JPH056659B2 - - Google Patents
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- JPH056659B2 JPH056659B2 JP58236183A JP23618383A JPH056659B2 JP H056659 B2 JPH056659 B2 JP H056659B2 JP 58236183 A JP58236183 A JP 58236183A JP 23618383 A JP23618383 A JP 23618383A JP H056659 B2 JPH056659 B2 JP H056659B2
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- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 69
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 69
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 66
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 29
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims description 20
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 19
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 16
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000000446 fuel Substances 0.000 claims description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 10
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 5
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 4
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- -1 oxygen ions Chemical class 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- WUOACPNHFRMFPN-SECBINFHSA-N (S)-(-)-alpha-terpineol Chemical compound CC1=CC[C@@H](C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-SECBINFHSA-N 0.000 description 1
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- OVKDFILSBMEKLT-UHFFFAOYSA-N alpha-Terpineol Natural products CC(=C)C1(O)CCC(C)=CC1 OVKDFILSBMEKLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940088601 alpha-terpineol Drugs 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/416—Systems
- G01N27/417—Systems using cells, i.e. more than one cell and probes with solid electrolytes
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Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、自動車のエンジンや、暖房機器のよ
うに燃料を燃焼させる機器の排気ガス中の酸素を
検出する酸素センサに係り、特にストイツクセン
サと希薄酸素センサとを一体に形成した複合酸素
センサとその製造方法に関する。
うに燃料を燃焼させる機器の排気ガス中の酸素を
検出する酸素センサに係り、特にストイツクセン
