JPH056538A - 磁気記録媒体、磁気記録媒体の潤滑剤塗布方法及び塗布装置 - Google Patents
磁気記録媒体、磁気記録媒体の潤滑剤塗布方法及び塗布装置Info
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- JPH056538A JPH056538A JP14302291A JP14302291A JPH056538A JP H056538 A JPH056538 A JP H056538A JP 14302291 A JP14302291 A JP 14302291A JP 14302291 A JP14302291 A JP 14302291A JP H056538 A JPH056538 A JP H056538A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】記録媒体の表面における潤滑剤の付着効率を向
上させる塗布方法及びその装置を提供すること。 【構成】潤滑膜の形成時には、潤滑剤を溶かした溶液が
アトマイザ５で微粒子化されて、キャリアガスでノズル
３に運ばれて噴出し、電圧をかけられたニ−ドル２によ
って、潤滑剤微粒子が帯電してニ−ドル２とディスク１
の間の電界でディスクの方に引き寄せられる。 【効果】粒径が均一にされた潤滑剤を潤滑膜を磁気記録
媒体上に塗布するので、高い被覆率で潤滑膜を形成する
ことができる。
上させる塗布方法及びその装置を提供すること。 【構成】潤滑膜の形成時には、潤滑剤を溶かした溶液が
アトマイザ５で微粒子化されて、キャリアガスでノズル
３に運ばれて噴出し、電圧をかけられたニ−ドル２によ
って、潤滑剤微粒子が帯電してニ−ドル２とディスク１
の間の電界でディスクの方に引き寄せられる。 【効果】粒径が均一にされた潤滑剤を潤滑膜を磁気記録
媒体上に塗布するので、高い被覆率で潤滑膜を形成する
ことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液状物質の薄膜形成に
関し、特に磁気ディスクの如き磁気記録媒体への潤滑剤
などの薄膜形成に関する。
関し、特に磁気ディスクの如き磁気記録媒体への潤滑剤
などの薄膜形成に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置においては、磁気ヘッ
ドが記録／再生する際の磁気記録媒体からの浮上量は、
例えば１μｍ以下と非常に接近をするので、記録媒体の
損傷を防ぐ目的で、媒体の表面に潤滑膜を形成すること
が行なわれる。従来、磁気記録媒体に潤滑膜を形成する
方法としては、例えば、特開昭５９−１０７４２８号公
報に記載のように、潤滑剤をフロン等の溶剤に溶かした
溶液を用い、スプレ−で潤滑剤を磁気記録媒体に塗布す
る方法が知られている。
ドが記録／再生する際の磁気記録媒体からの浮上量は、
例えば１μｍ以下と非常に接近をするので、記録媒体の
損傷を防ぐ目的で、媒体の表面に潤滑膜を形成すること
が行なわれる。従来、磁気記録媒体に潤滑膜を形成する
方法としては、例えば、特開昭５９−１０７４２８号公
報に記載のように、潤滑剤をフロン等の溶剤に溶かした
溶液を用い、スプレ−で潤滑剤を磁気記録媒体に塗布す
る方法が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のスプレ−による
塗布方法では、ノズルから噴出した潤滑剤のうち、回転
する磁気記録媒体の表面に到達してそこに付着するもの
はごく僅かであり、大半は磁気記録媒体に付着せずに飛
散してしまう。そのため、潤滑溶液のうち有効に使用さ
れるのは、ノズルから噴出した潤滑剤のうちのわずか数
％に過ぎないという問題があった。一方、記録媒体の信
頼性を確保するために、潤滑膜が記録媒体の表面に均一
に被覆していることが重要であるが、従来のスプレ−に
よる塗布方法では達成することが困難である。
塗布方法では、ノズルから噴出した潤滑剤のうち、回転
する磁気記録媒体の表面に到達してそこに付着するもの
はごく僅かであり、大半は磁気記録媒体に付着せずに飛
散してしまう。そのため、潤滑溶液のうち有効に使用さ
れるのは、ノズルから噴出した潤滑剤のうちのわずか数
％に過ぎないという問題があった。一方、記録媒体の信
頼性を確保するために、潤滑膜が記録媒体の表面に均一
に被覆していることが重要であるが、従来のスプレ−に
よる塗布方法では達成することが困難である。
【０００４】本発明は上記問題点を解決するもので、記
録媒体の表面における潤滑剤の付着効率を向上させる塗
布方法及びその装置を提供することを目的とする。
録媒体の表面における潤滑剤の付着効率を向上させる塗
布方法及びその装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明によれば、磁気ディスク媒体の表面へ潤滑溶液
を付着させる際に、潤滑溶液を微粒子状態にし、その微
