JPH0570245A - 圧電セラミツクスの製造方法 - Google Patents
圧電セラミツクスの製造方法Info
- Publication number
- JPH0570245A JPH0570245A JP23821791A JP23821791A JPH0570245A JP H0570245 A JPH0570245 A JP H0570245A JP 23821791 A JP23821791 A JP 23821791A JP 23821791 A JP23821791 A JP 23821791A JP H0570245 A JPH0570245 A JP H0570245A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thickness
- piezoelectric
- piezoelectric ceramics
- molded body
- raw material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】圧電セラミックスの製造において、ロット間の
圧電特性のばらつきを無くす。 【構成】原料粉末から厚さが異なる所定個数のプレ成形
体を成形し、焼成後所定厚さに加工し分極などの処理を
施してプレ圧電セラミックスを形成し、それぞれのプレ
圧電セラミックスの圧電特性に関連する物理量を測定
し、プレ成形体の厚さと物理量との関係を求めその関係
から物理量が所定値となるプレ成形体の目的厚さを導
き、その目的厚さとなるように原料粉末から本成形体を
形成する。
圧電特性のばらつきを無くす。 【構成】原料粉末から厚さが異なる所定個数のプレ成形
体を成形し、焼成後所定厚さに加工し分極などの処理を
施してプレ圧電セラミックスを形成し、それぞれのプレ
圧電セラミックスの圧電特性に関連する物理量を測定
し、プレ成形体の厚さと物理量との関係を求めその関係
から物理量が所定値となるプレ成形体の目的厚さを導
き、その目的厚さとなるように原料粉末から本成形体を
形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、センサー、ブザー、積
層型圧電アクチュエータなどに利用される圧電セラミッ
クスの製造方法に関する。本発明は、ＰｂＴｉＯ3 −Ｐ
ｂＺｒＯ3 系（以下、ＰＺＴ系という）の圧電セラミッ
クスを製造する場合に特に有用である。
層型圧電アクチュエータなどに利用される圧電セラミッ
クスの製造方法に関する。本発明は、ＰｂＴｉＯ3 −Ｐ
ｂＺｒＯ3 系（以下、ＰＺＴ系という）の圧電セラミッ
クスを製造する場合に特に有用である。
【０００２】
【従来の技術】ＰＺＴ系の圧電セラミックスは優れた圧
電特性を示し、センサ、ブザー、アクチュエータなどに
広く用いられている。このＰＺＴ系の圧電セラミックス
を製造するには、先ず主としてＰｂＯ，ＴｉＯ2 ，Ｚｒ
Ｏ2 からなる原料粉末をボールミルなどで混合する。そ
の混合粉末を仮焼してＰＺＴ粉末とし、粉砕後所定形状
に成形する。そして、その成形体を焼成し、その後機械
加工や分極処理などを行って圧電セラミックスを得るの
が一般的な方法である。
電特性を示し、センサ、ブザー、アクチュエータなどに
広く用いられている。このＰＺＴ系の圧電セラミックス
を製造するには、先ず主としてＰｂＯ，ＴｉＯ2 ，Ｚｒ
Ｏ2 からなる原料粉末をボールミルなどで混合する。そ
の混合粉末を仮焼してＰＺＴ粉末とし、粉砕後所定形状
に成形する。そして、その成形体を焼成し、その後機械
加工や分極処理などを行って圧電セラミックスを得るの
が一般的な方法である。
【０００３】この圧電セラミックスの製造方法では、連
続的に製造することは困難なため、バッチ方式で製造さ
