JPH056876B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH056876B2 JPH056876B2 JP60222832A JP22283285A JPH056876B2 JP H056876 B2 JPH056876 B2 JP H056876B2 JP 60222832 A JP60222832 A JP 60222832A JP 22283285 A JP22283285 A JP 22283285A JP H056876 B2 JPH056876 B2 JP H056876B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scintillator
- glass tube
- tube
- light guide
- bottomed glass
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 20
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 6
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
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- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は走査型電子顕微鏡等に用いられる、シ
ンチレータと光電子増倍管とを組み合わせた二次
電子検出器に関するものである。
ンチレータと光電子増倍管とを組み合わせた二次
電子検出器に関するものである。
従来から電子顕微鏡等に用いられてきた二次電
子検出器は、第２図に示すように、ライトガイド
１３の先端にシンチレータ１２を取り付け、シン
チレータ１２にはグリツド１１を被せ、さらにラ
イトガイド１３の後端には光電子脱倍管いわゆる
フオトマル１４を接続して一体化したもので、こ
の検出器は、真空側と大側とを分離するフランジ
１５の孔１６からグリツド１１、シンチレータ１
２およびライトガイド１３を真空側に突出し、エ
ラストマ・シール１７によつて真空をシールした
ものであつた。
子検出器は、第２図に示すように、ライトガイド
１３の先端にシンチレータ１２を取り付け、シン
チレータ１２にはグリツド１１を被せ、さらにラ
イトガイド１３の後端には光電子脱倍管いわゆる
フオトマル１４を接続して一体化したもので、こ
の検出器は、真空側と大側とを分離するフランジ
１５の孔１６からグリツド１１、シンチレータ１
２およびライトガイド１３を真空側に突出し、エ
ラストマ・シール１７によつて真空をシールした
ものであつた。
上記の装置において、二次電子がシンチレータ
１２に当たると光信号を発生し、光信号はライト
ガイド３を通つてフオトマル１４に達し、そこで
電気信号に変換されると同時に増幅され、図示し
ないデイスプレイ等に伝達されるようになつてい
る。
１２に当たると光信号を発生し、光信号はライト
ガイド３を通つてフオトマル１４に達し、そこで
電気信号に変換されると同時に増幅され、図示し
ないデイスプレイ等に伝達されるようになつてい
る。
上記のような二次電子検出器は、真空をシール
するのにエラストマが用いられているため耐熱性
に問題があり、このようなシールを介して検出器
を取り付けた場合は高真空を得るためベーキング
することができない上、エラストマからの放出ガ
ス量が多いので超高真空装置には使用することが
できなかつた。
するのにエラストマが用いられているため耐熱性
に問題があり、このようなシールを介して検出器
を取り付けた場合は高真空を得るためベーキング
することができない上、エラストマからの放出ガ
ス量が多いので超高真空装置には使用することが
できなかつた。
そこでこれらの難点を解決するため、真空側と
大気側とを透明なガラスによつて分離したものが
提案された。すなわち、第３図に示すように、フ
ランジ１５の孔１６に嵌めたガラス窓１８の一側
に、先端にグリツド１１およびシンチレータ１２
を取り付けたライトガイド１３を接合し、他側に
フオトマル１４を設置することにより、エラスト
マ・シールを不要としたものである。
大気側とを透明なガラスによつて分離したものが
提案された。すなわち、第３図に示すように、フ
ランジ１５の孔１６に嵌めたガラス窓１８の一側
に、先端にグリツド１１およびシンチレータ１２
を取り付けたライトガイド１３を接合し、他側に
フオトマル１４を設置することにより、エラスト
マ・シールを不要としたものである。
しかしながらこの装置は、エラストマの問題は
解決されたが、ライトガイド１３が真空側に露出
していてしかもコーテイング等による遮蔽が困難
であるため、シンチレータ１２の発生した光以外
