方位に相当する位置)から、光を当てて露光し、現像
すると、焼き付けられたレジスト部分がそのまま残り、
その他は空白になる。
レジスト膜を塗布し、シャドウマスク3の小孔3aを介
して所定の3箇所(3色の色別電子ビームの軌跡と同等
の方位に相当する位置)から、光を当てて露光し、現像
すると、焼き付けられたレジスト部分がそのまま残り、
その他は空白になる。
【0007】すなわち、シャドウマスク3の小孔3a1
個に対して3個のレジスト部分が形成される。つぎに、
パネル1内面全体に黒色無反射膜を塗布し、これを特定
の薬品でエッチングすると、レジストを介して塗布され
た黒色無反射膜部分はレジスト共々洗い流されて空白と
なり、その他の部分は無反射膜が残り、黒色無反射膜層
2dが形成される。その後、上記の空白部分に3色の蛍
光体を順次、塗布−露光−現像することによってカラー
受像管の蛍光体スクリーン2が形成される。
個に対して3個のレジスト部分が形成される。つぎに、
パネル1内面全体に黒色無反射膜を塗布し、これを特定
の薬品でエッチングすると、レジストを介して塗布され
た黒色無反射膜部分はレジスト共々洗い流されて空白と
なり、その他の部分は無反射膜が残り、黒色無反射膜層
2dが形成される。その後、上記の空白部分に3色の蛍
光体を順次、塗布−露光−現像することによってカラー
受像管の蛍光体スクリーン2が形成される。
【0008】ここで、上記蛍光体スクリーン2を形成す
るための露光装置として、従来、図4で示すような装置
が用いられている。すなわち、同図において、5は本
体、6は本体下方に設けられた光源、7はこの光源6を
3箇所に水平移動させる摺動機構、8は上記光源6から
の光線を補正し、電子ビームの軌跡に近似させるための
補正レンズ、9はこの補正レンズ8によって十分な補正
が得られない蛍光体スクリーン2の両サイドにある蛍光
体の露光に用いる補助補正レンズ設置予定位置を示す。
るための露光装置として、従来、図4で示すような装置
が用いられている。すなわち、同図において、5は本
体、6は本体下方に設けられた光源、7はこの光源6を
3箇所に水平移動させる摺動機構、8は上記光源6から
の光線を補正し、電子ビームの軌跡に近似させるための
補正レンズ、9はこの補正レンズ8によって十分な補正
が得られない蛍光体スクリーン2の両サイドにある蛍光
体の露光に用いる補助補正レンズ設置予定位置を示す。
【0009】上記のような構成による露光装置によれ
ば、蛍光体スクリーン2のセンター色の蛍光体を露光す
る場合には、図5(A)に示すように補助補正レンズ設
置予定位置9に、ダミー用として平行平板型の補助補正
レンズ9aをセットする。
ば、蛍光体スクリーン2のセンター色の蛍光体を露光す
る場合には、図5(A)に示すように補助補正レンズ設
置予定位置9に、ダミー用として平行平板型の補助補正
レンズ9aをセットする。
【0010】また、蛍光体スクリーン2の両サイド色の
蛍光体を露光する場合は、同図(B)および(C)に示
すように、光源6を所定の位置に水平移動させるととも
に、補助補正レンズ設置予定位置9に、適当な傾斜を有
したくさび型補助補正レンズ9bもしくは9cをセット
する。
蛍光体を露光する場合は、同図(B)および(C)に示
すように、光源6を所定の位置に水平移動させるととも
に、補助補正レンズ設置予定位置9に、適当な傾斜を有
したくさび型補助補正レンズ9bもしくは9cをセット
する。
【0011】これらのくさび型補助補正レンズ9bもし
くは9cは、一般に同一の傾斜を有しており、そのくさ
び傾斜面が露光装置内の上記補助補正レンズ設置予定位
置9で、それぞれ反対方向に向くように、セットされ
る。
くは9cは、一般に同一の傾斜を有しており、そのくさ
び傾斜面が露光装置内の上記補助補正レンズ設置予定位
置9で、それぞれ反対方向に向くように、セットされ
る。
【0012】したがって、3色を露光する場合、摺動機
構7によって光源6を移動させるとともに、それぞれに
適した補助補正レンズ9a〜9cを入れ替える必要があ
る。これらの補助補正レンズ9a,9b,9cは、図4