れているのが現状である。すなわち所定量の原料粉末を
混合し、その混合された粉末の量に相当する数の成形体
を形成し焼成した後、所定の厚さに切削加工し分極処理
を行って、１ロットの圧電セラミックスを製造してい
る。
続的に製造することは困難なため、バッチ方式で製造さ
れているのが現状である。すなわち所定量の原料粉末を
混合し、その混合された粉末の量に相当する数の成形体
を形成し焼成した後、所定の厚さに切削加工し分極処理
を行って、１ロットの圧電セラミックスを製造してい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが上記した製造
方法においては、圧電特性のロット間のばらつきが大き
いという問題があった。ＰＺＴ系の圧電セラミックスで
は、圧電特性は圧電セラミックス中のＰｂＯ量に大きく
依存することが明らかとなっている。またＰｂＯは気化
しやすいため、アルミナ、マグネシアなどから形成され
た気密なサヤを用い、そのサヤ中に成形体とともにＰｂ
Ｏを発生する粉末を入れて焼成することにより、成形体
からのＰｂＯの蒸発を抑制することが行われている。し
かしこの方法を用いても、ロット間の圧電特性のばらつ
きを解消することは困難であった。さらにこの方法で
は、原料混合時のばらつき、例えば分散状態のばらつき
や仮焼時、成形時における各種のばらつき、例えば熱伝
導のばらつき或いはプレス圧伝達のばらつきによる圧電
特性のばらつきを防止することは困難である。
方法においては、圧電特性のロット間のばらつきが大き
いという問題があった。ＰＺＴ系の圧電セラミックスで
は、圧電特性は圧電セラミックス中のＰｂＯ量に大きく
依存することが明らかとなっている。またＰｂＯは気化
しやすいため、アルミナ、マグネシアなどから形成され
た気密なサヤを用い、そのサヤ中に成形体とともにＰｂ
Ｏを発生する粉末を入れて焼成することにより、成形体
からのＰｂＯの蒸発を抑制することが行われている。し
かしこの方法を用いても、ロット間の圧電特性のばらつ
きを解消することは困難であった。さらにこの方法で
は、原料混合時のばらつき、例えば分散状態のばらつき
や仮焼時、成形時における各種のばらつき、例えば熱伝
導のばらつき或いはプレス圧伝達のばらつきによる圧電
特性のばらつきを防止することは困難である。
【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
ものであり、混合工程から成形工程までの各種誤差が圧
電特性に与える影響を小さくするとともに、ロット間の
圧電特性のばらつきを無くすことを目的とする。
ものであり、混合工程から成形工程までの各種誤差が圧
電特性に与える影響を小さくするとともに、ロット間の
圧電特性のばらつきを無くすことを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明の圧電セラミックスの製造方法は、複数の原料をそれ
ぞれ必要量秤量し混合して原料粉末を調製する粉末調製
工程と、原料粉末から厚さが異なる所定個数のプレ成形
体を成形し、焼成後所定厚さに加工し分極などの処理を
施してプレ圧電セラミックスを形成する前成形工程と、
それぞれのプレ圧電セラミックスの圧電特性に関連する
物理量を測定し、プレ成形体の厚さと物理量との関係を
求める検量工程と、その関係から物理量が所定値となる
プレ成形体の目的厚さを導き、目的厚さとなるように原
料粉末から本成形体を形成する成形工程と、本成形体を
焼成して焼成体とする焼成工程と、焼成体を所定厚さと
した後分極などの処理を施して圧電セラミックスを得る
後加工工程と、からなることを特徴とする。
明の圧電セラミックスの製造方法は、複数の原料をそれ
ぞれ必要量秤量し混合して原料粉末を調製する粉末調製
