JPH0563014B2

JPH0563014B2 -

Info

Publication number: JPH0563014B2
Application number: JP62127172A
Authority: JP
Inventors: Naoki Yoshida; Hideo Goto
Original assignee: Kusumoto Chemicals Ltd
Current assignee: Kusumoto Chemicals Ltd
Priority date: 1987-05-26
Filing date: 1987-05-26
Publication date: 1993-09-09
Also published as: JPS63292634A

Description

【発明の詳細な説明】［発明の目的］（産業上の利用分野）本発明はプラスチツクで封止された半導体チツ
プ、コンデンサー、ハイブリツドＩなどのプラス
チツクモールドの一部を溶解除去し不良解析時の
検査や品質チエツクに使用できるようにしたプラ
スチツクモールド開封装置に関する。

（従来の技術）従来、プラスチツクモールド開封装置に使用さ
れる薬液としては、主に高温例えば290℃程度に
加熱された濃硫酸が使用されている。その加熱さ
れた濃硫酸は前記プラスチツクモールド開封装置
の開封処理部に送液される。その開放処理部に送
液されてきた加熱濃硫酸は、例えばうず巻きポン
プあるいは水流減圧ポンプにより、予めプラスチ
ツクモールドされた供試体をセツトした１個の開
封部に噴射せしめて開封処理がなされている。

（発明が解決しようとする問題点）ところで、薬液として濃硫酸を使用した場合に
は、プラスチツクモールドされた供試体に対する
反応がどうしても激しいために、硬質ガラス、ふ
つ素樹脂など使用材質に制限がありポンプとして
はうず巻きポンプや水流減圧ポンプしか採用する
ことが出来なかつた。また、薬液として反応のお
だやかな発煙硝酸には上記水流減圧ポンプやうず
巻きポンプでは圧力がとれないために使用するこ
とが非常に難しかつた。

本発明の目的は上記事情に鑑み、種々検討を重
ねた結果、反応時間を出来るだけ短く開封処理時
間の短縮化を図つたプラスチツクモールド開封装
置を提供することにある。

［発明の構成］（問題点を解決するための手段）上記目的を達成するために、この発明はプラス
チツクモールドされた供試体PMを開封処理する
ための薬液を収納せしめておく試薬ビン１１と、
この試薬ビン１１から配管１７を通つて供給され
た薬液を一時的に貯留する薬液溜２５と、前記配
管１７中に流れている薬液をほぼ一定の温度に加
熱せしめる加熱手段２７と、前記試薬ビン１１か
ら薬液溜２５へ薬液を供給するための第１供給手
段１９と、プラスチツクモールドされた供試体
PMを裏返してセツトされた適数個の開封部３３
Ａ，３３Ｂと、前記薬液溜２５から開封部３３
Ａ，３３Ｂへ加熱された薬液を吸引噴出せしめて
供給すると共に開封部３３Ａ，３３Ｂから薬液溜
２５へ薬液溜２５から開封部３３Ａ，３３Ｂへ薬
液を戻す薬液循環経路５１，４９と、この薬液循
環経路５１，４９の途中に設けられ薬液を吸引噴
射せしめて供給するための第２供給手段３５と、
を備えてプラスチツクモールド開封装置を構成し
た。

（作用）本発明を採用することにより、試薬ビン１１か
ら第１供給手段１９によつて薬液を配管１７へ供
給すると共に配管１７中に流れている薬液を加熱
手段２７によつてほぼ一定の温度に加熱せしめて
薬液溜２５に一時的に貯留される。薬液溜２５に
貯留され、加熱された薬液は第２供給手段３５に
よつて薬液循環経路５１を通つて開封部３３Ａ，
３３Ｂへ吸引噴射される。

開封部３３Ａ，３３Ｂに吸引噴射された薬液に
よつて開封部３３Ａ，３３Ｂに裏返しにセツトさ
れた供試体PMに開封処理が施こされると共
に、開封処理に使用された薬液は薬液循環経路４
９を通つて薬液溜２５に戻される。このように、
第１供給手段１９によつて試薬ビン１１から薬液
溜２５に一時的に供給すると共に、第２供給手段
３５によつて薬液溜２５から開封部３３Ａ，３３
Ｂへ必要最小限度の薬液を供給すると共に循環さ
れる。したがつて、吸引噴射する薬液に定量性が
確保されると共に、反応時間を短かくでき、開
封処理時間が短縮化される。