サと希薄酸素センサとを一体に形成した複合酸素
センサとその製造方法に関する。
燃料の燃焼を利用する暖房器や自動車のエンジ
ン等の燃焼状態を検出する手段として、排気ガス
中の含まれる酸素の濃度を検出する酸素センサが
知られている。
ン等の燃焼状態を検出する手段として、排気ガス
中の含まれる酸素の濃度を検出する酸素センサが
知られている。
酸素センサで排気ガス中の酸素の濃度を検出す
る場合、排気ガスもしくは酸素センサを500℃以
上の高温にすることが必要である。また、酸素セ
ンサもしくは排気ガスの温度によつて、酸素セン
サの感度が異なる。さらに、燃焼制御（空燃比の
制御）を行なう場合、排気ガス温度の低い始動時
からの制御が必要である。
る場合、排気ガスもしくは酸素センサを500℃以
上の高温にすることが必要である。また、酸素セ
ンサもしくは排気ガスの温度によつて、酸素セン
サの感度が異なる。さらに、燃焼制御（空燃比の
制御）を行なう場合、排気ガス温度の低い始動時
からの制御が必要である。
このような要件を満すものとして、たとえば特
開昭55−125448号のFig6に開示されたようにス
トイツクセンサとヒータおよび希薄酸素センサを
一体に形成した複合酸素センサが提案されてい
る。
開昭55−125448号のFig6に開示されたようにス
トイツクセンサとヒータおよび希薄酸素センサを
一体に形成した複合酸素センサが提案されてい
る。
すなわち、前記複合酸素センサは、Fig6に示
されているように、下から多孔性おおい層、測定
電極、電気絶縁層、固体電解質板、標準電極、多
孔性電気絶縁層、加熱素子、Ｕ字状絶縁部材、測
定電極、電気絶縁層、固体電解質板、標準電極、
多孔性おおい層の順に積層して成る。
されているように、下から多孔性おおい層、測定
電極、電気絶縁層、固体電解質板、標準電極、多
孔性電気絶縁層、加熱素子、Ｕ字状絶縁部材、測
定電極、電気絶縁層、固体電解質板、標準電極、
多孔性おおい層の順に積層して成る。
このような複合酸素センサは、加熱素子の両側
に配置され、固体電解質を挾み込んでいる電極間
に定電流を通過させ、この状態における電極間に
生じる出力電圧を検出して、理論空燃比以上の高
い酸素濃度に制御するストイツクセンサと、固体
電解質を挾み込んでいる電極間に励起電圧として
一定電圧ELを印加し、この状態における電極間
に流れるポンピング電流部から酸素濃度を検出す
る希薄酸素センサとが加熱素子を基準としたとき
対称位置に配置されていないため、加熱素子で加
熱したとき、ストイツクセンサと希薄酸素センサ
の温度を均一にすることができない。このため、
希薄酸素センサの温度の変化による出力の変動を
正確に補正することができない。また、部品の種
類が多く、その加工、組立に多くの工数を要し、
作業性が悪いなどの欠点がある。
に配置され、固体電解質を挾み込んでいる電極間
に定電流を通過させ、この状態における電極間に
生じる出力電圧を検出して、理論空燃比以上の高
い酸素濃度に制御するストイツクセンサと、固体
電解質を挾み込んでいる電極間に励起電圧として
一定電圧ELを印加し、この状態における電極間
に流れるポンピング電流部から酸素濃度を検出す
る希薄酸素センサとが加熱素子を基準としたとき
対称位置に配置されていないため、加熱素子で加
熱したとき、ストイツクセンサと希薄酸素センサ
の温度を均一にすることができない。このため、
希薄酸素センサの温度の変化による出力の変動を
正確に補正することができない。また、部品の種
類が多く、その加工、組立に多くの工数を要し、
作業性が悪いなどの欠点がある。
本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をな
くし、高精度の検出が可能な複合酸素センサとそ
の製造方法を提供するにある。
くし、高精度の検出が可能な複合酸素センサとそ
の製造方法を提供するにある。
上記目的を達成するため、本発明においてはス
トイツクセンサと希薄酸素センサを、ヒータをは
さんで相対向するように、かつヒータとの間隔が
等しくなるように配置すると共に、各センサのヒ
ータ側の電極を拡散室で覆うようにしたことを特
徴とする。
トイツクセンサと希薄酸素センサを、ヒータをは
さんで相対向するように、かつヒータとの間隔が
等しくなるように配置すると共に、各センサのヒ
ータ側の電極を拡散室で覆うようにしたことを特
徴とする。
また、本発明においては、セラミツクグリーン
シートおよびセラミツク基板に対する所要パター
ンの印刷する工程、グリーンシートおよびセラミ
ツク基板の積層し圧着する工程、および焼結工程
のくり返しにより希薄酸素センサとストイツクセ