工程と、原料粉末から厚さが異なる所定個数のプレ成形
体を成形し、焼成後所定厚さに加工し分極などの処理を
施してプレ圧電セラミックスを形成する前成形工程と、
それぞれのプレ圧電セラミックスの圧電特性に関連する
物理量を測定し、プレ成形体の厚さと物理量との関係を
求める検量工程と、その関係から物理量が所定値となる
プレ成形体の目的厚さを導き、目的厚さとなるように原
料粉末から本成形体を形成する成形工程と、本成形体を
焼成して焼成体とする焼成工程と、焼成体を所定厚さと
した後分極などの処理を施して圧電セラミックスを得る
後加工工程と、からなることを特徴とする。
【０００７】以下、ＰＺＴ系の圧電セラミックスを製造
する場合を例として本発明を説明する。粉末調製工程で
は、主としてＰｂＯ，ＴｉＯ2 ，ＺｒＯ2 からなる粉末
原料が所定割合で混合される。この工程はボールミルな
どを利用して従来と同様に行うことができる。なおＮ
ｂ、Ｓｒ、Ｃａなどの添加成分を用いる場合は、この添
加成分もこの時同時に混合される。
する場合を例として本発明を説明する。粉末調製工程で
は、主としてＰｂＯ，ＴｉＯ2 ，ＺｒＯ2 からなる粉末
原料が所定割合で混合される。この工程はボールミルな
どを利用して従来と同様に行うことができる。なおＮ
ｂ、Ｓｒ、Ｃａなどの添加成分を用いる場合は、この添
加成分もこの時同時に混合される。
【０００８】そして均一に混合後、仮焼される。この仮
焼はＰＺＴ固溶体を形成するものであり、従来と同様一
般に８００〜９００℃の温度で行われる。得られたＰＺ
Ｔ原料は再びボールミルなどで粉砕されてＰＺＴ原料粉
末とされ、成形工程に供給される。本発明の特色をなす
前成形工程と検量工程は、実際の成形工程に先立って行
われる。前成形工程は、原料粉末から厚さが異なる所定
個数のプレ成形体を成形し、焼成後同一厚さに加工し分
極などの処理を施してプレ圧電セラミックスを形成する
工程である。プレ成形体の厚さは、目的とする圧電セラ
ミックスの厚さを略中央とし、それより厚いもの及び薄
いものの少なくとも３種類の厚さとすることが望まし
い。またそれぞれの厚さのプレ成形体の個数は、後述の
厚さと圧電特性に関連する物理量との関係がわかれば特
に制限されないが、一般には多ければ多いほど誤差が小
さくなる。現状は３０個程度でよい。この前成形工程
は、サヤ中でＰｂＯの蒸発を防ぎながら行うなど、実際
の成形工程と同一の方法で行うことが望ましい。
焼はＰＺＴ固溶体を形成するものであり、従来と同様一
般に８００〜９００℃の温度で行われる。得られたＰＺ
Ｔ原料は再びボールミルなどで粉砕されてＰＺＴ原料粉
末とされ、成形工程に供給される。本発明の特色をなす
前成形工程と検量工程は、実際の成形工程に先立って行
われる。前成形工程は、原料粉末から厚さが異なる所定
個数のプレ成形体を成形し、焼成後同一厚さに加工し分
極などの処理を施してプレ圧電セラミックスを形成する
工程である。プレ成形体の厚さは、目的とする圧電セラ
ミックスの厚さを略中央とし、それより厚いもの及び薄
いものの少なくとも３種類の厚さとすることが望まし
い。またそれぞれの厚さのプレ成形体の個数は、後述の
厚さと圧電特性に関連する物理量との関係がわかれば特
に制限されないが、一般には多ければ多いほど誤差が小
さくなる。現状は３０個程度でよい。この前成形工程
は、サヤ中でＰｂＯの蒸発を防ぎながら行うなど、実際
の成形工程と同一の方法で行うことが望ましい。
【０００９】検量工程は、それぞれのプレ圧電セラミッ
クスの圧電特性に関連する物理量を測定し、プレ成形体
の厚さと物理量との関係を求める工程である。この物理
量としては誘電率、電気機械結合係数などがあり、テー
ブル、グラフなどに表して関係を求めることができる。