で示すように、露光機本体5に付設した格納庫10内に
3区分された格納棚10a内にそれぞれ収納され、必要
に応じて、格納棚10aの昇降機構10bを駆動させる
ことにより、引出口10cより引き出し、所定の露光位
置にセットできる構造になっている。
構7によって光源6を移動させるとともに、それぞれに
適した補助補正レンズ9a〜9cを入れ替える必要があ
る。これらの補助補正レンズ9a,9b,9cは、図4
で示すように、露光機本体5に付設した格納庫10内に
3区分された格納棚10a内にそれぞれ収納され、必要
に応じて、格納棚10aの昇降機構10bを駆動させる
ことにより、引出口10cより引き出し、所定の露光位
置にセットできる構造になっている。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】従来の露光装置は以上
のように構成されているので、3色の蛍光体を露光する
場合、補助補正レンズを一つ一つ入れ替えする作業が必
要となり、その入れ替え作業が煩雑であるばかりではな
く、また、両サイド色の露光に用いる補助補正レンズ9
b,9cは本来は1つのくさび型補助補正レンズ9bも
しくは9cのいずれか一つを水平方向に180°回転さ
せ、方向を変えて使用すればよいが、使用方向の誤りを
防止するため、各色別に専用のものを用意する必要が生
じ、補助補正レンズの利用効率に欠け、これらの補助補
正レンズを収納しておくための大きな格納庫が必要とな
るなどの不都合があった。
のように構成されているので、3色の蛍光体を露光する
場合、補助補正レンズを一つ一つ入れ替えする作業が必
要となり、その入れ替え作業が煩雑であるばかりではな
く、また、両サイド色の露光に用いる補助補正レンズ9
b,9cは本来は1つのくさび型補助補正レンズ9bも
しくは9cのいずれか一つを水平方向に180°回転さ
せ、方向を変えて使用すればよいが、使用方向の誤りを
防止するため、各色別に専用のものを用意する必要が生
じ、補助補正レンズの利用効率に欠け、これらの補助補
正レンズを収納しておくための大きな格納庫が必要とな
るなどの不都合があった。
【0014】この発明は上記のような不都合を解消する
ためになされたもので、補助補正レンズの使用数を減ら
すとともに、補助補正レンズを収納しておくための格納
庫を小型化できる露光装置を提供することを目的とす
る。
ためになされたもので、補助補正レンズの使用数を減ら
すとともに、補助補正レンズを収納しておくための格納
庫を小型化できる露光装置を提供することを目的とす
る。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明では、露光光線を発生する光源と、この光
源をセンターおよび左右両サイド位置の3箇所に水平移
動させるための摺動機構と、上記光源と被露光体の間に
配置され、露光光線の方向を補正するための補正レンズ
および補助補正レンズと、上記補助補正レンズを補助補
正レンズ設置予定位置まで出し入れ可能に収納する格納
庫を備えた露光装置において、とくに、上記補助補正レ
ンズを、露光光源がセンター位置に位置する場合に用い
る平行平板型ガラスと上記光源が両サイドに位置する場
合に用いるくさび型ガラスの2種類で構成するととも
に、上記くさび型ガラスを補助補正レンズ設置位置にて
水平方向に180°を回転させ、くさび傾斜面の向きを
左右逆転状態にセットするための補助補正レンズ回転駆
動機構を備えたものである。
め、この発明では、露光光線を発生する光源と、この光
源をセンターおよび左右両サイド位置の3箇所に水平移
動させるための摺動機構と、上記光源と被露光体の間に
配置され、露光光線の方向を補正するための補正レンズ
および補助補正レンズと、上記補助補正レンズを補助補
正レンズ設置予定位置まで出し入れ可能に収納する格納
庫を備えた露光装置において、とくに、上記補助補正レ
ンズを、露光光源がセンター位置に位置する場合に用い
る平行平板型ガラスと上記光源が両サイドに位置する場
合に用いるくさび型ガラスの2種類で構成するととも
に、上記くさび型ガラスを補助補正レンズ設置位置にて
