JPH0494116A - スピンコータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、駆動用モータの駆動軸の先にウェファホルダ
を取付けた半導体ウェファ用スピンコータに関する。

［従来の技術］ 従来のスピンコータにおいては、モータのケーシングは
スピンコータ本体に固定されていた。したがって、ウェ
ファに与えられる運動は、モータ駆動軸の回転による自
転だけであった。

［発明が解決しようとする課題］ しかし、ウェファサイズの増加と共に、ウェファ外周部
と中心部との遠心力の差により、ウェファに露光剤を均
一に塗布することができない不具合がある。

本発明は、ウェファに露光剤を均一に塗布できるスピン
コータを提供することを目的としている。

［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、駆動用モータの駆動軸の先にウェファ
ホルダを取付けた半導体ウェファ用スピンコータにおい
て、前記モータのケーシングをホルダ本体に支持手段に
より支持し、変位センサからの信号に基づき変位を制御
する制御手段を設けている。

上記支持手段は、モータのケーシングの外周部とスピン
コータ本体との間に張設した複数本のコイルスプリング
で構成し、制御手段は、ケーシングに隙間を設けて設け
られた電磁石及び制御回路で構成するのが好ましい。

また、支持手段と制御手段の一部とを、公知技術による
磁気軸受で構成することができる。

また、制御回路には、信号発生器、補償回路及びドライ
バを設け、ドライバを電磁石又は磁気軸受に接続するの
が好ましい。

［作用］ 上記のように構成されたスピンコータにおいて、変位セ
ンサはモータケーシングとの間の隙間を検出し、補償回
路は、その隙間を信号発生器から与えられた信号に追従
するような制御信号をドライバに出力して磁気軸受の電
磁石を制御する。したがって、ウェファには、駆動軸回
りに、自転と公転との混じった軌跡の運動が与えられ、
中心部と外周部とにおける遠心力の差による露光剤の塗
布ムラがなくなる。

［実施例コ 以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図において、スピンコータ本体１の凹部２には、駆
動用モータ３が収められ、その駆動軸４の上端部には図
示しないウェファホルダが取付けられている。そのモー
タ３は、モータケーシング５と本体１との間に張設され
た支持手段である複数のコイルスプリング６により凹部
２内に支持されている。そして、本体１には、ケーシン
グ５に隙間へを設けた電磁石７と、その隙間Ａを検出す
る変位センサ８とが設けられ、電磁石７及び制御回路１
０（第２図）で制御手段が構成されている。

なお電磁石７はＸ−Ｙ方向に合計４つか設けられている
。

第２図において、全体を符号１０て示す制御回路は、電
気回路Ｌ１に直列に配置された信号発生器１１、補償回
路１２及びドライバ１３からなり、回路Ｌ１のドライバ
１３の次には、電磁石７及びダイナミクス１４が直列に
設けられている。そして、変位センサ８の信号はダイナ
ミクス１４から補償回路１２の入力側に回路Ｌ２を介し
てフィードバックされている。

運転に際し、変位センサ８は、センサ８とケーシングと
の間の隙間Ａを検出し、補償回路１２は、その隙間Ａを
信号発生器１１から与えられた信号に追従するような制
御信号をドライバ１３に出力して電磁石７の磁力を制御
する。したがって、ウェファには、自転以外の制御され
た動きが与えられ、露光剤塗布に最適な動きが与えられ
る。

すなわち、第３図において、駆動軸４の回転速度をω、
絶対座標系からの駆動軸４の座標を、（Ｘｉ、Ｙｌ）と
する。信号発生器１１により例えばＸ１＝Ｒｃｏｓ　（
φｔ）　、Ｙ１＝Ｒｓ　ｉｎ（φｔ）の信号を与えると
、駆動軸４自体は、半径Ｒ１回転速度φの公転をしなが
ら、駆動軸４回りに回転速度ωと公転φの混じった軌跡
Ｃの運動をウェファホルダを介してウェファに与える。

このように合成された運動軌跡Ｃにより、駆動軸４によ
る回転だけでは補正できなかったウェファ中心部と外周
部とにおける遠心力の差による露光剤の塗布ムラをなく
すことができる。

第４図は本発明の別の実施例を示し、支持手段と、制御
手段の一部とを公知のスラスト用磁気軸受９ａ及びラジ
アル用磁気軸受９ｂで構成し、他を実質的に第１図と同
様に構成した例である。この実施例では、モータ３を非
接−触で本体１に支持し、加振による発塵を防いで環境
の無塵化に資することができる。

［発明の効果］ 本発明は、以上説明したように構成されているので、モ
ータ自体に積極的に制御された変位を与え、ウェファに
自転以外の動きを与えてウェファの中心部と外周部とに
おける遠心力の差による露光剤の塗布ムラをなくすこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す側断面図、第２図は制
御回路図、第３−図はウェファに与えられる運動軌跡図
、第４図は本発明の別の実施例を示す側断面図である。 １・・・スピンコータ本体　　３・・・駆動用モータ　
　４・・・駆動軸　　５・・・モータケーシング　　６
・−・コイルスプリング　７・・・電磁石　　８・・・
変位センサ　　９ａ・・・スラスト用磁気軸受　　９ｂ
・・・ラジアル用磁気軸受　　１０・・・制御回路

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　駆動用モータの駆動軸の先にウェファホルダを取付け
   た半導体ウエファ用スピンコータにおいて、前記モータ
   のケーシングをホルダ本体に支持手段により支持し、変
   位センサからの信号に基づき変位を制御する制御手段を
   設けたことを特徴とするスピンコータ。