JPH0568090B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0568090B2 JPH0568090B2 JP2210424A JP21042490A JPH0568090B2 JP H0568090 B2 JPH0568090 B2 JP H0568090B2 JP 2210424 A JP2210424 A JP 2210424A JP 21042490 A JP21042490 A JP 21042490A JP H0568090 B2 JPH0568090 B2 JP H0568090B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- motor
- drive shaft
- spin coater
- casing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、駆動用モータの駆動軸の先にウエフ
アホルダを取付けた半導体ウエフア用スピンコー
タに関する。
アホルダを取付けた半導体ウエフア用スピンコー
タに関する。
［従来の技術］
従来のスピンコータにおいては、モータのケー
シングはスピンコータ本体に固定されていた。し
たがつて、ウエフアに与えられる運動は、モータ
駆動軸の回転による自転だけであつた。
シングはスピンコータ本体に固定されていた。し
たがつて、ウエフアに与えられる運動は、モータ
駆動軸の回転による自転だけであつた。
［発明が解決しようとする課題］
しかし、ウエフアサイズの増加と共に、ウエフ
ア外周部と中心部との遠心力の差により、ウエフ
アに露光剤を均一に塗布することができない不具
合がある。
ア外周部と中心部との遠心力の差により、ウエフ
アに露光剤を均一に塗布することができない不具
合がある。
本発明は、ウエフアに露光剤を均一に塗布でき
るスピンコータを提供することを目的としてい
る。
るスピンコータを提供することを目的としてい
る。
［課題を解決するための手段］
本発明によれば、駆動用モータの駆動軸の先に
ウエフアホルダを取付けた半導体ウエフア用スピ
ンコータにおいて、前記モータのケーシングをホ
ルダ本体に支持手段により支持し、変位センサか
らの信号に基づき変位を制御する制御手段を設け
ている。 上記支持手段は、モータのケーシング
の外周部とスピンコータ本体との間に張設した複
数本のコイルスプリングで構成し、制御手段は、
ケーシングに〓間を設けて設けられた電磁石及び
制御回路で構成するのが好ましい。
ウエフアホルダを取付けた半導体ウエフア用スピ
ンコータにおいて、前記モータのケーシングをホ
ルダ本体に支持手段により支持し、変位センサか
らの信号に基づき変位を制御する制御手段を設け
ている。 上記支持手段は、モータのケーシング
の外周部とスピンコータ本体との間に張設した複
数本のコイルスプリングで構成し、制御手段は、
ケーシングに〓間を設けて設けられた電磁石及び
制御回路で構成するのが好ましい。
また、支持手段と制御手段の一部とを、公知技
術による磁気軸受で構成することができる。
術による磁気軸受で構成することができる。
また、制御回路には、信号発生器、補償回路及
びドライバを設け、ドライバを電磁石又は磁気軸
受に接続するのが好ましい。
びドライバを設け、ドライバを電磁石又は磁気軸
受に接続するのが好ましい。
［作用］
上記のように構成されたスピンコータにおい
て、変位センサはモータケーシングとの間の〓間
を検出し、補償回路は、その〓間を信号発生器か
ら与えられた信号に追従するような制御信号をド
ライバに出力して磁気軸受の電磁石を制御する。
したがつて、ウエフアには、駆動軸回りに、自転
と公転との混じつた軌跡の運動が与えられ、中心
部と外周部とにおける遠心力の差による露光剤の
塗布ムラがなくなる。
て、変位センサはモータケーシングとの間の〓間
を検出し、補償回路は、その〓間を信号発生器か
ら与えられた信号に追従するような制御信号をド
ライバに出力して磁気軸受の電磁石を制御する。
したがつて、ウエフアには、駆動軸回りに、自転
と公転との混じつた軌跡の運動が与えられ、中心
部と外周部とにおける遠心力の差による露光剤の
塗布ムラがなくなる。
［実施例］
以下図面を参照して本発明の実施例の説明す
る。
る。
第１図において、スピンコータ本体１の凹部２
には、駆動用モータ３が収められ、その駆動軸４
の上端部には図示しないウエフアホルダが取付け
られている。そのモータ３は、モータケーシング
５と本体１との間に張設された支持手段である複
数のコイルスプリング６により凹部２内に支持さ
れている。そして、本体１には、ケーシング５に
〓間Ａを設けた電磁石７と、その〓間Ａを検出す
る変位センサ８とが設けられ、電磁石７及び制御
回路１０（第２図）で制御手段が構成されてい
る。なお電磁石７はＸ−Ｙ方向に合計４つが設け
られている。
には、駆動用モータ３が収められ、その駆動軸４
の上端部には図示しないウエフアホルダが取付け
られている。そのモータ３は、モータケーシング
５と本体１との間に張設された支持手段である複
数のコイルスプリング６により凹部２内に支持さ
れている。そして、本体１には、ケーシング５に
〓間Ａを設けた電磁石７と、その〓間Ａを検出す
る変位センサ８とが設けられ、電磁石７及び制御
回路１０（第２図）で制御手段が構成されてい
る。なお電磁石７はＸ−Ｙ方向に合計４つが設け
られている。
第２図において、全体を符号１０で示す制御回
路は、電気回路Ｌ１に直列に配置された信号発生
器１１、補償回路１２及びドライバ１３からな
り、回路Ｌ１のドライバ１３の次には、電磁石７
及びダイナミクス１４が直列に設けられている。
そして、変位センサ８の信号はダイナミクス１４
から補償回路１２の入力側に回路Ｌ２を介してフ
イードバツクされている。
路は、電気回路Ｌ１に直列に配置された信号発生
器１１、補償回路１２及びドライバ１３からな
り、回路Ｌ１のドライバ１３の次には、電磁石７
及びダイナミクス１４が直列に設けられている。
そして、変位センサ８の信号はダイナミクス１４