水平方向に180°を回転させ、くさび傾斜面の向きを
左右逆転状態にセットするための補助補正レンズ回転駆
動機構を備えたものである。
【0016】望ましくは、上記補助補正レンズのうち、
少なくともくさび型ガラスを多曲面型レンズで構成した
ものである。
少なくともくさび型ガラスを多曲面型レンズで構成した
ものである。
【0017】
【作用】この発明によれば、露光光源が両サイドにある
場合に用いるくさび型ガラスを補助補正レンズ回転駆動
機構によって水平方向に180°回転させることで、く
さび傾斜面の向きを左右で反対にできるから、露光光源
が左右いずれのサイド側に位置しても直ちに適用でき、
1つのくさび型ガラスで2つの機能を兼備させることが
できる。
場合に用いるくさび型ガラスを補助補正レンズ回転駆動
機構によって水平方向に180°回転させることで、く
さび傾斜面の向きを左右で反対にできるから、露光光源
が左右いずれのサイド側に位置しても直ちに適用でき、
1つのくさび型ガラスで2つの機能を兼備させることが
できる。
【0018】このように、一つのくさび型ガラスで左右
いずれのサイドでの露光にも適用できるから、補助補正
レンズの部品点数が削減でき、この補助補正レンズを収
納しておくための格納庫も従来に比べ、2/3程度、小
型化できる。
いずれのサイドでの露光にも適用できるから、補助補正
レンズの部品点数が削減でき、この補助補正レンズを収
納しておくための格納庫も従来に比べ、2/3程度、小
型化できる。
【0019】さらに、2種類の補助補正レンズのうち、
少なくとも一方のくさび型ガラスを高価な多曲面型レン
ズで構成しても、使用する補助補正レンズの枚数が削減
された分だけ、経費節減がはかれる。
少なくとも一方のくさび型ガラスを高価な多曲面型レン
ズで構成しても、使用する補助補正レンズの枚数が削減
された分だけ、経費節減がはかれる。
【0020】
実施例1 以下、この発明の一実施例を図面により説明する。図1
はこの発明の一実施例による露光装置を側面からみた断
面図で、同図において、従来例を示す図4と同一または
相当する部分に同一の符号を付してその詳しい説明を省
略する。
はこの発明の一実施例による露光装置を側面からみた断
面図で、同図において、従来例を示す図4と同一または
相当する部分に同一の符号を付してその詳しい説明を省
略する。
【0021】同図において、11は両サイド用の補助補
正レンズであるくさび型ガラス9bを水平方向に180
°回転させ、くさび傾斜面を左右逆転させ、停止させる
ための補助補正レンズ回転駆動機構である。
正レンズであるくさび型ガラス9bを水平方向に180
°回転させ、くさび傾斜面を左右逆転させ、停止させる
ための補助補正レンズ回転駆動機構である。
【0022】また、露光機本体5に付設する補助補正レ
ンズ格納庫10には、センター用の補助補正レンズであ
る平行平板型ガラス9aと左右両サイド用の補助補正レ
ンズであるくさび型ガラス9bの2枚が各収納棚10a
上に出し入れ可能に収納されている。
ンズ格納庫10には、センター用の補助補正レンズであ
る平行平板型ガラス9aと左右両サイド用の補助補正レ
ンズであるくさび型ガラス9bの2枚が各収納棚10a
上に出し入れ可能に収納されている。
【0023】つぎに、上記構成の動作を図1および図2
にもとづいて説明する。図2は、図1で示す露光装置に
よる各色露光時の光学系配置断面図で、上記の一連の露
光動作中の各構成部分の位置関係をわかりやすくするた
めに、模式的に表した等価図である。
にもとづいて説明する。図2は、図1で示す露光装置に
よる各色露光時の光学系配置断面図で、上記の一連の露
光動作中の各構成部分の位置関係をわかりやすくするた
めに、模式的に表した等価図である。
【0024】同図(A)はセンター色を露光する場合の
平行平板型ガラス9aを用い、光源6をセンター位置に
移動した状態を示している。また、(B)は右サイド色
を露光する場合のくさび型ガラス9bを用い、光源6を
右サイド位置に移動した状態を示し、さらに、(C)は
左サイド色を露光する場合に、上記くさび型ガラス9b
