JPH056489A - 光電式煙感知器 - Google Patents
光電式煙感知器Info
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- JPH056489A JPH056489A JP2882291A JP2882291A JPH056489A JP H056489 A JPH056489 A JP H056489A JP 2882291 A JP2882291 A JP 2882291A JP 2882291 A JP2882291 A JP 2882291A JP H056489 A JPH056489 A JP H056489A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 現場で簡単に安定した点検をできるようにす
る。 【構成】 暗箱内に煙監視用発光部LED1と煙監視用受光
部PDとを備え、煙監視用発光部LED1からの煙監視光Uが
煙によって散乱した散乱光を煙監視用受光部PDで受光
し、該受光量が所定値以上になった場合に発報する比較
回路13を備えた散乱光式の光電式煙感知器1におい
て、点検用発光部LED2を煙監視用発光部LED1とは別に設
けると共に点検用発光部LED2を投入・遮断する点検スイ
ッチSWを設け、点検用発光部LED2からの点検光Tを煙監
視用受光部PDへ導く光路2を設ける。また、光路2を光
ファイバーで形成する。更に、煙監視用発光部LED1と点
検用発光部LED2とを電気的に直列接続することによっ
て、点検用発光部LED2を煙監視用発光部LED1の発光電源
回路11で発光する。
る。 【構成】 暗箱内に煙監視用発光部LED1と煙監視用受光
部PDとを備え、煙監視用発光部LED1からの煙監視光Uが
煙によって散乱した散乱光を煙監視用受光部PDで受光
し、該受光量が所定値以上になった場合に発報する比較
回路13を備えた散乱光式の光電式煙感知器1におい
て、点検用発光部LED2を煙監視用発光部LED1とは別に設
けると共に点検用発光部LED2を投入・遮断する点検スイ
ッチSWを設け、点検用発光部LED2からの点検光Tを煙監
視用受光部PDへ導く光路2を設ける。また、光路2を光
ファイバーで形成する。更に、煙監視用発光部LED1と点
検用発光部LED2とを電気的に直列接続することによっ
て、点検用発光部LED2を煙監視用発光部LED1の発光電源
回路11で発光する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、点検機能を備えた光電
式煙感知器の改良に関するものである。
式煙感知器の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図2は光電式煙感知器1の動作原理を示
す原理説明図であり、光電式煙感知器は1煙監視用発光
部と煙監視用受光部とを備え、煙監視用発光部LED1と煙
監視用受光部PDとを備えている。煙監視用発光部LED1と
煙監視用受光部PDとは、煙監視用発光部LED1の発光領域
1bと煙監視用受光部PDの受光領域1cとが略直交する
ように交差した検知領域1dを暗箱1a内に形成するよ
うに配設されている。
す原理説明図であり、光電式煙感知器は1煙監視用発光
部と煙監視用受光部とを備え、煙監視用発光部LED1と煙
監視用受光部PDとを備えている。煙監視用発光部LED1と
煙監視用受光部PDとは、煙監視用発光部LED1の発光領域
1bと煙監視用受光部PDの受光領域1cとが略直交する
ように交差した検知領域1dを暗箱1a内に形成するよ
うに配設されている。
【0003】また、暗箱1aの周壁である暗箱壁1eに
は、煙は流入するが外光は暗箱1a内に入射させない迷
路状の煙道が設けられると共に、暗箱1aを形成する周
壁内面は黒色の表面処理が施され、煙監視用発光部LED1
からの煙監視光が、暗箱1aを形成する周壁内面で乱反
射しないようにされている。
は、煙は流入するが外光は暗箱1a内に入射させない迷
路状の煙道が設けられると共に、暗箱1aを形成する周
壁内面は黒色の表面処理が施され、煙監視用発光部LED1
からの煙監視光が、暗箱1aを形成する周壁内面で乱反
射しないようにされている。
【0004】従って、火災等で煙が発生してその煙が検
知領域1dに達すると、煙監視用発光部LED1からの煙監
視光が煙粒子に散乱され、その散乱光が煙監視用受光部
PDに受光される。煙監視用受光部PDは受光量に応じた電
気量を出力し、その電気量は電子回路部10内に構成さ
れた比較回路(図示せず)に導かれ、比較回路(図示せ
