JPS6282638A - 二次電子検出器 - Google Patents
二次電子検出器Info
- Publication number
- JPS6282638A JPS6282638A JP60222832A JP22283285A JPS6282638A JP S6282638 A JPS6282638 A JP S6282638A JP 60222832 A JP60222832 A JP 60222832A JP 22283285 A JP22283285 A JP 22283285A JP S6282638 A JPS6282638 A JP S6282638A
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- JP
- Japan
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- scintillator
- glass tube
- tube
- fixed
- bottomed glass
- Prior art date
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- Granted
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Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は走査型電子顕微鏡等に用いらｎる、シンチレー
タと光電子増倍管とを組み台わせた二次電子検出器（−
関するものである。 。
タと光電子増倍管とを組み台わせた二次電子検出器（−
関するものである。 。
従来から電子顕微鏡等に用いらｎできた二次電子検出器
は、第２図に示すよう（−、ライトガイド１３の先端に
シンチレータ／２を取り付け、シンチレータ１２にはグ
リッド／ｌを被せ、さらにライトガイド／３の後端には
光電子増倍管いわゆるフォトマル１４Ｉを接続して一体
化したもので、この検出器は、真空側と大側とを分離す
る７ランジｌ！の孔／６からグリッド／／、シンチレー
タ／コおよびライトガイド１３を真空側に突出し、エラ
ストマ・シール／７によって真空をシールしたものであ
った。
は、第２図に示すよう（−、ライトガイド１３の先端に
シンチレータ／２を取り付け、シンチレータ１２にはグ
リッド／ｌを被せ、さらにライトガイド／３の後端には
光電子増倍管いわゆるフォトマル１４Ｉを接続して一体
化したもので、この検出器は、真空側と大側とを分離す
る７ランジｌ！の孔／６からグリッド／／、シンチレー
タ／コおよびライトガイド１３を真空側に突出し、エラ
ストマ・シール／７によって真空をシールしたものであ
った。
上記の装置において、二次電子がシンチレータ／２に当
たると光信号を発生し１光信号はライトガイド１３を通
って７オトマルｌ≠に達し、そこで電気信号に変換さｎ
ると同時に増幅さ１−１図示しないディスプレイ等に伝
達さｎるようになっている。
たると光信号を発生し１光信号はライトガイド１３を通
って７オトマルｌ≠に達し、そこで電気信号に変換さｎ
ると同時に増幅さ１−１図示しないディスプレイ等に伝
達さｎるようになっている。
上記のような二次電子検出器は、真空をシールするの（
＝エラストマが用いらｎているため耐熱−生に問題があ
り、このようなシールを介して検出器を取り付けた場合
は高真空を得るためベーキングすることができない上、
エラストマからの放出ガス量が多いので超高真空装置に
は使用することができなかった。
＝エラストマが用いらｎているため耐熱−生に問題があ
り、このようなシールを介して検出器を取り付けた場合
は高真空を得るためベーキングすることができない上、
エラストマからの放出ガス量が多いので超高真空装置に
は使用することができなかった。
そこでこｎらの難点を解決するため、真空側と大気側と
を透明なガラスによって分離したものが提案さｒｔた。
を透明なガラスによって分離したものが提案さｒｔた。
すなわち、第３図（＝示すように、フランジ／ｊの孔／
ｌに嵌めたガラス窓ｉｔの一側に、先端（＝グリッドｌ
／およびシンチレータ／、！を取り付けたライトガイド
１３を接甘し、他側に７オトマル／≠を設置することＣ
二より１エラストマーシールを不要としたものである。
ｌに嵌めたガラス窓ｉｔの一側に、先端（＝グリッドｌ
／およびシンチレータ／、！を取り付けたライトガイド
１３を接甘し、他側に７オトマル／≠を設置することＣ
二より１エラストマーシールを不要としたものである。
しかしながらこの装置は、エラストマの問題は解決さ几
たが、ライトガイド１３が真空側に露出していてしかも
コーティング等（＝よる遮蔽が困難であるため、シンチ
レータ／２の発生した光取外の迷光を拾うことが避けら
几なかった。
たが、ライトガイド１３が真空側に露出していてしかも
コーティング等（＝よる遮蔽が困難であるため、シンチ
レータ／２の発生した光取外の迷光を拾うことが避けら
几なかった。
本発明は上記ガラス窓を備えた装置における問題点を解
決した二次電子検出器を提供することを目的とするもの
である。
決した二次電子検出器を提供することを目的とするもの
である。
本発明は、上記の問題点を解決する手段として、フラン
ジの孔に貫通したコバール管を真空側に突出させ、該コ
