JPS6262531A - モ−ルド樹脂エツチング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、樹脂封止半導体集積回路装置の故障解析な
どのために必要な、そのモールドパッケージのエツチン
グ装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第５図は、従来のモールド樹脂エツチング装置を示す断
面図であり、図において、（１）はエツチング装置外筐
、（２）はモールドエツチング液（３）を貯留するエツ
チング液槽、（４）はエツチング液（３）を加熱するヒ
ータ、（５）は上水道配管、（６）け外筐（１）の天井
に設けられた開孔、（７）はエツチング液（３）を上水
道の水流を利用して開孔（６）へ送る管、ｆ８）は被エ
ツチング半導体集積回路装置、（９）はその押え治具、
αＯは排水流である。

次に動作について説明する。エツチングに供する集積回
路装置（１０）（８）を開孔（６）の部分に取付け、ヒ
ーター（４）により、エツチング液（３）を加熱する。

次に上水道配Ｗ（５）に水を流すことにより、加熱され
たエツチング液（３）を管（７）を経て開孔（６）に露
出した工０（８）のパッケージのエツチング箇所に当て
る。

エツチングに使われたエツチング液は、上水の中に混合
されて排水流００として流し出される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のモールド樹脂エツチング装置は、以上のように構
成されているので、エツチング液を流さなければならず
、エツチングに要する液量が多い。

またエツチング液のみを加熱し、パッケージは加熱しな
いので、エツチング速度が遅い。さらＶＣ１回当り１個
をエツチングしているため、作業能率が悪いなどの問題
点があった。

この発明は、上記のようなものの欠点を除去するために
なされたもので、効率よく工Ｏのパッケージをエツチン
グするモールド樹脂エツチング装置を提供することを目
的とする０ 〔問題点を解決するための手段〕 この発明に係るモールド樹脂エツチング装置は被エツチ
ング体を複数個収容し、所要の液を内部の被エツチング
体に供給するための孔を有するカバーをクランプできる
エツチング用治具を用いるとともに、この治具を用いて
、クランプ操作、エツチング操作、洗浄操作、乾燥操作
、クランプ解除の処理を行なうようにしたものである。

〔作　用〕

この発明では上述のようなエツチング用治具を用いるの
で、同時に複数個の被エツチング体のエツチングを行な
うことができ、効率よく作業をすることかでき、エツチ
ング液等の液も少量で目的を達成でき、処理操作の自動
化にも適している。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例によるモールド樹脂エツチン
グ装置を図について説明する。第１及びｇＫ２図はそれ
ぞれエツチング用治具を一部破断して示す側面図及び平
面図であり、第３及び第４図はそれぞれエツチング用治
具を自動で処理する装置を模式的に示す側面図及び平面
図である。第１゜第２図において、＠υはエツチングに
供されるＩＣのパッケージ、（２）はＩＣのパッケージ
＠１）ヲ押さえるエツチング治具カバー、（至）はＩＣ
のパッケージ圓の位置を固定し、下面に接触したヒータ
ーの熱をパッケージ＠ηに伝えるヒートブロックの役目
を果たすエツチング治具本体、例は該本体（ロ）とカバ
ー翰とを密着させるためにスプリングを内蔵したクラン
プ機構、（至）はエツチング液を上記パッケージ？劾の
エツチング箇所に供給するために上記カバー□□□に設
けられた孔、Ｑ６）は上記本体内に設けられた溝である
。＠３．第４図において、　（３１）はクランプ機構（
２）褐で治具本体−とカバー翰とをクランプさせるクラ
ンプ操作部、Ｉ３２は治具本体−の下面に接触して加熱
するヒータ、關は治具カバーの孔（２Ｉ１９にエツチン
グ液を供給するチューブの先端（ノズル）ｆｔ装着した
エツチング液供給部、図はエツチング用治具を反転させ
るアーム、（至）は洗浄液を治具カックーの孔側に下方
から吹付けるノズル、（鏝はエツチング用治具を冷却す
るためにエアー吹付けを行なうノズル、Ｃηはエツチン
グ用治具を洗浄する超音波洗浄槽、贈はエツチング治具
を取出す治具搬出部、国はエツチング治具のクランプを
解除するクランプ解除部、鴎は洗浄液の廃液受け、似）
はヒータ国を昇降させるシリンダー、（４））は治具移
載機構、（至）は排気ダクトである０ ＩＣのモールド樹脂エツチング作業は次の順序で行なわ
れる。

１、　エツチング用治具へのサンプルの装着２、　治具
のクランプ ３、　治具のプリヒート ４・　エツチング液滴下 ５、　モールド樹脂エツチング（一定時間静止）６、　
治具反転 ７、　洗浄液吹付けによる洗浄 ８、　エアー吹付けによる治具の冷却 ９、超音波洗浄（２回） １０、治具取出し ｎ、　クランプ解除 邂、　治具からのサンプル取出し このうち、ステップｌおよび認以外は自動または半自動
で行なう。

なお、上記作業順序のうちステップ８をステップ５の直
後に行なってもよく、また、ステップ９は２回としてい
るが回数は任意に変えてもよい。

また、ステップ１０とステップｎとを逆にしてもよい０ なお、上記実施例装置はドラフトチャンバーを兼ねてお
り、エツチング液および洗浄液の蒸気は装置内から速や
かに排除される。

なお、エツチング液には濃硫酸または発煙硝酸が、洗浄
液にはアセトンが用いられる。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によればエツチング用治具Ｖｃ
複数のサンプルを装着できるようにしたので、同時に６
８個のエツチングが行なえるため、作業能率が向上する
。また少種・のエツチング液でパッケージのエツチング
ができるので、液の節約ができる０また液を直接には加
熱しないため安全性にも憂れている。更に、エツチング
液およヒ洗浄液は全く外部に流さないシステムである之
め、公害防止の面でも優れている。

【図面の簡単な説明】

＋３１図及び第２図はそれぞれこの発明の一実施例によ
るモールド樹脂エツチング用治具を一部破断して示す側
面図及び平面図、＠３図及び＠４図はそれぞれこの発明
の一実施例によるモールド樹脂エツチング裏置全体を模
式的に示す側面図及び平面図、第５図は従来のモールド
樹脂エツチング装置を示す縦断面図である。 図において、馨りは被エツチング体（樹脂封止半専体’
ｍ！　）　、’２’Ａハ治具カバー、ｔ２３１　＋＊　
？＆　Ａ　不休、迄夷はクランプ機構、□□□は孔、則
はクランプ操作部、（３２１は加熱用ヒータ、（３（至
）はエツチング液滴下供給部、（財）は治具反転用アー
ム、（３＠は洗浄液吹付はノズル、（酒は冷却用空気吹
付はノズル、（３ηは超音波洗浄槽。 （３轍はクランプ解除部である。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数個の被エッチング体を収容しヒートブロック
   の役割を果たす本体と、上記各被エッチング体に所要液
   を供給する所要数の孔を有するカバーと、上記カバーを
   上記本体にクランプするクランプ機構とを有するエッチ
   ング用治具と、この治具に対して上記クランプ操作、加
   熱、液滴下、反転、液吹付け、空気吹付け、超音波洗浄
   及びクランプ解除の全部または一部処理を施す装置とか
   らなるモールド樹脂エッチング装置。