ず)は受光量に応じた電気量が所定値以上に成ったか否
かを判断し、電気量が所定値以上に成った場合は火災が
発生したと判断して出力回路(図示せず)を発報するの
である。
知領域1dに達すると、煙監視用発光部LED1からの煙監
視光が煙粒子に散乱され、その散乱光が煙監視用受光部
PDに受光される。煙監視用受光部PDは受光量に応じた電
気量を出力し、その電気量は電子回路部10内に構成さ
れた比較回路(図示せず)に導かれ、比較回路(図示せ
ず)は受光量に応じた電気量が所定値以上に成ったか否
かを判断し、電気量が所定値以上に成った場合は火災が
発生したと判断して出力回路(図示せず)を発報するの
である。
【0005】ところで、光電式煙感知器1は長年使用す
ると、煙監視用発光部LED1が埃で汚れて煙監視光が減少
したり、煙監視用受光部PDの受光効率が低下したり、最
悪の場合は煙監視用発光部LED1を発光するための発光電
源回路(図示せず)の出力電圧が低下したりして、光電
式煙感知器1の感度が規格外に変化し誤報や失報を生じ
るように成ることがある。そのため、光電式煙感知器1
は定期的に点検を行う必要がある。
ると、煙監視用発光部LED1が埃で汚れて煙監視光が減少
したり、煙監視用受光部PDの受光効率が低下したり、最
悪の場合は煙監視用発光部LED1を発光するための発光電
源回路(図示せず)の出力電圧が低下したりして、光電
式煙感知器1の感度が規格外に変化し誤報や失報を生じ
るように成ることがある。そのため、光電式煙感知器1
は定期的に点検を行う必要がある。
【0006】ところで、従来の光電式煙感知器1の現場
での定期点検は、線香等を焚いて煙を発生して光電式煙
感知器1が発報動作をするか否かを点検していた。しか
し、この方法だと線香等の消耗品が必要であると共にそ
の作業が大変めんどうであった。
での定期点検は、線香等を焚いて煙を発生して光電式煙
感知器1が発報動作をするか否かを点検していた。しか
し、この方法だと線香等の消耗品が必要であると共にそ
の作業が大変めんどうであった。
【0007】この方法に代わる物として図3に示すよう
に、暗箱1a内にテストピンA等の乱反射物を挿入し
て、煙監視用発光部LED1からの煙監視光Bを乱反射さ
せ、その乱反射光Cを煙監視用受光部PDに受光させて煙
が暗箱1a内に侵入したのと同等の効果をだして光電式
煙感知器1を発報させ点検するテストピン挿入点検方法
や、また、点検時には煙監視用発光部LED1からの煙監視
光Bを通常より強く発光させ、暗箱1aを形成する周壁
内面での乱反射光を通常レベル以上にし(暗箱1aを形
成する周壁内面は黒色の表面処理が施されいるとはいえ
ども乱反射光は完全に無くすることはできない)、この
乱反射光を煙監視用受光部PDに受光させて煙が暗箱1a
内に侵入したのと同等の効果をだして光電式煙感知器1
を発報させ点検する煙監視光増加点検方法等が用いられ
ていた。
に、暗箱1a内にテストピンA等の乱反射物を挿入し
て、煙監視用発光部LED1からの煙監視光Bを乱反射さ
せ、その乱反射光Cを煙監視用受光部PDに受光させて煙
が暗箱1a内に侵入したのと同等の効果をだして光電式
煙感知器1を発報させ点検するテストピン挿入点検方法
や、また、点検時には煙監視用発光部LED1からの煙監視
光Bを通常より強く発光させ、暗箱1aを形成する周壁
内面での乱反射光を通常レベル以上にし(暗箱1aを形
成する周壁内面は黒色の表面処理が施されいるとはいえ
ども乱反射光は完全に無くすることはできない)、この
乱反射光を煙監視用受光部PDに受光させて煙が暗箱1a
内に侵入したのと同等の効果をだして光電式煙感知器1
を発報させ点検する煙監視光増加点検方法等が用いられ
ていた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述のテスト
ピン挿入点検方法では、テストピンと煙とではどの程度
の相関性があるのかはなはだ疑問であり、テストピンで
動作したからと言って煙では正常に動作するかどうかの
保障がない。また、煙監視光増加点検方法では、暗箱を
形成する周壁内面に通常存在する僅かな乱反射を利用す
るのであるが、本来、光電式煙感知器の暗箱は、煙の無
いときは乱反射が無いのが理想的であるのに反し、この
乱反射を利用すると言うジレンマが存在すると共に前記
通常存在する僅かな乱反射を一定に得ることは困難であ
ると言う問題点があった。
ピン挿入点検方法では、テストピンと煙とではどの程度
の相関性があるのかはなはだ疑問であり、テストピンで
動作したからと言って煙では正常に動作するかどうかの
保障がない。また、煙監視光増加点検方法では、暗箱を
形成する周壁内面に通常存在する僅かな乱反射を利用す
