JPH0565902A - 流体圧アクチユエータ装置 - Google Patents
流体圧アクチユエータ装置Info
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- JPH0565902A JPH0565902A JP3226989A JP22698991A JPH0565902A JP H0565902 A JPH0565902 A JP H0565902A JP 3226989 A JP3226989 A JP 3226989A JP 22698991 A JP22698991 A JP 22698991A JP H0565902 A JPH0565902 A JP H0565902A
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- valve
- pressure chamber
- negative pressure
- electromagnetic
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02D—CONTROLLING COMBUSTION ENGINES
- F02D41/00—Electrical control of supply of combustible mixture or its constituents
- F02D41/0025—Controlling engines characterised by use of non-liquid fuels, pluralities of fuels, or non-fuel substances added to the combustible mixtures
- F02D41/0047—Controlling exhaust gas recirculation [EGR]
- F02D41/0077—Control of the EGR valve or actuator, e.g. duty cycle, closed loop control of position
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
- Y02T10/10—Internal combustion engine [ICE] based vehicles
- Y02T10/40—Engine management systems
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Exhaust-Gas Circulating Devices (AREA)
- Servomotors (AREA)
- Fluid-Driven Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 流体圧アクチュエータ装置の応答性を向上さ
せる。 【構成】 車両のＥＧＲ装置の弁体５の開度を変化させ
るアクチュエータ本体１２と、負圧タンク１３と、これ
らを連通する連通路１９と、連通路１９から分岐する通
路２３と、第１及び第２の電磁開閉弁１４，１５と、開
度センサ２１と、各電磁開閉弁１４，１５の一方を選択
してデューティ比制御で開閉操作するコントローラ１６
等を備えた負圧アクチュエータ装置１０である。コント
ローラ１６は、ＣＵ４から供給された目標開度Ｌt と、
開度センサ２１から供給された実測開度Ｌm との大小関
係より、いずれの電磁開閉弁を操作するかを決定すると
共に、操作する際のデューティ係数を、実測開度Ｌm と
目標開度Ｌt との差、及び圧力室１８の容積Ｖの大小に
応じて決定する。従って、デューティ係数をできるだけ
大きく設定することが可能となり、弁体５の開度を迅速
に変化させることができる。
せる。 【構成】 車両のＥＧＲ装置の弁体５の開度を変化させ
るアクチュエータ本体１２と、負圧タンク１３と、これ
らを連通する連通路１９と、連通路１９から分岐する通
路２３と、第１及び第２の電磁開閉弁１４，１５と、開
度センサ２１と、各電磁開閉弁１４，１５の一方を選択
してデューティ比制御で開閉操作するコントローラ１６
等を備えた負圧アクチュエータ装置１０である。コント
ローラ１６は、ＣＵ４から供給された目標開度Ｌt と、
開度センサ２１から供給された実測開度Ｌm との大小関
係より、いずれの電磁開閉弁を操作するかを決定すると
共に、操作する際のデューティ係数を、実測開度Ｌm と
目標開度Ｌt との差、及び圧力室１８の容積Ｖの大小に
応じて決定する。従って、デューティ係数をできるだけ
大きく設定することが可能となり、弁体５の開度を迅速
に変化させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、開閉弁等を、流体の圧
力を利用して開閉操作する流体圧アクチュエータ装置に
関する。
力を利用して開閉操作する流体圧アクチュエータ装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】車両に装備された排気ガス再循環装置
（以下、ＥＧＲ装置と称す）のコントロールバルブは、
エンジン吸気系の負圧を利用した流体圧アクチュエータ
装置で開閉操作されている。従来の流体圧アクチュエー
タ装置は、例えばベロフラムで区画された負圧室を有す
るアクチュエータ本体と、この負圧室にインテークマニ
ホールドの負圧を供給する連通路と、この連通路の途中
から分岐する大気開放路と、大気開放路を開閉する第１
の電磁開閉弁と、連通路を、大気開放路とインテークマ
ニホールドとの間の位置で開閉する第２の電磁開閉弁
と、各電磁開閉弁を選択的に操作するコントローラ等を
備えて構成されている。
（以下、ＥＧＲ装置と称す）のコントロールバルブは、
エンジン吸気系の負圧を利用した流体圧アクチュエータ
装置で開閉操作されている。従来の流体圧アクチュエー
タ装置は、例えばベロフラムで区画された負圧室を有す