（実施例）以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。

第１図を参照するに、プラスチツクモールド開
封装置１は、例えば発煙硝酸や濃硫酸などの薬液
が収納されている試薬ビンなどからなる薬液供給
手段３と、その薬液供給手段３から薬液を送液し
てプラスチツクモールドされた供試体PMを開封
処理する開封処理手段５と、その開封処理手段５
で使用された薬液を廃液として排出する廃液排出
手段７と、その廃液排出手段７内の廃液に中和剤
又は希釈剤を混入し中和処理を施す中和処理手段
９などからなつている。なお、発煙硝酸や濃硫酸
などの薬液が収納された試薬ビンは通常市販され
ているものを指し、移し替えしていないことを意
味するものである。

その薬液供給手段３は発煙硝酸や濃硫酸などの
薬液が収納されている試薬ビン１１と、その試薬
ビン１１内にエアを吸込ませるための配管１３Ａ
と、試薬ビン１１内の薬液を前記開封処理手段５
に送液するための配管１５，１７および第１プラ
ンジヤポンプ１９などから構成されている。

すなわち、試薬ビン１１には配管１３Ａ，１５
の一端が連通されている。その配管１３Ａの途中
には外部からエア試薬ビン１１に吸込ませるため
ON−OFF制御する開閉弁MV₁が分岐した配管に
取付けられている。その配管１３Ａの他端は配管
１３Ｂの一端に接続され、その配管１３Ｂの他端
は前記中和処理手段９の一部である中和タンク２
内に連通されている。その配管１３Ａの途中には
ON−OFF制御する開閉弁MV₇が取付けられてい
る。

前記試薬ビン１１には前記配管１５の一端が連
通されており、配管１５の他端は第１プランジヤ
ポンプ１９のシリンダ室１９Ｓに接続されてい
る。その配管１５の途中にはON−OFF制御する
開閉弁MV₂が取付けられている。

前記配管１７の一端部は開封処理手段５の一部
である例えば箱型形状の加熱槽２３内を通つて、
その加熱槽２３内に収納された薬液溜２５に連通
されている。その配管１７の他端部は第１プラン
ジヤポンプ１９に接続された前記配管１５の他端
側に分岐して接続されている。しかも配管１７の
途中にはON−OFF制御する開閉弁MV₃が取付け
られている。前記開閉弁MV₁、MV₇、MV₃およ
びMV₂は第１プランジヤポンプ１９と連動して
開閉される。

前記第１プランジヤポンプ１９はシリンダ室１
９Ｓと、そのシリンダ室１９Ｓ内を往復動するプ
ランジヤ１９Ｐとプランジヤ１９Ｐを往復動せし
めるための駆動モータM₂とからなつている。シ
リンダ室１９Ｓの上壁には薬液が一定量シリンダ
室１９内に供給されたかどうかを検出するための
検出スイツチLA₁が設けてある。

上記構成により、開閉弁MV₁をONにして開
け、次いで開閉弁MV₂をONにして開けると共に
駆動モータM₂を駆動させるとプランジヤポンプ
１９を作動させるとプランジヤ１９Ｐが第１図に
おいて下方向に移動する。その結果、配管１３Ａ
から試薬ビン１１へエアが吸込まれる。試薬ビン
１１内の薬液はエアと共に配管１５を通つてシリ
ンダ室１９Ｓに一旦吸込まれる。次いで、プラン
ジヤ１９Ｐを第１図において上方向に移動させる
と配管１５を通つてエアと薬液が試薬ビン１１内
に戻る。なお、開閉弁MV₃はOFF状態となつて
いる。開閉弁MV₇をONにして開けると共に開閉
弁MV₁をOFFして閉めると、エアと薬液のガス
が配管１３Ａ，１３Ｂを通つて中和タンク２１内
に送られてバブリングされる。

