JPH0566242A - Ｉｃ試験装置用恒温槽 - Google Patents
Ｉｃ試験装置用恒温槽Info
- Publication number
- JPH0566242A JPH0566242A JP3227207A JP22720791A JPH0566242A JP H0566242 A JPH0566242 A JP H0566242A JP 3227207 A JP3227207 A JP 3227207A JP 22720791 A JP22720791 A JP 22720791A JP H0566242 A JPH0566242 A JP H0566242A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- liquid nitrogen
- nozzle
- inner pipe
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 84
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 42
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 42
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 13
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 両端部近傍に穿設したノズルの液体窒素噴出
量に差が生ずることのないＩＣ試験装置恒温槽用液体窒
素パイプを提供する。 【構成】 ケースを具備し、ケースの上方領域にはファ
ン・ユニット、ヒータ・ユニットおよび冷却ユニットが
収容され、ケースの下方領域には多数のＩＣ測定部を構
成するレール・ユニットが収容され、循環する空気を案
内するダクトを具備するＩＣ試験装置用恒温槽におい
て、冷却ユニットは水平方向に延伸する液体窒素パイプ
を有し、液体窒素パイプは一方の端部が閉塞して１個の
ノズルを穿設した内側パイプと両端部が閉塞して両端部
近傍にノズルを穿設した外側パイプとより成り、内側パ
イプは外側パイプに対して同軸に挿入結合保持されてお
り、外側パイプの一方の端部近傍に穿設したノズルと内
側パイプに穿設したノズルとの間の距離と外側パイプの
他方の端部近傍に穿設したノズルと内側パイプに穿設し
たノズルとの間の距離は相等しく構成した。
量に差が生ずることのないＩＣ試験装置恒温槽用液体窒
素パイプを提供する。 【構成】 ケースを具備し、ケースの上方領域にはファ
ン・ユニット、ヒータ・ユニットおよび冷却ユニットが
収容され、ケースの下方領域には多数のＩＣ測定部を構
成するレール・ユニットが収容され、循環する空気を案
内するダクトを具備するＩＣ試験装置用恒温槽におい
て、冷却ユニットは水平方向に延伸する液体窒素パイプ
を有し、液体窒素パイプは一方の端部が閉塞して１個の
ノズルを穿設した内側パイプと両端部が閉塞して両端部
近傍にノズルを穿設した外側パイプとより成り、内側パ
イプは外側パイプに対して同軸に挿入結合保持されてお
り、外側パイプの一方の端部近傍に穿設したノズルと内
側パイプに穿設したノズルとの間の距離と外側パイプの
他方の端部近傍に穿設したノズルと内側パイプに穿設し
たノズルとの間の距離は相等しく構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、多数のＩＣ測定部に
おける温度を一様にするＩＣ試験装置用恒温槽、特にそ
の液体窒素パイプに関する。
おける温度を一様にするＩＣ試験装置用恒温槽、特にそ
の液体窒素パイプに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣについての評価或いはＩＣ受け入れ
検査は、多数のＩＣを恒温槽に収容して温度ストレス
（−３０℃ないし１２５℃）を加えた状態において一度
に同時に実施される。この様な用途に供されるＩＣ試験
装置用恒温槽の従来例を図１を参照して説明する。
検査は、多数のＩＣを恒温槽に収容して温度ストレス
（−３０℃ないし１２５℃）を加えた状態において一度
に同時に実施される。この様な用途に供されるＩＣ試験
装置用恒温槽の従来例を図１を参照して説明する。
【０００３】図１において、１はＩＣ試験装置用恒温槽
のケースである。ケース１は図においてその右上方領域
にファン・ユニット２およびヒータ・ユニット３を収容
し、そして更に、低温環境における測定のための冷却ユ
