JPH056662Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH056662Y2 JPH056662Y2 JP1985136712U JP13671285U JPH056662Y2 JP H056662 Y2 JPH056662 Y2 JP H056662Y2 JP 1985136712 U JP1985136712 U JP 1985136712U JP 13671285 U JP13671285 U JP 13671285U JP H056662 Y2 JPH056662 Y2 JP H056662Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- chuck table
- semiconductor wafer
- center
- photo sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は、半導体製造又は検査装置において、
半導体ウエハに認識を目的として文字やバーコー
ド等を書込んだり、書込んだものを読み取つたり
する場合にウエハの位置決めを行う為の半導体ウ
エハ用位置決め装置に関するものである。
半導体ウエハに認識を目的として文字やバーコー
ド等を書込んだり、書込んだものを読み取つたり
する場合にウエハの位置決めを行う為の半導体ウ
エハ用位置決め装置に関するものである。
従来、一般的に使われている上記半導体ウエハ
位置決めは、プリアライメント後にフアインアラ
イメント、即ち最終位置合せを行う方法が一般的
である。プリアライメントとは、大まかにアライ
メントを行う為、チヤツク・テーブルの回転中心
へウエハを置いてからウエハを回転させ、ウエハ
の外径付近に設けられたフオトセンサ等を用い
て、ウエハに設けたオリエンテーシヨンフラツト
部を検出する。さらにこの後機械的に位置規定用
ピンにウエハを押し付けたり、画像処理を行つて
ウエハのエツジ検出を行つたりして最終位置合せ
を行つている。
位置決めは、プリアライメント後にフアインアラ
イメント、即ち最終位置合せを行う方法が一般的
である。プリアライメントとは、大まかにアライ
メントを行う為、チヤツク・テーブルの回転中心
へウエハを置いてからウエハを回転させ、ウエハ
の外径付近に設けられたフオトセンサ等を用い
て、ウエハに設けたオリエンテーシヨンフラツト
部を検出する。さらにこの後機械的に位置規定用
ピンにウエハを押し付けたり、画像処理を行つて
ウエハのエツジ検出を行つたりして最終位置合せ
を行つている。
しかし従来の位置決めでは、最終位置合せ時に
機械的位置決めを行うものでは、最終位置合せ時
にチヤツク・テーブルに対しウエハが相対的に移
動する為ウエハ裏面にキズを付けたり、ゴミが発
生する可能性がある。又最終位置合せ時にはチヤ
ツク・テーブル中心とウエハ中心とがずれるので
その後チヤツク・テーブルを回転させ、オリエン
テーシヨンフラツト部以外の位置へ文字を書込ん
だり、読み取つたりする場合の再現性が悪くなる
という問題点があつた。
機械的位置決めを行うものでは、最終位置合せ時
にチヤツク・テーブルに対しウエハが相対的に移
動する為ウエハ裏面にキズを付けたり、ゴミが発
生する可能性がある。又最終位置合せ時にはチヤ
ツク・テーブル中心とウエハ中心とがずれるので
その後チヤツク・テーブルを回転させ、オリエン
テーシヨンフラツト部以外の位置へ文字を書込ん
だり、読み取つたりする場合の再現性が悪くなる
という問題点があつた。
一方画像処理によるウエハエツジ検出は高精度
を得る事は容易であるが、処理速度の低下や複雑
なハードウエア及ソフトウエアが必要で必然的に
高価なものとなるという問題点があつた。
を得る事は容易であるが、処理速度の低下や複雑
なハードウエア及ソフトウエアが必要で必然的に
高価なものとなるという問題点があつた。
本考案は上記問題点を解決したものであり、そ
の表面又は裏面に認識を目的とし文字やバーコー
ド等が書込まれ或いは書込んだものが読み取られ