而して、再度開閉弁MV₁を開かせ、第１プラ
ンジヤポンプ１９の駆動モータM₂を作動させて
プランジヤポンプ１９Ｐを第１図において下方向
に移動させると、試薬ビン１１、配管１５および
シリンダ室１９Ｓ内にはエアが抜けているから、
薬液のみが配管１５を通つて、検出スイツチLA₁
によりシリンダ室１９Ｓ内に一定量送液される。
次いで開閉弁MV₂をOFF状態にすると共に、開
閉弁MV₃をON状態にしてから、プランジヤ１９
Ｐを第１図において上方向へ移動させると、シリ
ンダ室１９Ｓに吸込まれている一定量の薬液が配
管１７を通つて開封処理手段５の一部である加熱
槽２３内に設けられた薬液溜２５に送られること
となる。したがつて、発煙硝酸や濃硫酸などの薬
液が収納されている試薬ビン１１をそのままの状
態で薬液供給手段３の薬液供給装置として使用で
き、従来のような薬液を専用の薬液貯留タンクに
移し替える操作がないから、移し替え操作時の危
険を伴つた作業から解消され取扱い上安全であ
る。また、試薬ビン１１内の薬液が使用してなく
なつた場合には、新しい試薬ビン１１に取えるだ
けの作業で済み、作業能率が向上する。

さらに、特に薬液として発煙硝酸を使用した場
合でも、多重に発生する腐蝕性のガスは配管１３
Ａ，１３Ｂを経て中和タンク２１内に回収される
ため、周囲の環境を汚染することがなくなると共
にその他の装置の損傷が防止される。

試薬ビン１１から開封処理手段５へ送液する
際、試薬ビン１１、配管１５および第１プランジ
ヤポンプ１９のシリンダ室１９Ｓから始めにエア
抜きを行なつているため、スムーズに薬液の送液
を行なうことができる。

開封処理手段５内に多量の薬液を貯留させず
に、開封処理する際の１回分のみの薬液をその都
度送液するようにしてあるから、開封処理手段５
から薬液が洩れたとしても大きな被害をこうむる
ことがなくなる。

前記開封処理手段５の一部である加熱槽２３内
には、例えば薬液として発煙硝酸を使用した場
合、水が供給される。加熱槽２３内に設けたヒー
タ２７で水を加熱し、水は例えば約60℃程度の一
定温度に保持される。また、加熱槽２３内の温度
を均一に保持するために加熱槽２３内に攪拌機２
９が設けてある。さらに、加熱槽２３内の温度を
一定に保持するため、加熱槽２３内には温度セン
サ３１が設けてある。

而して、加熱槽２３内に水を供給しヒータ２７
で加熱し、攪拌機２９を作動せしめて温度センサ
３１で温度を検出することによつて、例えば約60
℃程度の一定の温度で均一にON−OFF制御され
る。

なお、薬液として濃硫酸を使用する場合には、
水の代りにオイルを使用して加熱槽２３内の温度
を一定の高温に維持することもできる。

前記配管１７の一端は加熱槽２３内に設けられ
た薬液溜２５に連通されるが、加熱槽２３内の配
管１７はコイル状の如き螺旋状部１７Ｃを形成し
ている。而して、薬液は試薬ビン１１から一定量
吸い上げられ配管１５，１７を通り、さらに加熱
槽２３内における配管１７の螺旋状部１７Ｃを通
つて薬液溜２５に送られる。この際、加熱槽２３
は一定温度に維持されているため、加熱槽２３内
における配管１７の螺旋状部１７Ｃはいわゆる熱
交換器の働きをして、螺旋状部１７Ｃ内を通る薬
液は加熱槽２３内の温度とほぼ同じ温度に加熱さ
れて薬液溜２５に送られることとなる。

なお、加熱槽２３内の第１図においても右側壁
部分には、複数の液面検知用センサLA₃、LA₄、
LA₅が設けられており、加熱槽２３内の例えば水
やオイルの液面を検出している。

したがつて、薬液供給手段３の試薬ビン１１か
ら開封処理手段５の薬液溜２５に送液するまでの
送液経路中で、薬液は例えば一定温度に加熱され
た加熱槽２３内に設けた螺旋状部１７Ｃを有する
配管１７内で連続的に送液される間に一定温度に
加熱される。従来のような別値した専用の加熱槽
に薬液を貯留して加熱する手段を講じてないので
送液時間が大巾に短縮することができる。しか
も、別値した加熱槽を設けていないので省スペー
ス化が図られる。

さらに、薬液は１回分の量しか送液されず、例
えば薬液が配管１７の螺旋状部１７Ｃから洩れた
としても、加熱槽２３内に流れ込み希釈されるの
みで、開封処理手段５内の危険は少なくなる。