粒子に電荷を付すことで媒体表面へ静電気力によって潤
滑溶液を媒体表面に付着させるものである。そして、磁
気ディスクの表面に付着する潤滑剤の粒径が０．１〜
３．０μｍの範囲となるようする。
に本発明によれば、磁気ディスク媒体の表面へ潤滑溶液
を付着させる際に、潤滑溶液を微粒子状態にし、その微
粒子に電荷を付すことで媒体表面へ静電気力によって潤
滑溶液を媒体表面に付着させるものである。そして、磁
気ディスクの表面に付着する潤滑剤の粒径が０．１〜
３．０μｍの範囲となるようする。
【０００６】潤滑剤の粒径を整える方法としては、吹き
出し口の近傍に高電圧印加手段を設けて潤滑溶液を帯電
させた後に、潤滑剤溶液を磁気ディスクに付着させ潤滑
膜を形成する。この際に、潤滑剤が均一に形成されるよ
うに磁気ディスクを低速にて回転させながら付着を行な
う。単なる移動ではなくて回転させるのは、磁気ディス
ク装置の記録方向と一致するためである。
出し口の近傍に高電圧印加手段を設けて潤滑溶液を帯電
させた後に、潤滑剤溶液を磁気ディスクに付着させ潤滑
膜を形成する。この際に、潤滑剤が均一に形成されるよ
うに磁気ディスクを低速にて回転させながら付着を行な
う。単なる移動ではなくて回転させるのは、磁気ディス
ク装置の記録方向と一致するためである。
【０００７】潤滑膜を形成する装置は、潤滑剤溶液を微
粒子にする手段と、その微粒子を磁気ディスクへ放出す
るノズルと、そのノズルの吹き出し口近傍にあって微粒
子を帯電させるニードルと、潤滑剤を付着すべき磁気デ
ィスクの表面をノズルに対向させて、磁気ディスクを保
持し回転させる手段を備える。
粒子にする手段と、その微粒子を磁気ディスクへ放出す
るノズルと、そのノズルの吹き出し口近傍にあって微粒
子を帯電させるニードルと、潤滑剤を付着すべき磁気デ
ィスクの表面をノズルに対向させて、磁気ディスクを保
持し回転させる手段を備える。
【０００８】
【実施例】以下、本発明を実施例を用いて詳細に説明す
る。本実施例では、潤滑膜が形成される磁気ディスクに
ついて説明する。
る。本実施例では、潤滑膜が形成される磁気ディスクに
ついて説明する。
【０００９】図５は本実施例において説明する磁気ディ
スクを用いた記憶装置の概略断面図である。
スクを用いた記憶装置の概略断面図である。
【００１０】複数の磁気ディスク１はスピンドル１０２
によって積層して保持される。この磁気ディスク１とし
て本願発明によって潤滑剤の塗布された磁気ディスクが
用いられる。スピンドル１０２の一端はモータ１０３に
直結される。そのモータ１０３はベース１０４に固定さ
れ、このベース１０４と上部カバー１００と側部カバー
１０１によって密閉ハウジングが形成される。
によって積層して保持される。この磁気ディスク１とし
て本願発明によって潤滑剤の塗布された磁気ディスクが
用いられる。スピンドル１０２の一端はモータ１０３に
直結される。そのモータ１０３はベース１０４に固定さ
れ、このベース１０４と上部カバー１００と側部カバー
１０１によって密閉ハウジングが形成される。
【００１１】磁気ディスク１に対して情報の記録／再生
を行なう磁気ヘッド１０５は、ヘッドアーム１０６の先
端に支持される。複数のヘッドアーム１０６は他端がキ
ャリッジ１０７に支持されており、キャリッジ１０７は
玉軸受１０８により直線運動が可能に支持され、玉軸受
１０８とベース１０４に固定されているレール１０９に
より磁気ディスク１の半径方向に移動可能に保持され
る。キャリッジ１０７のヘッドアーム固定部と反対側に
は、コイル１１０が固定される。コイル１１０の周囲に
は磁気回路１１１がベース１０４に設置され、コイル１
１０と磁気回路１１１はいわゆるボイスコイルモータを
構成する。コイル１１０に電流を流すとコイル１１０に
推力が発生し、磁気ヘッド１０５をディスクの半径方向
に移動させる。、モータ１０３によって回転している磁
気ディスク１の任意のトラックに位置付けされ、位置付
けされた磁気ヘッド１０５により、磁気ディスク１上の
情報の記録／再生が行なわれる。
を行なう磁気ヘッド１０５は、ヘッドアーム１０６の先
端に支持される。複数のヘッドアーム１０６は他端がキ
ャリッジ１０７に支持されており、キャリッジ１０７は
玉軸受１０８により直線運動が可能に支持され、玉軸受
１０８とベース１０４に固定されているレール１０９に
より磁気ディスク１の半径方向に移動可能に保持され
る。キャリッジ１０７のヘッドアーム固定部と反対側に
は、コイル１１０が固定される。コイル１１０の周囲に
は磁気回路１１１がベース１０４に設置され、コイル１
１０と磁気回路１１１はいわゆるボイスコイルモータを
構成する。コイル１１０に電流を流すとコイル１１０に
推力が発生し、磁気ヘッド１０５をディスクの半径方向
に移動させる。、モータ１０３によって回転している磁
気ディスク１の任意のトラックに位置付けされ、位置付
けされた磁気ヘッド１０５により、磁気ディスク１上の