成形工程では、検量工程で得られた関係から前記物理量
が所定値となるプレ成形体の目的厚さを導き、その目的
厚さとなるように上記原料粉末から圧電セラミックス形
状の本成形体を形成する。この成形には、プレス成形、
シート成形など従来圧電セラミックスの成形に用いられ
ている成形方法を利用できる。一般には成形形状を保持
するために、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビ
ニルブチラール（ＰＶＢ）などのバインダが混合されて
成形される。
クスの圧電特性に関連する物理量を測定し、プレ成形体
の厚さと物理量との関係を求める工程である。この物理
量としては誘電率、電気機械結合係数などがあり、テー
ブル、グラフなどに表して関係を求めることができる。
成形工程では、検量工程で得られた関係から前記物理量
が所定値となるプレ成形体の目的厚さを導き、その目的
厚さとなるように上記原料粉末から圧電セラミックス形
状の本成形体を形成する。この成形には、プレス成形、
シート成形など従来圧電セラミックスの成形に用いられ
ている成形方法を利用できる。一般には成形形状を保持
するために、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリビ
ニルブチラール（ＰＶＢ）などのバインダが混合されて
成形される。
【００１０】焼成工程では、得られた本成形体が従来と
同様に焼成され焼成体が得られる。この焼成は、気密な
サヤ中にＰｂＯ発生粉末などと本成形体を一緒に入れて
行い、本成形体からのＰｂＯの蒸発を防止しながら行う
ことが望ましい。後加工工程では、焼結体を所定の厚さ
とする研削加工や電極の形成、及び分極など従来と同様
の処理が行われ、圧電セラミックスが得られる。ここで
圧電セラミックスの厚さはプレ圧電セラミックスの厚さ
と同一である。また前記本成形体の厚さは検量工程で求
められた関係から得られた厚さである。したがって圧電
セラミックスの圧電特性に関連する前記物理量は、検量
工程で求められた関係により所定の値となる。
同様に焼成され焼成体が得られる。この焼成は、気密な
サヤ中にＰｂＯ発生粉末などと本成形体を一緒に入れて
行い、本成形体からのＰｂＯの蒸発を防止しながら行う
ことが望ましい。後加工工程では、焼結体を所定の厚さ
とする研削加工や電極の形成、及び分極など従来と同様
の処理が行われ、圧電セラミックスが得られる。ここで
圧電セラミックスの厚さはプレ圧電セラミックスの厚さ
と同一である。また前記本成形体の厚さは検量工程で求
められた関係から得られた厚さである。したがって圧電
セラミックスの圧電特性に関連する前記物理量は、検量
工程で求められた関係により所定の値となる。
【００１１】
【発明の作用及び効果】圧電セラミックスの製造方法に
おいては、焼成体を上下表面から研削加工し厚さ方向の
中央部分を製品としている。したがって例えばＰＺＴ圧
電セラミックスで説明すると、厚肉の成形体を焼成する
と中央部分から表面までの距離が大であるので、中央部
分からのＰｂＯの蒸発量が少なくＰｂＯの多い焼成体が
得られる。一方、薄肉の成形体を焼成すると、厚肉の成
形体に比べて中央部分から蒸発するＰｂＯ量が多く、Ｐ
ｂＯの少ない焼成体が得られる。この理由から、成形体
の厚さにより圧電特性にばらつきが生じるものと推察さ
れる。
おいては、焼成体を上下表面から研削加工し厚さ方向の
中央部分を製品としている。したがって例えばＰＺＴ圧
電セラミックスで説明すると、厚肉の成形体を焼成する
と中央部分から表面までの距離が大であるので、中央部
分からのＰｂＯの蒸発量が少なくＰｂＯの多い焼成体が
得られる。一方、薄肉の成形体を焼成すると、厚肉の成
形体に比べて中央部分から蒸発するＰｂＯ量が多く、Ｐ