を水平方向に180°回転固定し、前述した従来構成を
示す図5(C)で示す補助補正レンズ9cと等価にした
上で、光源6を右サイドに配置した状態を示している。
平行平板型ガラス9aを用い、光源6をセンター位置に
移動した状態を示している。また、(B)は右サイド色
を露光する場合のくさび型ガラス9bを用い、光源6を
右サイド位置に移動した状態を示し、さらに、(C)は
左サイド色を露光する場合に、上記くさび型ガラス9b
を水平方向に180°回転固定し、前述した従来構成を
示す図5(C)で示す補助補正レンズ9cと等価にした
上で、光源6を右サイドに配置した状態を示している。
【0025】まず、蛍光体スクリーン2のセンター色を
露光する場合、図1の格納棚10a上に収納されている
平行平板型ガラス9aを、昇降機構10bを操作して引
出口10cより露光機本体5側へ引き出し、この平行平
板型ガラス9aを所定の補助補正レンズ設置位置9に設
置するとともに、図2の(A)で示すように、光源6を
摺動機構7によってセンター位置に移動固定して露光す
る。
露光する場合、図1の格納棚10a上に収納されている
平行平板型ガラス9aを、昇降機構10bを操作して引
出口10cより露光機本体5側へ引き出し、この平行平
板型ガラス9aを所定の補助補正レンズ設置位置9に設
置するとともに、図2の(A)で示すように、光源6を
摺動機構7によってセンター位置に移動固定して露光す
る。
【0026】なお、センター色の露光が完了すると、上
記平行平板型ガラス9aは再び、元の格納棚10aに収
納される。
記平行平板型ガラス9aは再び、元の格納棚10aに収
納される。
【0027】また、蛍光体スクリーン2の右サイド色を
露光する場合には、昇降機構10bを操作して、くさび
型ガラス9bを上記と同様、引出口10cより露光機本
体5側へ引き出し、所定の補助補正レンズ設置位置9に
設置すると同時に、図2の(B)で示すように、光源6
を摺動機構7によって左サイド位置に移動固定して露光
する。
露光する場合には、昇降機構10bを操作して、くさび
型ガラス9bを上記と同様、引出口10cより露光機本
体5側へ引き出し、所定の補助補正レンズ設置位置9に
設置すると同時に、図2の(B)で示すように、光源6
を摺動機構7によって左サイド位置に移動固定して露光
する。
【0028】さらに、蛍光体スクリーン2の左サイド色
を露光する場合には、図2の(C)で示すように、上記
くさび型ガラス9bを補助補正レンズ回転駆動機構11
で水平方向に180°回転させて固定するとともに、光
源6を摺動機構7によって右サイドに移動固定して露光
する。
を露光する場合には、図2の(C)で示すように、上記
くさび型ガラス9bを補助補正レンズ回転駆動機構11
で水平方向に180°回転させて固定するとともに、光
源6を摺動機構7によって右サイドに移動固定して露光
する。
【0029】実施例2 実施例1では、左右両サイド色用の補助補正レンズがく
さび型ガラスである場合を示しているが、最近では、こ
のくさび型ガラスを多曲面型レンズに代えて用いる場合
もあり、いずれの場合も一般には、右サイドと左サイド
は同型の補助補正レンズが用いられ、かつ正反対方向に
向けて使用する。このため、補助補正レンズとして、多
曲面型レンズを用いることも可能である。
さび型ガラスである場合を示しているが、最近では、こ
のくさび型ガラスを多曲面型レンズに代えて用いる場合
もあり、いずれの場合も一般には、右サイドと左サイド
は同型の補助補正レンズが用いられ、かつ正反対方向に
向けて使用する。このため、補助補正レンズとして、多
曲面型レンズを用いることも可能である。
【0030】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、2種類、2枚の補助補正レンズで3種類、3枚分の
補助補正レンズの役割を発揮できるので、従来に比べ、
使用する補助補正レンズを1枚分、削減できる。とく
に、最近用いられている多曲面型レンズは高価格である
ため、コストの節減に有効である。
ば、2種類、2枚の補助補正レンズで3種類、3枚分の
