JPH0566699B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0566699B2 JPH0566699B2 JP59034226A JP3422684A JPH0566699B2 JP H0566699 B2 JPH0566699 B2 JP H0566699B2 JP 59034226 A JP59034226 A JP 59034226A JP 3422684 A JP3422684 A JP 3422684A JP H0566699 B2 JPH0566699 B2 JP H0566699B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- exposure
- light
- arc tube
- face plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/86—Vessels; Containers; Vacuum locks
- H01J29/89—Optical or photographic arrangements structurally combined or co-operating with the vessel
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/22—Applying luminescent coatings
- H01J9/227—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines
- H01J9/2271—Applying luminescent coatings with luminescent material discontinuously arranged, e.g. in dots or lines by photographic processes
- H01J9/2272—Devices for carrying out the processes, e.g. light houses
- H01J9/2273—Auxiliary lenses and filters
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Light Sources And Details Of Projection-Printing Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、カラーデイスプレイ管のけい光面の
形成などに用いる、冷却水を満たしたランプハウ
ス内に発光管を固定した光源部を回転自在に固定
してなる露光装置に関するものである。
形成などに用いる、冷却水を満たしたランプハウ
ス内に発光管を固定した光源部を回転自在に固定
してなる露光装置に関するものである。
従来この種の露光装置では、発光管を一部スリ
ツト状の開口部を残してしやへい板で覆つたもの
を水中に設置して光源とするため、当該冷却水に
よる屈折に起因して見掛け上の光源の位置が本来
の位置から浮き上がり、そのために例えばカラー
ブラウン管のブラツクマトリツクスやけい光膜を
形成する際の露光位置制度が低下するという欠点
があつた。すなわち、例えばドツトタイプのカラ
ーブラウン管等の製作においては、被露光面とな
るブラウン管パネル内面に対しほぼその垂直中心
軸を回転軸として回転させて露光するが、実質的
な光源がしやへい板の開口部で規定された一方向
に長い矩形状を有するため、特にパネル周辺部で
は上記浮き上がり量が発光管の長手方向と垂直方
向とで異なり、そのために上記光源の投影像が光
源の回転につれて公転モーシヨンを起こし、その
結果、ブラツクマトリツクス形成時とけい光膜形
成時とで光源寸法を変えるとブラツクマトリツク
スホールとけい光体ドツトの中心位置にずれが生
じてしまう。
ツト状の開口部を残してしやへい板で覆つたもの
を水中に設置して光源とするため、当該冷却水に
よる屈折に起因して見掛け上の光源の位置が本来
の位置から浮き上がり、そのために例えばカラー
ブラウン管のブラツクマトリツクスやけい光膜を
形成する際の露光位置制度が低下するという欠点
があつた。すなわち、例えばドツトタイプのカラ
ーブラウン管等の製作においては、被露光面とな
るブラウン管パネル内面に対しほぼその垂直中心
軸を回転軸として回転させて露光するが、実質的
