JPH0569188B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明は３次元移動テーブルを備えたプロー
バに係り、特にグランドの取り方を改良したもの
に関する。

従来の技術 例えば、サーマルプリントヘツド等の製造工程
において、プローバでもつてサーマルプリントヘ
ツドの諸特性を測定する場合、複数のプローブピ
ンの先端をこれに対応するサーマルプリントヘツ
ドのドライバ側リードの各ボンデイングパツドに
接触させると共に、前記複数のプローブピンとは
異なるプローブピンをコモンラインのボンデイン
グパツドに接触させた後、測定回路を内蔵したス
キヤナでもつて前記各プローブピンに所定の信号
を与えるようにしている。

しかしながら、複数個のドライバ用集積回路が
搭載されるサーマルプリントヘツドにおいて、前
記ドライバ用集積回路を搭載すべきドライバ側リ
ードのボンデイングパツド部分と、コモンライン
のボンデイングパツド部分との距離が各々異なる
ため、前記プローバの各プローブピンの配設位置
が全てに対応せず測定ができなかつた。そこで、
従来ではサーマルプリントヘツド基板の表面に被
着させた保護膜、特にコモンラインの上部にある
保護膜に複数個の測定用窓を開けるなどして、こ
の窓開け部分と前記各ドライバ側リードのボンデ
イングパツド部分とに、これに対応するように配
設された複数のプローブピンを接触させるように
していた。

発明が解決しようとする問題点 この従来の方式では、前述のようにグランドを
取るために保護膜への窓開けの如き特殊な加工を
施さなければならないという欠点がある。更に、
抵抗体等が形成されている面の背面にコモンライ
ンが形成されているようなサーマルプリントヘツ
ドには上記のプローバが適用できないという欠点
がある。

この発明は上記欠点に着目して創案されたもの
で、被測定物にグランドを取るための加工を施す
ことなく、また裏面コモンであつてもグランドを
確実に取ることのできるプローバを提供すること
を目的としている。

問題点を解決するための手段 そのためこの発明は、被測定物のコモン端子と
測定用ステージ間を接続する接触子を設けると共
に測定回路のグランド端子を前記測定用ステージ
に導通させるようにした。

作 用 即ち、被測定物のコモン端子は接触子を介して
測定用ステージに導通する。測定用ステージは測
定回路のグランド端子に接続されているので、結
局は被測定物のコモン端子は測定回路のグランド
端子に導通する。

実施例 以下、図面を参照してこの発明の一実施例を詳
細に説明する。第１図はこの発明の一実施例を説
明するためのプローバの概略を示す斜視図であ
る。

図例のプローバ１０は、Ｘテーブル１１と、Ｙ
テーブル１２と、Ｚテーブル１４と、プローブカ
ード１５と、図示しないスキヤナとを備えてい
る。

このプローバ１０の各構成部品を具体的に説明
すると、Ｘテーブル１１は略長方形状の金属板か
らなり、その長手方向に断面円形の貫通孔１１
１，１１２が穿設されている。この貫通孔１１
１，１１２にはスライドシヤフト２０，２０が挿
通されている。このスライドシヤフト２０，２０
の間に送りねじ棒３０がＸテーブル１１に螺合さ
れていて、この送りねじ棒３０の回転運動によ
り、Ｘテーブル１１はスライドシヤフト２０，２
０に案内されつつ、水平方向（図では矢印Ａ方
向）に移動するようになつている。

Ｙテーブル１２は、略正方形状の金属板からな
り、Ｘテーブル１１の上面に支持されるようにな
つている。このＹテーブル１２は、Ｘテーブル１
１の移動方向と直交する水平方向に移動するべく
該Ｘテーブル１１の送り機構と同一の構造になさ
れている。つまり、Ｘテーブル１１上に前記スラ
イドシヤフト２０，２０と直交するスライドシヤ
フト２１，２１が支持されており、このスライド
シヤフト２１，２１が挿通する貫通孔１２１，１
２２をＹテーブル１２に備えている。このＹテー
ブル１２も送りねじ棒３１の回転運動により、ス
ライドシヤフト２１，２１に沿つて矢印Ｂの如く
Ｘテーブル１１の移動方向と直交する方向に移動
するようになつている。Ｙテーブル１２は測定用
ステージとして用いる測定用テーブル１３を有し
ている。

測定用テーブル１３は、略長方形状の金属板か
らなり、その長手方向がＸテーブル１１の長手方
向と平行となるようにＹテーブル１２の上に固定
されている。この測定用テーブル１３は、エアチ
ヤツク機構（図示省略）を備えていて、このエア
チヤツク機構により、被測定物４０を測定用テー
ブルの上面に吸着保持させるようになつている。

さらに、この測定用テーブル１３の上方の一隅
には、被測定物４０のコモン端子４２に電気的に
接触可能な接触子５０が設けられている。接触子
５０を接触させる端子部分はフレキシブルケーブ
ルを圧着させるため保護膜の施されていない部分
であり、プローブピンから距離を隔てている。こ
の接触子５０の拡大図を第２図に示している。図
例の接触子５０は、例えばりん青銅等を湾曲形成
させてなるものであつて、板バネの如き弾性力を
備えている。