るのであるが、本来、光電式煙感知器の暗箱は、煙の無
いときは乱反射が無いのが理想的であるのに反し、この
乱反射を利用すると言うジレンマが存在すると共に前記
通常存在する僅かな乱反射を一定に得ることは困難であ
ると言う問題点があった。
【0009】本発明は、上記の問題点を改善するために
成されたもので、その目的とするところは、テストピン
や暗箱の乱反射を用いずに現場で簡単に点検のできる光
電式煙感知器を提供することにある。
成されたもので、その目的とするところは、テストピン
や暗箱の乱反射を用いずに現場で簡単に点検のできる光
電式煙感知器を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の問題点を
解決するため、請求項1記載の光電式煙感知器にあって
は、暗箱内に煙監視用発光部と煙監視用受光部とを備
え、煙監視用発光部からの煙監視光が煙によって散乱し
た散乱光を煙監視用受光部で受光し、該受光量が所定値
以上になった場合に発報する比較回路を備えた散乱光式
の光電式煙感知器において、点検用発光部を前記煙監視
用発光部とは別に設けると共に該点検用発光部を投入・
遮断する点検スイッチを設け、前記点検用発光部からの
点検光を前記煙監視用受光部へ導く光路を設けたことを
特徴とする。
解決するため、請求項1記載の光電式煙感知器にあって
は、暗箱内に煙監視用発光部と煙監視用受光部とを備
え、煙監視用発光部からの煙監視光が煙によって散乱し
た散乱光を煙監視用受光部で受光し、該受光量が所定値
以上になった場合に発報する比較回路を備えた散乱光式
の光電式煙感知器において、点検用発光部を前記煙監視
用発光部とは別に設けると共に該点検用発光部を投入・
遮断する点検スイッチを設け、前記点検用発光部からの
点検光を前記煙監視用受光部へ導く光路を設けたことを
特徴とする。
【0011】また、請求項2記載の光電式煙感知器にあ
っては、前記光路を光ファイバーで形成したことを特徴
とする。
っては、前記光路を光ファイバーで形成したことを特徴
とする。
【0012】更にまた、請求項3記載の光電式煙感知器
にあっては、前記煙監視用発光部と前記点検用発光部と
を電気的に直列接続することによって、前記点検用発光
部を前記煙監視用発光部の発光電源回路で発光すること
を特徴とする。
にあっては、前記煙監視用発光部と前記点検用発光部と
を電気的に直列接続することによって、前記点検用発光
部を前記煙監視用発光部の発光電源回路で発光すること
を特徴とする。
【0013】
【作用】上記のように構成したことにより、請求項1記
載の光電式煙感知器にあっては、煙監視用発光部とは別
に設けた点検用発光部を発光することで、該点検用発光
部からの点検光を光路により煙監視用受光部へ導くこと
ができ、光電式煙感知器の感度が規格外に成っているか
否か点検できる。
載の光電式煙感知器にあっては、煙監視用発光部とは別
に設けた点検用発光部を発光することで、該点検用発光
部からの点検光を光路により煙監視用受光部へ導くこと
ができ、光電式煙感知器の感度が規格外に成っているか
否か点検できる。
【0014】また、請求項2記載の光電式煙感知器にあ
っては、光路を光ファイバーで形成するので、点検用発
光部を暗箱内以外のスペースに配設しても簡単に点検光
を煙監視用受光部へ導くことができる。
っては、光路を光ファイバーで形成するので、点検用発
光部を暗箱内以外のスペースに配設しても簡単に点検光
を煙監視用受光部へ導くことができる。
【0015】更にまた、請求項3記載の光電式煙感知器
にあっては、煙監視用発光部と点検用発光部とを電気的
に直列接続し、点検用発光部を煙監視用発光部の発光電
源回路で発光するので、発光電源回路の出力低下や煙監
視用発光部の断線異常も点検できる。
にあっては、煙監視用発光部と点検用発光部とを電気的
に直列接続し、点検用発光部を煙監視用発光部の発光電
源回路で発光するので、発光電源回路の出力低下や煙監
視用発光部の断線異常も点検できる。
【0016】
【実施例】以下、本発明に係る光電式煙感知器の一実施
例を図1に基づいて詳細に説明する。
例を図1に基づいて詳細に説明する。
【0017】図1は本発明に係る光電式煙感知器1の回
路ブロック図を示し、暗箱1a内に配設される煙監視用
発光部に相当する発光ダイオードLED1及び煙監視用受光
部に相当するフォトダイオードPD、並びに、暗箱1a外
の適宜スペースに配設する点検用発光部に相当する発光
ダイオードLED2は、光電式煙感知器1 内部の電子回路部
10の各回路に次のように接続されている。
路ブロック図を示し、暗箱1a内に配設される煙監視用