な光源がしやへい板の開口部で規定された一方向
に長い矩形状を有するため、特にパネル周辺部で
は上記浮き上がり量が発光管の長手方向と垂直方
向とで異なり、そのために上記光源の投影像が光
源の回転につれて公転モーシヨンを起こし、その
結果、ブラツクマトリツクス形成時とけい光膜形
成時とで光源寸法を変えるとブラツクマトリツク
スホールとけい光体ドツトの中心位置にずれが生
じてしまう。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもの
で、その目的は、被露光面周辺部における光源の
浮き上がりによる光源投影像の位置ずれを防止し
て露光精度を向上させることが可能な露光装置を
提供することにある。
で、その目的は、被露光面周辺部における光源の
浮き上がりによる光源投影像の位置ずれを防止し
て露光精度を向上させることが可能な露光装置を
提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、発
光管を収容する冷却水を満たしたランプハウスの
被露光面に面するフエースプレートを、発光管の
径方向と軸方向とにそれぞれ凹面と凸面とをなす
サドル（鞍）状レンズとし、その凹凸面の曲率半
径を適当に設定して光源の見掛け上の浮き上り量
が発光管の長手方向と垂直方向とで等しくなるよ
うにしたものである。
光管を収容する冷却水を満たしたランプハウスの
被露光面に面するフエースプレートを、発光管の
径方向と軸方向とにそれぞれ凹面と凸面とをなす
サドル（鞍）状レンズとし、その凹凸面の曲率半
径を適当に設定して光源の見掛け上の浮き上り量
が発光管の長手方向と垂直方向とで等しくなるよ
うにしたものである。
第１図は本発明による露光装置の一例を示す要
部断面構成図であり、この図はカラーブラウン管
のパネル内蛍光面の形成に適用した場合を示すも
のである。同図において、装置筺体１の内部下方
には超高圧水銀灯からなる発光管２と、この発光
管２を保持固定するランプハウス３とが配置され
て光源部４を構成している。またランプハウス３
の被露光面側には発光管２から照射される光露光
を集光するサドル（鞍）状レンズからなるフエー
スプレート５が配置されている。そして、この光
源部４およびフエースプレート５は、軸受部６お
よび駆動モータ７を備えた回転台８上に配置さ
れ、長手方向を含む面内で回転できるようにして
ある。他方、この筺体１の上方には前記光源部４
に対向してカラーブラウン管を構成するパネル９
が被露光面としての内面側を光源部４に対向させ
た状態でプレート１０に位置決め載置してあり、
当該パネル９と光源部５との間には補正レンズ１
１およびフイルタ１２が配置してある。また、パ
ネル９の内面にはシヤドウマスク１３が装着して
ある。
部断面構成図であり、この図はカラーブラウン管
のパネル内蛍光面の形成に適用した場合を示すも
のである。同図において、装置筺体１の内部下方
には超高圧水銀灯からなる発光管２と、この発光
管２を保持固定するランプハウス３とが配置され
て光源部４を構成している。またランプハウス３
の被露光面側には発光管２から照射される光露光
を集光するサドル（鞍）状レンズからなるフエー
スプレート５が配置されている。そして、この光
源部４およびフエースプレート５は、軸受部６お
よび駆動モータ７を備えた回転台８上に配置さ
れ、長手方向を含む面内で回転できるようにして
ある。他方、この筺体１の上方には前記光源部４
に対向してカラーブラウン管を構成するパネル９
が被露光面としての内面側を光源部４に対向させ
た状態でプレート１０に位置決め載置してあり、
当該パネル９と光源部５との間には補正レンズ１
１およびフイルタ１２が配置してある。また、パ
ネル９の内面にはシヤドウマスク１３が装着して
ある。
ここで、前述した光源部において、発光管２
は、第２図ａ，ｂおよび第３図に示すように発光
部２ａおよび外管２ｂからなり、外管２ｂの外周
には遮蔽板２ｃが巻設してある。したがつて実質
的にはこの遮蔽板２ｃの前記パネル９に面した開
口部が露光光源となる。そして、この露光光源は
前記回転台８（第１図参照）の回転軸ｌ（これは
パネル９の内面の垂直中心軸に一致する）に対し
てほぼ対称形である。また、この発光管２を周辺
部には冷却の水１４が満たしてある。さらにこれ
らの図において、５は第１図のランプハウス３の
パネル９に対向する面に設けられた透光性ガラス
からなるフエースプレートであり、第２図ａは発
光管２の長手方向から見た図、同図ｂはその垂直
