JPH0568095B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0568095B2 JPH0568095B2 JP17125290A JP17125290A JPH0568095B2 JP H0568095 B2 JPH0568095 B2 JP H0568095B2 JP 17125290 A JP17125290 A JP 17125290A JP 17125290 A JP17125290 A JP 17125290A JP H0568095 B2 JPH0568095 B2 JP H0568095B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- valve
- pressurized air
- chemical liquid
- diaphragm pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体集積回路の製造工程のフオトエ
ツチング工程において、ウエハーの周縁の絶縁被
膜に溶剤をかけて溶かすサイドリンス工程等に用
いられる薬液を吐出する装置に関する。
ツチング工程において、ウエハーの周縁の絶縁被
膜に溶剤をかけて溶かすサイドリンス工程等に用
いられる薬液を吐出する装置に関する。
従来の技術
例えば、ウエハーを取り扱う場合に周縁の絶縁
被膜は剥れ落ちて基板上に付着することにより不
良品となるおそれがあるため。上記のようなサイ
ドリンスが施されるが、溶剤を吐出するのに従来
はベローズポンプまたは不活性ガスによる加圧圧
送が行われていた。
被膜は剥れ落ちて基板上に付着することにより不
良品となるおそれがあるため。上記のようなサイ
ドリンスが施されるが、溶剤を吐出するのに従来
はベローズポンプまたは不活性ガスによる加圧圧
送が行われていた。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、このような吐出方法では、開弁
の瞬間に一時的に大流量の溶剤が吐出され、ウエ
ハーに当たつて跳ね返ることにより他の部分の絶
縁被膜に付着してその部分を溶かしたり、あるい
は必要以上の幅で溶かされることにより不良品が
生ずる不具合があり、また、跳ね返りが生じない
ような低圧に調整するとサイドリンスに必要な流
量が得られないという欠点があつた。
の瞬間に一時的に大流量の溶剤が吐出され、ウエ
ハーに当たつて跳ね返ることにより他の部分の絶
縁被膜に付着してその部分を溶かしたり、あるい
は必要以上の幅で溶かされることにより不良品が
生ずる不具合があり、また、跳ね返りが生じない
ような低圧に調整するとサイドリンスに必要な流
量が得られないという欠点があつた。
なお、このような問題はサイドリンス以外の薬
液の吐出にも起こり得る問題であつた。
液の吐出にも起こり得る問題であつた。
問題点を解決するための手段
本発明の薬液吐出装置はこのような問題点を解
決するための手段として、薬液タンクと薬液ノズ
ルとに接続されたエアー駆動式のダイヤフラムポ
ンプと、そのダイヤフラムポンプを駆動する加圧
エアーを供給する加圧エアー供給装置と、その加
圧エアー供給装置の供給エアー圧力を電気的に制
御する制御装置とを備えた構成とした。
決するための手段として、薬液タンクと薬液ノズ
ルとに接続されたエアー駆動式のダイヤフラムポ
ンプと、そのダイヤフラムポンプを駆動する加圧
エアーを供給する加圧エアー供給装置と、その加
圧エアー供給装置の供給エアー圧力を電気的に制
御する制御装置とを備えた構成とした。
作用及び効果
本発明は上記構成になり、制御装置により加圧
エアー供給装置の供給エアー圧力を任意に調整す
ることができ、これによりダイヤフラムポンプの
作動圧力を任意に制御することができる。
エアー供給装置の供給エアー圧力を任意に調整す
ることができ、これによりダイヤフラムポンプの
作動圧力を任意に制御することができる。
したがつて、薬液ノズルから吐出される薬液の
最低圧力と最高圧力及び最低圧力から最高圧力に
至る時間を任意に制御することができ、例えば、
吐出開始時には低圧にしておき、次第に高圧とな
るように制御することにより跳ね返りを防止する
ことができるのであつて、最良の条件で薬液を吐
出することができる効果がある。
最低圧力と最高圧力及び最低圧力から最高圧力に
至る時間を任意に制御することができ、例えば、
吐出開始時には低圧にしておき、次第に高圧とな
るように制御することにより跳ね返りを防止する
ことができるのであつて、最良の条件で薬液を吐
出することができる効果がある。
実施例
以下、本発明の一実施例を添付図面に基づいて
説明する。
説明する。
第１図において、１は薬液を収容したタンクで
あつて、その中に吸込管２が挿入されており、そ
の吸込管２にはエアー駆動式の第１の開閉弁３が
介設されている。４はダイヤフラム４ａを備えた
エアー駆動式のダイヤフラムポンプであつて、そ
の上面に吸込管２と吐出管５が接続されており、
吐出管５にはエアー駆動式の第２の開閉弁７が介
設され、先端にはノズル６が接続されている。８
は空圧出力部であつて、ダイヤフラム４ａの下面
側に加圧空気を供給する電空比例弁とダイヤフラ
ム４ａの下面側を負圧にする真空発生器と第１及
び第２の開閉弁３，７の駆動用の空圧弁１０，１
１とが内蔵されており、この空圧出力部８は制御
装置９により電気的に制御されるようになつてい
る。
あつて、その中に吸込管２が挿入されており、そ
の吸込管２にはエアー駆動式の第１の開閉弁３が
介設されている。４はダイヤフラム４ａを備えた
エアー駆動式のダイヤフラムポンプであつて、そ
の上面に吸込管２と吐出管５が接続されており、
吐出管５にはエアー駆動式の第２の開閉弁７が介
設され、先端にはノズル６が接続されている。８
は空圧出力部であつて、ダイヤフラム４ａの下面
側に加圧空気を供給する電空比例弁とダイヤフラ
ム４ａの下面側を負圧にする真空発生器と第１及
び第２の開閉弁３，７の駆動用の空圧弁１０，１
１とが内蔵されており、この空圧出力部８は制御
装置９により電気的に制御されるようになつてい
る。
次に、本実施例の作動を説明する。
まず、空圧出力部の一方の空圧弁１１を閉じ、
第２の開閉弁７への加圧空気の供給を遮断して閉
弁させるとともに他方の空圧弁１０を開き、第１
の開閉弁３へ加圧空気を供給して間弁させた状態
において、真空発生器を作動させてダイヤフラム
４ａの下面側を負圧にすると、ダイヤフラム４ａ
が下面側に湾曲し、上面側の体積が増大するため
タンク１内の薬液が吸い上げられてダイヤフラム