ニット５の一部を構成する液体窒素パイプ６をも収容し
ている。即ち、低温環境測定のための冷却には一般に液
体窒素が使用されるのである。ケース１の下方領域には
多数のＩＣを同時に測定する多数のＩＣ測定部を構成す
るレール・ユニット９が収容されている。
のケースである。ケース１は図においてその右上方領域
にファン・ユニット２およびヒータ・ユニット３を収容
し、そして更に、低温環境における測定のための冷却ユ
ニット５の一部を構成する液体窒素パイプ６をも収容し
ている。即ち、低温環境測定のための冷却には一般に液
体窒素が使用されるのである。ケース１の下方領域には
多数のＩＣを同時に測定する多数のＩＣ測定部を構成す
るレール・ユニット９が収容されている。
【０００４】ここで、液体窒素を使用する冷却ユニット
５の従来例を図１、２を参照して説明する。先ず、冷却
ユニット５を使用して恒温槽内を冷却する場合、ヒータ
・ユニット３の方は加熱停止状態とされているものであ
ることは言うまでもない。恒温槽内を冷却する場合、こ
の液体窒素パイプ６の一方の端部には、図示されない液
体窒素ボンベから送り出される液体窒素が液体窒素バル
ブ８を介して供給され、この液体窒素は気化して左右２
カ所に穿設されたノズル７、７’から上向きに噴出す
る。上向きに噴出した気化した液体窒素は、ファン・ユ
ニット２により駆動されてレール・ユニット９が収容さ
れているケース１の下方領域に上方から吹き込まれ、ダ
クト４の下側、加熱停止状態にあるヒータ・ユニット３
を介してファン・ユニット２に到り、循環する。
５の従来例を図１、２を参照して説明する。先ず、冷却
ユニット５を使用して恒温槽内を冷却する場合、ヒータ
・ユニット３の方は加熱停止状態とされているものであ
ることは言うまでもない。恒温槽内を冷却する場合、こ
の液体窒素パイプ６の一方の端部には、図示されない液
体窒素ボンベから送り出される液体窒素が液体窒素バル
ブ８を介して供給され、この液体窒素は気化して左右２
カ所に穿設されたノズル７、７’から上向きに噴出す
る。上向きに噴出した気化した液体窒素は、ファン・ユ
ニット２により駆動されてレール・ユニット９が収容さ
れているケース１の下方領域に上方から吹き込まれ、ダ
クト４の下側、加熱停止状態にあるヒータ・ユニット３
を介してファン・ユニット２に到り、循環する。
【０００５】図２を参照して液体窒素パイプ６を更に詳
しく見てみると、その左端は栓１０により閉塞され、右
端には管継手１１が具備されている。このパイプ６には
その一方の側から管継手１１を介して液体窒素が流入す
ることとなり、気化してノズル７、７’から噴出される
に到る。
しく見てみると、その左端は栓１０により閉塞され、右
端には管継手１１が具備されている。このパイプ６には
その一方の側から管継手１１を介して液体窒素が流入す
ることとなり、気化してノズル７、７’から噴出される
に到る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図２に示され
るパイプ６はその一方の側からのみ液体窒素が流入する
構造とされているところから、パイプ６内にはどうして
も圧力勾配が生じ、液体窒素流入側から遠ざかるにつれ
て圧力は低下する。従って、ノズル７、７’の口径が同
一であればノズル７’の噴出量がノズル７の噴出量に比
較して小さくなることは言うまでもない。そのために、
ノズル７’の口径をノズル７の口径より少し大きくして
いる。ところが、そうしても液体窒素流入口における液
体窒素流入圧力が変動した場合常に両噴出量が等しくな
るという訳ではない。即ち、液体窒素流入口における液
体窒素流入圧力が小さい場合、入口に近い方のノズルの
口径がより小さくてもこれからの噴出量の方が多くな
る。逆に、液体窒素流入口における液体窒素流入圧力が
大なる場合は、口径の大なる方からの噴出量の方が多く
なるのである。
るパイプ６はその一方の側からのみ液体窒素が流入する
構造とされているところから、パイプ６内にはどうして
も圧力勾配が生じ、液体窒素流入側から遠ざかるにつれ
て圧力は低下する。従って、ノズル７、７’の口径が同
一であればノズル７’の噴出量がノズル７の噴出量に比
較して小さくなることは言うまでもない。そのために、
ノズル７’の口径をノズル７の口径より少し大きくして
いる。ところが、そうしても液体窒素流入口における液
体窒素流入圧力が変動した場合常に両噴出量が等しくな
るという訳ではない。即ち、液体窒素流入口における液
体窒素流入圧力が小さい場合、入口に近い方のノズルの
