JPH0458520A - 薬液吐出装置 - Google Patents
薬液吐出装置Info
- Publication number
- JPH0458520A JPH0458520A JP17125290A JP17125290A JPH0458520A JP H0458520 A JPH0458520 A JP H0458520A JP 17125290 A JP17125290 A JP 17125290A JP 17125290 A JP17125290 A JP 17125290A JP H0458520 A JPH0458520 A JP H0458520A
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- JP
- Japan
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- pressure
- diaphragm
- valve
- opening
- pneumatic
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- Granted
Links
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
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- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 2
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Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体集積回路の製造工程のフォトエツチング
工程において、ウェハーの周縁の絶縁被膜に溶剤をかけ
て溶かすサイトリンス工程等に用いられる薬液を吐出す
る装置に関する。
工程において、ウェハーの周縁の絶縁被膜に溶剤をかけ
て溶かすサイトリンス工程等に用いられる薬液を吐出す
る装置に関する。
従来の技術
例えば、ウェハーを取り扱う場合に周縁の絶縁被膜は剥
れ落ちて基板上に付着することにより不良品となるおそ
れがあるため、上記のようなサイドリンスが施されるが
、溶剤を吐出するのに従来はベローズポンプまたは不活
性ガスによる加圧圧送が行われていた。
れ落ちて基板上に付着することにより不良品となるおそ
れがあるため、上記のようなサイドリンスが施されるが
、溶剤を吐出するのに従来はベローズポンプまたは不活
性ガスによる加圧圧送が行われていた。
発明が解決しようとする問題点
しかし、ながら、このような吐出方法では、開弁の瞬間
に一時的に大流量の溶剤が吐出され、ウェハーに当たっ
て跳ね返ることにより他の部分の絶縁被膜に付着してそ
の部分を溶かしたり、あるいは必要以上の幅で溶かされ
ることにより不良品が生ずる不具合があり、また、跳ね
返りが生しないような低圧に調整するとサイドリンスに
必要な流量が得られないという欠点があった。
に一時的に大流量の溶剤が吐出され、ウェハーに当たっ
て跳ね返ることにより他の部分の絶縁被膜に付着してそ
の部分を溶かしたり、あるいは必要以上の幅で溶かされ
ることにより不良品が生ずる不具合があり、また、跳ね
返りが生しないような低圧に調整するとサイドリンスに
必要な流量が得られないという欠点があった。
なお、このような問題はサイドリンス以外の薬液の吐出
にも起こり得る問題であった。
にも起こり得る問題であった。
問題点を解決するための手段
本発明の薬液吐出装置はこのような問題点を解決するた
めの手段として、薬液タンクと薬液ノズルとに接続され
たエアー駆動式のダイヤフラムポンプと、そのダイヤフ
ラムポンプを駆動する加圧エアーを供給する加圧エアー
供給装置と、その加圧エアー供給装置の供給エアー圧力
を電気的に制御する制御装置とを備えた構成とした。
めの手段として、薬液タンクと薬液ノズルとに接続され
たエアー駆動式のダイヤフラムポンプと、そのダイヤフ
ラムポンプを駆動する加圧エアーを供給する加圧エアー
供給装置と、その加圧エアー供給装置の供給エアー圧力
を電気的に制御する制御装置とを備えた構成とした。
作用及び効果
本発明は上記構成になり、制御装置により加圧エアー供
給装置の供給エアー圧力を任意に調整することができ、
これによりダイヤフラムポンプの作動圧力を任意に制御
することができる。
給装置の供給エアー圧力を任意に調整することができ、
これによりダイヤフラムポンプの作動圧力を任意に制御
することができる。
したがって、薬液ノズルから吐出される薬液の最低圧力
と最高圧力及び最低圧力から最高圧力に至る時間を任意
に制御することができ、例えば、吐出開始時には低圧に