情報の記録／再生が行なわれる。
【００１２】図１に、本発明の第１の実施例における潤
滑剤の塗布装置の全体概略図を示す。潤滑膜が形成され
る磁気ディスク１は、その内径の穴にロ−タ６を通し、
ロータ６との接合面に対し、反対側の面の方からカップ
７で押さえて固定する。カップ７は例えば磁石によって
ロ−タ６に保持される。ロ−タ６の他端付近にはモ−タ
１３が設けられ、磁気ディスク１を回転させることがで
きる。さらにロ−タ６の終端を接地ニ−ドル１４により
電気的に接地する。
滑剤の塗布装置の全体概略図を示す。潤滑膜が形成され
る磁気ディスク１は、その内径の穴にロ−タ６を通し、
ロータ６との接合面に対し、反対側の面の方からカップ
７で押さえて固定する。カップ７は例えば磁石によって
ロ−タ６に保持される。ロ−タ６の他端付近にはモ−タ
１３が設けられ、磁気ディスク１を回転させることがで
きる。さらにロ−タ６の終端を接地ニ−ドル１４により
電気的に接地する。
【００１３】ここで、図２を用いて本実施例おける、ロ
ータ６と磁気ディスク１とカップ７からなる接合部の構
造を詳述する。
ータ６と磁気ディスク１とカップ７からなる接合部の構
造を詳述する。
【００１４】ロータ６に取付けられる磁気ディスク１
は、内径の穴の周辺に磁性体などが塗布されていない部
分（磁性体未塗布部１１）があり、その外側には磁性膜
及び潤滑膜の下部に形成される下地層ｈが予めコ−ティ
ングされている。この磁気ディスク１は、上記未塗布部
１１でロ−タ６と接しているが、その接触を確実にする
ために導電ゴムパット９をロータ６と磁気ディスク１の
間に挿入する。ロ−タ６とカップ７には、磁気ディスク
１の未塗布部を保護するために不導体カバ−１０ａ、１
０ｂを設ける。ロ−タ６とカップ７の外部に露出してい
る面は、ロ−タ６へ不要な潤滑剤の付着を防止するため
に不導体コ−ト１２で覆わうことが望ましい。尚、本例
は塗布型磁気ディスクの未塗布部分に関する処理につい
て説明したものだが、これに限られずスパッタ等による
金属薄膜磁気ディスクのように、ディスク内径近傍の未
塗布部分が存在しない磁気ディスクであっても良い。こ
の場合は、不導体カバ−１０ａ、１０ｂは省略できる。
は、内径の穴の周辺に磁性体などが塗布されていない部
分（磁性体未塗布部１１）があり、その外側には磁性膜
及び潤滑膜の下部に形成される下地層ｈが予めコ−ティ
ングされている。この磁気ディスク１は、上記未塗布部
１１でロ−タ６と接しているが、その接触を確実にする
ために導電ゴムパット９をロータ６と磁気ディスク１の
間に挿入する。ロ−タ６とカップ７には、磁気ディスク
１の未塗布部を保護するために不導体カバ−１０ａ、１
０ｂを設ける。ロ−タ６とカップ７の外部に露出してい
る面は、ロ−タ６へ不要な潤滑剤の付着を防止するため
に不導体コ−ト１２で覆わうことが望ましい。尚、本例
は塗布型磁気ディスクの未塗布部分に関する処理につい
て説明したものだが、これに限られずスパッタ等による
金属薄膜磁気ディスクのように、ディスク内径近傍の未
塗布部分が存在しない磁気ディスクであっても良い。こ
の場合は、不導体カバ−１０ａ、１０ｂは省略できる。
【００１５】再び図１に戻るに、ロ−タ６に固定された
磁気ディスク１のそれぞれの磁性面に対向してノズル３
ａ、３ｂが設置されている。ノズル３ａ、３ｂは、パイ
プ１９ａ、１９ｂを経て、アトマイザ５ａ、５ｂにつな
がっている。潤滑剤を溶かした溶液は、アトマイザ５
ａ、５ｂで微粒子化されて、キャリアガス（例えば高圧
の空気）でノズル３ａ、３ｂに運ばれて、噴出される。
ノズル３ａ、３ｂの噴出口の近くには、高電圧を印加す
るニ−ドル２ａ、２ｂが設置する。ニ−ドル２ａ、２ｂ
はケ−ブル８で高圧電源４ａ、４ｂにつながれ、これに
よって潤滑剤を溶かした溶液からなる微粒子がが高圧の
電界中にさらされる。
磁気ディスク１のそれぞれの磁性面に対向してノズル３
ａ、３ｂが設置されている。ノズル３ａ、３ｂは、パイ
プ１９ａ、１９ｂを経て、アトマイザ５ａ、５ｂにつな
がっている。潤滑剤を溶かした溶液は、アトマイザ５
ａ、５ｂで微粒子化されて、キャリアガス（例えば高圧
の空気）でノズル３ａ、３ｂに運ばれて、噴出される。
ノズル３ａ、３ｂの噴出口の近くには、高電圧を印加す
るニ−ドル２ａ、２ｂが設置する。ニ−ドル２ａ、２ｂ
はケ−ブル８で高圧電源４ａ、４ｂにつながれ、これに
よって潤滑剤を溶かした溶液からなる微粒子がが高圧の
電界中にさらされる。
【００１６】潤滑剤の微粒子の塗布時には、ノズル３か
ら潤滑剤溶液の微粒子が噴出し、同時にニ−ドル２にか
けられた電圧で溶液の微粒子が帯電する。そして、微粒
子に与えられた電荷とディスクの間の電位差により、溶
液の微粒子はディスクの方に引き寄せられ、溶液の微粒
子が磁気ディスク１の表面に付着される。この際、ロ−
タ６に固定された磁気ディスク１を、モ−タ１３によっ
て数十〜数百ｒｐｍで回転させる。