の迷光を拾うことが避けられなかつた。
解決されたが、ライトガイド１３が真空側に露出
していてしかもコーテイング等による遮蔽が困難
であるため、シンチレータ１２の発生した光以外
の迷光を拾うことが避けられなかつた。
本発明は上記ガラス窓を備えた装置における問
題点を解決した二次電子検出器を提供することを
目的とするものである。
題点を解決した二次電子検出器を提供することを
目的とするものである。
本発明は、上記の問題点を解決する手段とし
て、フランジの孔に貫通したコバール管を真空側
に突出させ、該コバール管の先端に有底ガラス管
を底部を先にして接合し、該有底ガラス管の底部
外側にシンチレータをまた底部内側にライトガイ
ドおよび／またはフオトマルをそれぞれ取り付け
るとともに、前記有底ガラス管の内側に前記シン
チレータ対向部分を除いてメツキすることにより
迷光反射層を形成したことを特徴とする二次電子
検出器。を提供するものである。
て、フランジの孔に貫通したコバール管を真空側
に突出させ、該コバール管の先端に有底ガラス管
を底部を先にして接合し、該有底ガラス管の底部
外側にシンチレータをまた底部内側にライトガイ
ドおよび／またはフオトマルをそれぞれ取り付け
るとともに、前記有底ガラス管の内側に前記シン
チレータ対向部分を除いてメツキすることにより
迷光反射層を形成したことを特徴とする二次電子
検出器。を提供するものである。
本発明は、フランジ、コバール管および有底ガ
ラス管によつて真空側と大気側とを分離するとと
もに、有底ガラス管の内側にシンチレータ対向部
分を除いて反射膜を形成したので、エラストマ・
シールを必要とせずに真空側と大気側とを分離す
ることができるとともに、反射膜によりシンチレ
ータの発光のみを伝達することが可能になつた。
ラス管によつて真空側と大気側とを分離するとと
もに、有底ガラス管の内側にシンチレータ対向部
分を除いて反射膜を形成したので、エラストマ・
シールを必要とせずに真空側と大気側とを分離す
ることができるとともに、反射膜によりシンチレ
ータの発光のみを伝達することが可能になつた。
第１図は本発明の基本的構想を示す側面図で、
フランジ５の孔６には、コバール管７が真空側に
突出して取り付けられ、その先端には端部を閉鎖
された有底ガラス管８が底部を先にして接合され
ている。有底ガラス管８の閉鎖端部外側（真空
側）には、シンチレータ２が取り付けられ、その
上を覆うように有底ガラス管８にはグリツド１が
取り付けられている。有底ガラス管８の閉鎖端部
内側（大気側）には、ライトガイド３が取り付け
られ、その後に、フオトマル４が取り付けられて
いる。このライトガイド３は省くことも可能であ
る。有底ガラス管８の内側には、シンチレータ２
の発光以外の迷光が入るのを防ぐため、シンチレ
ータ２の対向部分を除いて銀等の反射膜９がコー
テイングされている。
フランジ５の孔６には、コバール管７が真空側に
突出して取り付けられ、その先端には端部を閉鎖
された有底ガラス管８が底部を先にして接合され
ている。有底ガラス管８の閉鎖端部外側（真空
側）には、シンチレータ２が取り付けられ、その
上を覆うように有底ガラス管８にはグリツド１が
取り付けられている。有底ガラス管８の閉鎖端部
内側（大気側）には、ライトガイド３が取り付け
られ、その後に、フオトマル４が取り付けられて
いる。このライトガイド３は省くことも可能であ
る。有底ガラス管８の内側には、シンチレータ２
の発光以外の迷光が入るのを防ぐため、シンチレ
ータ２の対向部分を除いて銀等の反射膜９がコー
テイングされている。
したがつて、真空側と大気側とは、フランジ
５、有底ガラス管８およびコバール管７によつて
完全に分離され、シンチレータ２の発光のみが、
ライトガイド３を通つてフオトマル４に達し、電
気信号に変換されるとともに増幅され、外部に伝
達される。
５、有底ガラス管８およびコバール管７によつて
完全に分離され、シンチレータ２の発光のみが、
ライトガイド３を通つてフオトマル４に達し、電
気信号に変換されるとともに増幅され、外部に伝
達される。
第４図は上記第３図のものを、幾分具体的に図
示した側面図で、同じ符号は同じ部品を示し、ま
た２′はシンチレータカバー、４′はフオトマルソ
ケツトをそれぞれ示す。
示した側面図で、同じ符号は同じ部品を示し、ま
た２′はシンチレータカバー、４′はフオトマルソ
ケツトをそれぞれ示す。
ただし、第４図のものにおいては、ライトガイ
ドは省略され、フオトマル４が直接ガラス管８の
内側に取り付けられている。また、フランジ（た
とえば、ICF−070等の超高真空用のコンフラツ
トフランジ）３には、二次電子検出器の他に、さ
らに、シンチレータ２に高電圧を印加するための
高圧端子１０が設置されている。
ドは省略され、フオトマル４が直接ガラス管８の
内側に取り付けられている。また、フランジ（た