しておき、次第に高圧となるように制御することにより
跳ね返りを防止することができるのであって、最良の条
件で薬液を吐出することができる効果がある。
と最高圧力及び最低圧力から最高圧力に至る時間を任意
に制御することができ、例えば、吐出開始時には低圧に
しておき、次第に高圧となるように制御することにより
跳ね返りを防止することができるのであって、最良の条
件で薬液を吐出することができる効果がある。
実施例
以下、本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明する
。
。
第１図において、１は薬液を収容したタンクであって、
その中に吸込管２が挿入されており、その吸込管２には
エアー駆動式の第１の開閉弁３が介設されている。４は
ダイヤフラム４ａを備えたエアー駆動式のダイヤフラム
ポンプであって、その上面に吸込管２と吐出管５が接続
されており、吐出管５にはエアー駆動式の第２の開閉弁
７が介設され、先端にはノズル６が接続されている。８
は空圧出力部であって、ダイヤフラム４２Ｌの下面側に
加圧空気を供給する電空比例弁とダイヤフラム４ａの下
面側を負圧にする真空発生器と第１及び第２の開閉弁３
．７の駆動用の空圧弁１０．１１とが内蔵されており、
この空圧出力部８は制御５装置９により電気的に制御さ
れるようになっている。
その中に吸込管２が挿入されており、その吸込管２には
エアー駆動式の第１の開閉弁３が介設されている。４は
ダイヤフラム４ａを備えたエアー駆動式のダイヤフラム
ポンプであって、その上面に吸込管２と吐出管５が接続
されており、吐出管５にはエアー駆動式の第２の開閉弁
７が介設され、先端にはノズル６が接続されている。８
は空圧出力部であって、ダイヤフラム４２Ｌの下面側に
加圧空気を供給する電空比例弁とダイヤフラム４ａの下
面側を負圧にする真空発生器と第１及び第２の開閉弁３
．７の駆動用の空圧弁１０．１１とが内蔵されており、
この空圧出力部８は制御５装置９により電気的に制御さ
れるようになっている。
次に、本実施例の作動を説明する。
まず、空圧出力部の一方の空圧弁１１を閉じ、第２の開
閉弁７への加圧空気の供給を遮断して閉弁させるととも
に他方の空圧弁ＩＯを開き、第１の開閉弁３へ加圧空気
を供給して開弁させた状態において、真空発生器を作動
させてダイヤフラム４ａの下面側を負圧にすると、ダイ
ヤフラム４ａが下面側に湾曲し、上面側の体積が増大す
るためタンクＩ内の薬液が吸い上げられてダイヤフラム
４ａの上面側に充満する。ここで、第１の開閉弁３を閉
じるとともに真空発生器を停止させ、電空比例弁を作動
させると、制御装置９から人力される電気信号の大きさ
に比例した圧力の加圧空気がダイヤフラム４ａの下面に
作用し、上面の薬液を同圧で加圧する。薬液に加わる圧
力は電空比例弁に人力される電気信号の大きさに比例す
るのであって、例えば、第２図に示すように、加圧初期
の圧力を低くし、次第に上昇させて最高値にしばらく保
持し、その後次第に低下させるように制御することがで
きるのであって、この圧力変化のどの範囲において第２
の開閉弁７を閉弁するかによって薬液のノズル６からの
吐出速度を任意に制御することができるのであり、前述
のサイドリンス工程においては、溶剤を最初は低圧で吐
出させ、次第に高圧にすることによって開弁初期の急激
な吐出による跳ね返りを防止し、かつ、サイドリンスに
必要な流量を確保することができるのであって、溶剤の
跳ね返りによる不良品の発生を防止し、かつ、サイドリ
ンスを確実に行うことかできる。
閉弁７への加圧空気の供給を遮断して閉弁させるととも
に他方の空圧弁ＩＯを開き、第１の開閉弁３へ加圧空気
を供給して開弁させた状態において、真空発生器を作動
させてダイヤフラム４ａの下面側を負圧にすると、ダイ
ヤフラム４ａが下面側に湾曲し、上面側の体積が増大す
るためタンクＩ内の薬液が吸い上げられてダイヤフラム
４ａの上面側に充満する。ここで、第１の開閉弁３を閉
じるとともに真空発生器を停止させ、電空比例弁を作動
させると、制御装置９から人力される電気信号の大きさ
に比例した圧力の加圧空気がダイヤフラム４ａの下面に
作用し、上面の薬液を同圧で加圧する。薬液に加わる圧
力は電空比例弁に人力される電気信号の大きさに比例す
るのであって、例えば、第２図に示すように、加圧初期
の圧力を低くし、次第に上昇させて最高値にしばらく保
持し、その後次第に低下させるように制御することがで
きるのであって、この圧力変化のどの範囲において第２
の開閉弁７を閉弁するかによって薬液のノズル６からの
吐出速度を任意に制御することができるのであり、前述
のサイドリンス工程においては、溶剤を最初は低圧で吐
出させ、次第に高圧にすることによって開弁初期の急激
な吐出による跳ね返りを防止し、かつ、サイドリンスに
必要な流量を確保することができるのであって、溶剤の