ら潤滑剤溶液の微粒子が噴出し、同時にニ−ドル２にか
けられた電圧で溶液の微粒子が帯電する。そして、微粒
子に与えられた電荷とディスクの間の電位差により、溶
液の微粒子はディスクの方に引き寄せられ、溶液の微粒
子が磁気ディスク１の表面に付着される。この際、ロ−
タ６に固定された磁気ディスク１を、モ−タ１３によっ
て数十〜数百ｒｐｍで回転させる。
【００１７】磁気ディスク１やノズル３、ニ−ドル２な
どは、囲い１８で密閉する。囲い１８は、不導体で作る
と良い。装置の上方からは、フィルタ１６で清浄化され
た空気を、ファン１７によって送り込む。フィルタ１６
の下には、イオナイザ１５を設ける。イオナイザ１５
は、交流電源につながれた内部コロナ放電ニ−ドル（不
図示）によって、正、負のイオンが交互に発生させる。
発生したイオンが気流ｆに乗って装置内部に拡散して、
磁気ディスク１及び装置表面に残留した静電気を除去す
る。このイオナイザ１５は、潤滑剤の塗布中に作動させ
ずに塗布終了後に動作させると効率的である。イオナイ
ザ１５による残留静電気の除去により、磁気ディスク１
が空気中の浮遊塵埃で汚染する確立を低減できる。尚、
上記方法によって潤滑剤の塗布を終えたあと、綿テ−プ
等を磁気ディスクの両面に押し付け、潤滑剤のすり込み
を行なってもよい。
どは、囲い１８で密閉する。囲い１８は、不導体で作る
と良い。装置の上方からは、フィルタ１６で清浄化され
た空気を、ファン１７によって送り込む。フィルタ１６
の下には、イオナイザ１５を設ける。イオナイザ１５
は、交流電源につながれた内部コロナ放電ニ−ドル（不
図示）によって、正、負のイオンが交互に発生させる。
発生したイオンが気流ｆに乗って装置内部に拡散して、
磁気ディスク１及び装置表面に残留した静電気を除去す
る。このイオナイザ１５は、潤滑剤の塗布中に作動させ
ずに塗布終了後に動作させると効率的である。イオナイ
ザ１５による残留静電気の除去により、磁気ディスク１
が空気中の浮遊塵埃で汚染する確立を低減できる。尚、
上記方法によって潤滑剤の塗布を終えたあと、綿テ−プ
等を磁気ディスクの両面に押し付け、潤滑剤のすり込み
を行なってもよい。
【００１８】次に図３を用いて、本発明の第２の実施例
である潤滑剤の塗布装置を説明する。
である潤滑剤の塗布装置を説明する。
【００１９】第２の実施例が第１の実施例と違うのは、
高電圧ニードル２ａ、２ｂと磁気ディスクとの間に、金
属製網２０ａ、２０ｂを設置した点にある。金属製網２
０ａ、２０ｂは、電源２２によりアース電位よりも負側
の電位に設定し、高電圧ニードル２ａ、２ｂは、高電圧
電源２１で、さらに負の側の電位とする。本実施例で
は、金属製網２０ａ、２０ｂは図４では磁気ディスク１
の下半分を覆うようにし、網のサイズとしては、径０．
５ｍｍ、間隔５ｍｍ程度のものがよい。このように構成
することによってノズル３ａ、３ｂからでた微粒子は、
高電圧ニードル２で発生するコロナ放電の作用で負に帯
電するとともに、高電圧ニードル２ａ、２ｂと、金属製
網２０ａ、２０ｂ間の電位差で加速されながら磁気ディ
スク１に向かって移動する。そして、大半の微粒子は、
金属製網２０ａ、２０ｂで捕獲されずに金属製網２０
ａ、２０ｂを通り抜け磁気ディスク１に付着する。金属
製網２０ａ、２０ｂを設けることによって、磁気ディス
ク１の間の空間電位は半径方向に均一に分布するので、
微粒子径を均一に付着させる効果がある。
高電圧ニードル２ａ、２ｂと磁気ディスクとの間に、金
属製網２０ａ、２０ｂを設置した点にある。金属製網２
０ａ、２０ｂは、電源２２によりアース電位よりも負側
の電位に設定し、高電圧ニードル２ａ、２ｂは、高電圧
電源２１で、さらに負の側の電位とする。本実施例で
は、金属製網２０ａ、２０ｂは図４では磁気ディスク１
の下半分を覆うようにし、網のサイズとしては、径０．
５ｍｍ、間隔５ｍｍ程度のものがよい。このように構成
することによってノズル３ａ、３ｂからでた微粒子は、
高電圧ニードル２で発生するコロナ放電の作用で負に帯
電するとともに、高電圧ニードル２ａ、２ｂと、金属製
網２０ａ、２０ｂ間の電位差で加速されながら磁気ディ
スク１に向かって移動する。そして、大半の微粒子は、
金属製網２０ａ、２０ｂで捕獲されずに金属製網２０
ａ、２０ｂを通り抜け磁気ディスク１に付着する。金属
製網２０ａ、２０ｂを設けることによって、磁気ディス
ク１の間の空間電位は半径方向に均一に分布するので、
微粒子径を均一に付着させる効果がある。
【００２０】図４(1)、(2)は図３で示した、磁気ディス
ク１と高電圧ニードル２ａ、２ｂとノズル３ａ、３ｂの
位置関係を示す概念図である。ノズル３ａ、３ｂから噴
出する潤滑剤の微粒子の流れは、高電圧ニードル２ａ、
２ｂ先端で生じるコロナ放電に起因するイオン風の影響
で、高電圧ニードルから逃げる方向に偏る。従って、円
形である磁気ディスク１上への塗布を考えると、ノズル