ｂＯの少ない焼成体が得られる。この理由から、成形体
の厚さにより圧電特性にばらつきが生じるものと推察さ
れる。
【００１２】本発明の圧電セラミックスの製造方法で
は、前成形工程で実際のロットの原料粉末からプレ成形
体が形成され、検量工程でプレ成形体の厚さとプレ圧電
セラミックスの圧電特性に関連する物理量との関係が導
かれ、目的の物理量となるプレ成形体の目的厚さが求め
られる。そして実際の成形工程では、前成形工程と全く
同一の条件で、本成形体は求められた目的厚さに形成さ
れるのであり、検量工程と同様に焼成され後加工工程が
行われるのであるから、得られる圧電セラミックスは目
的とする物理量を有することとなる。
は、前成形工程で実際のロットの原料粉末からプレ成形
体が形成され、検量工程でプレ成形体の厚さとプレ圧電
セラミックスの圧電特性に関連する物理量との関係が導
かれ、目的の物理量となるプレ成形体の目的厚さが求め
られる。そして実際の成形工程では、前成形工程と全く
同一の条件で、本成形体は求められた目的厚さに形成さ
れるのであり、検量工程と同様に焼成され後加工工程が
行われるのであるから、得られる圧電セラミックスは目
的とする物理量を有することとなる。
【００１３】したがって本発明の製造方法によれば、混
合された原料粉末からそのロットの成形工程に先立って
前成形工程と検量工程を行うことにより、各ロット間の
圧電セラミックスの圧電特性に関連する物理量をほぼ一
定に制御することができ、ロット間のばらつきを無くす
ことができる。また、粉末調製工程から成形工程までの
間に各種誤差が生じても、上記物理量の測定及び目的厚
さの決定の工数あるいはその精度に及ぼす影響は無く、
したがってこれらの誤差を厳しく制御する必要がないの
で管理が容易となる。
合された原料粉末からそのロットの成形工程に先立って
前成形工程と検量工程を行うことにより、各ロット間の
圧電セラミックスの圧電特性に関連する物理量をほぼ一
定に制御することができ、ロット間のばらつきを無くす
ことができる。また、粉末調製工程から成形工程までの
間に各種誤差が生じても、上記物理量の測定及び目的厚
さの決定の工数あるいはその精度に及ぼす影響は無く、
したがってこれらの誤差を厳しく制御する必要がないの
で管理が容易となる。
【００１４】
【実施例】以下、実施例により具体的に説明する。 （１）粉末調製工程 主成分の成分比がＰｂ（Ｚｒ0.52Ｔｉ0.47Ｎｂ0.01）Ｏ
3 で表されるように、ＰｂＯ粉末、ＴｉＯ2 粉末及びＺ
ｒＯ2 粉末と、Ｎｂ2 Ｏ5 粉末とを所定量秤量し、水と
ともにボールミルにて４８時間湿式混合する。これを脱
水乾燥後マグネシア製るつぼに入れ、空気中８００℃で
８時間仮焼してＰＺＴ原料とした。
3 で表されるように、ＰｂＯ粉末、ＴｉＯ2 粉末及びＺ
ｒＯ2 粉末と、Ｎｂ2 Ｏ5 粉末とを所定量秤量し、水と
ともにボールミルにて４８時間湿式混合する。これを脱
水乾燥後マグネシア製るつぼに入れ、空気中８００℃で
８時間仮焼してＰＺＴ原料とした。
【００１５】このＰＺＴ原料を再びボールミルに水とと
もに投入して湿式粉砕する。この粉砕した原料を脱水乾
燥してＰＺＴ原料粉末を調製した。 （２）前成形工程 上記ＰＺＴ原料粉末にバインダーとしてのＰＶＡを１重
量％加えて造粒し、面圧９８ＭＰａにて外径１８ｍｍ、
内径５．９ｍｍのリング円板状のプレ成形体を一軸プレ
スで形成した。ここで厚さは０．７５ｍｍ，０．８５ｍ
ｍ，１．０ｍｍの３種類を選び、それぞれの厚さのプレ
成形体を約３０個ずつ形成した。 （３）検量工程 得られたそれぞれのプレ成形体を、詰め粉（ＰＺＴ粉
末：ＺｒＯ2 粉末＝２：８）とともに緻密質アルミナ製
サヤ中に入れ、昇温速度１５０℃／ｈで１２５０℃と