補助補正レンズの役割を発揮できるので、従来に比べ、
使用する補助補正レンズを1枚分、削減できる。とく
に、最近用いられている多曲面型レンズは高価格である
ため、コストの節減に有効である。
【0031】また、使用する補助補正レンズの枚数が1
枚分削減できることから、補助補正レンズ格納庫の大き
さを従来に比べ、2/3程度に縮小でき、露光装置を軽
量化でき、コンパクト化がはかれる効果がある。
枚分削減できることから、補助補正レンズ格納庫の大き
さを従来に比べ、2/3程度に縮小でき、露光装置を軽
量化でき、コンパクト化がはかれる効果がある。
【0032】さらに、両サイド用の補助補正レンズは1
枚のものを180°回転固定するだけでよいため、補助
補正レンズの出し入れ時間が減少でき、露光機の生産効
率向上にも効果がある。
枚のものを180°回転固定するだけでよいため、補助
補正レンズの出し入れ時間が減少でき、露光機の生産効
率向上にも効果がある。
【図1】この発明の一実施例による露光装置を側面から
みた断面図である。
みた断面図である。
【図2】図1で示す露光装置による各色露光時の光学系
配置断面図である。
配置断面図である。
【図3】一般的なカラー受像管の動作原理を説明するた
めの図である。
めの図である。
【図4】従来の露光装置の断面側面図である。
【図5】図4で示す露光装置による各色露光時の光学系
配置断面図である。
配置断面図である。
2 蛍光体スクリーン 3 シャドウマスク 4 電子銃 5 露光機本体 6 露光光源 7 摺動機構 8 補正レンズ 9 補助補正レンズ 10 補助補正レンズ格納庫 11 補助補正レンズ回転駆動機構
Claims (2)
- 【請求項1】 露光光線を発生する光源と、この光源を
センターおよび左右両サイド位置の3箇所に水平移動さ
せるための摺動機構と、上記光源と被露光体の間に配置
され、露光光線の方向を補正するための補正レンズおよ
び補助補正レンズと、上記補助補正レンズを補助補正レ
ンズ設置位置まで出し入れ可能に収納する格納庫とを備
えた露光装置において、上記補助補正レンズを、上記光
源がセンター位置に位置する場合に用いる平行平板型ガ
ラスと上記光源が左右両サイドに位置する場合に用いる
くさび型ガラスの2種類で構成するとともに、上記くさ
び型ガラスを補助補正レンズ設置位置にて水平方向に1
80°を回転させ、くさび傾斜面の向きを左右逆転状態
にセットするための補助補正レンズ回転駆動機構を備え
たことを特徴とする露光装置。 - 【請求項2】 補助補正レンズのうち、少なくともくさ
び型ガラスを多曲面型レンズで構成した請求項1記載の
露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22152091A JPH0562594A (ja) | 1991-09-02 | 1991-09-02 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22152091A JPH0562594A (ja) | 1991-09-02 | 1991-09-02 | 露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0562594A true JPH0562594A (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=16768001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22152091A Pending JPH0562594A (ja) | 1991-09-02 | 1991-09-02 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0562594A (ja) |
-
1991
- 1991-09-02 JP JP22152091A patent/JPH0562594A/ja active Pending
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