３ａ、３ｂと高電圧ニードル２ａ、２ｂをディスク半径
方向で、高電圧ニードル２ａ、２ｂが外側になる様に配
置するのが最適であることがわかる。
ク１と高電圧ニードル２ａ、２ｂとノズル３ａ、３ｂの
位置関係を示す概念図である。ノズル３ａ、３ｂから噴
出する潤滑剤の微粒子の流れは、高電圧ニードル２ａ、
２ｂ先端で生じるコロナ放電に起因するイオン風の影響
で、高電圧ニードルから逃げる方向に偏る。従って、円
形である磁気ディスク１上への塗布を考えると、ノズル
３ａ、３ｂと高電圧ニードル２ａ、２ｂをディスク半径
方向で、高電圧ニードル２ａ、２ｂが外側になる様に配
置するのが最適であることがわかる。
【００２１】本実施例では、従来技術のスプレー塗布方
法における粒子よりも、粒子径の小さな粒子を使って薄
膜形成を行う。そこで潤滑剤を磁気ディスクに実際に塗
布して、規定の厚みの潤滑膜を得るのに必要な潤滑溶液
の量を、従来のスプレ−塗布方法によって形成した磁気
ディスク上の潤滑膜と比較して評価した。その結果本発
明では、従来のスプレ−塗布方法に比べて、溶剤の使用
量を濃度１．０ｗｔ％で約１／２０以下、濃度１０．０
ｗｔ％で約１／１００以下に削減可能であることが分か
った。従って本発明の静電塗布方法を使用し、潤滑剤の
噴出する際の圧力、キャリアガスの選定、ニードル２
ａ、２ｂに加える電圧、金属製網２０ａ、２０ｂを調整
することによって、潤滑膜の粒径を０．１〜３．０μｍ
に設定すれば、良好な潤滑膜ができる。
法における粒子よりも、粒子径の小さな粒子を使って薄
膜形成を行う。そこで潤滑剤を磁気ディスクに実際に塗
布して、規定の厚みの潤滑膜を得るのに必要な潤滑溶液
の量を、従来のスプレ−塗布方法によって形成した磁気
ディスク上の潤滑膜と比較して評価した。その結果本発
明では、従来のスプレ−塗布方法に比べて、溶剤の使用
量を濃度１．０ｗｔ％で約１／２０以下、濃度１０．０
ｗｔ％で約１／１００以下に削減可能であることが分か
った。従って本発明の静電塗布方法を使用し、潤滑剤の
噴出する際の圧力、キャリアガスの選定、ニードル２
ａ、２ｂに加える電圧、金属製網２０ａ、２０ｂを調整
することによって、潤滑膜の粒径を０．１〜３．０μｍ
に設定すれば、良好な潤滑膜ができる。
【００２２】図６は、本実施例における塗布方法とスプ
レー塗布方法の、潤滑剤の被覆率の比較を示す図であ
る。形成された潤滑膜が磁気ディスク１を被覆している
率、すなわち潤滑剤の被覆率を、潤滑膜の厚みを変え
て、スプレ−塗布方法と比較することにより評価した。
図６から、特に潤滑剤の低付着量領域で、本発明の方が
スプレ−塗布方法に比べて、被覆率が高いことが分か
る。
レー塗布方法の、潤滑剤の被覆率の比較を示す図であ
る。形成された潤滑膜が磁気ディスク１を被覆している
率、すなわち潤滑剤の被覆率を、潤滑膜の厚みを変え
て、スプレ−塗布方法と比較することにより評価した。
図６から、特に潤滑剤の低付着量領域で、本発明の方が
スプレ−塗布方法に比べて、被覆率が高いことが分か
る。
【００２３】潤滑剤を非常に細かな粒で、均一に付着さ
せることから被覆の効率も良く、本実施例によれば、潤
滑膜形成に要する潤滑溶液の量を、従来と比較して約１
／２０〜１／１００に減少させることができる。これ
は、従来のスプレー塗布方法は回転している媒体に対し
て吹き付けるだけなので、粒子の粒径がある程度無いと
弾けてしまい、微小な粒径の粒子は媒体の表面に付着で
きない。それに対し本発明の実施例の静電塗布方法にお
ける微粒子は、電荷を持つことにより微粒子が自ら媒体
へ付着するので、回転している媒体に対して弾かれにく
く、スプレー塗布方法で吹き付ける潤滑剤の粒子の粒径
よりも微小にできる。よって本発明による実施例では、
従来技術のスプレー塗布方法よりも被覆の効率が良い。
せることから被覆の効率も良く、本実施例によれば、潤
滑膜形成に要する潤滑溶液の量を、従来と比較して約１
／２０〜１／１００に減少させることができる。これ
は、従来のスプレー塗布方法は回転している媒体に対し
て吹き付けるだけなので、粒子の粒径がある程度無いと
弾けてしまい、微小な粒径の粒子は媒体の表面に付着で
きない。それに対し本発明の実施例の静電塗布方法にお
ける微粒子は、電荷を持つことにより微粒子が自ら媒体
へ付着するので、回転している媒体に対して弾かれにく
く、スプレー塗布方法で吹き付ける潤滑剤の粒子の粒径
よりも微小にできる。よって本発明による実施例では、
従来技術のスプレー塗布方法よりも被覆の効率が良い。
【００２４】次に図７から図１０は、本実施例における
静電塗布方法と従来方法による潤滑剤の付着状態を、Ｘ
線光電子分光法(x-ray photoelectron spectroscopy、
もしくは、化学分析のための電子分光法（ＥＳＣＡ）と
も言う)により評価した結果を示したものである。この
Ｘ線光電子分光法（以下ＥＳＣＡと呼ぶ）は、物質の表
面を構成する原子や分子の、被占電子軌道の位置を決定