とえば、ICF−070等の超高真空用のコンフラツ
トフランジ）３には、二次電子検出器の他に、さ
らに、シンチレータ２に高電圧を印加するための
高圧端子１０が設置されている。
本発明は超高真空を必要とする表面分析装置等
に組み込むことができ、第５図は本発明の二次電
子検出器によつて得られた二次電子像の一例であ
る。
に組み込むことができ、第５図は本発明の二次電
子検出器によつて得られた二次電子像の一例であ
る。
本発明は真空側と大気側とをガラス管、コバー
ルによつて分離したため、エラストマシールによ
る従来の不具合を完全に解消することができ、し
かも反射膜によつて真空側の迷光を遮断すること
ができるので、空気の漏洩に妨げられることな
く、長時間にわたつて正確な検査、測定をするこ
とが可能となつた。
ルによつて分離したため、エラストマシールによ
る従来の不具合を完全に解消することができ、し
かも反射膜によつて真空側の迷光を遮断すること
ができるので、空気の漏洩に妨げられることな
く、長時間にわたつて正確な検査、測定をするこ
とが可能となつた。
第１図は本発明の基本的構想を示す概念的側断
面図。第２図および第３図は従来技術を示す第１
図と同様の図。第４図第５図は本発明の二次電子
検出器によつて得られた二次電子像の一例である
は本発明の実施例のいくぶん具体的な構造を示す
側面図。 ２…シンチレータ、３…ライトガイド、４…フ
オトマル、５…フランジ、７…コバール管、８…
有底ガラス管、９…メツキ層。
面図。第２図および第３図は従来技術を示す第１
図と同様の図。第４図第５図は本発明の二次電子
検出器によつて得られた二次電子像の一例である
は本発明の実施例のいくぶん具体的な構造を示す
側面図。 ２…シンチレータ、３…ライトガイド、４…フ
オトマル、５…フランジ、７…コバール管、８…
有底ガラス管、９…メツキ層。
Claims (1)
- １ フランジの孔に貫通したコバール管を真空側
に突出させ、該コバール管の先端に有底ガラス管
を底部を先にして接合し、該有底ガラス管の底部
外側にシンチレータをまた底部内側にライトガイ
ドおよび／またはフオトマルをそれぞれ取り付け
るとともに、前記有底ガラス管の内側に前記シン
チレータ対向部分を除いてメツキすることにより
迷光反射層を形成したことを特徴とする二次電子
検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60222832A JPS6282638A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | 二次電子検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60222832A JPS6282638A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | 二次電子検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6282638A JPS6282638A (ja) | 1987-04-16 |
| JPH056876B2 true JPH056876B2 (ja) | 1993-01-27 |
Family
ID=16788607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60222832A Granted JPS6282638A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | 二次電子検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6282638A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002206278A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Misawa Homes Co Ltd | バルコニーの施工方法及びバルコニー構造 |
| JP2012138324A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-19 | Topcon Corp | 二次電子検出器、及び荷電粒子ビーム装置 |
-
1985
- 1985-10-08 JP JP60222832A patent/JPS6282638A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6282638A (ja) | 1987-04-16 |
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