跳ね返りによる不良品の発生を防止し、かつ、サイドリ
ンスを確実に行うことかできる。
本実施例は制御装置９から発せされる電気信号により電
空比例弁を介してダイヤフラムポンプ４の吐出圧力を制
御し、かつ、第２の開閉弁７の開弁タイミングを選択す
ることによりノズル６からの薬液の吐出速度を任意に制
御することができるのであって、サイドリンスの他、レ
ジスト液（フォトエツチング用薬液）の吐出にも使用す
ることができるとともに、−船釣な薬液の吐出にも使用
することができる。
空比例弁を介してダイヤフラムポンプ４の吐出圧力を制
御し、かつ、第２の開閉弁７の開弁タイミングを選択す
ることによりノズル６からの薬液の吐出速度を任意に制
御することができるのであって、サイドリンスの他、レ
ジスト液（フォトエツチング用薬液）の吐出にも使用す
ることができるとともに、−船釣な薬液の吐出にも使用
することができる。
第１図は本発明の一実施例の説明図、第２図は吐出圧力
の変化を示すグラフである。 １４タンク ４：ダイヤフラムポンプ ６：ノズル ８
・空圧出力部（加圧エアー供給装置）９：制御装置 出願人 シーケーディ株式会社
の変化を示すグラフである。 １４タンク ４：ダイヤフラムポンプ ６：ノズル ８
・空圧出力部（加圧エアー供給装置）９：制御装置 出願人 シーケーディ株式会社
Claims (1)
- 薬液タンクと薬液ノズルとに接続されたエアー駆動式
のダイヤフラムポンプと、該ダイヤフラムポンプを駆動
する加圧エアーを供給する加圧エアー供給装置と、該加
圧エアー供給装置の供給エアー圧力を電気的に制御する
制御装置とを備えたことを特徴とする薬液吐出装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17125290A JPH0458520A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | 薬液吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17125290A JPH0458520A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | 薬液吐出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0458520A true JPH0458520A (ja) | 1992-02-25 |
| JPH0568095B2 JPH0568095B2 (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=15919878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17125290A Granted JPH0458520A (ja) | 1990-06-28 | 1990-06-28 | 薬液吐出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0458520A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0620052A1 (en) * | 1993-04-16 | 1994-10-19 | Martin Marietta Corporation | Controlled agitation cleaning system |
| US10330963B2 (en) | 2014-11-07 | 2019-06-25 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Machine table |
-
1990
- 1990-06-28 JP JP17125290A patent/JPH0458520A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0620052A1 (en) * | 1993-04-16 | 1994-10-19 | Martin Marietta Corporation | Controlled agitation cleaning system |
| US10330963B2 (en) | 2014-11-07 | 2019-06-25 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Machine table |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0568095B2 (ja) | 1993-09-28 |
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