JPH0646189B2 - 酸素濃度センサ - Google Patents

酸素濃度センサ

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JPH0646189B2
JPH0646189B2 JP60010899A JP1089985A JPH0646189B2 JP H0646189 B2 JPH0646189 B2 JP H0646189B2 JP 60010899 A JP60010899 A JP 60010899A JP 1089985 A JP1089985 A JP 1089985A JP H0646189 B2 JPH0646189 B2 JP H0646189B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は酸素濃度センサに係り、とくに自動車の排ガス
の酸素ガス濃度を測定するのに好適な酸素濃度センサに
関する。
〔発明の背景〕
従来この分野の技術としては、実開昭５８−130261に記
載のように、Al2O3，ZrO2のグリンシートを印刷・積層
したものを接着剤なしで同時焼成するか、特開昭５５−
154451のように予め焼結したAl2O3基板のヒータ状に安
定化ＺｒＯ２を薄膜または厚膜でセルを積層し、これも
接着剤なしで熱処理により焼結接合する方法が提案され
ている。
しかしながら、ＺｒＯ２とAl2O3との間の接合界面に
は、装置の動作状態（６００〜９００℃）と停止状態
（室温）との間の熱サイクルにより、熱膨張差により応
力が働き剥離または割れ等が生じやすい。また両者を同
時に焼結することが多いので、Al2O3は焼結不充分なた
めの強度不足、焼結助剤を多用したための電気抵抗低減
などの問題がある。
〔発明の目的〕
本発明の目的は互いに異なる熱膨張係数を有するセラミ
ツク材料からなるセルとヒータが接合固定された酸素濃
度センサにおいて、熱サイクルや熱シヨツクに耐えしか
も熱伝導よくヒータでセルを加熱できる接合界面が形成
された酸素濃度センサを提供することにある。
〔発明の概要〕
本発明は、セラミツク材料が熱的挙動には相転移による
非直線的でヒステリシスも大きな変位を示すこともある
ことに鑑み、互いに異なる熱膨張係数を有するセラミツ
ク材料からなるセルとヒータを接合固定するに際し、そ
の界面の変位量を吸収または緩衝する中間層を介在させ
て、両者を接合面において接着または溶着させることを
特徴とする。
望ましい一実施例によれば補助的に接合強度の耐久性を
増す手段として、いずれかのセラミツク材、例えばヒー
タの部材がセルの包囲、押し込みまたは埋込みが可能な
形状とされ、両者間に中間層が介在することにより、加
熱して使用している間はセルが熱膨張してヒータの構造
部材に密接し、未使用中はヒータ中にセルが収容され脱
落を防止する構成とされる。
このセンサが温度変動の激しい被検ガス中に露出してい
る状態で所要の検出精度をセルが維持できるよう、セル
温度を安定化する手段として、セルを検出電極部を残し
てヒータ構造部材で包囲するとともに、必要に応じてセ
ル検出部に多孔質保護膜が設けられる。なおセル温度を
代表する電気信号でヒータの加熱電力を負帰還制御する
手段は併用されることが望ましい。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の一実施例を図を用いて説明する。まず、
第１図はセルの動作原理を示す原理構成図である。図中
１はY2O3安定化ＺｒＯＳ２の固体電解質体で、その表面
に対向して酸素ガス（Ｏ２）の吸着・解離能を有する例
えば白金の多孔質電極２，３が形成される。２は検出電
極と称し被検ガス中に露出され、対向電極３から来た酸
素イオンを被検ガス中に解離する。一方３は基準電極と
称し、多くの開孔を有するとともに、電極の周辺に周囲
の被検ガスから仕切られた空間すなわち拡散室５内に露
出される。この拡散室５と被検ガスとは拡散孔４を介し
て連通される。固体電解質１の温度が６００〜８００℃
において検出電極２から基準電極３へ電流ＩＰが流され
ると、拡散室５中の酸素ガスは基準電極３に吸着されて
イオン化し、この酸素イオンは固体電解質１を介してポ
ンピングアウトされる。この結果、基準電極３と検出電
極２の間には常に基準電極３側の酸素濃度が希薄となり
濃淡電池の起電力Ｅが誘起される。例えば誘起起電力Ｅ
＝１Ｖを得るには、ネリンストの式によると固体電解質
体１の温度が７００℃、検出電極２−基準電極３間の酸
素濃度比が２０桁のときに得られる。ここで比検ガス中
の酸素ガスは選択的に拡散孔４で律速されながら拡散室
５中に拡散してくるので、これらの酸素ガスは全べて順
次ポンピングアウトされ、従つてこの電流は被検ガス中
の酸素濃度Ｐ０が一定の場合はこれに対応して限界値を
示す。
そこで例えば検出電極２−基準電極３間の誘起起電力Ｅ