前記開封処理手段５は加熱槽２３、薬液溜２５
および薬液を適数の開封部例えば２個の開封部３
３Ａ，３３Ｂに一方向に噴射せしめるためのギヤ
ポンプ３５などからなつている。すなわち、加熱
槽２３のほぼ中央部における上部には、ギヤポン
プ３５が設けられており、ギヤポンプ３５の作動
部分３５Ｓが加熱槽２３内に浸漬されている。そ
のギヤポンプ３５は作動部分３５Ｓと駆動モータ
M₁などからなつている。

加熱槽２３のほぼ中央部における上部に設けら
れたギヤポンプ３５から左側の上部位置には、適
数の開封部例えば２個の開封部３３Ａ，３３Ｂが
設けられている。その開封部３３Ａ，３３Ｂには
上面を開放した開封室３７Ａ，３７Ｂからなつて
いる。その開封室３７Ａ，３７Ｂの上面には、開
封すべき半導体チツプの如きプラスチツクモール
ドされた供試体PMが載置台３９Ａ，３９Ｂを介
して裏返しされて上方から押え装置４１Ａ，４１
Ｂによりセツトされる。

各開封室３７Ａ，３７Ｂにはそれぞれ内筒管４
３Ａ，４３Ｂが設けられ、開封室３７Ａ，３７Ｂ
の上面まで延在されている。その内筒管４３Ａ，
４３Ｂの外周部には外筒管４５Ａ，４５Ｂが配置
されている。内筒管４３Ｂと外筒管４５Ａとは配
管４７で接続され、外筒管４５Ｂと前記薬液溜２
５の下部とは配管４９で接続されている。

前記内筒管４３Ａには配管５１の一端が接続さ
れ、配管５１の他端は前記ギヤポンプ３５の作動
部分３５Ｓの左側壁に接続されている。ギヤポン
プ３５の作動部分３５Ｓの右側壁と前記薬液溜２
５とは配管５２で接続されている。前記配管５１
の途中にはチエツク弁CVが取付けられている。

内筒管４３Ａとチエツク弁CV間の配管５１に
おける途中には、分岐して配管５３の一端が接続
されており、配管５３の他端は前記第１プランジ
ヤポンプ１９のシリンダ室１９Ｓに接続されてい
る。その配管５３の途中にはタイマーによりON
−OFF制御する開閉弁MV₄が取付けられている。
この開閉弁MV₄は第１プランジヤポンプ１９と
連動して開閉される。

上記構成により、ギヤポンプ３５の駆動モータ
M₁を駆動させると、作動部分３５Ｓが作動して
薬液溜２５内に一時的に貯留された薬液が配管５
２，５１およびチエツク弁CVを経て内筒管４３
Ａに送られる。内筒管４３Ａから薬液が噴射され
て供試体PMの開封処理がなされる。噴射された
薬液は外筒管４５Ａ、配管４７を経て内筒管４３
Ｂに送られる。

内筒管４３Ｂから薬液が噴射されてもう一方の
供試体PMの開封処理がなされる。噴射された薬
液は外筒管４５Ｂ、配管４９を経て前記薬液溜２
５に戻される。

このように、ギヤポンプ３５の作動部分３５Ｓ
を所定時間作動させることによつて、開封部３３
Ａ，３３Ｂにセツトされた供試体PMに開封処理
が施されて所望の開封処理が終了する。このギヤ
ポンプ３５の作動部３５Ｓにおける所定時間は、
薬液の種類、供試体PMの形状、大きさあるいは
開封割合によつて適宜決定することができる。

したがつて、加熱した薬液を開封部３３Ａ，３
３Ｂに噴射せしめるためのポンプ例えばギヤポン
プ３５の作動部分３５Ｓなどが開封処理手段５に
おける加熱槽２３に浸漬して設けられているか
ら、作動部分３５Ｓは加熱槽２３内の一定温度と
ほぼ同じ温度に維持される。その結果、ギヤポン
プ３５の作動部分３５Ｓに送液されてきた加熱薬
液の温度は低下せずに一定の温度に維持された状
態で開封部３３Ａ，３３Ｂに噴射される。

また、ギヤポンプ３５の作動部分３５Ｓから加
熱した薬液が洩れたとしても、その洩れた薬液は
加熱槽２３に流出し希釈されるだけで、外部には
流出しない。薬液の取扱い上、従来に比べて非常
に安全性が高まり、危険性は少ない。