ンサとを有する複合酸素センサを製造することを
特徴とする。
シートおよびセラミツク基板に対する所要パター
ンの印刷する工程、グリーンシートおよびセラミ
ツク基板の積層し圧着する工程、および焼結工程
のくり返しにより希薄酸素センサとストイツクセ
ンサとを有する複合酸素センサを製造することを
特徴とする。
以下、本発明の一実施例を図面にしたがつて説
明する。
明する。
第１図および第２図は、本発明による複合酸素
センサの一実施例を示すものである。同図におい
て、複合酸素センサ１は、電極２ａ，２ｂ，２
ｃ，２ｄを支持する固体電解質セラミツク基板
（以下単に基板という）３ａ，３ｄ、絶縁層４ａ，
４ｂを介してヒータ５を支持する固体電解質セラ
ミツク基板（以下単に基板という）３ｂ，３ｃ
と、基板３ｂ，３ｃの間を接合する接合層３ｅ、
および基板３ａ，３ｄの外側面を覆う被覆層６
ａ，６ｂから成る。そして、基板３ａと基板３ｂ
の間、および基板３ｃと基板３ｄの間には、電極
２ｂ，２ｃを囲む拡散室７ａ，７ｂが形成されて
いる。また、これら拡散室７ａ，７ｂは、拡散穴
８ａ，８ｂによつて外部と連通している。
センサの一実施例を示すものである。同図におい
て、複合酸素センサ１は、電極２ａ，２ｂ，２
ｃ，２ｄを支持する固体電解質セラミツク基板
（以下単に基板という）３ａ，３ｄ、絶縁層４ａ，
４ｂを介してヒータ５を支持する固体電解質セラ
ミツク基板（以下単に基板という）３ｂ，３ｃ
と、基板３ｂ，３ｃの間を接合する接合層３ｅ、
および基板３ａ，３ｄの外側面を覆う被覆層６
ａ，６ｂから成る。そして、基板３ａと基板３ｂ
の間、および基板３ｃと基板３ｄの間には、電極
２ｂ，２ｃを囲む拡散室７ａ，７ｂが形成されて
いる。また、これら拡散室７ａ，７ｂは、拡散穴
８ａ，８ｂによつて外部と連通している。
このような構成において、たとえば、電極２
ａ，２ｂをストイツクセンサとし、電極２ｃ，２
ｄを希薄酸素センサとする。ここで、ストイツク
センサとは第２図において電極２ｂ−２ａ間に電
極２ｂを陽極として定電流Ip′を通電する定電流
励起法を採用し、ストイツクセンサの拡散室７ａ
内に拡散穴８ａより流入する一酸化炭素より多い
酸素を酸素イオンで固体電解質セラミツク基板３
ａを通過させることで供給し、空燃比によらず拡
散室７ａ内を高い酸素濃度に制御する。また、希
薄酸素センサとは第２図において、電極２ｄ−２
ｃ間に電極２ｄを陽極にして、励起電圧ELを印
加すると、拡散室７ｂ内の酸素分子は固体電解質
セラミツク基板３ｄを酸素イオンで通過して排気
ガス中に放出される。これに伴い、拡散室７ｂ内
には拡散孔８ｂより拡散律速に基づき酸素分子が
流入する。この酸素量に応じて希薄酸素センサの
電極２ｄ−２ｃ間にポンピング電流Ipが流れる。
このポンピング電流Ipと排気ガス中の酸素分圧
Po2の間には次式が成り立つことが一般に知られ
ている。
ａ，２ｂをストイツクセンサとし、電極２ｃ，２
ｄを希薄酸素センサとする。ここで、ストイツク
センサとは第２図において電極２ｂ−２ａ間に電
極２ｂを陽極として定電流Ip′を通電する定電流
励起法を採用し、ストイツクセンサの拡散室７ａ
内に拡散穴８ａより流入する一酸化炭素より多い
酸素を酸素イオンで固体電解質セラミツク基板３
ａを通過させることで供給し、空燃比によらず拡
散室７ａ内を高い酸素濃度に制御する。また、希
薄酸素センサとは第２図において、電極２ｄ−２
ｃ間に電極２ｄを陽極にして、励起電圧ELを印
加すると、拡散室７ｂ内の酸素分子は固体電解質
セラミツク基板３ｄを酸素イオンで通過して排気
ガス中に放出される。これに伴い、拡散室７ｂ内
には拡散孔８ｂより拡散律速に基づき酸素分子が
流入する。この酸素量に応じて希薄酸素センサの
電極２ｄ−２ｃ間にポンピング電流Ipが流れる。
このポンピング電流Ipと排気ガス中の酸素分圧
Po2の間には次式が成り立つことが一般に知られ
ている。
Ip＝（4F・Ｄ・Ｓ／Ｒ・Ｔ・１）・Po2
ここで、
Ｆ：フアラデー定数
Ｄ：酸素ガスの拡散定数
Ｓ：拡散孔の断面積
Ｒ：気体定数
Ｔ：絶対温度
１：拡散孔の長さ
を表すものとする。
上記定電流Ip′にて励起されたストイツクセン
サの空気過剰率λと出力電圧e0との関係、励起電
圧ELにて励起された希薄酸素センサの空気過剰
率λと出力電流Ipとの関係を第７図に示す。スト
イツクセンサの電極間に生じる出力電圧e0は排気
ガス中の酸素濃度が拡散室７ａ内の酸素濃度と比
較して大きい場合は（空気過剰率λ＜１の場合）、
電流Ip′により拡散室７ａ内の酸素濃度を理論空
燃比以上にしようとして、排気ガス中の酸素を酸