発光部に相当する発光ダイオードLED1及び煙監視用受光
部に相当するフォトダイオードPD、並びに、暗箱1a外
の適宜スペースに配設する点検用発光部に相当する発光
ダイオードLED2は、光電式煙感知器1 内部の電子回路部
10の各回路に次のように接続されている。
【0018】発光電源回路に相当するパルス発生回路1
1の出力のプラス極には、可変抵抗VR1 を介して発光ダ
イオードLED1のアノードが接続され、発光ダイオードLE
D1のカソードは可変抵抗VR2 の一方と接続され、可変抵
抗VR2 の他方は発光ダイオードLED2のアノードに接続さ
れ、発光ダイオードLED2のカソードはパルス発生回路1
1の出力のグランド極に接続され、可変抵抗VR1 、発光
ダイオードLED1、可変抵抗VR2 、発光ダイオードLED2は
各々直列接続されている。また、発光ダイオードLED1と
可変抵抗VR2 との接続点と、発光ダイオードLED2のカソ
ードとの間には点検スイッチSWが可変抵抗VR2 と発光ダ
イオードLED2とを接続した直列回路と並列に接続されて
いる。
1の出力のプラス極には、可変抵抗VR1 を介して発光ダ
イオードLED1のアノードが接続され、発光ダイオードLE
D1のカソードは可変抵抗VR2 の一方と接続され、可変抵
抗VR2 の他方は発光ダイオードLED2のアノードに接続さ
れ、発光ダイオードLED2のカソードはパルス発生回路1
1の出力のグランド極に接続され、可変抵抗VR1 、発光
ダイオードLED1、可変抵抗VR2 、発光ダイオードLED2は
各々直列接続されている。また、発光ダイオードLED1と
可変抵抗VR2 との接続点と、発光ダイオードLED2のカソ
ードとの間には点検スイッチSWが可変抵抗VR2 と発光ダ
イオードLED2とを接続した直列回路と並列に接続されて
いる。
【0019】フォトダイオードPDはフォトダイオードPD
が受光量に応じて発生する電気量を増幅する増幅回路1
2に接続され、増幅回路12の出力は受光量に応じた電
気量が予め設定された所定値以上に成ったとき出力をHi
ghとする比較回路13に接続されている。更に、比較回
路13の出力は比較回路13の出力がHighとなったとき
出力回路14の出力端子14a,14a間を短絡する出
力回路14に接続されている。
が受光量に応じて発生する電気量を増幅する増幅回路1
2に接続され、増幅回路12の出力は受光量に応じた電
気量が予め設定された所定値以上に成ったとき出力をHi
ghとする比較回路13に接続されている。更に、比較回
路13の出力は比較回路13の出力がHighとなったとき
出力回路14の出力端子14a,14a間を短絡する出
力回路14に接続されている。
【0020】そして、点検用発光部(発光ダイオードLE
D2)からの点検光Tを煙監視用受光部(フォトダイオー
ドPD)へ導く光路に相当する光ファイバー2が適宜隙間
を通して布設されている。
D2)からの点検光Tを煙監視用受光部(フォトダイオー
ドPD)へ導く光路に相当する光ファイバー2が適宜隙間
を通して布設されている。
【0021】次に動作の説明をする。通常は点検スイッ
チSWは閉じられており、発光ダイオードLED2は発光しな
いが、発光ダイオードLED1はパルス発生回路11の出力
によって間欠的に発光している。なお、間欠的に発光さ
せるのは発光ダイオードLED1の発光のための消費電力を
できるだけ少なくするためである。煙が暗箱1a内に流
入し検知領域に達すると、発光ダイオードLED1からの煙
監視光Uは煙粒子に散乱され、その散乱光(煙濃度が高
くなるほど散乱光は増加する)がフォトダイオードPDに
受光される。
チSWは閉じられており、発光ダイオードLED2は発光しな
いが、発光ダイオードLED1はパルス発生回路11の出力
によって間欠的に発光している。なお、間欠的に発光さ
せるのは発光ダイオードLED1の発光のための消費電力を
できるだけ少なくするためである。煙が暗箱1a内に流
入し検知領域に達すると、発光ダイオードLED1からの煙
監視光Uは煙粒子に散乱され、その散乱光(煙濃度が高
くなるほど散乱光は増加する)がフォトダイオードPDに
受光される。
【0022】フォトダイオードPDが受光量に応じて発生
する電気量は増幅回路12で増幅された後、比較回路1
3で所定値と比較され比較回路13が所定値以上である
と判断すればその判断結果が出力回路14に出力され、
出力回路14は出力端子14a,14a間を短絡して光
電式煙感知器1は火災信号を出力する。
する電気量は増幅回路12で増幅された後、比較回路1
3で所定値と比較され比較回路13が所定値以上である