薬液を開封部３３Ａ，３３Ｂび噴射せしめるた
めのポンプとして、ギヤポンプ３５を採用したの
で、薬液噴射圧が高くとれ、かつ薬液の定量性が
確保されることにより、反応時間が短く開封処理
手段を短縮化することができる。

またギヤポンプ３５の噴射圧を高くとれること
から、１個の開封部のみならず、複数個の開封部
を設けて行なうことができるから、開封処理量が
大巾に向上される。しかも、薬液として反応のお
だやかな発煙硝酸を使用した場合は、特に効果的
である。

前記ギヤポンプ３５の送液方向を逆向きにして
薬液溜２５内の薬液を配管４９を介して開封部３
３Ｂ，３３Ａに供給して開封処理を施す。開封処
理に使用された薬液は配管５１を介して薬液溜２
５に戻されることでも対応可能である。

このようにギヤポンプ３５における作動部分３
５Ｓの吸引側に開封部３３Ａ，３３Ｂを設けるこ
とにより、楽液を吸い込ませることで開封処理が
行なわれる。その結果、開封部３３Ａ，３３Ｂの
シールが破れたとき、空気を吸い込むことにな
り、薬液が外部に噴出することなく安全に使用す
ることができる。この場合にはチエツス弁CVを
逆向きに使用することは当然のことである。

予めセツトされた供試体PMに開封処理を施し
た後、ギヤポンプ３５の駆動モータM₁の停止す
ると、作動部分３５Ｓが作動停止して薬液は廃液
として薬液溜２５に一旦回収されることになる。

前記配管１５に分岐して接続された配管１７の
他端側の途中から分岐して配管５５の一端が接続
されており、配管５５の他端はチエツク弁CV後
の配管５１に接続されている。配管５５の途中に
は開閉弁MV₈が取付けられている。開閉弁MV₈
は第１プランジヤポンプ１９と連動して開閉され
る。

上記構成により、開封処理を施して薬液が薬液
溜２５に一旦回収された後、再度開閉弁MV₂を
開かせ、第１プランジヤポンプ１９の駆動モータ
M₂を駆動してプランジヤ１９Ｐを下方へ移動さ
せて試薬ビン１１から新しい薬液をシリンダ室１
９Ｓに吸込ませる。次に、開閉弁MV₂を閉じる
と共に開閉弁MV₈を開かせる。（開閉弁MV₃は閉
じた状態にある。）プランジヤ１９Ｐを上方へ移
動せしめると、シリンダ室１９Ｓに吸込まれてい
た新しい薬液は、配管５５を経て開封部３３Ａ，
３３Ｂを通り、さに配管４９を経て薬液溜２５に
回収される。

新しい楽液を開封部３３Ａ，３３Ｂに通すこと
によつて、開封部３３Ａ，３３Ｂの開封室３７
Ａ，３７Ｂ、内筒管４３Ａ，４３Ｂ、外筒管４５
Ａ，４５Ｂおよび供試体PMの開封部面に付着さ
れている溶解物などがきれいに洗い流される。

薬液として発煙硝酸を使用した場合には、開封
速度を高めるために発煙硝酸を約60〜70℃に加熱
して開封処理とすることが望ましい。その場合に
おける洗浄液としては温度を約50℃以下とし溶解
力を弱めた例えば新しい発煙硝酸あるいは開封処
理に使用した発煙硝酸で行なうと、より一層の洗
浄効果が発揮されて好ましい。

薬液溜２５に回収された廃液は、開閉弁MV₄
をON状態にし、さらに前記第１プランジヤポン
プ１９の駆動モータM₂を駆動し、プランジヤ１
９Ｐを第１図において下方向に移動させると、薬
液溜２５に回収された廃液は配管５３を経てシリ
ンダ室１９Ｓに吸込まれることになる。

前記配管５３の第１のプランジヤポンプ１９側
寄りの途中には、配管５７の一端が接続されてお
り、配管５７の他端は液と中和液とを合流させ
る配管５９の途中に連通されている。しかも配管
５７の途中にはON−OFF制御する開閉弁MV₅が
取付けられている。開閉弁MV₅は第１プランジ
ヤポンプ１９と運動して開閉される。