口径がより小さくてもこれからの噴出量の方が多くな
る。逆に、液体窒素流入口における液体窒素流入圧力が
大なる場合は、口径の大なる方からの噴出量の方が多く
なるのである。
【０００７】この発明は、上述の通りの問題を解消しよ
うとするものである。
うとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】ケースを具備し、ケース
の上方領域にはファン・ユニット、ヒータ・ユニットお
よび冷却ユニットが収容され、ケースの下方領域には多
数のＩＣ測定部を構成するレール・ユニットが収容さ
れ、循環する空気を案内するダクトを具備するＩＣ試験
装置用恒温槽において、冷却ユニットは水平方向に延伸
する液体窒素パイプを有し、液体窒素パイプは一方の端
部が閉塞して１個のノズルを穿設した内側パイプと両端
部が閉塞して両端部近傍にノズルを穿設した外側パイプ
とより成り、内側パイプは外側パイプに対して同軸に挿
入結合保持されており、外側パイプの一方の端部近傍に
穿設したノズルと内側パイプに穿設したノズルとの間の
距離と外側パイプの他方の端部近傍に穿設したノズルと
内側パイプに穿設したノズルとの間の距離は相等しく、
内側パイプの解放端部には液体窒素が供給される様に構
成した。
の上方領域にはファン・ユニット、ヒータ・ユニットお
よび冷却ユニットが収容され、ケースの下方領域には多
数のＩＣ測定部を構成するレール・ユニットが収容さ
れ、循環する空気を案内するダクトを具備するＩＣ試験
装置用恒温槽において、冷却ユニットは水平方向に延伸
する液体窒素パイプを有し、液体窒素パイプは一方の端
部が閉塞して１個のノズルを穿設した内側パイプと両端
部が閉塞して両端部近傍にノズルを穿設した外側パイプ
とより成り、内側パイプは外側パイプに対して同軸に挿
入結合保持されており、外側パイプの一方の端部近傍に
穿設したノズルと内側パイプに穿設したノズルとの間の
距離と外側パイプの他方の端部近傍に穿設したノズルと
内側パイプに穿設したノズルとの間の距離は相等しく、
内側パイプの解放端部には液体窒素が供給される様に構
成した。
【０００９】
【実施例】この発明による液体窒素パイプ６の実施例を
図３を参照して説明する。図３に示されるこの発明によ
る液体窒素パイプ６は、内側パイプ１２と外側パイプ１
６により構成される。内側パイプ１２は外側パイプ１６
内にそのフランジ１９に穿設された開口２０を介して同
軸的に挿入され、支持結合部材１３、１４により両パイ
プは互いに一体に結合される。１５は内側パイプ１２に
穿設されたノズルであり、１７、１８は外側パイプ１６
に穿設されたノズルである。ノズル１７、１８の直径は
相等しい。これらノズル１５、１７、１８は、ノズル１
５、１７間の距離とノズル１５、１８間の距離とが等距
離になるように穿設される。
図３を参照して説明する。図３に示されるこの発明によ
る液体窒素パイプ６は、内側パイプ１２と外側パイプ１
６により構成される。内側パイプ１２は外側パイプ１６
内にそのフランジ１９に穿設された開口２０を介して同
軸的に挿入され、支持結合部材１３、１４により両パイ
プは互いに一体に結合される。１５は内側パイプ１２に
穿設されたノズルであり、１７、１８は外側パイプ１６
に穿設されたノズルである。ノズル１７、１８の直径は
相等しい。これらノズル１５、１７、１８は、ノズル１
５、１７間の距離とノズル１５、１８間の距離とが等距
離になるように穿設される。
【００１０】
【発明の効果】この発明は液体窒素パイプ６を上述の如
くに構成したことにより、即ち、ノズル１７、１８の直
径は相等しく、そしてノズル１５、１７、１８はノズル
１５、１７間の距離とノズル１５、１８間の距離とが等
距離になるように穿設されたことにより、ノズル１７と
ノズル１８のちょうど中間に位置するノズル１５から液
体窒素が噴出することになるので、結局、ノズル１７、
１８から液体窒素が噴出する条件を同一にすることがで
きる。その結果、恒温槽内における温度の偏りは極めて
小さくなり、また液体窒素を供給する内側パイプ１２の
解放端部における液体窒素供給圧力が変動してもこの変
動の影響を受けてノズル１７、１８の液体窒素の噴出量
に差が生ずるという様なこともない。ＩＣ試験装置用恒
温槽により低温におけるＩＣの評価或いはＩＣ受け入れ
検査を実施する場合、この発明による液体窒素パイプ６
を使用することにより評価或いは検査の信頼性を充分に
高めることができた。
くに構成したことにより、即ち、ノズル１７、１８の直