素イオンの形で拡散室７ａに送りこむため出力電
圧e0が大きく、λ≧1.0では出力電圧e0は小さく
なる。また、希薄酸素センサが発生するポンピン
グ電流Ipは排気ガス中の酸素分圧によつて定まる
値で、空気過剰率λ＜1.0の時は０に近い値を取
りつづけ、λが1.0以上のときは排気ガス中の酸
素分圧PO2の増加分に比例して大きくなる。
サの空気過剰率λと出力電圧e0との関係、励起電
圧ELにて励起された希薄酸素センサの空気過剰
率λと出力電流Ipとの関係を第７図に示す。スト
イツクセンサの電極間に生じる出力電圧e0は排気
ガス中の酸素濃度が拡散室７ａ内の酸素濃度と比
較して大きい場合は（空気過剰率λ＜１の場合）、
電流Ip′により拡散室７ａ内の酸素濃度を理論空
燃比以上にしようとして、排気ガス中の酸素を酸
素イオンの形で拡散室７ａに送りこむため出力電
圧e0が大きく、λ≧1.0では出力電圧e0は小さく
なる。また、希薄酸素センサが発生するポンピン
グ電流Ipは排気ガス中の酸素分圧によつて定まる
値で、空気過剰率λ＜1.0の時は０に近い値を取
りつづけ、λが1.0以上のときは排気ガス中の酸
素分圧PO2の増加分に比例して大きくなる。
このように、ヒータ５と各センサの間隔を等距
離とし、ヒータ５による各センサの加熱が均一に
行なわれるので、ストイツクセンサにより理論空
燃比を正確に検出し、この時の希薄酸素センサの
出力電流が０となるように補正するだけで、燃焼
効率が最も良いとされる空気過剰率λ＝1.0〜1.5
の範囲を正確に検出できる。
離とし、ヒータ５による各センサの加熱が均一に
行なわれるので、ストイツクセンサにより理論空
燃比を正確に検出し、この時の希薄酸素センサの
出力電流が０となるように補正するだけで、燃焼
効率が最も良いとされる空気過剰率λ＝1.0〜1.5
の範囲を正確に検出できる。
第３図ないし第６図は、前記複合酸素センサ１
の製造工程を示すものである。
の製造工程を示すものである。
まず、第３図に示すように、４枚の固体電解質
セラミツクグリーンシート（以下単にグリーンシ
ートという）３a′，３b′，３c′，３d′を準備する。
グリーンシート３a′，３d′に拡散穴８ａ，８ｂを
形成したのち、グリーンシート３a′，３d′の両面
に、酸素検出用の電極パターン２a′，２b′と２c′，
２d′をそれぞれ印刷形成する。この電極パターン
２a′，２b′，２c′，２d′は、白金ペースト、たと
えば、白金粉末とエチルセルロースとカルビトー
ルの混合物を、スクリーン印刷等によつてグリン
シート３a′，３b′上に印刷して成る。ついで、電
極２b′，２c′を覆うように有機ペーストのパター
ン７a′，７b′を印刷形成する。このパターン７
a′，７b′の有機ペーストは、たとえば、エチセル
とα−テルピネオールとの混合物を用いる。
セラミツクグリーンシート（以下単にグリーンシ
ートという）３a′，３b′，３c′，３d′を準備する。
グリーンシート３a′，３d′に拡散穴８ａ，８ｂを
形成したのち、グリーンシート３a′，３d′の両面
に、酸素検出用の電極パターン２a′，２b′と２c′，
２d′をそれぞれ印刷形成する。この電極パターン
２a′，２b′，２c′，２d′は、白金ペースト、たと
えば、白金粉末とエチルセルロースとカルビトー
ルの混合物を、スクリーン印刷等によつてグリン
シート３a′，３b′上に印刷して成る。ついで、電
極２b′，２c′を覆うように有機ペーストのパター
ン７a′，７b′を印刷形成する。このパターン７
a′，７b′の有機ペーストは、たとえば、エチセル
とα−テルピネオールとの混合物を用いる。
一方、グリーンシート３c′には、アルミナペー
スト、たとえば、アルミナとエチセルおよびテル
ピネオールの混合物により、絶縁パターン４b′を
印刷形成したのち、この絶縁パターン４b′上に、
白金ペーストでヒータパターン５′を印刷形成す
る。
スト、たとえば、アルミナとエチセルおよびテル
ピネオールの混合物により、絶縁パターン４b′を
印刷形成したのち、この絶縁パターン４b′上に、
白金ペーストでヒータパターン５′を印刷形成す
る。
前記各パターン２a′，２b′と２c′，２d′，７a′
，
７b′，４b′，５′を乾燥硬化させたのち、第４図
に示すように、グリーンシート３a′と３b′，３
c′と３d′をそれぞれ圧着する。この圧着は、たと
えば、120℃、80気圧のホツトプレスで行なう。
ついで、各積層体１a′と１b′を140℃で30分間加
熱し、パターン７a′，７b′を形成する有機ペース
トを蒸発させて除去し、拡散室７ａ，７ｂを形成
したのち、1500℃で２時間焼成する。この状態