バール管の先端に有底ガラス管を底部を先にして接甘し
、該有底ガラス管の底部外側にシンチレータをまた底部
内側にライトガイドおよび／まｆｃハフオトマルをそｎ
ぞ−ｎ＠り付けるとともに、前記有底ガラス管の内側に
前記シンチレータ対向部分を除いてメッキすることによ
り迷元反射島を形成したことを特徴とする二次電子検出
器。を提供するものでるる。
ジの孔に貫通したコバール管を真空側に突出させ、該コ
バール管の先端に有底ガラス管を底部を先にして接甘し
、該有底ガラス管の底部外側にシンチレータをまた底部
内側にライトガイドおよび／まｆｃハフオトマルをそｎ
ぞ−ｎ＠り付けるとともに、前記有底ガラス管の内側に
前記シンチレータ対向部分を除いてメッキすることによ
り迷元反射島を形成したことを特徴とする二次電子検出
器。を提供するものでるる。
本発明に、７ランジ、コバール管および有底ガラス管に
よって真空側と大気側とを分離するととも（＝、有底ガ
ラス管の内側にシンチレータ対ＭＷ分を除いて反射膜を
形成したので、エラストマ・シールを必要とせずＣ二真
空側と大気側とを分離することができるとともに、反射
膜によりシンチレータの発光のみを伝達することが可能
になった。
よって真空側と大気側とを分離するととも（＝、有底ガ
ラス管の内側にシンチレータ対ＭＷ分を除いて反射膜を
形成したので、エラストマ・シールを必要とせずＣ二真
空側と大気側とを分離することができるとともに、反射
膜によりシンチレータの発光のみを伝達することが可能
になった。
第１図に本発明の基本的構想を示す側面図で、フランジ
！の孔乙には、コバール管７が真空側（ユ突出して取り
付けらｎｌその先端には端部を閉鎖さｊ、た有底ガラス
管ｔが底部を先にして接甘さｎている。有底ガラス管ｒ
の閉鎖端部外側（真空側１）には、シンチレータコが取
り付けらｎ、その上を覆うように有底ガラス管？にはグ
リッドｌが取り付けら几ている。有底ガラス管ｒの閉鎖
端部内側（大気側）には、ライトガイド３が取り付けら
ｆ′Ｌ％その後に、フォトマル≠が取り付けらｎでいる
。
！の孔乙には、コバール管７が真空側（ユ突出して取り
付けらｎｌその先端には端部を閉鎖さｊ、た有底ガラス
管ｔが底部を先にして接甘さｎている。有底ガラス管ｒ
の閉鎖端部外側（真空側１）には、シンチレータコが取
り付けらｎ、その上を覆うように有底ガラス管？にはグ
リッドｌが取り付けら几ている。有底ガラス管ｒの閉鎖
端部内側（大気側）には、ライトガイド３が取り付けら
ｆ′Ｌ％その後に、フォトマル≠が取り付けらｎでいる
。
このライトガイド３は省くことも可能である。有底ガラ
ス管ｒの内側には、シンチレータλの発光以外の迷光が
入るのを防ぐため、シンチレータコの対向部分を除いて
銀等の反射膜りがコーティングさｎている。
ス管ｒの内側には、シンチレータλの発光以外の迷光が
入るのを防ぐため、シンチレータコの対向部分を除いて
銀等の反射膜りがコーティングさｎている。
したがって、真空側と大気側とは、フランジ！、有底ガ
ラス管ｒおよびコバール管７によって完全（部分離さ几
、シンチレータ２の発光のみが、ライトガイド３を通っ
てフォトマル弘に達し、電気信号に変換さｎるとともに
増幅ざｎ、外部に伝達さする。
ラス管ｒおよびコバール管７によって完全（部分離さ几
、シンチレータ２の発光のみが、ライトガイド３を通っ
てフォトマル弘に達し、電気信号に変換さｎるとともに
増幅ざｎ、外部に伝達さする。
第弘図は上記第３図のものを、幾分具体的に図示した側
面図で、同じ符号は同じ部品を示し、また！はシンチレ
ータカバー、ｌはフォトマルソケットをそ几ぞｎ示す。
面図で、同じ符号は同じ部品を示し、また！はシンチレ
ータカバー、ｌはフォトマルソケットをそ几ぞｎ示す。
ただし、第弘図のものにおいては、ライトガイドは省略
さ几、フォトマル弘が直接ガラス管ｇの内側（＝取り付
けら几ている。また、７ランジ（たとえば、ＩＣＦ−０
７０等の超高真空用のコンフラツトフランジ）３には、
二次電子検出器の他（−１さらに、シンチレータコに高
電圧を印加するための高圧端子ＩＯが設置さｎている・
本 発明は超高真空を必要とする表面分析装置等に組み込む
ことができ、第３図は本発明の二次電子検出器（−よっ
て得らｎた二次電子像の一例である。
さ几、フォトマル弘が直接ガラス管ｇの内側（＝取り付
けら几ている。また、７ランジ（たとえば、ＩＣＦ−０
７０等の超高真空用のコンフラツトフランジ）３には、
二次電子検出器の他（−１さらに、シンチレータコに高
電圧を印加するための高圧端子ＩＯが設置さｎている・
本 発明は超高真空を必要とする表面分析装置等に組み込む
ことができ、第３図は本発明の二次電子検出器（−よっ
て得らｎた二次電子像の一例である。
本発明は真空側と大気側とをガラス管、コバールによっ
て分離しタタめ、エラストマ１シールによる従来の不Ａ
せを完全に解消することができ、しかも反射膜によって
真空側の迷光を遮断す゛ることができるので、空気の漏
洩に妨げらｎることなく。
て分離しタタめ、エラストマ１シールによる従来の不Ａ
せを完全に解消することができ、しかも反射膜によって
真空側の迷光を遮断す゛ることができるので、空気の漏
洩に妨げらｎることなく。
長時間にわたって正確な検査、測定をすることが可能と
なった。
なった。
第１図は本発明の基本的構想を示す概念的細断ん具体的