がある所定の値になるように電流ＩＰに電子回路でフイ
ードバツクをかけることにより被検ガス中の酸素濃度Ｐ
０とＩＰとの比例関係が成立する。第２図にこの関係が
示される。
第３図は拡散孔の異なる２つの基準電極７，８と１つの
検出電極６とを積層したセルの断面図を示す。図中検出
電極６−基準電極８、検出電極６−基準電極７が対向し
てそれぞれ濃淡電池が形成される。この時それぞれ拡散
孔１０，９を有する。第３図の対向電極６−７のセルは
第１図とは異なる使い方がされる。すなわち、基準電極
７を囲む拡散室９には検出電極６から常時酸素ガスがポ
ンピングインされて大気中の酸素濃度に近い値にほぼ維
持される。これを基準にして検出電極６周辺の酸素濃度
がネルンストの濃淡電池の式で計測される。この時の出
力特性は検出電極６に白金が用いられるとその触媒性能
により、理論空燃比点より燃料が濃い領域では検出電極
６周辺は酸素濃度が２０桁前後基準電極７周辺に較べて
酸素希薄となる。従来使われている自動車用Ｏ２センサ
の出力特性を示す第４図において本実施例構成のセルに
よれば原理的に理論空燃比点を示す特性のセルの温度依
存性は第１のセルの温度依存性に較べて少ない利点が得
られる。
以上本発明の実施例によれば２つのセルが積重ねられて
酸素濃度センサが構成される。一方は酸素濃度に比例す
る信号でセル温度依存性が大きく、他方は理論空燃比点
に対応する酸素濃度点でスイツチング出力特性を示し、
この点の温度依存性は小さい。本発明の実施例によれば
この積層セルをヒータと接合固定する場合、比例信号を
出力するセルをヒータと直接接合することにより熱制御
性が改善され、両セルとも温度依存性が改善できる。第
５図はこのセルとヒータの関係を示すものである。すな
わち第３図に示されたセルをヒータに埋込んだもので、
セル１１の検出電極１３と２つの基準電極（図では見え
ない）の見出し端子が１８，１９，２０である。１４，
１５はそれぞれ広域空燃比関数信号発生セルおよび理論
空燃比点検出セルのスリツト形の拡散孔である。ヒータ
１２については、図では見えないが発熱体の端子が１
６，１７である。
セルとヒータと内部構造を示す断面図を第６図およびそ
の断面図を第７（Ａ）〜（Ｅ）図に示す。第７（Ａ）図
中２０，２２はそれぞれ理論空燃比点検出セルの電極と
拡散孔、第７（Ｂ）図中２１，２３はそれぞれ広域空燃
比関数信号発生セルの電極と拡散孔である。第７図
（Ｃ）図の２４はヒータの発熱部である。第７図（Ｅ）
図の２５，２６はいずれも電極の引出端子のスルーホー
ルでセル表面に引出すためのものである。２７，２８は
いずれもヒータの引出端子のスルーホールで、ヒータ表
面に引出すためのものである。２９は両者を接合固定す
る接着剤である。セルY2O3安定化ＺｒＯ２、ヒータはAl
2O3を主剤とし、予めそれぞれ焼成されたものを、Al2O3
を主剤とし、必要に応じてＺｒＯ２，ＳｉＯ２，ＭｇＯ
等を接着または焼結の助剤として配合したものを用い
る。具体的にはAl2O3，ＺｒＯ２，ＴｉＯ２からなる水
性１液形ペースト状接着剤がある。
第５図に示す本発明の実施例によればヒータ１２はセル
１１に埋込み接着するようにｕ字形断面の基板に形成さ
れ、一方セル１１はｕ字形ヒータ先端部端面に拡散孔を
配置したことにより、接着剤の接合固定効果をより高く
できる。
第８図は接着剤のくさび効果を出すためにセル３０、ヒ
ータ３１両者に凹凸４１〜４４，５１〜５４設けた場合
である。
第９図から理解されるように、セル表面の温度はガス流
速の増加に伴い低下するが、セルーヒータ間の温度はほ
ぼ一定温度に保持される。
以上のように、本発明の一実施例によれば酸素イオン導
電性を有する固体電解質体と該固体電解質体表面に対向
して配置された検出電極と基準電極とからなるセルと該
セルを加熱するヒータから成り、ヒータの発熱体を支持
絶縁する基板にはAl2O3を主剤として用い、セルの固体
電解質体おびセル周辺の構造材としては安定化ＺｒＯ２
を主剤として用いるとともにそれぞれを予め焼成してお
き、然る後に、両者をAl2O3を主剤とし、必要に応じて
ＺｒＯ２，ＳｉＯ２，ＭｇＯ等を接着または焼結の助剤
として配合し、接合することにより酸素濃度センサが構
成される。
ヒータとセルは予めされぞれ適宜な焼成工程に焼成し、
その後、Al2O3を主剤とする接着剤にて接着するように
してもよい。
ヒータは望ましくは板状としてタングステン酸化物を発
熱体、Al2O3を支持絶縁体とし、セルは板状の固体電解
質体に安定化ＺｒＯ２、電極にＰｔを用いるとともに、
両者は中間にAl2O3を主剤とする接合層を介して焼成結
合することも可能である。
ヒータはセルを埋込み接着するようｕ字形断面の基板と
し、セルはｕ字形ヒータ先端部端面に拡散電極開口を配
置しこれら両者をAl2O3を主剤とする接着剤に接着して
もよい。
セルは理論空燃比点検出セルと広域空燃比関数信号発生