るアクチュエータ本体と、この負圧室にインテークマニ
ホールドの負圧を供給する連通路と、この連通路の途中
から分岐する大気開放路と、大気開放路を開閉する第１
の電磁開閉弁と、連通路を、大気開放路とインテークマ
ニホールドとの間の位置で開閉する第２の電磁開閉弁
と、各電磁開閉弁を選択的に操作するコントローラ等を
備えて構成されている。
【０００３】アクチュエータ本体は、ＥＧＲ装置のコン
トロールバルブと一体に形成されており、コントロール
バルブの弁体はベロフラムに取り付けられている。従っ
て、コントローラが各電磁開閉弁を選択的に操作して前
記負圧室内の圧力を変化させると、ベロフラムが変位し
て前記コントロールバルブの開度が変化する。負圧室は
小型に設定されており、僅かな圧力変化でベロフラムが
迅速に変位する。
トロールバルブと一体に形成されており、コントロール
バルブの弁体はベロフラムに取り付けられている。従っ
て、コントローラが各電磁開閉弁を選択的に操作して前
記負圧室内の圧力を変化させると、ベロフラムが変位し
て前記コントロールバルブの開度が変化する。負圧室は
小型に設定されており、僅かな圧力変化でベロフラムが
迅速に変位する。
【０００４】コントローラは、コントロールバルブに取
り付けられた開度センサからの信号に基づいてバルブの
現在の開度を監視している。そして、この現在の開度Ｌ
m と、ＥＧＲ装置で算出された目標開度Ｌt との偏差Δ
Ｌを求め、各電磁開閉弁をフィードバック制御してい
る。つまり、コントローラは、目標開度Ｌt が現在開度
Ｌm よりも大きく偏差ΔＬが正の場合には、第２の電磁
開閉弁を開弁させて負圧室に負圧を導入し、目標開度Ｌ
t が現在開度Ｌm よりも小さく偏差ΔＬが負の場合に
は、第１の電磁開閉弁を開弁させて負圧室に大気圧を導
入する。
り付けられた開度センサからの信号に基づいてバルブの
現在の開度を監視している。そして、この現在の開度Ｌ
m と、ＥＧＲ装置で算出された目標開度Ｌt との偏差Δ
Ｌを求め、各電磁開閉弁をフィードバック制御してい
る。つまり、コントローラは、目標開度Ｌt が現在開度
Ｌm よりも大きく偏差ΔＬが正の場合には、第２の電磁
開閉弁を開弁させて負圧室に負圧を導入し、目標開度Ｌ
t が現在開度Ｌm よりも小さく偏差ΔＬが負の場合に
は、第１の電磁開閉弁を開弁させて負圧室に大気圧を導
入する。
【０００５】そして、コントローラは、偏差ΔＬの絶対
値が所定値ε1 よりも大きい場合には、一方の電磁開閉
弁を全開させてアクチュエータ本体を急激に駆動し、コ
ントロールバルブの開度を一気に変化させ、偏差ΔＬの
絶対値が所定値ε1 以下になると一方の電磁開閉弁を所
定のデューティ係数でデューティ比制御し、アクチュエ
ータ本体を緩やかに駆動してコントロールバルブの開度
の微調整を行う。
値が所定値ε1 よりも大きい場合には、一方の電磁開閉
弁を全開させてアクチュエータ本体を急激に駆動し、コ
ントロールバルブの開度を一気に変化させ、偏差ΔＬの
絶対値が所定値ε1 以下になると一方の電磁開閉弁を所
定のデューティ係数でデューティ比制御し、アクチュエ
ータ本体を緩やかに駆動してコントロールバルブの開度
の微調整を行う。
【０００６】このデューティ係数は、ベロフラムの変位
特性を考慮して設定されている。つまり、圧力室内の圧
力変化量とベロフラムの変位量との変化特性は線形とは
ならず、例えば、圧力室の容積Ｖがβだけ増加した場合
に、容積Ｖaから容積（Ｖa ＋β）に変化したときと、
容積Ｖb から容積（Ｖb ＋β）に変化したときとでは、
コントロールバルブの開度の変化量が異なる。負圧室が
小型に設定されているので、この傾向はより顕著にな
る。
特性を考慮して設定されている。つまり、圧力室内の圧
力変化量とベロフラムの変位量との変化特性は線形とは
ならず、例えば、圧力室の容積Ｖがβだけ増加した場合
に、容積Ｖaから容積（Ｖa ＋β）に変化したときと、
容積Ｖb から容積（Ｖb ＋β）に変化したときとでは、
コントロールバルブの開度の変化量が異なる。負圧室が
小型に設定されているので、この傾向はより顕著にな
る。
【０００７】このため、デューティ係数を小さな値に設
定し、前記容積Ｖの変化速度を緩やかにし、コントロー
ルバルブの開度の変化を緩やかにしている。これによ
り、コントロールバルブの全閉位置から全開位置までの
全域にわたり、コントロールバルブの開度を微調整する
ことが可能となって、コントロールバルブの開度操作の
確実性を向上させている。
定し、前記容積Ｖの変化速度を緩やかにし、コントロー
ルバルブの開度の変化を緩やかにしている。これによ
り、コントロールバルブの全閉位置から全開位置までの
全域にわたり、コントロールバルブの開度を微調整する
ことが可能となって、コントロールバルブの開度操作の
確実性を向上させている。
【０００８】さらに、コントローラは、偏差ΔＬの絶対
値が所定値ε2 よりも小さくなると、現在開度Ｌm と目
標開度Ｌt とが一致したものとみなし、電磁開閉弁を全
閉させてアクチュエータ本体を停止させる。
値が所定値ε2 よりも小さくなると、現在開度Ｌm と目
標開度Ｌt とが一致したものとみなし、電磁開閉弁を全
閉させてアクチュエータ本体を停止させる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の流体圧アクチュエータ装置においては、前記デュー
ティ係数を小さな値に設定しているので、偏差ΔＬの絶
対値が所定値ε2 よりも小さくなった場合に、コントロ
ールバルブの開度の変化速度が著しく遅く、流体圧アク
チュエータ装置が応答性に劣るとの問題がある。
来の流体圧アクチュエータ装置においては、前記デュー
ティ係数を小さな値に設定しているので、偏差ΔＬの絶
対値が所定値ε2 よりも小さくなった場合に、コントロ
ールバルブの開度の変化速度が著しく遅く、流体圧アク
チュエータ装置が応答性に劣るとの問題がある。
【００１０】本発明は、上述の問題点を解決するために
なされたもので、操作の確実性を保持しつつ、応答性に