方向から見た図、第３図は斜め方向から見た図で
あるが、これらの図から明らかなようにフエース
プレート５は発光管２の径方向に凹面５ａを有し
かつ軸方向に凸面５ｂを有するサドル（鞍）状レ
ンズをなして形成されている。
は、第２図ａ，ｂおよび第３図に示すように発光
部２ａおよび外管２ｂからなり、外管２ｂの外周
には遮蔽板２ｃが巻設してある。したがつて実質
的にはこの遮蔽板２ｃの前記パネル９に面した開
口部が露光光源となる。そして、この露光光源は
前記回転台８（第１図参照）の回転軸ｌ（これは
パネル９の内面の垂直中心軸に一致する）に対し
てほぼ対称形である。また、この発光管２を周辺
部には冷却の水１４が満たしてある。さらにこれ
らの図において、５は第１図のランプハウス３の
パネル９に対向する面に設けられた透光性ガラス
からなるフエースプレートであり、第２図ａは発
光管２の長手方向から見た図、同図ｂはその垂直
方向から見た図、第３図は斜め方向から見た図で
あるが、これらの図から明らかなようにフエース
プレート５は発光管２の径方向に凹面５ａを有し
かつ軸方向に凸面５ｂを有するサドル（鞍）状レ
ンズをなして形成されている。
ここで、本発明の実施例について説明するに先
だち、第２図に示したフエースプレート５の代わ
りに、第４図ａ，ｂに示すガラス製の平板状フエ
ースプレート１５を使用した従来技術の場合につ
いて先ず説明する。光源部４から発した光線はフ
イルタ１２および補正レンズ１１を透過し、さら
にシヤドウマスク１３を透過してパネル９の内面
に到達する。この場合、第４図ａ，ｂに示すよう
に発光管２を発した光はそれぞれ屈折率の異なる
水１４およびガラス製の平板状フエースプレート
１５を透過して空気中に出て行く。このため、被
露光面としてのパネル９の内面上の角度θ＝45°
方向の一点から見た場合、その実質的な露光光源
の中心２Ａ，２Ｂは見掛け上２A′，２B′の位置
にあることになり、PA，PBの浮き上りを生ずる。
ここで実質的な露光光源は遮蔽板２ｃで規定され
た一方向に長い矩形状を有することから、前記浮
き上がりは見る方向によつて、すなわち第４図に
示した光線のように長手方向に垂直な方向から見
る場合と、同図ｂのように長手方向から見る場合
とでその方向が異なるのみならず、その大きさも
第５図ａおよび第５図ｂにそれぞれ対応して示す
ように見る角度θ＝0°〜45°によつて異なり、PB
−PAはPBの約10％程度にもなる。これが光源の
投影像が公転モーシヨンを起こし、露光精度を低
下させる原因となることは先に述べた通りであ
る。
だち、第２図に示したフエースプレート５の代わ
りに、第４図ａ，ｂに示すガラス製の平板状フエ
ースプレート１５を使用した従来技術の場合につ
いて先ず説明する。光源部４から発した光線はフ
イルタ１２および補正レンズ１１を透過し、さら
にシヤドウマスク１３を透過してパネル９の内面
に到達する。この場合、第４図ａ，ｂに示すよう
に発光管２を発した光はそれぞれ屈折率の異なる
水１４およびガラス製の平板状フエースプレート
１５を透過して空気中に出て行く。このため、被
露光面としてのパネル９の内面上の角度θ＝45°
方向の一点から見た場合、その実質的な露光光源
の中心２Ａ，２Ｂは見掛け上２A′，２B′の位置
にあることになり、PA，PBの浮き上りを生ずる。
ここで実質的な露光光源は遮蔽板２ｃで規定され
た一方向に長い矩形状を有することから、前記浮
き上がりは見る方向によつて、すなわち第４図に
示した光線のように長手方向に垂直な方向から見
る場合と、同図ｂのように長手方向から見る場合
とでその方向が異なるのみならず、その大きさも
第５図ａおよび第５図ｂにそれぞれ対応して示す
ように見る角度θ＝0°〜45°によつて異なり、PB
−PAはPBの約10％程度にもなる。これが光源の
投影像が公転モーシヨンを起こし、露光精度を低
下させる原因となることは先に述べた通りであ
る。
そこで、本実施例では前述したようにフエース
プレート５をサドル状レンズ構造として前記両方
向での浮き上がり量PA、PBがほぼ等しくなるよ
うにしてある。すなわち、サドル状レンズでは発
光管の長手方向と垂直な方向に凹面４ａを有し長
手方向に凸面４ｂをもたせてそのサドル状曲面内
に入射した光線はこれらの曲面の曲率半径に対応
して屈折することになる。したがつて、このよう
なサドル状レンズのフエースプレート５を用いる
ことにより、発光管２の長手方向に垂直な方向に
ついての浮き上がり量PAと長手方向についての