し、物質の表面から数十Å（オングストローム）程度の
深さの元素分析が行える。このＥＳＣＡは、物質の表面
における定性分析によく使われる方法の一つである。横
軸は原子の結合エネルギーを表していて、それぞれの結
合により、固有の値を持つ。縦軸はそれぞれの結合エネ
ルギーの強度を表している。
静電塗布方法と従来方法による潤滑剤の付着状態を、Ｘ
線光電子分光法(x-ray photoelectron spectroscopy、
もしくは、化学分析のための電子分光法（ＥＳＣＡ）と
も言う)により評価した結果を示したものである。この
Ｘ線光電子分光法（以下ＥＳＣＡと呼ぶ）は、物質の表
面を構成する原子や分子の、被占電子軌道の位置を決定
し、物質の表面から数十Å（オングストローム）程度の
深さの元素分析が行える。このＥＳＣＡは、物質の表面
における定性分析によく使われる方法の一つである。横
軸は原子の結合エネルギーを表していて、それぞれの結
合により、固有の値を持つ。縦軸はそれぞれの結合エネ
ルギーの強度を表している。
【００２５】図７、図８は共に潤滑剤の付着量が８ｎｍ
のときのＥＳＣＡによる測定結果を表している図であ
る。
のときのＥＳＣＡによる測定結果を表している図であ
る。
【００２６】本実施例における静電塗布方法では、潤滑
剤の成分を代表するＣ−Ｆ結合からの信号の強さと、潤
滑剤の下層膜の成分を代表するＣ−Ｃ結合からの信号の
強さがほぼ同等であるが（図７）、従来方法では、潤滑
剤の下層膜のＣ−Ｃ結合を表す信号の強さが、潤滑剤の
Ｃ−Ｆ結合を表す信号の強さより非常に大きい（図
８）。図７、図８から分かることは、従来方法に比べて
本実施例の方法では、潤滑剤の下層膜からの信号が弱く
なっている。つまり、本実施例の静電塗布方法は従来方
法に比べて、潤滑剤の表面被覆性が大幅に向上している
ことがわかる。
剤の成分を代表するＣ−Ｆ結合からの信号の強さと、潤
滑剤の下層膜の成分を代表するＣ−Ｃ結合からの信号の
強さがほぼ同等であるが（図７）、従来方法では、潤滑
剤の下層膜のＣ−Ｃ結合を表す信号の強さが、潤滑剤の
Ｃ−Ｆ結合を表す信号の強さより非常に大きい（図
８）。図７、図８から分かることは、従来方法に比べて
本実施例の方法では、潤滑剤の下層膜からの信号が弱く
なっている。つまり、本実施例の静電塗布方法は従来方
法に比べて、潤滑剤の表面被覆性が大幅に向上している
ことがわかる。
【００２７】図９、図１０は共に潤滑剤の付着量が２０
ｎｍの場合の測定結果をを示してある。図７、図８と同
様に測定結果を見てみると、本発明による方法では潤滑
剤下層膜のＣ−Ｃ結合を示す出力信号が認められないが
（図９）、従来方法では潤滑剤の下層膜のＣ−Ｃ結合を
示す出力信号は残存している（図１０）。図９、図１０
の結果からも、本実施例による磁気ディスクの潤滑膜
は、潤滑膜の被覆度が従来方法による潤滑膜よりも非常
に優れていることがわかる。
ｎｍの場合の測定結果をを示してある。図７、図８と同
様に測定結果を見てみると、本発明による方法では潤滑
剤下層膜のＣ−Ｃ結合を示す出力信号が認められないが
（図９）、従来方法では潤滑剤の下層膜のＣ−Ｃ結合を
示す出力信号は残存している（図１０）。図９、図１０
の結果からも、本実施例による磁気ディスクの潤滑膜
は、潤滑膜の被覆度が従来方法による潤滑膜よりも非常
に優れていることがわかる。
【００２８】本実施例では、一般的な磁気ディスクに潤
滑膜を形成したが、塗布型ディスクやスパッタ等による
金属薄膜ディスクなど、その形成方法によって限定され
ないことは言うまでもない。
滑膜を形成したが、塗布型ディスクやスパッタ等による
金属薄膜ディスクなど、その形成方法によって限定され
ないことは言うまでもない。
【００２９】また、塗布の対象たる媒体は磁気ディスク
だけでなく、微細な加工を要するもの、例えば薄膜の作
成時におけるパターン作成などにも適用でき、その用途
が限定されないことは言うまでもない。
だけでなく、微細な加工を要するもの、例えば薄膜の作
成時におけるパターン作成などにも適用でき、その用途
が限定されないことは言うまでもない。
【００３０】
【発明の効果】本発明によれば、粒径が均一にされた潤
滑剤を潤滑膜を磁気記録媒体上に塗布するので、高い被
覆率で潤滑膜を形成することができる。
滑剤を潤滑膜を磁気記録媒体上に塗布するので、高い被
覆率で潤滑膜を形成することができる。
【００３１】
【図１】本発明の第１の実施例を示す全体構成図
【図２】図１の一部を拡大した縦断面図
【図３】本発明の第２の実施例を示す全体構成図
【図４】ノズルから噴出した微粒子のミスト流の挙動を
示す図
示す図
【図５】磁気ディスクを用いた記録装置の概略断面図
【図６】本実施例による塗布方法とスプレー塗布方法に
よる潤滑剤の被覆率の比較を示す図
よる潤滑剤の被覆率の比較を示す図
【図７】本実施例の静電塗布方法によって形成した潤滑