から補償回路１２の入力側に回路Ｌ２を介してフ
イードバツクされている。
運転に際し、変位センサ８は、センサ８とケー
シングとの間の〓間Ａを検出し、補償回路１２
は、その〓間Ａを信号発生器１１から与えられた
信号に追従するような制御信号をドライバ１３に
出力して電磁石７の磁力を制御する。したがつ
て、ウエフアには、自転以外の制御された動きが
与えられ、露光剤塗布に最適な動きが与えられ
る。
シングとの間の〓間Ａを検出し、補償回路１２
は、その〓間Ａを信号発生器１１から与えられた
信号に追従するような制御信号をドライバ１３に
出力して電磁石７の磁力を制御する。したがつ
て、ウエフアには、自転以外の制御された動きが
与えられ、露光剤塗布に最適な動きが与えられ
る。
すなわち、第３図において、駆動軸４の回転速
度をω、絶対座標系からの駆動軸４の座標を、
（X1，Y1）とする。信号発生器１１により例え
ばX1＝Rcos（φt）、Y1＝Rsin（φt）の信号を与え
ると、駆動軸４自体は、半径Ｒ、回転速度φの公
転をしながら、駆動軸４回りに回転速度ωと公転
φの混じつた軌跡Ｃの運動をウエフアホルダを介
してウエフアに与える。このように合成された運
動軌跡Ｃにより、駆動軸４による回転だけでは補
正できなかつたウエフア中心部と外周部とにおけ
る遠心力の差による露光剤の塗布ムラをなくすこ
とができる。
度をω、絶対座標系からの駆動軸４の座標を、
（X1，Y1）とする。信号発生器１１により例え
ばX1＝Rcos（φt）、Y1＝Rsin（φt）の信号を与え
ると、駆動軸４自体は、半径Ｒ、回転速度φの公
転をしながら、駆動軸４回りに回転速度ωと公転
φの混じつた軌跡Ｃの運動をウエフアホルダを介
してウエフアに与える。このように合成された運
動軌跡Ｃにより、駆動軸４による回転だけでは補
正できなかつたウエフア中心部と外周部とにおけ
る遠心力の差による露光剤の塗布ムラをなくすこ
とができる。
第４図は本発明の別の実施例を示し、支持手段
と、制御手段の一部とを公知のスラスト用磁気軸
受９ａ及びラジアル用磁気軸受９ｂで構成し、他
を実質的に第１図と同様に構成した例である。こ
の実施例では、モータ３を非接触で本体１に支持
し、加振による発塵を防いで環境の無塵化に資す
ることができる。
と、制御手段の一部とを公知のスラスト用磁気軸
受９ａ及びラジアル用磁気軸受９ｂで構成し、他
を実質的に第１図と同様に構成した例である。こ
の実施例では、モータ３を非接触で本体１に支持
し、加振による発塵を防いで環境の無塵化に資す
ることができる。
［発明の効果］
本発明では、以上説明したように構成されてい
るので、モータ自体に積極的に制御された変位を
与え、ウエフアに自転以外の動きを与えてウエフ
アの中心部と外周部とにおける遠心力の差による
露光剤の塗布ムラをなくすることができる。
るので、モータ自体に積極的に制御された変位を
与え、ウエフアに自転以外の動きを与えてウエフ
アの中心部と外周部とにおける遠心力の差による
露光剤の塗布ムラをなくすることができる。
第１図は本発明の一実施例を示す側断面図、第
２図は制御回路図、第３図はウエフアに与えられ
る運動軌跡図、第４図は本発明の別の実施例を示
す側断面図である。 １……スピンコータ本体、３……駆動用モー
タ、４……駆動軸、５……モータケーシング、６
……コイルスプリング、７……電磁石、８……変
位センサ、９ａ……スラスト用磁気軸受、９ｂ…
…ラジアル用磁気軸受、１０……制御回路。
２図は制御回路図、第３図はウエフアに与えられ
る運動軌跡図、第４図は本発明の別の実施例を示
す側断面図である。 １……スピンコータ本体、３……駆動用モー
タ、４……駆動軸、５……モータケーシング、６
……コイルスプリング、７……電磁石、８……変
位センサ、９ａ……スラスト用磁気軸受、９ｂ…
…ラジアル用磁気軸受、１０……制御回路。
Claims (1)
- １ 駆動用モータの駆動軸の先にウエフアホルダ
を取付けた半導体ウエフア用スピンコータにおい
て、前記モータのケーシングをホルダ本体に支持
手段により支持し、変位センサからの信号に基づ
き変位を制御する制御手段を設けたことを特徴と
するスピンコータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2210424A JPH0494116A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | スピンコータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2210424A JPH0494116A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | スピンコータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0494116A JPH0494116A (ja) | 1992-03-26 |
| JPH0568090B2 true JPH0568090B2 (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=16589087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2210424A Granted JPH0494116A (ja) | 1990-08-10 | 1990-08-10 | スピンコータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0494116A (ja) |
-
1990
- 1990-08-10 JP JP2210424A patent/JPH0494116A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0494116A (ja) | 1992-03-26 |
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