る半導体ウエハを押動して中心合せを行う為に連
動的に作動する一対のアームと、前記中心合せが
なされた該半導体ウエハの中心を保持して吸着し
ながら回転するチヤツク・テーブルと、該チヤツ
ク・テーブル及び該チヤツク・テーブル用駆動源
間に介装され該駆動源の回転力の伝達を適宜しや
断するクラツチと、該半導体ウエハのオリエンテ
ーシヨンフラツト部を検出するフオトセンサと、
前記半導体ウエハの吸着状態かつ前記クラツチの
しや断状態で前記オリエンテーシヨンフラツト部
に接触して該半導体ウエハの回転角度の矯正を行
う接触部と、最終位置合せがされた該半導体ウエ
ハのエツジを検出する透過型フオトセンサと、こ
れらをシーケンスにしたがつて制御する制御系と
より構成してなるものである。
の表面又は裏面に認識を目的とし文字やバーコー
ド等が書込まれ或いは書込んだものが読み取られ
る半導体ウエハを押動して中心合せを行う為に連
動的に作動する一対のアームと、前記中心合せが
なされた該半導体ウエハの中心を保持して吸着し
ながら回転するチヤツク・テーブルと、該チヤツ
ク・テーブル及び該チヤツク・テーブル用駆動源
間に介装され該駆動源の回転力の伝達を適宜しや
断するクラツチと、該半導体ウエハのオリエンテ
ーシヨンフラツト部を検出するフオトセンサと、
前記半導体ウエハの吸着状態かつ前記クラツチの
しや断状態で前記オリエンテーシヨンフラツト部
に接触して該半導体ウエハの回転角度の矯正を行
う接触部と、最終位置合せがされた該半導体ウエ
ハのエツジを検出する透過型フオトセンサと、こ
れらをシーケンスにしたがつて制御する制御系と
より構成してなるものである。
次に、その実施例を第１図、第２図により説明
する。
する。
第１図は本考案に係る半導体ウエハ用位置決め
装置の一実施例のプリアライメント部の斜視図、
第２図は上記装置の最終位置合せ部の斜視図であ
る。
装置の一実施例のプリアライメント部の斜視図、
第２図は上記装置の最終位置合せ部の斜視図であ
る。
第１図中、半導体ウエハ１はベルト等の手段に
より搬送されチヤツク・テーブル６の上へ置かれ
ている。チヤツク・テーブル６はウエハ１吸着用
の穴を持ち、かつ駆動モータ１２より電磁クラツ
チ１１、タイミングベルト１８を経て回転するこ
とが出来る。ウエハ中心出しアーム４は左右一対
でエアシリンダ３によりラツク・ピニオン機構２
を経由して右左同相に矢印Ａ，Ｂ方向へ連動して
動作する。
より搬送されチヤツク・テーブル６の上へ置かれ
ている。チヤツク・テーブル６はウエハ１吸着用
の穴を持ち、かつ駆動モータ１２より電磁クラツ
チ１１、タイミングベルト１８を経て回転するこ
とが出来る。ウエハ中心出しアーム４は左右一対
でエアシリンダ３によりラツク・ピニオン機構２
を経由して右左同相に矢印Ａ，Ｂ方向へ連動して
動作する。
フオトセンサ１９はプリアライメント用にウエ
ハ１のオリエンテーシヨンフラツト部１ａを検出
するために使用する。オリエンテーシヨンフラツ
ト部矯正用接触部７はエアシリンダ８により矢印
Ａ，Ｂ方向へ準備点まで移動した後エアシリンダ
９を動作させてバネ１０の力にて矯正を行う。
ハ１のオリエンテーシヨンフラツト部１ａを検出
するために使用する。オリエンテーシヨンフラツ
ト部矯正用接触部７はエアシリンダ８により矢印
Ａ，Ｂ方向へ準備点まで移動した後エアシリンダ
９を動作させてバネ１０の力にて矯正を行う。
次に、第２図中、チヤツク・テーブル６と駆動
モータ１２及び電磁クラツチ１１は一体のベース
１４に取付られており、このベース１４は駆動源
１３により所定方向へスライドする。ウエハエツ
ジ検出用透過型フオトセンサ１６はエアシリンダ
１５によりウエハ移動とは直交する方向へ駆動さ
れて不要時にはウエハ外へ除かれる。尚１７は
TVカメラである。
モータ１２及び電磁クラツチ１１は一体のベース
１４に取付られており、このベース１４は駆動源
１３により所定方向へスライドする。ウエハエツ
ジ検出用透過型フオトセンサ１６はエアシリンダ
１５によりウエハ移動とは直交する方向へ駆動さ
れて不要時にはウエハ外へ除かれる。尚１７は
TVカメラである。
次にその動作について順序を追つて説明する。
ウエハ１がチヤツク・テーブル６上に置かれる
と、まず第１図のエアシリンダ３が働いてラツ
ク・ピニオン機構２を経由し、左右のウエハ中心
出しアーム４は互いに近接する方向へ動く。ウエ
ハ１はチヤツク・テーブル６上で微動し、ウエハ
１の中心とチヤツク・テーブル６の回転中心が一
致する。次にチヤツク・テーブル６に真空を供給
しウエハ１を吸着する。そしてエアシリンダ３を
復帰動作させ左右のウエハ中心出しアーム４を互
いに離間させる。
ウエハ１がチヤツク・テーブル６上に置かれる
と、まず第１図のエアシリンダ３が働いてラツ
ク・ピニオン機構２を経由し、左右のウエハ中心
出しアーム４は互いに近接する方向へ動く。ウエ
ハ１はチヤツク・テーブル６上で微動し、ウエハ
１の中心とチヤツク・テーブル６の回転中心が一
致する。次にチヤツク・テーブル６に真空を供給
しウエハ１を吸着する。そしてエアシリンダ３を
復帰動作させ左右のウエハ中心出しアーム４を互
いに離間させる。
次に電磁クラツチ１１をつなぎ駆動モータ１２
を回転させチヤツク・テーブル６、ウエハ１を矢
印方向へ回転させる。ここで、フオトセンサ１９
はウエハ１の回転によりオリエンテーシヨンフラ
ツト部１ａを検出し、ウエハ１が更に反時計回り
に90°送られた時点で駆動モータ１２を停止させ
る。
を回転させチヤツク・テーブル６、ウエハ１を矢
印方向へ回転させる。ここで、フオトセンサ１９
はウエハ１の回転によりオリエンテーシヨンフラ
ツト部１ａを検出し、ウエハ１が更に反時計回り
に90°送られた時点で駆動モータ１２を停止させ
る。
するとエアシリンダ８が動作しオリエンテーシ
ヨンフラツト部矯正用接触部７を準備点まで移動
させる。同時に電磁クラツチ１１を働かせウエハ
１から駆動用モータ１２を切りはなしウエハ１を
自由回転状態とする。
ヨンフラツト部矯正用接触部７を準備点まで移動
させる。同時に電磁クラツチ１１を働かせウエハ
１から駆動用モータ１２を切りはなしウエハ１を
自由回転状態とする。
この後エアシリンダ９が動作し、バネ１０によ
りオリエンテーシヨンフラツト部矯正用接触部７
はウエハ１のオリエンテーシヨンフラツト部１ａ
に当接して、ウエハ１の停止角度エラーを矯正す
る。ここで、再び電磁クラツチ１１を動作させウ
エハ１を固定する。同時にエアシリンダ８及び９
を動作させてオリエンテーシヨンフラツト部矯正
用接触部７を最初の位置へ戻す。
りオリエンテーシヨンフラツト部矯正用接触部７
はウエハ１のオリエンテーシヨンフラツト部１ａ
に当接して、ウエハ１の停止角度エラーを矯正す
る。ここで、再び電磁クラツチ１１を動作させウ
エハ１を固定する。同時にエアシリンダ８及び９
を動作させてオリエンテーシヨンフラツト部矯正
用接触部７を最初の位置へ戻す。
以上でウエハ１の角度矯正が終了し、ウエハ１
はチヤツク・テーブル６に乗つたまま、駆動源１
３により所定方向へ移動する。そしてウエハ１の
エツジ検出用透過型センサ１６によりエツジが検
出されて停止する。この後TVカメラ１７等によ
り文字の認識等を行つたりする事が出来る。
はチヤツク・テーブル６に乗つたまま、駆動源１
３により所定方向へ移動する。そしてウエハ１の
エツジ検出用透過型センサ１６によりエツジが検
出されて停止する。この後TVカメラ１７等によ
り文字の認識等を行つたりする事が出来る。
以上説明したように、本考案によれば、最終位
置決めの精度がウエハ径やオリエンテーシヨンフ
ラツト部の長さのちがいに影響されること無く、
精度よく行え、又位置決め後でも半導体ウエハの
中心とチヤツク・テーブルの中心とが一致してい
るので、任意の角度に回転しても位置ずれが発生
しないという効果があり、画像処理を行つた場合
と同等の精度が容易に得られる。特に本考案では
パターンの全く無い半導体ウエハの任意の位置に
文字やマークを書込んだり、読み取る場合に効果
を発揮する。
置決めの精度がウエハ径やオリエンテーシヨンフ
ラツト部の長さのちがいに影響されること無く、