Ｚテーブル１４は、上板１４１と側壁部１４２
とからなる略Ｌ字形状に形成した構造体であつ
て、略矩形状の上板１４１が測定用テーブル１３
の上方にかつこれと平行に、また側壁部１４２が
測定用テーブル１３の側方にそれぞれ位置するよ
うに配置されている。このＺテーブル１４の側壁
部１４２の長手方向には断面円形の貫通孔１４
３，１４４が穿設されていて、この貫通孔１４
３，１４４にスライドシヤフト２２，２２が挿通
されている。このＺテーブル１４は、例えばエア
シリンダ又はラツクピニオンのような駆動機構
（図示省略）でもつてスライドシヤフト２２，２
２に沿つて鉛直方向（図では矢印Ｃ方向）に移動
するようになつている。

プローブカード１５は、Ｚテーブル１４の上板
１４１の下面に所定間隔をもつて平行に支持され
ている。このプローブカード１５の中央付近には
略正方形状の開口部１５１があり、この開口部１
５１の内周辺にはタングステンからなるプローブ
ピン（図示省略）が所要本数配設されている。こ
のプローブカード１５の一辺には、該プローブカ
ード１５に作動信号を与えるスキヤナ（図示省
略）の各測定用端子に対応したコネクタ６０（第
１図参照）が配設されており、カード内のプリン
ト配線でもつて前記コネクタ６０を介してスキヤ
ナ・プローブピン間が電気的に接続されている。
一方、前記スキヤナのグランド端子はＸテーブル
１１或いはＹテーブル１２の適宜個所に接続さ
れ、測定用テーブル１３に接続している。例えば
スキヤナのグランド端子は、ねじ棒３０，３１に
接続させ、このねじ棒３０，３１と図示しないめ
ねじ孔とを可動接点のようにして用いることで、
測定用テーブル１３へ導通せしめることが考えら
れる。これにより、測定用テーブル１３に設けた
接触子５０はスキヤナのグランドとなる。なお、
スキヤナのグランド端子を、被測定物４０のコモ
ン端子４２に直接接続させることも可能である
が、この場合には前記スキヤナのグランド端子が
比較的長くなり測定における各テーブルの動きを
規制する恐れがあるから、前記スキヤナのグラン
ドの配設に細心に配慮を施す必要がある。

以下、上記プローバ１０の動作手順を簡単に説
明する。まず、Ｘテーブル１１及びＹテーブル１
２を矢印Ａ，Ｂの如く適宜移動させることによ
り、被測定物４０をエアチヤツクした測定用テー
ブル１３の位置を指定する。次にＺテーブル１４
を矢印Ｃの如く適宜下降させることにより、プロ
ーブカード１５のプローブピンを被測定物４０の
ドライバ側リード４１のボンデイングパツド部分
に接触させる。

このような手順で被測定物４０の各端子にプロ
ーブカード１５の各プローブピンを接触せしめ
て、図外のスキヤナにて作動信号を送り被測定物
４０の諸特性及びリードの抵抗値等を測定する。

なお、この発明は被測定物４０としてサーマル
プリントヘツドに適用する場合に顕著な効果が顕
れるが、これ以外のものにも適用可能である。

発明の効果 以上詳説したようにこの発明によれば、機能す
る領域から導出されたリードの近辺にコモン端子
が配設されていないようなサーマルプリントヘツ
ド等の諸特性を測定する際において、操作及び作
業が容易となる。また、従来通常のプローバにて
測定不可能であつた基板の裏面にコモン端子が形
成されているサーマルプリントヘツドにおいて
も、前記サーマルプリントヘツドを測定用テーブ
ルに固定するだけで、前記サーマルプリントヘツ
ドのコモン端子がスキヤナのグランドに導通する
こととなるので、測定に際して作業が一層容易に
なるという効果をも奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を説明するための
プローバの概略を示す斜視図、第２図は接触子５
０を側面視した拡大図である。 １０……プローバ、１１……Ｘテーブル、１２
……Ｙテーブル、１３……測定用テーブル、１４
……Ｚテーブル、１５……プローブカード、４０
……被測定物、４２……コモン端子、５０……接
触子、６０……コネクタ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ Ｘ，Ｙ，Ｚテーブルからなる３次元移動テー
   ブルと、Ｚテーブルに固定配置したプローブカー
   ドと、コネクタを介してプローブカードと接続す
   る測定回路とを有し、Ｙテーブルを測定用スキー
   ジとして被測定物を吸着保持しプローブカードの
   プローブピンを被測定物の端子に接触させて電気
   的測定を行うプローバにおいて、 前記測定回路のグランド端子をＹテーブルに接
   続するとともに、被測定物のコモン端子とＹテー
   ブル間を導通させる接触子をＹテーブルに設けた
   ことを特徴とするプローバ。