浮き上がり量PBとを両者ほぼ同等の浮き上がり
量（PA≒PB）となるように相対的に補正して一
致させることができる。この結果、シヤドウマス
ク１３を透過した露光光源の投影像の真円性が良
くなり、形成するけい光膜の品質を向上させるこ
とができる。
プレート５をサドル状レンズ構造として前記両方
向での浮き上がり量PA、PBがほぼ等しくなるよ
うにしてある。すなわち、サドル状レンズでは発
光管の長手方向と垂直な方向に凹面４ａを有し長
手方向に凸面４ｂをもたせてそのサドル状曲面内
に入射した光線はこれらの曲面の曲率半径に対応
して屈折することになる。したがつて、このよう
なサドル状レンズのフエースプレート５を用いる
ことにより、発光管２の長手方向に垂直な方向に
ついての浮き上がり量PAと長手方向についての
浮き上がり量PBとを両者ほぼ同等の浮き上がり
量（PA≒PB）となるように相対的に補正して一
致させることができる。この結果、シヤドウマス
ク１３を透過した露光光源の投影像の真円性が良
くなり、形成するけい光膜の品質を向上させるこ
とができる。
第６図ａ，ｂはそれぞれ従来の厚さ約４mmの平
板状フエースプレート１５、本実施例の曲率半径
40mmのサドル状レンズからなるフエースプレート
５を用いた場合の露光光のスポツト形状（光プロ
フアイル形状）を示したものである。ここで、発
光管２のアーク幅は約１mm、スリツト幅は約２mm
の光源に対して角度θ＝45°から観察したプロフ
アイルは、同図ａにおいては前述した光源の動
き、すなわち第５図ａの位置座標Ａ（0.24、3.65）
から第５図ｂの位置座標Ｂ（−0.82、3.75）まで
の動きは√（−0.82〜0.24）2＋（3.75−3.65）2＝
1.06mmとなり、光源からシヤドウマスク１３まで
の距離Ｐ、シヤドウマスク１３からけい光膜まで
の距離Ｑの比率がＱ／Ｐ＝１／27であることで、
1.06×Ｑ／Ｐ＝3.95μｍの直径D1となる。なお、
曲線ａは光源の径方向のスポツト形状、曲線ｂは
軸方向のスポツト形状、曲線Ｃは曲線ａと曲線ｂ
とから合成されるスポツト形状である。これに対
して同図ｂでは曲率半径40mmのサドル状レンズを
用いることにより光源の動きは約0.46mmとなり、
位置座標Ａ点に比べ１／23になることで、0.46×
Ｑ／Ｐ≒17μｍの直径D2となり、その合成スポツ
ト形状も向上することがわかつた。また、同図ａ
の曲線ｃは光の回折により曲線ａ＞曲線ｂ＞曲線
ｃの順の大きさとなるが、同図ｂの曲線ｃは曲線
ａ＞曲線ｃ＞曲線ｂの順に大きくなることもわか
つた。
板状フエースプレート１５、本実施例の曲率半径
40mmのサドル状レンズからなるフエースプレート
５を用いた場合の露光光のスポツト形状（光プロ
フアイル形状）を示したものである。ここで、発
光管２のアーク幅は約１mm、スリツト幅は約２mm
の光源に対して角度θ＝45°から観察したプロフ
アイルは、同図ａにおいては前述した光源の動
き、すなわち第５図ａの位置座標Ａ（0.24、3.65）
から第５図ｂの位置座標Ｂ（−0.82、3.75）まで
の動きは√（−0.82〜0.24）2＋（3.75−3.65）2＝
1.06mmとなり、光源からシヤドウマスク１３まで
の距離Ｐ、シヤドウマスク１３からけい光膜まで
の距離Ｑの比率がＱ／Ｐ＝１／27であることで、
1.06×Ｑ／Ｐ＝3.95μｍの直径D1となる。なお、
曲線ａは光源の径方向のスポツト形状、曲線ｂは
軸方向のスポツト形状、曲線Ｃは曲線ａと曲線ｂ
とから合成されるスポツト形状である。これに対
して同図ｂでは曲率半径40mmのサドル状レンズを
用いることにより光源の動きは約0.46mmとなり、
位置座標Ａ点に比べ１／23になることで、0.46×
Ｑ／Ｐ≒17μｍの直径D2となり、その合成スポツ
ト形状も向上することがわかつた。また、同図ａ
の曲線ｃは光の回折により曲線ａ＞曲線ｂ＞曲線
ｃの順の大きさとなるが、同図ｂの曲線ｃは曲線
ａ＞曲線ｃ＞曲線ｂの順に大きくなることもわか
つた。
次にこの光源を使用してけい光膜露光に適用し
た一例を第７図に示す。同図は縦軸に露光光のス
ポツト径Ｄ、横軸に露光エネルギー密度つまり光
源の発光量（Ｗ／m2）×時間（sec）＝EXP En
（joul／m2）をそれぞれ示してある。同図におい
て、曲線、曲線の破線で示す部分はけい光膜
にドツトを形成した際にドツト落ちを生ずる領域
を示したものであり、曲線で示す従来光源はド
ツト落ちを生じない限界の大きさが約190μｍに
対し、曲線で示す本実施例の光源を使用すれ