優れた流体圧アクチュエータ装置を提供することを目的
とする。
なされたもので、操作の確実性を保持しつつ、応答性に
優れた流体圧アクチュエータ装置を提供することを目的
とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明によれば、被駆動部材の現在位置を検出する手
段を有し、この被駆動部材を目標位置にまでフィードバ
ック制御しながら移動させる流体圧アクチュエータ装置
において、可動膜で区画された圧力室を有するととも
に、被駆動部材と可動膜とを連結する出力伝達部材を有
するアクチュエータ本体と、圧力源と、圧力室と圧力源
とを連通する流体通路と、この流体通路の途中に設けら
れた大気開放通路と、大気開放通路を開閉する第１の電
磁開閉弁と、流体通路の途中に、圧力源と大気開放通路
との間に位置して設けられた第２の電磁開閉弁と、圧力
室の容積を検出する容積検出手段と、第１及び第２の電
磁開閉弁のうちの一方を選択してデューティ比制御で開
閉操作し、圧力室の容積を変化させるコントローラとを
備え、このコントローラは、被駆動部材の現在位置と目
標位置との大小関係より第１及び第２の電磁開閉弁のう
ちのいずれの電磁開閉弁を操作するかを選択すると共
に、この選択された電磁開閉弁を操作する際のデューテ
ィ係数を、前記現在位置と目標位置との差、及び圧力室
の容積の大小に応じて決定する構成としたものである。
に本発明によれば、被駆動部材の現在位置を検出する手
段を有し、この被駆動部材を目標位置にまでフィードバ
ック制御しながら移動させる流体圧アクチュエータ装置
において、可動膜で区画された圧力室を有するととも
に、被駆動部材と可動膜とを連結する出力伝達部材を有
するアクチュエータ本体と、圧力源と、圧力室と圧力源
とを連通する流体通路と、この流体通路の途中に設けら
れた大気開放通路と、大気開放通路を開閉する第１の電
磁開閉弁と、流体通路の途中に、圧力源と大気開放通路
との間に位置して設けられた第２の電磁開閉弁と、圧力
室の容積を検出する容積検出手段と、第１及び第２の電
磁開閉弁のうちの一方を選択してデューティ比制御で開
閉操作し、圧力室の容積を変化させるコントローラとを
備え、このコントローラは、被駆動部材の現在位置と目
標位置との大小関係より第１及び第２の電磁開閉弁のう
ちのいずれの電磁開閉弁を操作するかを選択すると共
に、この選択された電磁開閉弁を操作する際のデューテ
ィ係数を、前記現在位置と目標位置との差、及び圧力室
の容積の大小に応じて決定する構成としたものである。
【００１２】
【作用】第１及び第２の電磁開閉弁を選択的にデューテ
ィ比制御することで、アクチュエータ本体の圧力室内に
は大気圧あるいは圧力源の圧が導入され、可動膜が変位
する。可動膜が変位すると、出力伝達部材が被駆動部材
を移動させる。コントローラは、被駆動部材の現在位置
と目標位置との大小関係より第１の電磁開閉弁を操作す
るか第２の電磁開閉弁を操作するかを選択する。これに
より、被駆動部材を目標位置に向けて駆動させることが
できる。そして、前記現在位置と目標位置との差、及び
圧力室の容積の大小に応じて、電磁開閉弁をデューティ
比制御する際のデューティ係数を決定する。従って、前
記現在位置と目標位置との差、及び圧力室の容積の大小
に応じて、デューティ係数を大きく設定することがで
き、圧力室の容積の変化速度が大きくなって、可動膜、
即ち被駆動部材の変位速度が増加する。
ィ比制御することで、アクチュエータ本体の圧力室内に
は大気圧あるいは圧力源の圧が導入され、可動膜が変位
する。可動膜が変位すると、出力伝達部材が被駆動部材
を移動させる。コントローラは、被駆動部材の現在位置
と目標位置との大小関係より第１の電磁開閉弁を操作す
るか第２の電磁開閉弁を操作するかを選択する。これに
より、被駆動部材を目標位置に向けて駆動させることが
できる。そして、前記現在位置と目標位置との差、及び
圧力室の容積の大小に応じて、電磁開閉弁をデューティ
比制御する際のデューティ係数を決定する。従って、前
記現在位置と目標位置との差、及び圧力室の容積の大小
に応じて、デューティ係数を大きく設定することがで
き、圧力室の容積の変化速度が大きくなって、可動膜、
即ち被駆動部材の変位速度が増加する。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。図１は、本発明を適用した流体圧アクチュ
エータ装置の一実施例を示し、この流体圧アクチュエー
タ装置１０は、負圧アクチュエータ装置であり、例え
ば、ＥＧＲ装置に取り付けられている。
て詳述する。図１は、本発明を適用した流体圧アクチュ
エータ装置の一実施例を示し、この流体圧アクチュエー
タ装置１０は、負圧アクチュエータ装置であり、例え
ば、ＥＧＲ装置に取り付けられている。
【００１４】ＥＧＲ装置は、排気管と吸入管（共に図示
せず）を連通させる排気ガス再循環路２と、この排気ガ
ス再循環路２に介在されたコントロールバルブユニット
（以下、単にバルブユニットと記す）３と、各種センサ
からの信号に基づきバルブユニット３の目標開度（目標
位置）Ｌt を算出するＥＧＲコントロールユニット４等
より構成されている。バルブユニット３は、排気ガス再
循環路２内の排気ガス流量を調整する弁体５と、後述す
るように流体圧アクチュエータ装置１０の構成要素であ
るアクチュエータ本体１２等を備えている。また、ＥＧ
Ｒコントロールユニット（以下、ＣＵと記す）４は、算
出した目標開度Ｌt の更新毎に、この目標開度Ｌt を流
体圧アクチュエータ装置１０のコントローラ１６に供給
する。
せず）を連通させる排気ガス再循環路２と、この排気ガ
ス再循環路２に介在されたコントロールバルブユニット
（以下、単にバルブユニットと記す）３と、各種センサ
からの信号に基づきバルブユニット３の目標開度（目標
位置）Ｌt を算出するＥＧＲコントロールユニット４等
より構成されている。バルブユニット３は、排気ガス再
循環路２内の排気ガス流量を調整する弁体５と、後述す
るように流体圧アクチュエータ装置１０の構成要素であ
るアクチュエータ本体１２等を備えている。また、ＥＧ
Ｒコントロールユニット（以下、ＣＵと記す）４は、算
出した目標開度Ｌt の更新毎に、この目標開度Ｌt を流
体圧アクチュエータ装置１０のコントローラ１６に供給
する。
【００１５】流体圧アクチュエータ装置（以下、負圧ア
クチュエータ装置と記す）１０は、アクチュエータ本体
１２、負圧タンク１３、第１及び第２の電磁開閉弁１
４，１５、及びコントローラ１６等より構成されてい
る。この負圧アクチュエータ装置１０は、フィードバッ
ク比制御することにより、バルブユニット３、詳しくは
弁体５の実測開度Ｌm をＣＵ４から供給された目標開度
Ｌt に向けて変化させる。
クチュエータ装置と記す）１０は、アクチュエータ本体
１２、負圧タンク１３、第１及び第２の電磁開閉弁１
４，１５、及びコントローラ１６等より構成されてい
る。この負圧アクチュエータ装置１０は、フィードバッ
ク比制御することにより、バルブユニット３、詳しくは
弁体５の実測開度Ｌm をＣＵ４から供給された目標開度
Ｌt に向けて変化させる。
【００１６】アクチュエータ本体１２は、所謂べロフラ
ム式のアクチュエータで、ケーシング１２ａ内に配置さ
れたベロフラム１２ｂで負圧室１８を区画している。ケ
ーシング１２ａは、前記排気ガス再循環路２の所定位置
に介在されている。このケーシング１２ａの所定位置に
は、負圧室１８に臨むポート１２ｃが形成されており、
このポート１２ｃには、連通路１９の一端１９ａが接続
されている。
ム式のアクチュエータで、ケーシング１２ａ内に配置さ
れたベロフラム１２ｂで負圧室１８を区画している。ケ
ーシング１２ａは、前記排気ガス再循環路２の所定位置
に介在されている。このケーシング１２ａの所定位置に
は、負圧室１８に臨むポート１２ｃが形成されており、
このポート１２ｃには、連通路１９の一端１９ａが接続
されている。
【００１７】ベロフラム１２ｂには、弁軸１２ｅが接続
されている。この弁軸１２ｅは、前記弁体５と一体に成
形されている。従って、このベロフラム１２ｂが変位す
ると、弁体５の開度が変化する。また、ベロフラム１２
ｂは、リターンスプリング１２ｄにより、バルブユニッ
ト３を閉じる方向に常時付勢されている。また、アクチ
ュエータ本体１２には、開度センサ２１が取り付けられ
ている。開度センサ２１は、前記弁体５の開度を電気抵
抗を利用して検出し、実測開度Ｌ m としてコントローラ
１６に供給する。弁体５は、弁軸１２ｅを介してベロフ
ラム１２ｂに接続されているので、コントローラ１６
は、弁体５の実測開度Ｌm が小さい場合には負圧室１８
の容積Ｖが大であると、また、全体５の実測開度Ｌm が
大きい場合には負圧室１８の容積Ｖが小であると判断す
る。即ち、開度センサ２１は、バルブユニット３の実測
開度Ｌm を検出する開度検出手段であると共に、負圧室
１８の容積Ｖを検出する容積検出手段でもある。
されている。この弁軸１２ｅは、前記弁体５と一体に成
形されている。従って、このベロフラム１２ｂが変位す
ると、弁体５の開度が変化する。また、ベロフラム１２
ｂは、リターンスプリング１２ｄにより、バルブユニッ
ト３を閉じる方向に常時付勢されている。また、アクチ
ュエータ本体１２には、開度センサ２１が取り付けられ
ている。開度センサ２１は、前記弁体５の開度を電気抵
抗を利用して検出し、実測開度Ｌ m としてコントローラ
１６に供給する。弁体５は、弁軸１２ｅを介してベロフ
ラム１２ｂに接続されているので、コントローラ１６
は、弁体５の実測開度Ｌm が小さい場合には負圧室１８
の容積Ｖが大であると、また、全体５の実測開度Ｌm が
大きい場合には負圧室１８の容積Ｖが小であると判断す
る。即ち、開度センサ２１は、バルブユニット３の実測
開度Ｌm を検出する開度検出手段であると共に、負圧室
１８の容積Ｖを検出する容積検出手段でもある。
【００１８】負圧タンク１３には、連通路１９の他端１
９ｂが接続されている。従って、負圧タンク１３と前記
アクチュエータ本体１２の負圧室１８とは、この連通路
１９を介して連通されている。負圧タンク１３は所定の
容積を有しており、逆止弁２０を介して負圧源、例えば
インテークマニホールド（図示せず）に接続されてお
り、所定の負圧力を蓄えている。従って、この負圧タン
ク１３は、所定の負圧力を負圧室１８に供給することが
できる。
９ｂが接続されている。従って、負圧タンク１３と前記
アクチュエータ本体１２の負圧室１８とは、この連通路
１９を介して連通されている。負圧タンク１３は所定の
容積を有しており、逆止弁２０を介して負圧源、例えば
インテークマニホールド（図示せず）に接続されてお
り、所定の負圧力を蓄えている。従って、この負圧タン
ク１３は、所定の負圧力を負圧室１８に供給することが
できる。
【００１９】連通路１９の途中からは通路２３が分岐し
ており、その先端２３ａは大気に開放されている。そし
て、この通路２３の途中には、第１の電磁開閉弁１４が
取り付けられている。第１の電磁開閉弁１４は常閉型の
開閉弁で、コントローラ１６がソレノイド１４ａを励磁
すると弁体１４ｂが通路２３を開く。通路２３が開く
と、連通路１９を介して負圧室１８内に大気が供給され
る。負圧室１８内に供給される大気の量、即ち圧力の大
きさは、電磁開閉弁１４の開弁時間で決定される。
ており、その先端２３ａは大気に開放されている。そし
て、この通路２３の途中には、第１の電磁開閉弁１４が
取り付けられている。第１の電磁開閉弁１４は常閉型の
開閉弁で、コントローラ１６がソレノイド１４ａを励磁
すると弁体１４ｂが通路２３を開く。通路２３が開く
と、連通路１９を介して負圧室１８内に大気が供給され
る。負圧室１８内に供給される大気の量、即ち圧力の大
きさは、電磁開閉弁１４の開弁時間で決定される。
【００２０】第２の電磁開閉弁１５は、連通路１９の途
中に、通路２３と負圧タンク１３との間に位置して設け
られている。電磁開閉弁１５は常閉型の開閉弁で、コン
トローラ１６がソレノイド１５ａを励磁すると弁体１５
ｂが連通路１９を開く。連通路１９が開くと、負圧タン
ク１３から負圧室１８内に所定の負圧力が供給される。
負圧室１８内に供給される負圧力の量、即ち負圧の大き
さは、電磁開閉弁１４の開弁時間により決定される。
中に、通路２３と負圧タンク１３との間に位置して設け
られている。電磁開閉弁１５は常閉型の開閉弁で、コン
トローラ１６がソレノイド１５ａを励磁すると弁体１５
ｂが連通路１９を開く。連通路１９が開くと、負圧タン
ク１３から負圧室１８内に所定の負圧力が供給される。
負圧室１８内に供給される負圧力の量、即ち負圧の大き
さは、電磁開閉弁１４の開弁時間により決定される。
【００２１】コントローラ１６は、マイクロコンピュー
タを有している。コントローラ１６の入力側には開度セ
ンサ２１及びＣＵ４が、また、出力側には各電磁開閉弁
１４，１５がそれぞれ電気的に接続されている。コント
ローラ１６は、後述する手順に従い、各電磁開閉弁１
４，１５を励磁して負圧室１８内の圧力を調整し、弁体
５の実測開度Ｌm をＣＵ４から供給された目標開度Ｌt
に一致する方向に変化させる。コントローラ１６は、こ
の手順を繰り返すことで、弁体５の開度をフィードバッ
ク制御する。
タを有している。コントローラ１６の入力側には開度セ
ンサ２１及びＣＵ４が、また、出力側には各電磁開閉弁
１４，１５がそれぞれ電気的に接続されている。コント
ローラ１６は、後述する手順に従い、各電磁開閉弁１
４，１５を励磁して負圧室１８内の圧力を調整し、弁体
５の実測開度Ｌm をＣＵ４から供給された目標開度Ｌt
に一致する方向に変化させる。コントローラ１６は、こ
の手順を繰り返すことで、弁体５の開度をフィードバッ
ク制御する。
【００２２】また、コントローラ１６内のメモリには、
後述する弁開度制御ルーチン、所定値ε0 ，所定率α，
図４のコントロールマップ等が予め記憶されている。次
に、負圧アクチュエータ装置１０が、弁体５の弁開度を
変化させる手順を、図２及び図３に基づいて詳述する。
図２及び図３は、コントローラ１６のメモリ内に記憶さ
れた弁開度制御ルーチンの流れ図である。このルーチン
は、車両のイグニションスイッチ（図示せず）がオン状
態にあるときには、所定時間ＴC 周期で繰り返し実行さ
れる。そして、このルーチンの１回の実行は、このルー
チンを繰り返す時間周期である時間ＴC 以内に終了す
る。
後述する弁開度制御ルーチン、所定値ε0 ，所定率α，
図４のコントロールマップ等が予め記憶されている。次
に、負圧アクチュエータ装置１０が、弁体５の弁開度を
変化させる手順を、図２及び図３に基づいて詳述する。
図２及び図３は、コントローラ１６のメモリ内に記憶さ
れた弁開度制御ルーチンの流れ図である。このルーチン
は、車両のイグニションスイッチ（図示せず）がオン状
態にあるときには、所定時間ＴC 周期で繰り返し実行さ
れる。そして、このルーチンの１回の実行は、このルー
チンを繰り返す時間周期である時間ＴC 以内に終了す
る。
【００２３】先ず、図２のステップＳ３１においては、
ＣＵ４から供給された目標開度Ｌt と、開度センサ２１
から供給された実測開度Ｌm とを読み込む。そして、ス
テップＳ３２において、目標開度Ｌt から実測開度Ｌm
を減じて偏差ΔＬを求める。ステップＳ３３では、偏差
ΔＬの絶対値が、所定値ε0 に比べて小であるか否かを
判断する。偏差ΔＬの絶対値が微小であり所定値ε0 よ
りも小さい場合には、コントローラ３の開度が、目標開
度Ｌt と一致しているとみなすことができる。従って、
この場合には、ステップＳ３４に進んでフラグＦを初期
化した後に、各電磁開閉弁１４，１５を操作することな
く直ちにこのルーチンから脱出し、所定時間ＴC 周期で
このルーチンを繰り返し実行する。
ＣＵ４から供給された目標開度Ｌt と、開度センサ２１
から供給された実測開度Ｌm とを読み込む。そして、ス
テップＳ３２において、目標開度Ｌt から実測開度Ｌm
を減じて偏差ΔＬを求める。ステップＳ３３では、偏差
ΔＬの絶対値が、所定値ε0 に比べて小であるか否かを
判断する。偏差ΔＬの絶対値が微小であり所定値ε0 よ
りも小さい場合には、コントローラ３の開度が、目標開
度Ｌt と一致しているとみなすことができる。従って、
この場合には、ステップＳ３４に進んでフラグＦを初期
化した後に、各電磁開閉弁１４，１５を操作することな
く直ちにこのルーチンから脱出し、所定時間ＴC 周期で
このルーチンを繰り返し実行する。
【００２４】なお、車両を始動させるために前記イグニ
ションスイッチをオン操作したときにも、フラグＦは初
期化されている。一方、ステップＳ３３において、偏差
ΔＬの絶対値が所定値ε0 以上の場合には、ステップＳ
３５に進む。ステップＳ３５では、操作する電磁開閉弁
を決定する。つまり、偏差ΔＬが正の場合、即ち目標開
度Ｌt が実測開度Ｌm よりも大きい場合にはステップＳ
３６に進み、操作する電磁開閉弁を第２の電磁開閉弁１
５に設定する。これにより、負圧室１８に負圧を供給で
き、負圧室１８の容積Ｖを減少させて、弁体５の開度を
増加させることができる。
ションスイッチをオン操作したときにも、フラグＦは初
期化されている。一方、ステップＳ３３において、偏差
ΔＬの絶対値が所定値ε0 以上の場合には、ステップＳ
３５に進む。ステップＳ３５では、操作する電磁開閉弁
を決定する。つまり、偏差ΔＬが正の場合、即ち目標開
度Ｌt が実測開度Ｌm よりも大きい場合にはステップＳ
３６に進み、操作する電磁開閉弁を第２の電磁開閉弁１
５に設定する。これにより、負圧室１８に負圧を供給で
き、負圧室１８の容積Ｖを減少させて、弁体５の開度を
増加させることができる。
【００２５】一方、ステップＳ３５において、偏差ΔＬ
が負の場合、即ち目標開度Ｌt が実測開度Ｌm に比べて
小さい場合にはステップＳ３７に進み、操作する電磁開
閉弁を第１の電磁開閉弁１４に設定する。これにより、
負圧室１８に大気圧を供給でき、負圧室１８の容積Ｖを
増加させて、弁体５の開度を減少させることができる。
が負の場合、即ち目標開度Ｌt が実測開度Ｌm に比べて
小さい場合にはステップＳ３７に進み、操作する電磁開
閉弁を第１の電磁開閉弁１４に設定する。これにより、
負圧室１８に大気圧を供給でき、負圧室１８の容積Ｖを
増加させて、弁体５の開度を減少させることができる。
【００２６】そして、ステップＳ３８では、コントロー
ラ１６のメモリに記憶されているコントロールマップを
基に、上述のようにして決定された電磁開閉弁の、所定
時間ＴC に対する基本開弁率Ｔ0 を求める。このコント
ロールマップの概念を図４に示す。偏差ΔＬが正の領域
では第２の電磁開閉弁１５の基本開弁率Ｔ0 を表し、偏
差ΔＬが負の領域では第１の電磁開閉弁１５の基本開弁
率Ｔ0 を表している。基本開弁率Ｔ0 は、偏差ΔＬの絶
対値の増加に応じて増加するように設定されている。そ
して、負圧室１８の容積Ｖごとに、基本開弁率Ｔ0 の設
定線がそれぞれ設けられており、容積Ｖが、Ｖ1 ，Ｖ 2
・・・Ｖn と増加するに従って各設定線の傾きが大きく
なり、偏差ΔＬが同一の場合には、容積Ｖが大きくなる
に従って基本開弁率Ｔ0 を大きく設定している。
ラ１６のメモリに記憶されているコントロールマップを
基に、上述のようにして決定された電磁開閉弁の、所定
時間ＴC に対する基本開弁率Ｔ0 を求める。このコント
ロールマップの概念を図４に示す。偏差ΔＬが正の領域
では第２の電磁開閉弁１５の基本開弁率Ｔ0 を表し、偏
差ΔＬが負の領域では第１の電磁開閉弁１５の基本開弁
率Ｔ0 を表している。基本開弁率Ｔ0 は、偏差ΔＬの絶
対値の増加に応じて増加するように設定されている。そ
して、負圧室１８の容積Ｖごとに、基本開弁率Ｔ0 の設
定線がそれぞれ設けられており、容積Ｖが、Ｖ1 ，Ｖ 2
・・・Ｖn と増加するに従って各設定線の傾きが大きく
なり、偏差ΔＬが同一の場合には、容積Ｖが大きくなる
に従って基本開弁率Ｔ0 を大きく設定している。
【００２７】なお、基本開弁率Ｔ0 は、１００％以下の
値である。負圧室１８の容積Ｖの大小は、弁体５の開度
の変化量等に影響を与える。詳述する。アクチュエータ
本体１２のベロフラム１２ｂの変形量（変位量）と、負
圧室１８の容積Ｖの変化量とは、比例しない。つまり、
ベロフラム１２ｂが伸びていない状態から所定量Ｘだけ
伸びた場合と、ある程度伸びている状態からさらに所定
量Ｘだけ伸びた場合とでは、負圧室１８の容積Ｖの変化
量が異なる。換言すると、負圧室１８内に一定量の大気
圧あるいは負圧が導入された場合、その容積Ｖが比較的
小さい容積Ｖ1 であるときと、容積Ｖ1 よりも大きいＶ
2 であるときとでは、ベロフラム１２ｂの変形量が異な
る。
値である。負圧室１８の容積Ｖの大小は、弁体５の開度
の変化量等に影響を与える。詳述する。アクチュエータ
本体１２のベロフラム１２ｂの変形量（変位量）と、負
圧室１８の容積Ｖの変化量とは、比例しない。つまり、
ベロフラム１２ｂが伸びていない状態から所定量Ｘだけ
伸びた場合と、ある程度伸びている状態からさらに所定
量Ｘだけ伸びた場合とでは、負圧室１８の容積Ｖの変化
量が異なる。換言すると、負圧室１８内に一定量の大気
圧あるいは負圧が導入された場合、その容積Ｖが比較的
小さい容積Ｖ1 であるときと、容積Ｖ1 よりも大きいＶ
2 であるときとでは、ベロフラム１２ｂの変形量が異な
る。
【００２８】弁体５は、ベロフラム１２ｂが変形するこ
とで開閉されるので、ベロフラム１２ｂの変形量が異な
ると、弁体５の変位距離、即ち開弁量も異なる。このた
め、負圧室１８の容積Ｖの大小に応じてその容積の変化
量を調整すれば、容積ＶがＶ 1 の場合とＶ2 の場合とで
弁体５の開弁量を同一に設定することができる。負圧室
１８内の容積Ｖは、負圧室１８内の圧力の変化に伴って
変化する。負圧室１８内に供給される圧力の大きさは、
前述したように、各電磁開閉弁１４，１５の開弁時間で
決定される。従って、負圧室１８の容積ＶがＶ1 ，Ｖ2
・・・Ｖ n と増加するに従って電磁開閉弁１４，１５の
開弁時間、即ち基本開弁率Ｔ0を大きく設定すれば、負
圧室１８内の圧力の大小に影響されることなく、弁体５
の開度の変化量が一定になる。
とで開閉されるので、ベロフラム１２ｂの変形量が異な
ると、弁体５の変位距離、即ち開弁量も異なる。このた
め、負圧室１８の容積Ｖの大小に応じてその容積の変化
量を調整すれば、容積ＶがＶ 1 の場合とＶ2 の場合とで
弁体５の開弁量を同一に設定することができる。負圧室
１８内の容積Ｖは、負圧室１８内の圧力の変化に伴って
変化する。負圧室１８内に供給される圧力の大きさは、
前述したように、各電磁開閉弁１４，１５の開弁時間で
決定される。従って、負圧室１８の容積ＶがＶ1 ，Ｖ2
・・・Ｖ n と増加するに従って電磁開閉弁１４，１５の
開弁時間、即ち基本開弁率Ｔ0を大きく設定すれば、負
圧室１８内の圧力の大小に影響されることなく、弁体５
の開度の変化量が一定になる。
【００２９】そして、ステップＳ３８において、基本開
弁率Ｔ0 を求めた後、図３に示すステップＳ４０に進
む。ステップＳ４０では、フラグＦが０であるか否かを
識別し、前回のこのルーチンの実行中に、電磁開閉弁１
４あるいは１５を励磁操作したか否かを判断する。前回
のルーチンの実行で、電磁開閉弁１４あるいは１５を操
作した場合には、連通路１９内に大気圧あるいは負圧の
流れが既に形成されており、電磁開閉弁１４あるいは１
５が励磁されてから実際に弁体５の開度が変化し始める
までの応答遅れ等の時間を考慮する必要がない。一方、
前回のルーチンの実行で、電磁開閉弁１４あるいは１５
が操作されずに弁体５の開度が保持されている場合に
は、前記応答遅れ等の時間を考慮する必要がある。
弁率Ｔ0 を求めた後、図３に示すステップＳ４０に進
む。ステップＳ４０では、フラグＦが０であるか否かを
識別し、前回のこのルーチンの実行中に、電磁開閉弁１
４あるいは１５を励磁操作したか否かを判断する。前回
のルーチンの実行で、電磁開閉弁１４あるいは１５を操
作した場合には、連通路１９内に大気圧あるいは負圧の
流れが既に形成されており、電磁開閉弁１４あるいは１
５が励磁されてから実際に弁体５の開度が変化し始める
までの応答遅れ等の時間を考慮する必要がない。一方、
前回のルーチンの実行で、電磁開閉弁１４あるいは１５
が操作されずに弁体５の開度が保持されている場合に
は、前記応答遅れ等の時間を考慮する必要がある。
【００３０】ステップＳ４０において、フラグＦが０で
あり、前回のルーチンの実行で電磁開閉弁１４あるいは
１５を操作していないと判断した場合には、ステップＳ
４１に進む。そして、ステップＳ４１において、補正率
ＴD に前記応答遅れ等の時間を考慮した所定率αを代入
する。その後、ステップＳ４３に進む。一方、ステップ
Ｓ４０において、フラグＦが０でなく、前回のルーチン
の実行で電磁開閉弁１４あるいは１５を操作したと判断
した場合には、ステップＳ４２に進み、補正率ＴD に０
を代入する。そして、ステップＳ４３に進む。
あり、前回のルーチンの実行で電磁開閉弁１４あるいは
１５を操作していないと判断した場合には、ステップＳ
４１に進む。そして、ステップＳ４１において、補正率
ＴD に前記応答遅れ等の時間を考慮した所定率αを代入
する。その後、ステップＳ４３に進む。一方、ステップ
Ｓ４０において、フラグＦが０でなく、前回のルーチン
の実行で電磁開閉弁１４あるいは１５を操作したと判断
した場合には、ステップＳ４２に進み、補正率ＴD に０
を代入する。そして、ステップＳ４３に進む。
【００３１】ステップＳ４３では、開弁率Ｔを設定す
る。即ち、開弁率Ｔは、ステップＳ３８で求めた基本開
弁率Ｔ0 に、ステップＳ４１，Ｓ４２で求めた補正率Ｔ
D を加えて算出される。そして、ステップＳ４４に進
み、励磁タイマＴS を演算する。励磁タイマＴS は、こ
のルーチンの繰り返し周期を決定する所定時間ＴC に前
記開弁率Ｔを掛けて時間ＴS を求める。従って、励磁タ
イマＴS は、所定時間ＴC に比べて同じかあるいは短い
時間となる。
る。即ち、開弁率Ｔは、ステップＳ３８で求めた基本開
弁率Ｔ0 に、ステップＳ４１，Ｓ４２で求めた補正率Ｔ
D を加えて算出される。そして、ステップＳ４４に進
み、励磁タイマＴS を演算する。励磁タイマＴS は、こ
のルーチンの繰り返し周期を決定する所定時間ＴC に前
記開弁率Ｔを掛けて時間ＴS を求める。従って、励磁タ
イマＴS は、所定時間ＴC に比べて同じかあるいは短い
時間となる。
【００３２】ステップＳ４５では、ステップＳ３６ある
いはＳ３７で設定された電磁開閉弁１４あるいは１５の
励磁を開始し、弁体５の開度を目標開度Ｌtに向けて変
化さる。そして、ステップＳ４６では、励磁タイマＴS
の経過を判断し、この時間Ｔ S が経過するまでこのステ
ップをループする。従って、電磁開閉弁１４あるいは１
５は、時間ＴS だけ励磁され開弁する。
いはＳ３７で設定された電磁開閉弁１４あるいは１５の
励磁を開始し、弁体５の開度を目標開度Ｌtに向けて変
化さる。そして、ステップＳ４６では、励磁タイマＴS
の経過を判断し、この時間Ｔ S が経過するまでこのステ
ップをループする。従って、電磁開閉弁１４あるいは１
５は、時間ＴS だけ励磁され開弁する。
【００３３】ステップＳ４６において、時間ＴS が経過
するとステップＳ４７に進み、励磁中の電磁開閉弁１４
あるいは１５の励磁を停止しこれを閉弁させる。従っ
て、各電磁開閉弁１４及び１５は閉弁状態となり、負圧
室１８内の圧力及び容積Ｖは保持される。このルーチン
は、所定時間ＴC 周期で繰り返し実行されるので、その
実行毎に励磁タイマＴs1，ＴS2・・・が算出される。従
って、図５に示すように、電磁開閉弁１４あるいは１５
は、時間ＴC 毎に時間Ｔs1，ＴS2・・・と励磁されて開
弁することになる。即ち、電磁開閉弁１４あるいは１５
は、デューティ係数がＴS ／ＴC でデューティ比制御さ
れる。
するとステップＳ４７に進み、励磁中の電磁開閉弁１４
あるいは１５の励磁を停止しこれを閉弁させる。従っ
て、各電磁開閉弁１４及び１５は閉弁状態となり、負圧
室１８内の圧力及び容積Ｖは保持される。このルーチン
は、所定時間ＴC 周期で繰り返し実行されるので、その
実行毎に励磁タイマＴs1，ＴS2・・・が算出される。従
って、図５に示すように、電磁開閉弁１４あるいは１５
は、時間ＴC 毎に時間Ｔs1，ＴS2・・・と励磁されて開
弁することになる。即ち、電磁開閉弁１４あるいは１５
は、デューティ係数がＴS ／ＴC でデューティ比制御さ
れる。
【００３４】次にステップＳ４８に進んでフラグＦに１
を代入し、このルーチンの次回の実行にあたり、ステッ
プＳ４０からステップＳ４２に進むように設定する。そ
して、このルーチンから脱出し、所定時間ＴC の経過毎
繰り返しこのルーチンを実行し、弁体５の開度をフィー
ドバック制御する。なお、本実施例の負圧アクチュエー
タ装置１０においては、車両に装備されたＥＧＲ装置の
バルブユニット３の弁体５を開閉操作する構成とした
が、これに限るものではなく、例えば、車両に装備され
るトラクションコントロールシステムのスロットルバル
ブ等を、負圧アクチュエータ装置１０で開閉操作しても
良い。
を代入し、このルーチンの次回の実行にあたり、ステッ
プＳ４０からステップＳ４２に進むように設定する。そ
して、このルーチンから脱出し、所定時間ＴC の経過毎
繰り返しこのルーチンを実行し、弁体５の開度をフィー
ドバック制御する。なお、本実施例の負圧アクチュエー
タ装置１０においては、車両に装備されたＥＧＲ装置の
バルブユニット３の弁体５を開閉操作する構成とした
が、これに限るものではなく、例えば、車両に装備され
るトラクションコントロールシステムのスロットルバル
ブ等を、負圧アクチュエータ装置１０で開閉操作しても
良い。
【００３５】また、本実施例においては、負圧室１８を
有する負圧アクチュエータ装置１０に適用した場合につ
いて説明したが、これに限るものではなく、正圧室を有
する正圧アクチュエータ装置に適用しても良い。さら
に、本実施例においては、ベロフラム１２ｂに代えて、
単なるダイヤフラムやベーロズ等でも良い。
有する負圧アクチュエータ装置１０に適用した場合につ
いて説明したが、これに限るものではなく、正圧室を有
する正圧アクチュエータ装置に適用しても良い。さら
に、本実施例においては、ベロフラム１２ｂに代えて、
単なるダイヤフラムやベーロズ等でも良い。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、コ
ントローラは、被駆動部材の現在位置と目標位置との関
係と、これに加えて圧力室の容積の大小に応じて、第１
あるいは第２の電磁開閉弁を操作する際のデューティ係
数を決定する。従って、デューティ係数をできるだけ大
きく設定することが可能となり、流体圧アクチュエータ
装置の応答性が向上する。また、デューティ係数には圧
力室の容積が反映されているので、被駆動部材の変位精
度を良好にすることができる等の優れた効果がある。
ントローラは、被駆動部材の現在位置と目標位置との関
係と、これに加えて圧力室の容積の大小に応じて、第１
あるいは第２の電磁開閉弁を操作する際のデューティ係
数を決定する。従って、デューティ係数をできるだけ大
きく設定することが可能となり、流体圧アクチュエータ
装置の応答性が向上する。また、デューティ係数には圧
力室の容積が反映されているので、被駆動部材の変位精
度を良好にすることができる等の優れた効果がある。
【図１】本発明を適用した流体圧アクチュエータ装置の
一実施例を示す概略構成図である。
一実施例を示す概略構成図である。
【図２】図１の流体圧アクチュエータ装置の作動を示
し、その処理の前側部分の流れ図である。
し、その処理の前側部分の流れ図である。
【図３】図２の続きの処理の流れ図である。
【図４】基本開弁率Ｔ0 を求めるコントロールマップの
概念図である。
概念図である。
【図５】図１の電磁開閉弁の開閉タイミングを示す図で
ある。
ある。
３ コントロールバルブユニット １０ 負圧アクチュエータ装置 １２ アクチュエータ本体 １３ 負圧タンク １４ 第１の電磁開閉弁 １５ 第２の電磁開閉弁 １６ コントローラ １８ 負圧室 １９ 連通路 ２１ 開度センサ
Claims (1)
- 【請求項１】 被駆動部材の現在位置を検出する手段を
有し、この被駆動部材を目標位置にまでフィードバック
制御しながら移動させる流体圧アクチュエータ装置にお
いて、 可動膜で区画された圧力室を有するとともに、被駆動部
材と可動膜とを連結する出力伝達部材を有するアクチュ
エータ本体と、圧力源と、圧力室と圧力源とを連通する
流体通路と、この流体通路の途中に設けられた大気開放
通路と、大気開放通路を開閉する第１の電磁開閉弁と、
流体通路の途中に、圧力源と大気開放通路との間に位置
して設けられた第２の電磁開閉弁と、圧力室の容積を検
出する容積検出手段と、第１及び第２の電磁開閉弁のう
ちの一方を選択してデューティ比制御で開閉操作し、圧
力室の容積を変化させるコントローラとを備え、 このコントローラは、被駆動部材の現在位置と目標位置
との大小関係より第１及び第２の電磁開閉弁のうちのい
ずれの電磁開閉弁を操作するかを選択すると共に、この
選択された電磁開閉弁を操作する際のデューティ係数
を、前記現在位置と目標位置との差、及び圧力室の容積
の大小に応じて決定することを特徴とする流体圧アクチ
ュエータ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22698991A JP3191336B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 流体圧アクチュエータ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22698991A JP3191336B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 流体圧アクチュエータ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0565902A true JPH0565902A (ja) | 1993-03-19 |
| JP3191336B2 JP3191336B2 (ja) | 2001-07-23 |
Family
ID=16853767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22698991A Expired - Fee Related JP3191336B2 (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | 流体圧アクチュエータ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3191336B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112146555A (zh) * | 2019-06-26 | 2020-12-29 | 舍弗勒技术股份两合公司 | 一种位移检测方法和流量检测方法 |
-
1991
- 1991-09-06 JP JP22698991A patent/JP3191336B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112146555A (zh) * | 2019-06-26 | 2020-12-29 | 舍弗勒技术股份两合公司 | 一种位移检测方法和流量检测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3191336B2 (ja) | 2001-07-23 |
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