と判断すればその判断結果が出力回路14に出力され、
出力回路14は出力端子14a,14a間を短絡して光
電式煙感知器1は火災信号を出力する。
【0023】さて、点検時は点検スイッチSWを開く、す
ると発光ダイオードLED1と発光ダイオードLED2には同一
の電流が流れ各々同期して発光し、発光ダイオードLED2
からの点検光Tは光ファイバー2を透してフォトダイオ
ードPDへ導かれ、従ってフォトダイオードPDのの受光量
は増加し発生する電気量も増加する。比較回路13はこ
の電気量が所定値以上であると判断すれば光電式煙感知
器1は火災信号を出力することになる。
ると発光ダイオードLED1と発光ダイオードLED2には同一
の電流が流れ各々同期して発光し、発光ダイオードLED2
からの点検光Tは光ファイバー2を透してフォトダイオ
ードPDへ導かれ、従ってフォトダイオードPDのの受光量
は増加し発生する電気量も増加する。比較回路13はこ
の電気量が所定値以上であると判断すれば光電式煙感知
器1は火災信号を出力することになる。
【0024】しかし、例えばフォトダイオードPDが埃で
汚れている場合では、光ファイバー2を透してフォトダ
イオードPDへ導かれた点検光Tは、フォトダイオードPD
に効率的に受光されず光電式煙感知器1は火災信号を出
力しない。そこで、可変抵抗VR2 を調整して例えば汚で
フォトダイオードPDの受光効率が20%低下すれば発光
ダイオードLED2が発光しても光電式煙感知器1から火災
信号が出力されないようにすれば、フォトダイオードPD
の受光効率低下による光電式煙感知器1の感度不良が点
検検出できる。
汚れている場合では、光ファイバー2を透してフォトダ
イオードPDへ導かれた点検光Tは、フォトダイオードPD
に効率的に受光されず光電式煙感知器1は火災信号を出
力しない。そこで、可変抵抗VR2 を調整して例えば汚で
フォトダイオードPDの受光効率が20%低下すれば発光
ダイオードLED2が発光しても光電式煙感知器1から火災
信号が出力されないようにすれば、フォトダイオードPD
の受光効率低下による光電式煙感知器1の感度不良が点
検検出できる。
【0025】また、例えば、パルス発生回路11の出力
低下で発光ダイオードLED1に流れる電流が低下して発光
ダイオードLED1の発光量が低下した場合は、発光ダイオ
ードLED2からの点検光Tも減少するので、前述と同様の
考え方で光電式煙感知器1の感度不良が点検検出でき
る。
低下で発光ダイオードLED1に流れる電流が低下して発光
ダイオードLED1の発光量が低下した場合は、発光ダイオ
ードLED2からの点検光Tも減少するので、前述と同様の
考え方で光電式煙感知器1の感度不良が点検検出でき
る。
【0026】従って、煙監視用発光部と点検用発光部と
を直列接続し、通常の場合と同一の発光電源回路で煙監
視用発光部と点検用発光部とを発光させると共に点検用
発光部からの点検光を煙監視用受光部へ導く光路を設け
ることによって、発光電源回路の故障、煙監視用発光部
の断線故障、煙監視用受光部の汚れ及び故障、増幅回路
の故障、比較回路の故障、出力回路の故障が点検検出で
きる。
を直列接続し、通常の場合と同一の発光電源回路で煙監
視用発光部と点検用発光部とを発光させると共に点検用
発光部からの点検光を煙監視用受光部へ導く光路を設け
ることによって、発光電源回路の故障、煙監視用発光部
の断線故障、煙監視用受光部の汚れ及び故障、増幅回路
の故障、比較回路の故障、出力回路の故障が点検検出で
きる。
【0027】
【発明の効果】本発明の光電式煙感知器は上記のように
構成されたものであるから、請求項1記載の光電式煙感
知器にあっては、テストピンや暗箱の乱反射を用いずに
現場で簡単に安定した点検ができ、請求項2記載の光電
式煙感知器にあっては、光路を光ファイバーで形成する
ので、点検用発光部を暗箱内以外の適宜スペースに配設
しても簡単に点検光を煙監視用受光部へ導くことがで
き、更に請求項3記載の光電式煙感知器にあっては、発
光電源回路の故障、煙監視用発光部の断線故障が現場で
簡単に点検検出できる光電式煙感知器を提供できると言
う効果を奏する。
構成されたものであるから、請求項1記載の光電式煙感
知器にあっては、テストピンや暗箱の乱反射を用いずに
現場で簡単に安定した点検ができ、請求項2記載の光電
式煙感知器にあっては、光路を光ファイバーで形成する
ので、点検用発光部を暗箱内以外の適宜スペースに配設
しても簡単に点検光を煙監視用受光部へ導くことがで
き、更に請求項3記載の光電式煙感知器にあっては、発
光電源回路の故障、煙監視用発光部の断線故障が現場で