ば、約175μｍと小さなけい光体ドツトが安定し
て形成することができる。このように露光光のス
ポツト形状を向上させることにより、ドツト落ち
裕度（Ｌ＝15μｍ）の拡大が図れる他に露光エネ
ルギー密度が向上することにより、けい光膜の密
度の向上およびドツトの形状向上が図れることで
ドツトずれの向上も図れ、生産性、品質ともに向
上することがわかる。
た一例を第７図に示す。同図は縦軸に露光光のス
ポツト径Ｄ、横軸に露光エネルギー密度つまり光
源の発光量（Ｗ／m2）×時間（sec）＝EXP En
（joul／m2）をそれぞれ示してある。同図におい
て、曲線、曲線の破線で示す部分はけい光膜
にドツトを形成した際にドツト落ちを生ずる領域
を示したものであり、曲線で示す従来光源はド
ツト落ちを生じない限界の大きさが約190μｍに
対し、曲線で示す本実施例の光源を使用すれ
ば、約175μｍと小さなけい光体ドツトが安定し
て形成することができる。このように露光光のス
ポツト形状を向上させることにより、ドツト落ち
裕度（Ｌ＝15μｍ）の拡大が図れる他に露光エネ
ルギー密度が向上することにより、けい光膜の密
度の向上およびドツトの形状向上が図れることで
ドツトずれの向上も図れ、生産性、品質ともに向
上することがわかる。
なお、前述した実施例においては、けい光体ド
ツト形成について説明したが、本発明はこれに限
定されるものではなく、ブラツクマトリツクス形
成に応用すれば、ブラツクマトリツクスホールの
形状、精度および切れが良くなることは言うまで
もなく、ドライブロセスに応用すれば、露光密度
向上により露光時間の短縮が可能となる。
ツト形成について説明したが、本発明はこれに限
定されるものではなく、ブラツクマトリツクス形
成に応用すれば、ブラツクマトリツクスホールの
形状、精度および切れが良くなることは言うまで
もなく、ドライブロセスに応用すれば、露光密度
向上により露光時間の短縮が可能となる。
以上説明したように本発明によれば、発光管を
水中に保持するランプハウスのフエースプレート
を、サドル状レンズとして光源の浮き上り量を補
正したことにより、光源部の回転に伴なう光源の
位置ずれをなくし、露光精度を向上させることが
できる。したがつて、例えばカラーブラウン管の
製造においてもけい光体ドツトのずれによる欠け
やはみ出し等を防止でき、けい光膜の品質向上お
よび生産性の向上をはかることができる。
水中に保持するランプハウスのフエースプレート
を、サドル状レンズとして光源の浮き上り量を補
正したことにより、光源部の回転に伴なう光源の
位置ずれをなくし、露光精度を向上させることが
できる。したがつて、例えばカラーブラウン管の
製造においてもけい光体ドツトのずれによる欠け
やはみ出し等を防止でき、けい光膜の品質向上お
よび生産性の向上をはかることができる。
第１図は本発明による露光装置の一例を示す要
部断面構成図、第２図ａ，ｂは第１図に示す発光
部の詳細図、第３図は第１図に示す発光部の斜視
図、第４図ａ，ｂは従来の露光装置発光部の詳細
図、第５図ａ，ｂは従来のフエースプレートによ
る光源浮き上がり量を示す図、第６図ａ，ｂは従
来および本発明のフエースプレートによる露光光
スポツト径を示す図、第７図は従来および本発明
の光源による露光光スポツト径の変化を示す図で
ある。 １……装置筐体、２……発光管、２ａ……発光
部、２ｂ……外管、２ｃ……遮蔽板、３……ラン
プハウス、４……光源部、５……フエースプレー
ト、５ａ……凹面、５ｂ……凸面、６……軸受
部、７……駆動モータ、８……回転台、９……パ
ネル、１０……プレート、１１……補正レンズ、
１２……フイルタ、１３……シヤドウマスク、１
４……水、１５……フエースプレート。
部断面構成図、第２図ａ，ｂは第１図に示す発光
部の詳細図、第３図は第１図に示す発光部の斜視
図、第４図ａ，ｂは従来の露光装置発光部の詳細
図、第５図ａ，ｂは従来のフエースプレートによ
る光源浮き上がり量を示す図、第６図ａ，ｂは従
来および本発明のフエースプレートによる露光光
スポツト径を示す図、第７図は従来および本発明
の光源による露光光スポツト径の変化を示す図で
ある。 １……装置筐体、２……発光管、２ａ……発光
部、２ｂ……外管、２ｃ……遮蔽板、３……ラン
プハウス、４……光源部、５……フエースプレー
ト、５ａ……凹面、５ｂ……凸面、６……軸受
部、７……駆動モータ、８……回転台、９……パ
ネル、１０……プレート、１１……補正レンズ、
１２……フイルタ、１３……シヤドウマスク、１