な構造を示す側面図。 Ｊ・・・シンチレータ、３・・・ライトガイド、≠・・
・フォトマル、ｊ・・・フランジ、７・・・コバール管
、！・・・有底ガラス管、り・・・メッキ層 図面の？Ｎシ（内６に変更なし〕 第４図 第５図 不 手続補正書（方式） ％式％ １、事件の表示 昭和６０年 特許願 第 ２２２８３２号２、発明の名
称 二次電子検出器 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 神奈川県茅ケ崎市萩園２５００番地名称 日
本真空技術株式会社 ４、代理人 〒１０５住所 東京都港区西新橋１丁目１番１５号物産
ビル別館 電話（５９１） ０２６１６、補正の内容 別紙の通）
な構造を示す側面図。 Ｊ・・・シンチレータ、３・・・ライトガイド、≠・・
・フォトマル、ｊ・・・フランジ、７・・・コバール管
、！・・・有底ガラス管、り・・・メッキ層 図面の？Ｎシ（内６に変更なし〕 第４図 第５図 不 手続補正書（方式） ％式％ １、事件の表示 昭和６０年 特許願 第 ２２２８３２号２、発明の名
称 二次電子検出器 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 神奈川県茅ケ崎市萩園２５００番地名称 日
本真空技術株式会社 ４、代理人 〒１０５住所 東京都港区西新橋１丁目１番１５号物産
ビル別館 電話（５９１） ０２６１６、補正の内容 別紙の通）
Claims (1)
- フランジの孔に貫通したコバール管を真空側に突出させ
、該コバール管の先端に有底ガラス管を底部を先にして
接合し、該有底ガラス管の底部外側にシンチレータをま
た底部内側にライトガイドおよび／またはフォトマルを
それぞれ取り付けるとともに、前記有底ガラス管の内側
に前記シンチレータ対向部分を除いてメッキすることに
より迷光反射層を形成したことを特徴とする二次電子検
出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60222832A JPS6282638A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | 二次電子検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60222832A JPS6282638A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | 二次電子検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6282638A true JPS6282638A (ja) | 1987-04-16 |
| JPH056876B2 JPH056876B2 (ja) | 1993-01-27 |
Family
ID=16788607
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60222832A Granted JPS6282638A (ja) | 1985-10-08 | 1985-10-08 | 二次電子検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6282638A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002206278A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Misawa Homes Co Ltd | バルコニーの施工方法及びバルコニー構造 |
| JP2012138324A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-19 | Topcon Corp | 二次電子検出器、及び荷電粒子ビーム装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7342288B2 (ja) | 2020-12-18 | 2023-09-11 | 株式会社トクヤマ | 遷移金属の半導体の処理方法、および遷移金属酸化物の還元剤含有処理液 |
-
1985
- 1985-10-08 JP JP60222832A patent/JPS6282638A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002206278A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-26 | Misawa Homes Co Ltd | バルコニーの施工方法及びバルコニー構造 |
| JP2012138324A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-19 | Topcon Corp | 二次電子検出器、及び荷電粒子ビーム装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH056876B2 (ja) | 1993-01-27 |
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