セルとからなり、後者は前記ヒータのｕ字形断面に密接
するよう配設し、前者は後者の上に積層して配設すると
ともに、ヒータは温度調節機能を有するように構成され
る。
セルとヒータとの間に介在する接着剤は、硬化後その形
状がくさび効果を有するように、セルに対してはその厚
さ方向に凹凸、傾斜、段差部等を設け、ヒータに対して
もｕ字形の両側に凹凸、傾斜、段差部等を設けるように
することも可能である。
〔発明の効果〕
本発明によれば、互いに異なる熱膨張係数を有するセラ
ミツク材料からなるセルとヒータとを良好な耐熱性と熱
伝導性をもつて接合固定される酸素濃度センサが得られ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の原理構成図、第２図は第１図の比例信
号セルの特性図、第３図（Ａ）は積層セルの横断面図、
（Ｂ）は横断面図、第４図は第３図に示す理論空燃比点
セルの特性図、第５図は本発明の一実施例を示すセルと
ヒータとの接合前の斜視図、第６図は第５図に示すセル
とヒータとの接合状態における縦断面図、第７（Ａ）〜
（Ｅ）図は第６図のＡ−Ａ，Ｂ−Ｂ，Ｃ−Ｃ，Ｄ−Ｄお
よびＥ−Ｅ各断面図、第８図は本発明の他の一実施例を
示す斜視図、第９図は第５図に示す本発明の一実施例に
おけるセルの温度依存性実測データ図、である。 １……固体電解質、２，６，１３……検出電極、３，
７，８……基準電極、４，９，１０，１４，１５……拡
散孔、５……拡散室、１１，３０……セル、１２，３１
……ヒータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 7363−2Ｊ ３２７ Ｈ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】酸素イオン導電性を有する固体電解質体
    と、該固体電解質体表面の一方に被検ガスに露出するよ
    う配置された検出電極と、前記被検ガスに開口を介して
    連通する拡散室に露出するよう前記固体電解質体表面の
    他方に対向配置された基準電極とから構成されたセル
    と、該セルを所定温度に加熱するヒータとを備えた酸素
    濃度センサにおいて、前記ヒータは前記セルを収納可能
    に構成され、前記セルは前記ヒータの端面に、前記セル
    に設けられた開口が配置される状態で前記ヒータと接合
    固定されることを特徴とする酸素濃度センサ。
JP60010899A 1985-01-25 1985-01-25 酸素濃度センサ Expired - Lifetime JPH0646189B2 (ja)

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Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4744954A (en) * 1986-07-11 1988-05-17 Allied-Signal Inc. Amperometric gas sensor containing a solid electrolyte
JPH087179B2 (ja) * 1986-09-27 1996-01-29 日本碍子株式会社 ガスセンサ
JPS6388244A (ja) * 1986-09-30 1988-04-19 Mitsubishi Electric Corp 空燃比制御装置
US4753204A (en) * 1986-09-30 1988-06-28 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Air-fuel ratio control system for internal combustion engines
US4861459A (en) * 1987-01-16 1989-08-29 Uop Inc. Low pressure mixing process for atomizing fluids
JPH0684950B2 (ja) * 1987-03-03 1994-10-26 日本碍子株式会社 電気化学的装置
US4897174A (en) * 1988-05-24 1990-01-30 Gte Laboratories Incorporated Gas sensing apparatus
US4880519A (en) * 1988-05-24 1989-11-14 Gte Laboratories Incorporated Gas sensor element
DE69006503T2 (de) * 1990-09-13 1994-06-09 Honeywell Bv Verfahren und Messfühler zur Bestimmung von Sauerstoffpartialdruck.