４……水、１５……フエースプレート。
Claims (1)
- １ 一部開口部を除き遮蔽板で覆つた発光管を冷
却水を満たしたランプハウス内に固定してなる光
源部を、前記開口部が前記ランプハウスの透光性
フエースプレートを介して被露光面に対向するよ
うにかつほぼ当該被露光面に垂直な中心軸を回転
軸として回転自在に固定した露光装置において、
前記ランプハウスのフエースプレートを、発光管
の径方向に凹面を有しかつ、軸方向に凸面を有す
るサドル状レンズとしたことを特徴とする露光装
置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59034226A JPS60178451A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 露光装置 |
| KR1019850001125A KR900003906B1 (ko) | 1984-02-27 | 1985-02-22 | 노광장치 |
| US06/706,183 US4586799A (en) | 1984-02-27 | 1985-02-27 | Exposure apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59034226A JPS60178451A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60178451A JPS60178451A (ja) | 1985-09-12 |
| JPH0566699B2 true JPH0566699B2 (ja) | 1993-09-22 |
Family
ID=12408230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59034226A Granted JPS60178451A (ja) | 1984-02-27 | 1984-02-27 | 露光装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4586799A (ja) |
| JP (1) | JPS60178451A (ja) |
| KR (1) | KR900003906B1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07118264B2 (ja) * | 1985-06-19 | 1995-12-18 | 株式会社日立製作所 | 露光装置用光源 |
| JPH0787077B2 (ja) * | 1988-04-13 | 1995-09-20 | 三菱電機株式会社 | インライン型シャドウマスク式カラーブラウン管の露光装置 |
| US5270753A (en) * | 1992-06-29 | 1993-12-14 | Zenith Electronics Corporation | Optical aperture device for manufacturing color cathode ray tubes |
| US5309189A (en) * | 1992-08-14 | 1994-05-03 | Thomson Consumer Electronics, Inc. | Method for screening line screen slit mask color picture tubes |
| JP3280774B2 (ja) * | 1993-09-30 | 2002-05-13 | 株式会社東芝 | カラー受像管用蛍光面形成方法及び露光装置 |
| KR200155319Y1 (ko) * | 1995-09-25 | 1999-09-01 | 손욱 | 칼라 음극선관 제작용 노광장치 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4206986A (en) * | 1975-09-19 | 1980-06-10 | Hitachi, Ltd. | Exposure apparatus used for the manufacture of a color cathode-ray tube phosphor screen |
| US4187013A (en) * | 1975-10-06 | 1980-02-05 | Hitachi, Ltd. | Phosphor screen exposure apparatus |