膜の膜厚が約８ｎｍであるときのＸ線光電子分光法によ
る分析結果を示す図
膜の膜厚が約８ｎｍであるときのＸ線光電子分光法によ
る分析結果を示す図
【図８】従来の塗布方法によって形成した潤滑膜の膜厚
が約８ｎｍであるときのＸ線光電子分光法による分析結
果を示す図
が約８ｎｍであるときのＸ線光電子分光法による分析結
果を示す図
【図９】本実施例の静電塗布方法によって形成した潤滑
膜の膜厚が約２０ｎｍであるときのＸ線光電子分光法に
よる分析結果を示す図
膜の膜厚が約２０ｎｍであるときのＸ線光電子分光法に
よる分析結果を示す図
【図１０】従来の塗布方法によって形成した潤滑膜の膜
厚が約２０ｎｍであるときのＸ線光電子分光法による分
析結果を示す図
厚が約２０ｎｍであるときのＸ線光電子分光法による分
析結果を示す図
１…被塗布磁気ディスク ２…高電圧
印加ニ−ドル ３…塗布ノズル ４…高圧電
源 ５…アトマイザ ６…ロータ ７…カップ ８…ケーブ
ル ９…導電ゴムパット １０…不導
体カバ− １１…磁性体未塗布部 １２…不導
体コ−ト １３…モータ １４…接地
ニ−ドル １５…イオナイザ １６…フィ
ルタ １７…ファン １８…囲い １９…パイプ ２０…金属
製網 ２１…高電圧電源 ２２…電源 ｆ…気流 ｈ…磁性膜
及び下地層
印加ニ−ドル ３…塗布ノズル ４…高圧電
源 ５…アトマイザ ６…ロータ ７…カップ ８…ケーブ
ル ９…導電ゴムパット １０…不導
体カバ− １１…磁性体未塗布部 １２…不導
体コ−ト １３…モータ １４…接地
ニ−ドル １５…イオナイザ １６…フィ
ルタ １７…ファン １８…囲い １９…パイプ ２０…金属
製網 ２１…高電圧電源 ２２…電源 ｆ…気流 ｈ…磁性膜
及び下地層
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所
Ｇ１１Ｂ 5/71 7215−5Ｄ
(72)発明者 赤城 元男
神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会
社日立製作所小田原工場内
Claims (14)
- 【請求項１】対象体の表面に薄膜を形成する方法におい
て、該薄膜を形成すべき物質を対象体に付着させるに際
し、該物質の粒径を０．１〜３．０μｍの微粒子状態に
し、少なくとも、微粒子状の前記物質に対象体の表面と
は異なる電位を与え、前記物質を前記対象体に付着させ
ることを特徴とする薄膜の形成方法。 - 【請求項２】磁気ディスクの表面に潤滑膜を形成するた
めの潤滑膜の形成方法において、前記潤滑剤を粒径が
０．１〜３．０μｍの微粒子にし、吹き出し口から前記
磁気ディスクへ前記微粒子を放出させて、前記吹き出し
口の近傍に設けられた高電圧の印加手段により、前記微
粒子を帯電し、前記潤滑剤を前記磁気ディスクに付着さ
せることを特徴とする潤滑膜の形成方法。 - 【請求項３】磁気ディスクの表面に潤滑膜を形成する方
法において、前記磁気ディスクを回転させながら前記潤
滑剤を付着させることを特徴とする特許請求項２に記載
の潤滑膜の形成方法。 - 【請求項４】磁気ディスクの表面に潤滑膜を形成するた
めの装置において、潤滑剤を粒径が０．１〜３．０μｍ
の微粒子にする手段と、前記微粒子を磁気ディスクへ放
出するノズルと、前記ノズルの吹き出し口近傍にあって
前記微粒子を帯電させるニードルと、潤滑剤を付着すべ
き磁気ディスクの表面を前記ノズルに対向させて、前記
磁気ディスクを保持し回転させる手段を備えることを特
徴とする磁気ディスクへの潤滑膜形成装置。 - 【請求項５】磁気ディスクを電気的に接地、あるいは任
意の電位を与える手段を備えたことを特徴とする請求項
４記載の潤滑膜形成装置。 - 【請求項６】潤滑膜形成装置において、磁気ディスクの
表面にあり潤滑剤が付着する部分以外の、前記潤滑剤の
微粒子が触れうる全ての部品又はそれらの部品の一部
を、前記潤滑剤の前記微粒子に与えられた電位と同じ極
性に帯電する手段を備えたことを特徴とする請求項４に
記載の潤滑膜形成装置。 - 【請求項７】潤滑剤の微粒子に帯電させる手段が電圧を
掛ける動作をしていないときに、装置内の表面静電気を
除去する手段を有したことを特徴とする請求項４に記載
の潤滑膜形成装置。 - 【請求項８】潤滑剤の微粒子を帯電させる手段を複数有
し、該帯電手段の電圧はお互い独立的に設定できること
を特徴とする請求項４に記載の薄膜形成装置。 - 【請求項９】微粒子を磁気ディスクへ放出するノズルの
吹き出し口と、微粒子を帯電させるニードルが、前記磁
気ディスクの半径方向に設置され、かつ該ニードルはデ
ィスクの中心に対して吹き出し口より外側になるように
設置されることを特徴とする請求項４に記載の潤滑膜形
成装置。 - 【請求項１０】微粒子を帯電させるニードルと磁気ディ
スクにおける潤滑剤の付着面との間に、導電性材料で作
られた網を設置したことを特徴とする請求項４記載の潤
滑膜形成装置。 - 【請求項１１】基板の上に磁性層を形成した磁気記録媒
体において、前記磁気記録媒体の表面上に粒径が０．１
〜３．０μｍの微粒子からなる潤滑膜を形成してなる磁
気記録媒体。 - 【請求項１２】潤滑膜の膜厚が５０ｎｍの厚さを持って
いて、Ｘ線光電子分光法を用いた測定で、前記潤滑膜の
直下に存在する下地層成分を表す信号と、前記潤滑膜層
を表す信号との信号比が、１以下であることを特徴とす
る請求項１１に記載の磁気記録媒体。 - 【請求項１３】潤滑膜の膜厚が５０ｎｍの厚さを持って
いて、Ｘ線光電子分光法を用いた測定で、前記潤滑膜の
直下に存在する下地層成分を表す信号と、前記潤滑膜層
を表す信号との信号比が、１／１０以下であることを特
徴とする請求項１１に記載の磁気記録媒体。 - 【請求項１４】磁気記録媒体を回転させる手段と、前記
磁気記録媒体に情報を記録し再生する磁気ヘッドとを備
えた磁気記録装置において、前記磁気記録媒体の表面上
に粒径が０．１〜３．０μｍの微粒子からなる潤滑膜を
備える磁気記録媒体を用いることを特徴とする磁気記録
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3143022A JP2671641B2 (ja) | 1990-06-15 | 1991-06-14 | 磁気記録媒体、磁気記録媒体の潤滑剤塗布方法及び塗布装置 |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15517690 | 1990-06-15 | ||
| JP9673291 | 1991-04-26 | ||
| JP2-155176 | 1991-04-26 | ||
| JP3-96732 | 1991-04-26 | ||
| JP3143022A JP2671641B2 (ja) | 1990-06-15 | 1991-06-14 | 磁気記録媒体、磁気記録媒体の潤滑剤塗布方法及び塗布装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH056538A true JPH056538A (ja) | 1993-01-14 |
| JP2671641B2 JP2671641B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=27308194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3143022A Expired - Lifetime JP2671641B2 (ja) | 1990-06-15 | 1991-06-14 | 磁気記録媒体、磁気記録媒体の潤滑剤塗布方法及び塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2671641B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012192336A (ja) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Taco Co Ltd | 油塗布方法とその装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6331570A (ja) * | 1986-07-23 | 1988-02-10 | Toray Ind Inc | 走行ウエブの塗装方法 |
| JPS63106924A (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 磁気デイスク用保護膜の製造方法 |
-
1991
- 1991-06-14 JP JP3143022A patent/JP2671641B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6331570A (ja) * | 1986-07-23 | 1988-02-10 | Toray Ind Inc | 走行ウエブの塗装方法 |
| JPS63106924A (ja) * | 1986-10-24 | 1988-05-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 磁気デイスク用保護膜の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012192336A (ja) * | 2011-03-16 | 2012-10-11 | Taco Co Ltd | 油塗布方法とその装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2671641B2 (ja) | 1997-10-29 |
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