で、グリーンシート３a′，３b′，３c′，３d′はそ
れぞれ、基板３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとなり、電
極パターン２a′，２b′，２c′，２d′はそれぞれ電
極２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄとなる。また、絶縁パ
ターン４b′は絶縁層４ｂに、ヒータパターン５′
はヒータ５になる。ついで、第５図に示すよう
に、ヒータ５の上に絶縁パターン４a′を印刷形成
すると共に、基板３ｂ上に、２％のSiO2粉末と
固体電解質粉末を含むペースト１e′を印刷する。
そして、積層体１ａを1500℃で１時間焼結したの
ち、積層体１ａ，１ｂを積層し、さらに、1450℃
で１時間焼結する。そして第６図に示すように、
一体化したのち、その表裏面にスピネルをスパツ
タリングして、被覆層６ａ，６ｂを形成し、複合
酸素センサ１が完成する。
，
７b′，４b′，５′を乾燥硬化させたのち、第４図
に示すように、グリーンシート３a′と３b′，３
c′と３d′をそれぞれ圧着する。この圧着は、たと
えば、120℃、80気圧のホツトプレスで行なう。
ついで、各積層体１a′と１b′を140℃で30分間加
熱し、パターン７a′，７b′を形成する有機ペース
トを蒸発させて除去し、拡散室７ａ，７ｂを形成
したのち、1500℃で２時間焼成する。この状態
で、グリーンシート３a′，３b′，３c′，３d′はそ
れぞれ、基板３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄとなり、電
極パターン２a′，２b′，２c′，２d′はそれぞれ電
極２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄとなる。また、絶縁パ
ターン４b′は絶縁層４ｂに、ヒータパターン５′
はヒータ５になる。ついで、第５図に示すよう
に、ヒータ５の上に絶縁パターン４a′を印刷形成
すると共に、基板３ｂ上に、２％のSiO2粉末と
固体電解質粉末を含むペースト１e′を印刷する。
そして、積層体１ａを1500℃で１時間焼結したの
ち、積層体１ａ，１ｂを積層し、さらに、1450℃
で１時間焼結する。そして第６図に示すように、
一体化したのち、その表裏面にスピネルをスパツ
タリングして、被覆層６ａ，６ｂを形成し、複合
酸素センサ１が完成する。
前記のように、本発明によれば、拡散穴８を明
ける以外は全て印刷と焼結によつて形成すること
ができ、部品点数の削減が可能になり、加工が容
易になる。
ける以外は全て印刷と焼結によつて形成すること
ができ、部品点数の削減が可能になり、加工が容
易になる。
以上述べた如く、本発明によれば、高精度の測
定が可能な複合酸素センサを提供することができ
る。また、複合酸素センサの加工を容易にし、作
業性を大巾に向上させることができるなどの効果
がある。
定が可能な複合酸素センサを提供することができ
る。また、複合酸素センサの加工を容易にし、作
業性を大巾に向上させることができるなどの効果
がある。
第１図は本発明による複合酸素センサの平面
図、第２図は第１図の−断面図、第３図ない
し第６図は本発明による複合酸素センサの製造工
程を示す工程図で、それぞれＡは第２図に対応す
る断面図、ＢはＡの底面図、第７図はストイツク
センサの空気過剰率に対する出力電圧の関係及び
希薄酸素センサの空気過剰率に対する出力電圧の
関係を示す図である。 １……複合酸素センサ、２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄ……電極、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ……基板、
３ｅ……接合層、４ａ，４ｂ……絶縁層、５……
ヒータ、７ａ，７ｂ……拡散室、８ａ，８ｂ……
拡散孔。
図、第２図は第１図の−断面図、第３図ない
し第６図は本発明による複合酸素センサの製造工
程を示す工程図で、それぞれＡは第２図に対応す
る断面図、ＢはＡの底面図、第７図はストイツク
センサの空気過剰率に対する出力電圧の関係及び
希薄酸素センサの空気過剰率に対する出力電圧の
関係を示す図である。 １……複合酸素センサ、２ａ，２ｂ，２ｃ，２
ｄ……電極、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ……基板、
３ｅ……接合層、４ａ，４ｂ……絶縁層、５……
ヒータ、７ａ，７ｂ……拡散室、８ａ，８ｂ……