前記配管５９の一端は第２プランジヤポンプ６
１のシリンダ室６１Ｓに接続されている。第２プ
ランジヤポンプ６１はシリンダ室６１Ｓとプラン
ジヤ６１Ｐとプランジヤ６１Ｐを往復動せしめる
ための駆動モータM₃などからなつている。その
シリンダ室６１Ｓには中和液を検出する検出スイ
ツチLA₂が設けられている。

前記配管５９の途中にはにON−OFF制御され
る開閉弁MV₆が設けられており、開閉弁MV₆に
は別の配管６３の一端が接続され、配管６３の他
端は前記中和タンク２１に連通されている。前記
開閉弁MV₆は第２プランジヤポンプ６１の駆動
モータM₃を駆動させることによりプランジヤ６
１Ｐが第１図において下方向に移動して、中和タ
ンク２１内の中和液を配管６３を経てシリンダ室
６１Ｓに吸込ませる。その際、配管５９内に中和
液は流れない。また、駆動モータM₃を駆動させ
ると、プランジヤ６１Ｐが第１図において上方向
に移動してシリンダ室６１Ｓに吸込まれた中和液
は配管５９に流れるが、前記配管６３に流れない
ようになつている。なお、開閉弁MV₆は第２プ
ランジヤポンプ６１と連動して開閉される。

前記中和タンク２１内には、例えば水に炭酸ナ
トリウムなどのアルカリ中和剤を混入した中和液
が予め所定量供給され貯留されている。あるい
は、中和タンク２１内には単に水だけを供給して
希釈するようにしてもよい。

前記薬液溜２５の上面一部例えば第１図におい
て左側には上方へ配管２５Ｈの一端が接続されて
おり、その配管２５Ｈの他端は開閉弁MV₇通過
後の配管１３Ｂの途中に接続されている。

前記配管５９の他端側にはコイル状のごとき螺
旋上部５９Ｃを有し、配管５９の先端部は例えば
大気中に開放されている。その配管５９の先端部
には中和された排液を貯留する排液用タンクを設
けておいてもよい。

上記構成により、開閉弁MV₄をOFFにしかつ
開閉弁MV₅をONにする。さらにプランジヤ１９
Ｐを第１図において上方向に移動させると、シリ
ンダ室１９Ｓに吸込まれていた一定量の廃液は配
管５７を経て配管５９に送込まれる。

第２プランジヤポンプ６１の駆動モータM₃を
駆動させてプランジヤ６１Ｐを第１図において下
方向に移動させ、かつ開閉弁MV₆をON状態にし
て、中和タンク２１内の中和液あるいは単なる水
を配管６３を経てシリンダ室６１Ｓに一定量吸込
ませる。次に、プランジヤ６１Ｐを第１図におい
て上方向に移動させると、シリンダ室６１Ｓ内の
中和液が配管５９送られる。なお、第２プランジ
ヤポンプ６１のプランジヤ６１Ｐを第１図におい
て上方向に移動させるときは、前記第１プランジ
ヤポンプ１９のプランジヤ１９Ｐを第１図におい
て上方向に移動させると同時にほぼ同調させて作
動せしめるものである。

さらに、薬液溜２５一時貯留される薬液からの
発生ガスは配管２５Ｈ、配管１３Ｂを経て中和タ
ンク２１に送られる。

配管５９螺旋状部５９Ｃには配管５７からの廃
液と、配管５９からの中和液あるいは単なる水が
送られて合流すると共に混在して排液は中和処理
あるいは希釈処理されながら外部に廃棄処分され
ることとなる。

したがつて、中和処理された排液は無害となり
外部に排出されて排液は安全に取扱いできると共
に、その排液によつて環境汚染されることがなく
なる。しかも、廃棄手段を選ばず容易に廃液処理
できる。また、薬液からの発生ガスは中和液ある
いは希釈液で処理されることにより、有毒なガス
が出なくなる。その結果、周囲にあるその他の装
置を腐蝕破損させてしまうようなことから解消さ
れる。

なお、前記加熱槽２３の下方部には液受け６５
を設けて、加熱槽２３から液がこぼれた場合に外
部へ流出しないためのものである。また、第１プ
ランジヤポンプ１９、第２プランジヤポンプ６１
は例えばマイクロスイツチなどで位置を検出し制
御されるものである。

