JPH056431U - 液晶パネル製造用加圧熱盤装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】金属製ヒータープレートとセラミック製定盤と
を使用した液晶パネル製造用加圧熱盤の温度をオーバー
シュートやハンチングをおこすことなく精度よくコント
ロールできる装置を提供する。 【構成】 熱電対４により測定されたセラミック製定盤
３の表面部の温度と、予め定められた目標値との差から
ヒータープレート２の目標値を算出し、その目標値と熱
電対５により測定されたヒータープレート２の温度とか
ら出力を算出してソリッドステートコンダクタ８を開閉
制御して電力調整器を介してヒーター１をコントロール
するようにした液晶パネル製造用加圧熱盤装置

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は液晶パネルを製造するためのガラス板２枚をシール樹脂を介して接 着させる工程で使用される液晶パネル製造用加圧熱盤装置に関する。

【０００２】

【従来技術と問題点】

上記のように液晶パネルを製造する工程で使用される加圧熱盤装置は、熱ひず み、反り等の発生を防ぐ目的でヒーターを内蔵した金属製ヒータープレートの上 部にセラミック製定盤を固定したものを使用することが考えられているがセラミ ック製定盤の表面部の温度をコントロールする場合に、セラミック製定盤内の表 面部近辺に熱電対を取付け、この熱電対の検出温度に基づいてヒータープレート のヒーターをコントロールすると、金属製ヒータープレートとセラミック製定盤 の熱伝導率の違いにより、ヒータープレートの熱量が定盤に伝わるのにかなりの 応答遅れがある。このため上記のような系で温度コントロールを行なうと、オー バーシュートやハンチングなどが起こり、温度コントロールが精度よくできない という問題がある。

【０００３】 本考案は上記の問題に鑑みて成されたもので金属製ヒータープレートとセラミ ック製定盤とを使用した液晶パネル製造用加圧熱盤の温度をオーバーシュートや ハンチングをおこすことなく精度よくコントロールできる装置を提供することを 目的とするものである。

【０００４】

【問題解決のための手段】

上記の目的を達成するために本考案における液晶パネル製造用加圧盤装置は、 内部にヒーター埋設した金属製ヒータープレートの上部にセラミック製定盤を固 定した液晶パネル製造用加圧熱盤装置において、該セラミック製定盤に対しその 表面部近辺の温度を検出するようにして第１熱電対を設けると共に該金属製ヒー タープレートに対し前記ヒーター近辺の温度を検出するようにして第２熱電対を 設け、前記第１熱電対を定盤用温調計に電気的に接続すると共に前記第２熱電対 をヒータープレート用温調計に電気的にに接続し、該定盤用温調計の出力をヒー タープレート用温調計のリモート入力端子に電気的に接続し、かつヒータープレ ート用温調計の出力をソリッドステートコンダクタに接続すると共に該ソリッド ステートコンダクタと前記各ヒーターとを電力調整器を介して電気的に接続した ことを特徴するものである。

【０００５】

【作用】

本考案は上記のような解決手段を採用することにより、定盤の表面温度を所定 の目標温度にオーバーシュートやハンチングをせずに精度よくコントロールする ことができる。

【０００６】

【実施例】

以下本考案の実施例を図に基づいて説明すると、内部に多数のヒーター１を埋設 した金属製ヒータープレート２の上部にはセラミック製定盤３が固定されていて 該セラミック製定盤３および金属製ヒータープレート２にはそれぞれ熱電対４， ５が埋設されており、該熱電対４は定盤３の表面部近辺の温度を検出するように 没説され、該熱電対５はヒータープレート２のヒーター近辺の温度を検出するよ うにして埋設されている。

【０００７】 また該熱電対５，４は定盤用温調計６、及びヒータープレート用温調計７にそれ ぞれ電気的に接続されていて、該定盤用温調計６の出力はヒータープレート用温 調計７のリモート入力端子に電気的に接続してある。 さらにヒータープレート用温調計７の出力はソリッドステートコンダクタ８に接 続され、ヒータープレート用温調計７の出力にてソリッドステートコンダクタ８ の開閉を行なうようにされている。 またソリッドステートコンダクタ８は前記ヒーター１，１に対応した電力調整器 ９，９を介して前記ヒーター１，１に接続されている。

【０００８】 このように構成されたものは、ヒーター１，１に電力を供給することにより金属 製ヒータープレート２及びセラミック製定盤３を加熱してゆく、この際定盤用熱 電対４によって定盤３の表面部に近い部分の温度を測定し、それを定盤用温調計 ６に入力することにより定盤用温調計６では測定値と、目標値との差からＰＩＤ 演算を行ない出力を算出する。その出力は、ヒータープレート用温調計７のリモ ート入力に入力され予めそのヒータープレート用温調計７の設定値にて定められ た算出式によりヒータープレート用目標値を算出し、その目標値とヒータープレ ート用熱電対５によるヒータープレート測定値とからＰＩＤ演算を行ない出力を 算出し、その出力に従ってソリッドステートコンダクタ８を開閉し、ヒーター１ ，１をコントロールする。従ってセラミック製定盤３の表面温度を所定の目標温 度にオーバーシュートやハンチングをせずに精度よくコントロールするようにな る。

【０００９】

【考案の効果】

本考案は上記の説明から明らかなように熱電対により測定されたセラミック製 定盤の表面部の温度と、予め定められた目標値との差からヒータープレートの目 標値を算出し、その目標値と熱電対により測定されたヒータープレートの温度と から出力を算出してソリッドステートコンダクタを開閉制御して電力調整器を介 してヒーターをコントロールするようにしたからオーバーシュートやハンチング をしないようになり、ヒーターの寿命が長くなると共にムダな電力の消費をなく し、さらに応答のおくれをなくして精度よくセラミック製定盤の温度コントロー ルができるようになる等種々の効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す模式図である。

【符号の説明】

１ ヒーター ２ 金属製ヒータープレート ３ セラミック製定盤 ４ ５ 熱電対 ６ 定盤用温調計 ７ ヒータープレート用温調計 ８ ソリッドステートコンダクタ ９ 電力調整器

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 内部にヒーター１を埋設した金属製ヒータープレート２
   の上部にセラミック製定盤３を固定した液晶パネル製造
   用加圧熱盤装置において、該セラミック製定盤３に対
   し、その表面部近辺の温度を検出するようにして第１熱
   電対４を設けると共に該金属性ヒータープレート２に対
   し前記ヒーター１近辺の温度を検出するようにして第２
   熱電対５を設け、前記第１熱電対４を定盤用温調計６に
   電気的に接続すると共に前記第２熱電対５をヒータープ
   レート用温調計７に電気的に接続し、該定盤用温調計６
   の出力をヒータープレート用温調計７のリモート入力端
   子に電気的に接続し、かつヒータープレート用温調計７
   の出力をソリッドステートコンダクタ８に接続すると共
   に該ソリッドステートコンダクタ８と前記各ヒーター１
   とを電力調整器９を介して電気的に接続したことを特徴
   とする液晶パネル製造用加圧熱盤装置。