拡散孔。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 被測定ガスの拡散孔を有する第１の固体電解
質セラミツク基板と、該第１の固体電解質セラミ
ツク基板の両面の前記拡散孔の周囲に電極を形成
しこの電極間に定電流を流すことにより電極間の
起電力が測定され理論空燃比に対応して出力急変
があるストイツクセンサと、 被測定ガスの拡散孔を有する第２の固体電解質
セラミツク基板と、該第２の固体電解質セラミツ
ク基板の両面の前記拡散孔の周囲に電極を形成し
この電極間に定電圧を印加することにより限界電
流が測定される限界電流式希薄酸素センサと、 前記ストイツクセンサと前記希薄酸素センサの
間に、絶縁材でコーテイングされ、さらに固体電
解質セラミツクの間に挾持されたヒータと、 前記ストイツクセンサと希薄酸素センサのヒー
タ側の電極を囲むよう形成された拡散室とを備
え、 前記ヒータに対し前記ストイツクセンサと、前
記希薄酸素センサとが対称的に一体に結合されて
いることを特徴とする複合酸素センサ。 ２ 拡散孔を形成した固体電解質セラミツクグリ
ーンシートの両面に、拡散孔を中央にして白金ペ
ーストで検出用の電極パターンを印刷形成し、そ
の電極パターンの一方を有機物ペーストで覆つた
未焼成のストイツクセンサと希薄酸素センサを形
成し、固体電解質セラミツクグリーンシートの一
面に絶縁ペーストを塗布し、その上に白金ペース
トでヒータパターンを印刷した未焼成のヒータを
形成し、前記ストイツクセンサと希薄酸素センサ
のいずれか一方のセンサの有機ペースト塗布面に
前記ヒータの非パターン面を重ねて加熱圧着し、
他方のセンサの有機ペースト塗布面に固体電解質
セラミツクグリーンシートを加熱圧着し、それぞ
れ有機ペーストを加熱除去して拡散室を形成して
のち、焼結してストイツクセンサと希薄酸素セン
サ及びヒータを形成し、このヒータの上に絶縁ペ
ーストを塗布して焼結したのち、焼結された絶縁
物とヒータのないストイツクセンサもしくは希薄
酸素センサのセラミツク面との間に固体電解質ペ
ーストを塗布して圧着したのち、焼結して前記ス
トイツクセンサと前記希薄酸素センサとが前記ヒ
ータに対して対称的となるよう一体に接合するこ
とを特徴とする複合酸素センサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58236183A JPS60128344A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | 複合酸素センサとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58236183A JPS60128344A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | 複合酸素センサとその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60128344A JPS60128344A (ja) | 1985-07-09 |
| JPH056659B2 true JPH056659B2 (ja) | 1993-01-27 |
Family
ID=16996999
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58236183A Granted JPS60128344A (ja) | 1983-12-16 | 1983-12-16 | 複合酸素センサとその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60128344A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0778487B2 (ja) * | 1986-11-04 | 1995-08-23 | 株式会社ユニシアジェックス | 内燃機関用酸素センサの製造方法 |
| DE19746516C2 (de) * | 1997-10-22 | 2001-09-27 | Bosch Gmbh Robert | Planares Sensorelement |
-
1983
- 1983-12-16 JP JP58236183A patent/JPS60128344A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60128344A (ja) | 1985-07-09 |
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