JP3678747B2 (ja) * 1993-12-09 2005-08-03 ローベルト ボッシュ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング 電流回路の電気的分離のための絶縁層系
DE4439883A1 (de) * 1993-12-09 1995-06-14 Bosch Gmbh Robert Isolationsschichtsystem zur galvanischen Trennung von Stromkreisen
US5384030A (en) * 1994-02-15 1995-01-24 General Motors Corporation Exhaust sensor including a composite tile sensing element and methods of making the same
US5827415A (en) * 1994-09-26 1998-10-27 The Board Of Trustees Of Leland Stanford Jun. Univ. Oxygen sensor
DE4437507C1 (de) * 1994-10-20 1995-11-30 Bosch Gmbh Robert Sensorelement
DE19503309A1 (de) * 1995-02-02 1996-08-08 Bosch Gmbh Robert Keramische Schichtsysteme, insbesondere für Gassensoren
JP3686272B2 (ja) * 1998-12-21 2005-08-24 株式会社日立製作所 空燃比センサ及びこれを用いたエンジン燃焼制御システム
EP1026502B1 (en) * 1999-02-03 2007-12-19 NGK Spark Plug Company Limited Solid electrolyte containing insulating ceramic grains for gas sensor, and method for fabricating same
JP4453166B2 (ja) * 2000-06-19 2010-04-21 株式会社デンソー 積層型ガスセンサ素子及びその製造方法
JP2002228626A (ja) 2000-11-30 2002-08-14 Denso Corp ガスセンサ素子
GB2387230B (en) * 2002-02-28 2005-12-21 Ngk Spark Plug Co Prismatic ceramic heater for heating gas sensor element, prismatic gas sensor element in multi-layered structure including the prismatic ceramic heater,
DE10225149A1 (de) * 2002-06-06 2004-01-15 Robert Bosch Gmbh Sensorelement
US20050016848A1 (en) * 2003-05-30 2005-01-27 Muhammad Sahimi Oxygen sensor with a solid-state reference and manufacturing thereof
JP4407373B2 (ja) * 2004-05-13 2010-02-03 株式会社デンソー ガスセンサ素子
JP4430591B2 (ja) * 2005-07-25 2010-03-10 日本特殊陶業株式会社 ガスセンサ素子及びガスセンサ
JP4783095B2 (ja) * 2005-09-06 2011-09-28 新コスモス電機株式会社 水素ガス検出素子および水素ガス検出装置
US8168053B2 (en) * 2006-01-23 2012-05-01 Denso Corporation Gas sensing member used for gas sensor and method of manufacturing the member
DE102011082175A1 (de) * 2011-09-06 2013-03-07 Robert Bosch Gmbh Sensorelement zur Erfassung mindestens einer Eigenschaft eines Gases in einem Messgasraum
CN102721729B (zh) * 2011-10-12 2014-06-25 宁波大学 一种采用8YSZ和Al2O3材质叠层制备的极限电流型氧传感器
JP5829159B2 (ja) * 2012-03-16 2015-12-09 株式会社デンソー ガスセンサ素子及びその製造方法
JP5932141B2 (ja) 2013-04-15 2016-06-08 三菱電機株式会社 回転機械の回転子
CN110749638B (zh) * 2019-09-23 2024-04-09 中国航空工业集团公司上海航空测控技术研究所 一种基于氧化锆的微型氧浓度传感元件
JP7294178B2 (ja) 2020-02-17 2023-06-20 株式会社デンソー ガスセンサ素子

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2909452C2 (de) * 1979-03-10 1986-12-18 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Elektrochemischer Meßfühler für die Bestimmung des Sauerstoffgehaltes in Gasen, insbesondere in Abgasen
JPS55154451A (en) * 1979-05-19 1980-12-02 Nissan Motor Co Ltd Production of substrate for gas sensor
JPS57147049A (en) * 1981-03-06 1982-09-10 Nissan Motor Co Ltd Oxygen sensor element
JPS57211543A (en) * 1981-06-23 1982-12-25 Nissan Motor Co Ltd Electric current control device for oxygen sensor
JPS58130261A (ja) * 1982-01-28 1983-08-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd マンガン−アルミニウム−炭素系合金磁石の製造法
JPS5991357A (ja) * 1982-11-17 1984-05-26 Ngk Spark Plug Co Ltd ヒ−タ付酸素センサ
JPS6036948A (ja) * 1983-08-09 1985-02-26 Ngk Insulators Ltd 電気化学的装置
US4579643A (en) * 1983-11-18 1986-04-01 Ngk Insulators, Ltd. Electrochemical device
JPS60219547A (ja) * 1984-04-16 1985-11-02 Nissan Motor Co Ltd 酸素濃度検出装置
JP2502961B2 (ja) * 1984-04-26 1996-05-29 日本碍子株式会社 電気化学的装置の製造方法

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