４ａの上面側に充満する。ここで、第１の開閉弁
３を閉じるとともに真空発生器を停止させ、電空
比例弁を作動させると、制御装置９から入力され
る電気信号の大きさに比例した圧力の加圧空気が
ダイヤフラム４ａの下面に作用し、上面の薬液を
同圧で加圧する。薬液に加わる圧力は電空比例弁
に入力される電気信号の大きさに比例するのであ
つて、例えば、第２図に示すように、加圧初期の
圧力を低くし、次第に上昇させて最高値にしばら
く保持し、その後次第に低下させるように制御す
ることができるのであつて、この圧力変化のどの
範囲において第２の開閉弁７を閉弁するかによつ
て薬液のノズル６からの吐出速度を任意に制御す
ることができるのであり、前述のサイドリンス工
程においては、溶剤を最初は低圧で吐出させ、次
第に高圧にすることによつて開弁初期の急激な吐
出による跳ね返りを防止し、かつ、サイドリンス
に必要な流量を確保することができるのであつ
て、溶剤の跳ね返りによる不良品の発生を防止
し、かつ、サイドリンスを確実に行うことができ
る。
第２の開閉弁７への加圧空気の供給を遮断して閉
弁させるとともに他方の空圧弁１０を開き、第１
の開閉弁３へ加圧空気を供給して間弁させた状態
において、真空発生器を作動させてダイヤフラム
４ａの下面側を負圧にすると、ダイヤフラム４ａ
が下面側に湾曲し、上面側の体積が増大するため
タンク１内の薬液が吸い上げられてダイヤフラム
４ａの上面側に充満する。ここで、第１の開閉弁
３を閉じるとともに真空発生器を停止させ、電空
比例弁を作動させると、制御装置９から入力され
る電気信号の大きさに比例した圧力の加圧空気が
ダイヤフラム４ａの下面に作用し、上面の薬液を
同圧で加圧する。薬液に加わる圧力は電空比例弁
に入力される電気信号の大きさに比例するのであ
つて、例えば、第２図に示すように、加圧初期の
圧力を低くし、次第に上昇させて最高値にしばら
く保持し、その後次第に低下させるように制御す
ることができるのであつて、この圧力変化のどの
範囲において第２の開閉弁７を閉弁するかによつ
て薬液のノズル６からの吐出速度を任意に制御す
ることができるのであり、前述のサイドリンス工
程においては、溶剤を最初は低圧で吐出させ、次
第に高圧にすることによつて開弁初期の急激な吐
出による跳ね返りを防止し、かつ、サイドリンス
に必要な流量を確保することができるのであつ
て、溶剤の跳ね返りによる不良品の発生を防止
し、かつ、サイドリンスを確実に行うことができ
る。
本実施例は制御装置９から発せされる電気信号
により電空比例弁を介してダイヤフラムポンプ４
の吐出圧力を制御し、かつ、第２の開閉弁７の開
弁タイミングを選択することによりノズル６から
の薬液の吐出速度を任意に制御することができる
のであつて、サイドリンスの他、レジスト液（フ
オトエツチング用薬液）の吐出にも使用すること
ができるとともに、一般的な薬液の吐出にも使用
することができる。
により電空比例弁を介してダイヤフラムポンプ４
の吐出圧力を制御し、かつ、第２の開閉弁７の開
弁タイミングを選択することによりノズル６から
の薬液の吐出速度を任意に制御することができる
のであつて、サイドリンスの他、レジスト液（フ
オトエツチング用薬液）の吐出にも使用すること
ができるとともに、一般的な薬液の吐出にも使用
することができる。
第１図は本発明の一実施例の説明図、第２図は
吐出圧力の変化を示すグラフである。 １：タンク、４：ダイヤフラムポンプ、６：ノ
ズル、８：空圧出力部（加圧エアー供給装置）、
９：制御装置。
吐出圧力の変化を示すグラフである。 １：タンク、４：ダイヤフラムポンプ、６：ノ
ズル、８：空圧出力部（加圧エアー供給装置）、
９：制御装置。
Claims (1)
- １ 薬液タンクと薬液ノズルとに接続されたエア
ー駆動式のダイヤフラムポンプと、該ダイヤフラ
ムポンプを駆動する加圧エアーを供給する加圧エ
アー供給装置と、該加圧エアー供給装置の供給エ
アー圧力を電気的に制御する制御装置とを備えた
ことを特徴とする薬液吐出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17125290A JPH0458520A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | 薬液吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17125290A JPH0458520A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | 薬液吐出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0458520A JPH0458520A (ja) | 1992-02-25 |
| JPH0568095B2 true JPH0568095B2 (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=15919878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17125290A Granted JPH0458520A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | 薬液吐出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0458520A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5339843A (en) * | 1993-04-16 | 1994-08-23 | Martin Marietta Corporation | Controlled agitation cleaning system |
| CN104409389B (zh) | 2014-11-07 | 2017-10-27 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 一种机台 |
-
1990
- 1990-06-28 JP JP17125290A patent/JPH0458520A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0458520A (ja) | 1992-02-25 |
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