径は相等しく、そしてノズル１５、１７、１８はノズル
１５、１７間の距離とノズル１５、１８間の距離とが等
距離になるように穿設されたことにより、ノズル１７と
ノズル１８のちょうど中間に位置するノズル１５から液
体窒素が噴出することになるので、結局、ノズル１７、
１８から液体窒素が噴出する条件を同一にすることがで
きる。その結果、恒温槽内における温度の偏りは極めて
小さくなり、また液体窒素を供給する内側パイプ１２の
解放端部における液体窒素供給圧力が変動してもこの変
動の影響を受けてノズル１７、１８の液体窒素の噴出量
に差が生ずるという様なこともない。ＩＣ試験装置用恒
温槽により低温におけるＩＣの評価或いはＩＣ受け入れ
検査を実施する場合、この発明による液体窒素パイプ６
を使用することにより評価或いは検査の信頼性を充分に
高めることができた。
【図１】ＩＣ試験装置用恒温槽の従来例を示す図。
【図２】ＩＣ試験装置に使用される液体窒素パイプの従
来例を示す図。
来例を示す図。
【図３】この発明において採用される液体窒素パイプを
示す図。
示す図。
１ ケース ２ ファン・ユニット ３ ヒータ・ユニット ４ ダクト ５ 冷却ユニット ６ 液体窒素パイプ ９ レール・ユニット １２ 内側パイプ １５ ノズル １６ 外側パイプ １７ ノズル １８ ノズル
Claims (1)
- 【請求項１】 ケースを具備し、ケースの上方領域には
ファン・ユニット、ヒータ・ユニットおよび冷却ユニッ
トが収容され、ケースの下方領域には多数のＩＣ測定部
を構成するレール・ユニットが収容され、循環する空気
を案内するダクトを具備するＩＣ試験装置用恒温槽にお
いて、冷却ユニットは水平方向に延伸する液体窒素パイ
プを有し、液体窒素パイプは一方の端部が閉塞して１個
のノズルを穿設した内側パイプと両端部が閉塞して両端
部近傍にノズルを穿設した外側パイプとより成り、内側
パイプは外側パイプに対して同軸に挿入結合保持されて
おり、外側パイプの一方の端部近傍に穿設したノズルと
内側パイプに穿設したノズルとの間の距離と外側パイプ
の他方の端部近傍に穿設したノズルと内側パイプに穿設
したノズルとの間の距離は相等しく、内側パイプの解放
端部には液体窒素が供給されるものであることを特徴と
するＩＣ試験装置用恒温槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3227207A JPH0566242A (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | Ｉｃ試験装置用恒温槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3227207A JPH0566242A (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | Ｉｃ試験装置用恒温槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0566242A true JPH0566242A (ja) | 1993-03-19 |
Family
ID=16857174
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3227207A Pending JPH0566242A (ja) | 1991-09-06 | 1991-09-06 | Ｉｃ試験装置用恒温槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0566242A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040040698A (ko) * | 2002-11-07 | 2004-05-13 | 한국항공우주연구원 | 저온용 서모스탯이 연결된 히터회로의 작동온도 검증을위한 시험 방법 |
-
1991
- 1991-09-06 JP JP3227207A patent/JPH0566242A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040040698A (ko) * | 2002-11-07 | 2004-05-13 | 한국항공우주연구원 | 저온용 서모스탯이 연결된 히터회로의 작동온도 검증을위한 시험 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19991130 |