| WO1981001201A1 (en) * | 1979-10-16 | 1981-04-30 | Secr Defence Brit | Methods and apparatus for producing three-dimensional displays |
-
1984
- 1984-02-27 JP JP59034226A patent/JPS60178451A/ja active Granted
-
1985
- 1985-02-22 KR KR1019850001125A patent/KR900003906B1/ko not_active Expired
- 1985-02-27 US US06/706,183 patent/US4586799A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60178451A (ja) | 1985-09-12 |
| KR900003906B1 (ko) | 1990-06-04 |
| US4586799A (en) | 1986-05-06 |
| KR850006615A (ko) | 1985-10-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60178451A (ja) | 露光装置 | |
| US4516841A (en) | Method for screening line screen slit mask color picture tubes | |
| US4226513A (en) | Exposure device for making a stripe screen on a faceplate of a color cathode ray tube | |
| KR0137900B1 (ko) | 칼라 수상관의 형광면의 형성방법 및 노광장치 | |
| US4568162A (en) | Method for screening line screen slit mask color picture tubes | |
| JPS6054135A (ja) | 露光装置 | |
| US3810196A (en) | Exposure device for manufacturing a display screen of a colour television picture tube, comprising a rotating lens | |
| US4634247A (en) | Method for screening line screen slit mask color picture tubes | |
| JPS5828161A (ja) | カラーブラウン管 | |
| US3150255A (en) | Viewing window for electronoptical devices | |
| KR0150393B1 (ko) | 노광장치 | |
| JPH0773802A (ja) | カラーブラウン管の製造方法 | |
| KR100232588B1 (ko) | 주변스크린 구조 개선을 위한 노광방법 및 그 장치 | |
| KR100232583B1 (ko) | 주변스크린 구조 개선을 위한 노광방법 및 그 장치 | |
| KR950002005Y1 (ko) | 도움형 보정렌즈 | |
| KR200155319Y1 (ko) | 칼라 음극선관 제작용 노광장치 | |
| JPH1186726A (ja) | カラー陰極線管の露光装置 | |
| JPS5835844A (ja) | 陰極線管 | |
| JPH034425A (ja) | 露光装置 | |
| JPS62186439A (ja) | カラ−受像管の蛍光面形成用露光装置 | |
| JPS6226740A (ja) | カラ−陰極線管のスクリ−ン製造用露光装置 | |
| JP2003022749A (ja) | 露光用光源装置及びカラー受像管の露光装置 | |
| JPH088060B2 (ja) | カラ−受像管の蛍光面形成用露光装置 | |
| JPH088061B2 (ja) | カラ−受像管の蛍光面形成用露光装置 | |
| JPH07118264B2 (ja) | 露光装置用光源 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |