JPH0565960B2 - - Google Patents

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JPH0565960B2
JPH0565960B2 JP60078364A JP7836485A JPH0565960B2 JP H0565960 B2 JPH0565960 B2 JP H0565960B2 JP 60078364 A JP60078364 A JP 60078364A JP 7836485 A JP7836485 A JP 7836485A JP H0565960 B2 JPH0565960 B2 JP H0565960B2
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word line
channel mosfet
mosfet
drive circuit
channel
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JP60078364A
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Yutaka Shinagawa
Shigeru Shimada
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Hitachi Microcomputer System Ltd
Hitachi Ltd
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Hitachi Microcomputer System Ltd
Hitachi Ltd
Hitachi Microcomputer Engineering Ltd
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Publication date
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Priority to US07/126,258 priority patent/US4896300A/en
Publication of JPH0565960B2 publication Critical patent/JPH0565960B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C8/00Arrangements for selecting an address in a digital store
    • G11C8/08Word line control circuits, e.g. drivers, boosters, pull-up circuits, pull-down circuits, precharging circuits, for word lines

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Read Only Memory (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は、半導体記憶装置に関するもので、
例えば、MOSFET(絶縁ゲート型電界効果トラ
ンジスタ)により構成された半導体記憶装置にお
けるワード線駆動回路に利用して有効な技術に関
するものである。
〔背景技術〕
MOSFETにより構成された半導体記憶装置に
おけるワード線駆動回路として、例えば第4図及
び第5図に示すもような回路形式が提案されてい
る(特開昭55−150189号公報参照)。
第4図の回路は、ワード線WLの遠端部にワー
ド線WLのレベルを検出するCMOS(相補型
MOS)インバータ回路IVを接続し、かつワード
線WLと電源電圧Vccとの間にMOSFETQ23を
設けてある。これによつて、選択されるべきワー
ド線WLの電位がCMOSインバータ回路IVの論理
しきい値電圧を超えたとき、CMOSインバータ
回路IVの出力がロウレベルに変化されるのを利
用して、PチヤンネルMOSFETQ23をオン状
態にさせる。その結果、ポリシリコンからなる比
較的抵抗値の高いワード線WLの最終到達レベル
Vccへの到達時間を短縮させようというものであ
る。
しかしながら、第4図に示されている形式の回
路にあつては、選択されたワード線WLの電位が
非選択レベル(接地電位)に立ち下げられるべき
とき、MOSFETQ23はCMOSインバータ回路
IVの出力によつてオン状態にされている。その
ため、MOSFETQ23を介してそのワード線WL
に貫通電流が流れるとともに、ワード線の電位が
下がりにくい。
一方、第5図に示す回路では、上記
MOSFETQ23と直列に電源電圧Vccとの間及び
ワード線WLと接地電位点の間に、それぞれリセ
ツト用のPチヤンネルMOSFETQ24,Nチヤ
ンネルMOSFETQ25が挿入されている。これ
らのMOSFETQ24,Q25は、ワード線駆動
回路WDと同期してオン/オフ制御される。つま
り、ワード線WLが選択されるときは、リセツト
信号Pの低いレベルによつてMOSFETQ24が
オン状態にされ、MOSFETQ25がオフ状態に
される。これによつて、図示の回路は、選択時に
は上記第4図と同じ動作をする。ワード線WLが
非選択レベルにされるときには、リセツト信号P
は高レベルに変化される。このとき、
MOSFETQ24がオフ状態にされ、また
MOSFETQ25がオン状態にされるので、選択
ワード線が速やかに低レベルに変化される。
しかしながら、第5図の形式の回路は、その素
子数が多い。また、直列接続のMOSFETQ23,
Q24の合成インピーダンスを低下させるように
これらのMOSFETの素子寸法を、第4図の回路
形式におけるMOSFETQ23のそれと比べて大
きくしてやらないとワード線の立ち上がりを速く
してやることが困難となる。
しかるに、ICメモリでは、ワード線の間隔を
できる限り狭く形成した方がメモリアレイの占有
面積が小さくなる。したがつて、上記のごとく、
回路を構成する素子の寸法を大きくさせざるを得
なくなつたり、素子数を多くせざるを得なくなる
と、特に1素子型のメモリセルからなるICメモ
リでは、各ワード線間隔に合わせて回路を配置す
ることが困難になる。その結果、必要以上にチツ
プサイズが大きくされてしまう。
〔発明の目的〕
この発明の目的は、マイクロプロセツサの論理
動作を制御するためのマイクロプログラムを複数
個のメモリに保有し、その論理動作に同期して当
該メモリセルからマイクロプログラムが読出され
る半導体記憶装置において、アクセス速度の向上
と貫通電流の低減を図ることにある。
この発明の前記ならびにその他の目的と新規な
特徴は、この明細書の記述および添付図面から明
らかになるであろう。
〔発明の概要〕
本願において開示される発明のうち代表的なも
のの概要を簡単に説明すれば、下記の通りであ
る。
すなわち、マイクロプロセツサの論理動作を制
御するためのマイクロプロプログラムを複数個の
メモリセルに保有し、その論理動作に同期して当
該メモリセルからマイクロプログラムが読出され
る半導体記憶装置において、上記論理動作のタイ
ミング信号に同期してメモリセルをアドレシング
するためのワード線を、それの一端側から駆動す
るための駆動回路の近傍に、上記タイミング信号
に同期して上記ワード線をデイスチヤージするた
めのリセツト用nチヤンネル型MOSFETを設
け、また、上記駆動回路とは別に、上記ワード線
を、それの他端側から補助的に駆動するための補
助駆動回路を設け、この補助駆動回路を、高電位
側電源に結合されるとともに上記タイミング信号
によって動作される第1のpチャンネル型
MOSFETと、接地電位に結合されるとともにこ
の第1のpチヤンネル型MOSFETと相補的に動
作駆動される第1のnチヤンネル型MOSFET
と、上記第1のpチヤンネル型MOSFETと第1
のnチヤンネル型MOSFETとの間に介在され、
上記ワード線のレベルに応じて動作される第2の
nチヤンネル型MOSFETと、この第2のnチヤ
ンネル型MOSFETと上記第1のpチヤンネル型
MOSFETとの接続箇所の論理レベルに応じて上
記ワード線をチヤージするための第2のpチヤン
ネル型MOSFETと、上記第2のnチヤンネル型
MOSFETと上記第1のpチヤンネル型
MOSFETとの接続箇所の論理レベルに応じて上
記ワード線をデイスチヤージするための第3のn
チヤンネル型MOSFETとを含んで構成すること
によつて、アクセス速度の向上と貫通電流の低減
を図るものである。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を第3図に基づいて説明
するが、その前に、本発明の理解を容易ならしめ
るため、第1図及び第2図を参照しながら、本発
明の参考例について説明する。
本発明の参考例にかかるROM(リード・オン
リー・メモリ)は、マイクロプロセツサにおける
マイクロプログラムROMに利用される。このよ
うなマイクロプログラムROMは、マイクロプロ
セツサにおける命令に応じてできるだけ遠く応答
して対応する制御信号を出力する必要がある。例
えば、マイクロプログラムROMは、例えば10M
Hzのような高い周波数でアクセスできることが要
望される。
以下に述べる参考例のROMは、そのような高
速動作が可能にされ、低消費電力であるという特
徴を有している。この参考例のROMは、集積回
路を構成する各種レジスタ、演算処理回路、タイ
ミング制御回路などとともに、公知の相補型
MOS集積回路の製造技術によつて1つの半導体
基板上に形成される。
第1図において、回路符号M−ARYで示され
ているのは、メモリアレイであり、マトリツクス
状に配置された複数のメモリセルM11〜Mmn
を含んでいる。それぞれのメモリセルは、行方向
に延長された複数のワード線W1ないしWmと、
列方向に延長された複数のデータ線D1ないし
Dnのそれぞれの交点に配置されている。
メモリアレイM−ARYを構成するそれぞれの
メモリセルM11〜Mmnは、実質的に1個の
MOSFETからなるとみなすことができる。それ
ぞれのメモリセルにおける記憶情報の“1”,
“0”は、それぞれのメモリセルが選択されたと
きのそれぞれのメモリセルの導通、非導通と対応
される。特に制限されないが、この参考例におい
ては、記憶情報の“1”,“0”は、ワード線とデ
ータ線との間にMOSFETが接続された状態と接
続されていない状態とに対応される。
第1図において、回路記号をもつて表されてい
るM11,M12のようなメモリセルは、それぞ
れを構成する記憶素子のドレインが対応するデー
タ線D1,D2に接続されていることを示してい
る。これに対して、M21,M2nのように回路
記号の表示のないメモリセルは、それぞれを構成
すべき記憶素子が対応すべきデータ線D1,Dn
に接続されていないことを示している。この参考
例では、特に制限されないが、メモリセルを構成
すべきMOSFETはNチヤンネル型とされ、それ
ぞれのゲート電極は対応するワード線と一体的に
形成された導電性ポリシリコン層により構成され
る。
XアドレスデコーダXDCRは、アドレス信号
A0〜A7を受けて、特に制限されないが、タイミ
ング信号に同期してそれをデコードすることに
よつて1つのワード線の選択信号を形成する。ワ
ード線駆動回路WD1〜WDmは、上記Xアドレ
スデコーダXDCRからの出力信号をそれぞれ受
け、それに対応したワード線W1〜Wmの駆動信
号を形成する。これらの駆動回路WD1〜WDm
は、タイミング信号φに同期して、上記アドレス
デコーダXDCRの出力に従つた1つのワード線
駆動信号を形成する。なお、特に制限されない
が、上記各駆動回路WD1〜WDmの出力端子、
言い換えるならば、各ワード線W1〜Wmの一端
と回路の接地電位点との間には、タイミング信号
φを受けるリセツト用MOSFETQ1〜Q3が設
けられる。これらのMOSFETQ1〜Q3は、N
チヤンネル型により構成される。
上記メモリアレイM−ARYにおけるワード線
は、特に制限されないが、8ブロツクに分割され
る。各ブロツク毎におけるそれぞれのデータ線
は、例示的に示されているカラムスイツチ
MOSFETQ10,Q11,Q12及びQ13等
を介してそれぞれ共通データ線CD1〜CD8に結
合される。
これらのカラムスイツチMOSFETQ10〜Q
13のゲートには、アドレス信号A8,A9を受
ける上記類似のYアドレスデコーダYDCRの出
力信号が供給される。このYアドレスデコーダ
YDCRの1つの選択信号によつて、各メモリブ
ロツク毎の1つのカラムスイツチMOSFETがオ
ン状態にされ、選択されたそれぞれ1つのデータ
線を共通データ線CD1〜CD8に接続させる。共
通データ線CD1〜CD8の信号は、増幅機能を持
つデータ出力回路OB1〜OB8を通して出力さ
れる。これによつて、1度のアドレツシングによ
つて8ビツトからなるデータの読み出しがパラレ
ルに行われる。
この参考例では、アクセスタイムの向上のた
め、言い換えるならばワード線W1〜Wmの選択
動作の高速化のために、次のような補助駆動回路
WD1′〜WDm′が設けられる。
すなわち、代表として例示的に示されているよ
うに、上記駆動回路WD1の出力端子にその一端
が結合された各ワード線W1の他端、言い換える
ならば、上記駆動回路WD1から見た場合のワー
ド線W1の遠端側は、ワード線のレベル検出を行
う検出用MOSFETとしてのNチヤンネル
MOSFETQ4のゲートに接続される。この
MOSFETQ4のドレインと電源電圧Vccとの間に
は、PチヤンネルMOSFETQ6が設けられる。
また、上記MOSFETQ4のソースと回路の接地
電位点との間には、NチヤンネルMOSFETQ5
が設けられる。これらのMOSFETQ5,Q6の
ゲートには、特に制限されないが、上記ワード線
駆動回路DW1と同じタイミング信号φが供給さ
れる。上記MOSFETQ4のドレイン出力は、上
記ワード線W1の他端と電源電圧Vccとの間に挿
入された補助駆動用MOSFETとしてのPチヤン
ネルMOSFETQ7のゲートに伝えられる。他の
ワード線W2〜Wmの他端においても、上記類似
のMOSFETからなる補助駆動回路WD2′〜
WDm′が配置される。
この参考例回路におけるワード線選択動作を第
2図に示したタイミング図を参照して、次に説明
する。
タイミング信号φがロウレベル(タイミング信
号はハイレベル)の期間において、アドレスデ
コーダXDCRが動作状態になつて、1つのワー
ド線選択信号を形成する。この間、上記タイミン
グ信号のハイレベルによつてリセツト用
MOSFETQ1〜Q3はオン状態にされ、全ての
ワード線をロウレベルに非選択状態にさせてい
る。
上記タイミング信号φがハイレベルにされる
と、上記選択出力を受けて、例えばワード線駆動
回路WD1はワード線W1をロウレベルからハイ
レベルの選択レベルに立ち上げる。このとき、上
記タイミング信号がロウレベルにされるので全
てのリセツト用MOSFETQ1〜Q3はオフ状態
にされている。
ワード線W1は、多数の記憶素子が結合される
こと等により比較的大きな浮遊容量を持つととも
にその抵抗値が比較的大きくされることによつ
て、その遠端部では同図に点線で示すようにハイ
レベルへの立ち上がりが遅くなる。この参考例で
は、上記タイミング信号φのハイレベルによつて
NチヤンネルMOSFETQ5はオン状態に、Pチ
ヤンネルMOSFETQ6はオフ状態にされている。
これにより、上記遠端部のレベルがMOSFETQ
4のしきい値電圧に達すると、このMOSFETQ
4はオン状態にされ、上記既にオン状態にされて
いるMOSFETQ5と共にMOSFETQ7のゲート
電位をロウレベルに引き抜く。これに応じてPチ
ヤンネルMOSFETQ7はオン状態にされ、ワー
ド線W1の遠端部へ電源電圧Vccを供給すること
になる。この結果、ワード線W1は、その遠端部
からもハイレベルへのチヤージアツプがなされる
ため同図に実態で示すように急峻に立ち上げられ
ることになる。
これにより、ワード線の選択動作が高速に行え
るから、メモリアクセスタイムの短縮化、言い換
えるならば、動作の高速化を図ることができるも
のである。このようなワード線の補助駆動のため
に、この参考例では、1個のMOSFETQ7によ
り直接電源電圧Vccをワード線に伝えるものであ
るので、第5図に示した回路形式に比べて、その
素子サイズを約1/2のように小さくでるものであ
る。
また、この参考例では、タイミング信号φによ
つてNチヤンネルMOSFETQ5とPチヤンネル
MOSFETQ6が相補的に動作させられるため、
直列形態にされたMOSFETQ4〜Q6を通して
直流電流が流れることはなく、低消費電力のもと
でレベル検出動作を行うとこができる。
タイミング信号φがロウレベルにされるワード
線の非選択状態への切り換えのとき、上記タイミ
ング信号φのロウレベルによつてPチヤンネル
MOSFETQ6がオン状態に、Nチヤンネル
MOSFETQ5はオフ状態にされる。これにより、
MOSFETQ4はワード線の選択レベルによつて
オン状態にされているにもかかわらず、上記Pチ
ヤンネルMOSFETQ6のオン状態によつて
MOSFETQ7のゲート電圧はハイレベルにされ
る。これによりPチヤンネルMOSFETQ7は直
ちにオフ状態に切り換えられる。この結果、ワー
ド線駆動回路WD1のロウレベル出力及び/又は
リセツト用MOSFETQ1等のオン状態によつて
選択状態のワード線W1がハイレベルからロウレ
ベルの非選択状態に切り換えられる時、第4図に
示した回路形式のような直流電流が流れることな
く低消費電力にされるとともに、比較的高速にワ
ード線を非選択レベルにさせることができる。
次に、本発明の実施例について説明する。
本実施例が、第1図に示される参考例と相違す
る点は、補助駆動回路WD1′,WD2′,
WDm′の構成にあり、その他の回路については上
記参考例と同様であるので、以下、この相違点を
中心に説明する。
第3図には本発明の一実施例回路における補助
駆動回路の一つが代表的に示される。
第3図に示される補助駆動回路は、第1図示さ
れる補助駆動回路WD1′に相当するもので、ワ
ード線の遠端部と回路の接地電位点との間にnチ
ヤンネル型MOSFETQ8が設けられており、こ
のnチヤンネル型MOSFETQ8のゲートに、上
記レベル検出を行うためのMOSFETQ4のソー
ス出力が供給されることによつて、ワード線のデ
イスチヤージ動作の高速化が図られている。
尚、本実施例において、第1図のWD1′,
WD2′,WDm′に相当する複数の補助駆動回路
は互いに同一構成とされる。
タイミング信号φがハイレベルにされたワード
線W1の選択状態においは、MOSFETQ5のオ
ン状態によつてMOSFETQ8はオフ状態にされ
ている。次に、タイミング信号φがハイレベルか
らロウレベルに切り換えられると、それに応じて
NチヤンネルMOSFETQ5はオフ状態に、Pチ
ヤンネルMOSFETQ6はオン状態にされる。こ
の時、ワード線W1は、リセツトMOSFETQ1
(図示せず)のオン状態等によつてハイレベルか
らロウレベルにされるが、その遠端部におけるハ
イレベルによつて未だレベル検出用の
MOSFETQ4がオン状態に留まつているから、
上記オン状態にされたMOSFETQ6とともにN
チヤンネルMOSFETQ8のゲートをハイレベル
にさせる。これにより、Nチヤンネル
MOSFETQ8はオン状態にされ、ワード線W1
を遠端部からもロウレベルに引き抜く。これによ
り、ワード線のリセツト動作も高速に行うことが
できるものとなる。この場合、ワード線の遠端部
でのロウレベルの引き抜きによつてMOSFETQ
4はオフ状態にされるが、MOSFETQ8のゲー
ト容量等には上記ハイレベルが保持されることに
よつて、上記MOSFETQ8のオン状態が維持さ
れる。
再び、いずれかのワード線が非選択状態から選
択状態にされる時、タイミング信号φのハイレベ
ルによつて直ちにオン状態にされるMOSFETQ
5により、上記MOSFETQ8のゲート容量等に
保持されたハイレベルは速やかにロウレベルに引
き抜かれる、この結果、このMOSFETQ8は直
ちにオフ状態にされるので、再び上記ワード線W
1が選択状態にされる場合でもその立ち上がりを
遅くさせることはない。
〔効果〕
本発明によれば、以下の効果を得ることができ
る。
すなわち、マイクロプロセツサの論理動作を制
御するためのマイクロプロプログラムを保有する
半導体記憶装置は、マイクロプロセツサにおける
命令に、できるだけ速く応答して対応する制御信
号を出力する必要があり、そのような、いわゆる
オンチツプ型の半導体記憶装置において、メモリ
セルをアドレシングするためのワード線を、それ
の一端側から駆動するための駆動回路の近傍に、
マイクロプロセツサの論理動作のタイミング信号
に同期して上記ワード線をデイスチヤージするた
めのリセツト用nチヤンネル型MOSFETQ1を
設け、さらに、上記ワード線を、それの他端側か
ら補助的に駆動するための補助駆動回路の一部と
して、上記ワード線をそれの他端からデイスチヤ
ージするためのnチヤンネル型MOSFETQ8を
設けることは、上記ワード線をそれの両端からロ
ウレベルに引き抜くことができるので、上記ワー
ド線を非選択状態とするためのリセツト動作の高
速化を図る上で極めて有効とされ、そのようにリ
セツト動作の高速化が達成されることによつて、
オンチツプ型の半導体集積回路において特に必要
とされる高速アクセスの実現が可能とされる。
また、上記のように、ワード線の両端にデイス
チヤージ用のMOSFETが配置された場合でも、
貫通電流の増大を阻止することができる。すなわ
ち、上記タイミング信号がロウレベルにされるワ
ード線の非選択状態への切り換えのとき、上記タ
イミング信号のロウレベルによつて上記pチヤン
ネル型MOSFETQ6がオン状態に、そしてそれ
と相補的に動作駆動されるnチヤンネル型
MOSFETQ5がオフ状態にされるので、上記n
チヤンネル型MOSFETQ4が上記ワード線の選
択レベルによつてオン状態にされているにもかか
わらず、上記pチヤンネル型MOSFETQ6のオ
ン状態によつて上記pチヤンネル型MOSFETQ
7のゲート電圧がハイレベルにされ、それによつ
て当該MOSFETQ7が直ちにオフ状態に切換え
られるので、高電位側電源Vccから上記pチヤン
ネル型MOSFETQ7、及び上記リセツト用nチ
ヤンネル型MOSFETQ1を介して接地電位側に
至る電流経路や、高電位側電源Vccから上記pチ
ヤンネル型MOSFETQ7、及びnチヤンネル型
MOSFETQ8を介して接地電位側に至る電流経
路の貫通電流を的確に阻止することができ、オン
チツプ型の半導体集積回路において特に必要とさ
れる低消費電力化を達成する上で有効とされる。
以上本発明者によつてなされた発明を実施例に
基づき具体的に説明したが、この発明は上記実施
例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲で種々変更可能であることはいうまでも
ない。データ線選択のためのカラムスイツチ
MOSFETが多数結合されることによつて、デー
タ線の選択動作が遅くされるような場合には、カ
ラム選択線に対してもその遠端部に上記類似の補
助駆動回路を設けるものであつてもよい。
また、アドレスデコーダやワード線駆動回路の
具体的構成は、種々の実施形態を採ることができ
るものである。補助駆動回路に供給するタイミン
グ信号は、ワード線駆動回路のタイミング信号と
全く同じ信号である必要なく、ほゞ同じタイミン
グで発生するタイミング信号であれば良い。
〔利用分野〕
以上の説明では、本発明者によつてなされた発
明をその背景となつたマイクロプログラムROM
に適用した場合について説明したが、これに限定
されるものではなく、ダイナミツク型RAM(ラ
ンダム・アクセス・メモリ)、スタテイツク型
RAM、電気的に書き込みを行う各種プログラマ
ブルROM等のような半導体記憶装置に広く利用
できるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の参考例回路図、第2図は、
上記参考例回路の動作例を示すタイミング図、第
3図は、本発明の一実施例における補助駆動回路
の回路図、第4図は、従来技術の一例を示す回路
図、第5図は、従来技術の他の一例を示す回路図
である。 M−ARY……メモリアレイ、XDCR……Xア
ドレスデコーダ、YDCR……Yアドレスデコー
ダ、WD1〜WDm……ワード線駆動回路、WD
1′〜WDm′……補助駆動回路、OB1〜OB8…
…出力回路。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 マイクロプロセツサの論理動作を制御するた
    めのマイクロプロプログラムを複数個のメモリセ
    ルに保有し、その論理動作に同期して当該メモリ
    セルからマイクロプログラムが読出される半導体
    記憶装置において、 上記論理動作のタイミング信号に同期してメモ
    リセルをアドレシングするためのワード線を、そ
    れの一端側から駆動するための駆動回路と、 この駆動回路の近傍に配置され、上記タイミン
    グ信号に同期して上記ワード線をデイスチヤージ
    するためのリセツト用nチヤンネル型MOSFET
    と、上記駆動回路とは別に、上記ワード線を、そ
    れの他端側から補助的に駆動するための補助駆動
    回路とを含み、 この補助駆動回路は、高電位側電源に結合され
    るとともに上記タイミング信号によつて動作され
    る第1のpチヤンネル型MOSFETと、 接地電位に結合されるとともにこの第1のpチ
    ヤンネル型MOSFETと相補的に動作駆動される
    第1のnチヤンネル型MOSFETと、 上記第1のpチヤンネル型MOSFETと第1の
    nチヤンネル型MOSFETとの間に介在され、上
    記ワード線のレベルに応じて動作される第2のn
    チヤンネル型MOSFETと、 この第2のnチヤンネル型MOSFETと上記第
    1のpチヤンネル型MOSFETとの接続箇所の論
    理レベルに応じて動作制御されることによつて上
    記ワード線をチヤージするための第2のpチヤン
    ネル型MOSFETと、 上記第2のnチヤンネル型MOSFETと上記第
    1のpチヤンネル型MOSFETとの接続箇所の論
    理レベルに応じて動作制御されることによつて上
    記ワード線をデイスチヤージするための第3のn
    チヤンネル型MOSFETと、 を含んで成ることを特徴とする半導体記憶装置。
JP60078364A 1985-04-15 1985-04-15 半導体記憶装置 Granted JPS61237292A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60078364A JPS61237292A (ja) 1985-04-15 1985-04-15 半導体記憶装置
US06/852,316 US4719603A (en) 1985-04-15 1986-04-15 Semiconductor memory having a dynamic level detecting means for detecting a level of a word line
US07/126,258 US4896300A (en) 1985-04-15 1987-11-25 Microprocessor including a microprogram ROM having a dynamic level detecting means for detecting a level of a word line

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60078364A JPS61237292A (ja) 1985-04-15 1985-04-15 半導体記憶装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS61237292A JPS61237292A (ja) 1986-10-22
JPH0565960B2 true JPH0565960B2 (ja) 1993-09-20

Family

ID=13659944

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60078364A Granted JPS61237292A (ja) 1985-04-15 1985-04-15 半導体記憶装置

Country Status (2)

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