簡単に点検検出できる光電式煙感知器を提供できると言
う効果を奏する。
【図1】本発明の光電式煙感知器の一実施例を示す回路
ブロック図である。
ブロック図である。
【図2】光電式煙感知器の原理を示す原理説明図であ
る。
る。
【図3】従来の光電式煙感知器の感度点検方法の一実施
例を示す側面図である。
例を示す側面図である。
1 光電式煙感知器
1a 暗箱
11 発光電源回路
13 比較回路
2 光路(光ファイバー)
LED1 煙監視用発光部
LED2 点検用発光部
PD 煙監視用受光部
T 点検光
U 煙監視光
SW 点検スイッチ
Claims (3)
- 【請求項1】 暗箱内に煙監視用発光部と煙監視用受光
部とを備え、煙監視用発光部からの煙監視光が煙によっ
て散乱した散乱光を煙監視用受光部で受光し、該受光量
が所定値以上になった場合に発報する比較回路を備えた
散乱光式の光電式煙感知器において、点検用発光部を前
記煙監視用発光部とは別に設けると共に該点検用発光部
を投入・遮断する点検スイッチを設け、前記点検用発光
部からの点検光を前記煙監視用受光部へ導く光路を設け
たことを特徴とする光電式煙感知器。 - 【請求項2】 前記光路を光ファイバーで形成したこと
を特徴とする請求項1記載の光電式煙感知器。 - 【請求項3】 前記煙監視用発光部と前記点検用発光部
とを電気的に直列接続することによって、前記点検用発
光部を前記煙監視用発光部の発光電源回路で発光するこ
とを特徴とする請求項1記載及び請求項2記載の光電式
煙感知器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2882291A JPH056489A (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | 光電式煙感知器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2882291A JPH056489A (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | 光電式煙感知器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH056489A true JPH056489A (ja) | 1993-01-14 |
Family
ID=12259093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2882291A Pending JPH056489A (ja) | 1991-02-22 | 1991-02-22 | 光電式煙感知器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH056489A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5745331A (en) * | 1994-01-31 | 1998-04-28 | Applied Materials, Inc. | Electrostatic chuck with conformal insulator film |
| KR100575903B1 (ko) * | 1998-07-10 | 2006-05-02 | 지멘스 빌딩 테크놀로지스 아크티엔게젤샤프트 | 산란광 연기 센서 기능을 검사하는 장치 |
-
1991
- 1991-02-22 JP JP2882291A patent/JPH056489A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5745331A (en) * | 1994-01-31 | 1998-04-28 | Applied Materials, Inc. | Electrostatic chuck with conformal insulator film |
| US5753132A (en) * | 1994-01-31 | 1998-05-19 | Applied Materials, Inc. | Method of making electrostatic chuck with conformal insulator film |
| KR100575903B1 (ko) * | 1998-07-10 | 2006-05-02 | 지멘스 빌딩 테크놀로지스 아크티엔게젤샤프트 | 산란광 연기 센서 기능을 검사하는 장치 |
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