精度よく行え、又位置決め後でも半導体ウエハの
中心とチヤツク・テーブルの中心とが一致してい
るので、任意の角度に回転しても位置ずれが発生
しないという効果があり、画像処理を行つた場合
と同等の精度が容易に得られる。特に本考案では
パターンの全く無い半導体ウエハの任意の位置に
文字やマークを書込んだり、読み取る場合に効果
を発揮する。
第１図は本考案に係る半導体ウエハ用位置決め
装置の一実施例のプリアライメント部の斜視図、
第２図は上記装置の最終位置合せ部の斜視図であ
る。 １……半導体ウエハ、２……ラツク・ピニオン
機構、３，８，９，１５……エアシリンダ、４…
…ウエハ中心出しアーム、５……ローラ、６……
チヤツク・テーブル、７……オリエンテーシヨン
フラツト部矯正用接触部、１０……コイルバネ、
１１……電磁クラツチ、１２……駆動モータ、１
３……駆動源、１４……スライダ、１６，１９…
…フオトセンサ、１７……TVカメラ。
装置の一実施例のプリアライメント部の斜視図、
第２図は上記装置の最終位置合せ部の斜視図であ
る。 １……半導体ウエハ、２……ラツク・ピニオン
機構、３，８，９，１５……エアシリンダ、４…
…ウエハ中心出しアーム、５……ローラ、６……
チヤツク・テーブル、７……オリエンテーシヨン
フラツト部矯正用接触部、１０……コイルバネ、
１１……電磁クラツチ、１２……駆動モータ、１
３……駆動源、１４……スライダ、１６，１９…
…フオトセンサ、１７……TVカメラ。
Claims (1)
- その表面又は裏面に認識を目的とし文字やバー
コード等が書込まれ或いは書込んだものが読み取
られる半導体ウエハを押動して中心合せを行う為
に連動的に作動する一対のアームと、前記中心合
せがなされた該半導体ウエハの中心を保持して吸
着しながら回転するチヤツク・テーブルと、該チ
ヤツク・テーブル及び該チヤツク・テーブル用駆
動源間に介装され該駆動源の回転力の伝達を適宜
しや断するクラツチと、該半導体ウエハのオリエ
ンテーシヨンフラツト部を検出するフオトセンサ
と、前記半導体ウエアの吸着状態かつ前記クラツ
チのしや断状態で前記オリエンテーシヨンフラツ
ト部に接触して該半導体ウエハの回転角度の矯正
を行う接触部と、最終位置合せがされた該半導体
ウエハのエツジを検出する透過型フオトセンサ
と、これらをシーケンスにしたがつて制御する制
御系とより構成してなる半導体ウエハ用位置決め
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985136712U JPH056662Y2 (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985136712U JPH056662Y2 (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6245829U JPS6245829U (ja) | 1987-03-19 |
| JPH056662Y2 true JPH056662Y2 (ja) | 1993-02-19 |
Family
ID=31040082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985136712U Expired - Lifetime JPH056662Y2 (ja) | 1985-09-06 | 1985-09-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH056662Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-09-06 JP JP1985136712U patent/JPH056662Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6245829U (ja) | 1987-03-19 |
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