本発明は前述した実施例に限定されることな
く、適宜な変更を行なうことにより、その他の態
様を実施し得るものである。例えば前述の実施例
においては例えば供試体PMにギヤポンプ３５で
薬液を噴射せしめて開封処理を施しているが、そ
の他プランジヤポンプなどの高圧の流体圧ポンプ
を使用しても構わない。また、薬液としては濃硫
酸、発煙硝酸はかりではなく、その他のプラスチ
ツクモールドPMを溶解する溶解可能な薬液であ
つてもよく、さらに、液体のみならず、蒸気、蒸
気と液体などの薬液を使用しても構わない。

［発明の効果］以上のごとき実施例の説明より理解されるよう
に、本発明によれば、特許請求の範囲に記載され
たとおりの構成であるから、試薬ビン１１から第
１供給手段１９によつて薬液を配管１７へ供給す
ると共に配管１７中に流れている薬液を加熱手段
２７によつてほぼ一定の温度に加熱せしめて薬液
溜２５に一時的に貯留される。薬液溜２５に貯留
され、加熱された薬液は第２供給手段３５によつ
て薬液循環経路５１を通つて開封部３３Ａ，３３
Ｂへ吸引噴射される。

開封部３３Ａ，３３Ｂに吸引噴射された薬液に
よつて開封部３３Ａ，３３Ｂに裏返しにセツトさ
れた供試体PMに開封処理が施こされると共に、
開封処理に使用された薬液は薬液循環経路４９を
通つて薬液溜２５に戻される。このように、第１
供給手段１９によつて試薬ビン１１から薬液溜２
５一時的に供給すると共に、第２供給手段３５に
よつて薬液溜２５から開封部３３Ａ，３３Ｂへ必
要最小限度の薬液を供給すると共に循環される。

このように、薬液が収納されている試薬ビン１
１をそのままの状態で薬液供給手段の薬液供給装
置として使用でき、従来のような薬液を専用の薬
液貯留タンクに移し替える操作がないから、移し
替え操作時の危険を伴つた作業から解消され取扱
い上安全である。また、試薬ビン１１内の薬液が
使用してなくなつた場合には、新しい試薬ビン１
１に取替えるだけの作業で済み、作業能率が向上
する。

また、試薬ビン１１から薬液溜２５へ第１供給
手段１９で必要な量だけ薬液を供給させることが
できる。そして、薬液を薬液溜２５から開封部３
３Ａ，３３Ｂを経て循環せしめる際に、第２供給
手段３５で薬液を吸引噴射せしめることにより、
薬液の噴射圧が高くとれて適数個例えば複数の開
封部を設けることができ、生産性の向上を図るこ
とができる。

また、薬液の定量が確保されるから、反応時間
を短かくすることができて、開封処理時間を短縮
化することができる。薬液を１回のみでなく、複
数回再使用できるから、開封処理におけるランニ
ングコストの低減を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はプラスチツクモールド開封装置を説明
する概要説明図である。［図面の主要な部分を表わす符号の説明図］、
１……プラスチツクモールド開封装置、３……薬
液供給手段、５……開封処理手段、７……廃液排
出手段、９……中和処理手段、１１……試薬ビ
ン、１９……第１プランジヤポンプ、２１……中
和タンク、２３……加熱槽、２５……薬液溜、３
３Ａ，３３Ｂ……開封部、３５……ギヤポンプ、
６１……第２プランジヤポンプ。

Claims

【特許請求の範囲】

１プラスチツクモールドされた供試体PMを開
封処理するための薬液を収納せしめておく試薬ビ
ン１１と、この試薬ビン１１から配管１７を通つ
て供給された薬液を一時的に貯留する薬液溜２５
と、前記配管１７中に流れている薬液をほぼ一定
の温度に加熱せしめる加熱手段２７と、前記試薬
ビン１１から薬液溜２５へ薬液を供給するための
第１供給手段１９と、プラスチツクモールドされ
た供試体PMを裏返してセツトされた適数個の開
封部３３Ａ，３３Ｂと、前記薬液溜２５から開封
部３３Ａ，３３Ｂへ加熱された薬液を吸引噴出せ
しめて供給すると共に開封部３３Ａ，３３Ｂから
薬液溜２５へ薬液を戻す薬液循環経路５１，４９
と、この薬液循環経路５１，４９の途中に説けら
れ薬液溜２５から開封部３３Ａ，３３Ｂへ薬液を
吸引噴射せしめて供給するための第２供給手段３
５と、を備えてなることを特徴とするプラスチツ
クモールド開封装置。