し、その温度で２時間保持後降温して焼成した。その後
外径１５ｍｍ、内径４．８ｍｍ、所定厚さ０．３４ｍｍ
となるように研削加工し、常法で分極処理してプレ圧電
セラミックスを得た。
もに投入して湿式粉砕する。この粉砕した原料を脱水乾
燥してＰＺＴ原料粉末を調製した。 （２）前成形工程 上記ＰＺＴ原料粉末にバインダーとしてのＰＶＡを１重
量％加えて造粒し、面圧９８ＭＰａにて外径１８ｍｍ、
内径５．９ｍｍのリング円板状のプレ成形体を一軸プレ
スで形成した。ここで厚さは０．７５ｍｍ，０．８５ｍ
ｍ，１．０ｍｍの３種類を選び、それぞれの厚さのプレ
成形体を約３０個ずつ形成した。 （３）検量工程 得られたそれぞれのプレ成形体を、詰め粉（ＰＺＴ粉
末：ＺｒＯ2 粉末＝２：８）とともに緻密質アルミナ製
サヤ中に入れ、昇温速度１５０℃／ｈで１２５０℃と
し、その温度で２時間保持後降温して焼成した。その後
外径１５ｍｍ、内径４．８ｍｍ、所定厚さ０．３４ｍｍ
となるように研削加工し、常法で分極処理してプレ圧電
セラミックスを得た。
【００１６】それぞれのプレ圧電セラミックスについて
電気機械結合係数（Ｋｐ）を測定し、プレ成形体の厚さ
との関係をグラフ化して図１に示す。図１よりプレ成形
体厚さとＫｐ値との間には、良好な相関関係が存在する
ことがわかる。なお、他の２種類のロットのＰＺＴ原料
粉末について同様なグラフを作成したが、図２及び図３
に示すように同様の相関関係が存在することがわかる。
これらのグラフ間でＫｐ値や傾きが異なるのは、ロット
間のＰＺＴ原料粉末のばらつきに起因するものである。
電気機械結合係数（Ｋｐ）を測定し、プレ成形体の厚さ
との関係をグラフ化して図１に示す。図１よりプレ成形
体厚さとＫｐ値との間には、良好な相関関係が存在する
ことがわかる。なお、他の２種類のロットのＰＺＴ原料
粉末について同様なグラフを作成したが、図２及び図３
に示すように同様の相関関係が存在することがわかる。
これらのグラフ間でＫｐ値や傾きが異なるのは、ロット
間のＰＺＴ原料粉末のばらつきに起因するものである。
【００１７】そして図１から、目的とするＫｐ値５０％
となるプレ成形体の目的厚さ０．８ｍｍを読み取る。 （４）成形工程 上記ＰＺＴ原料粉末にバインダーとしてのＰＶＡを１重
量％加えて造粒し、面圧９８ＭＰａにて直径１８ｍｍ、
内径５．９ｍｍ、さらに上記目的厚さ０．８ｍｍとなる
ように、リング円板状の本成形体約２万個を一軸プレス
で形成した。 （５）焼成工程 得られた本成形体を詰め粉（ＰＺＴ粉末：ＺｒＯ2 粉末
＝２：８）とともに緻密質アルミナ製サヤ中に入れ、昇
温速度１５０℃／ｈで１２５０℃とし、その温度で２時
間保持後降温して焼成した。 （６）後加工工程 その後厚さが所定厚さ０．３４ｍｍとなるように両表面
を研削加工し、常法で分極処理して圧電セラミックスを
得た。
となるプレ成形体の目的厚さ０．８ｍｍを読み取る。 （４）成形工程 上記ＰＺＴ原料粉末にバインダーとしてのＰＶＡを１重
量％加えて造粒し、面圧９８ＭＰａにて直径１８ｍｍ、
内径５．９ｍｍ、さらに上記目的厚さ０．８ｍｍとなる
ように、リング円板状の本成形体約２万個を一軸プレス
で形成した。 （５）焼成工程 得られた本成形体を詰め粉（ＰＺＴ粉末：ＺｒＯ2 粉末
＝２：８）とともに緻密質アルミナ製サヤ中に入れ、昇
温速度１５０℃／ｈで１２５０℃とし、その温度で２時
間保持後降温して焼成した。 （６）後加工工程 その後厚さが所定厚さ０．３４ｍｍとなるように両表面
を研削加工し、常法で分極処理して圧電セラミックスを
得た。
【００１８】得られた圧電セラミックスの中からいくつ
かを選び、それらの電気機械結合係数（Ｋｐ）を測定し
たところ、５０±１．５％の範囲にあった。また図２及
び図３の検量線からも同様にしてプレ成形体の目的厚さ
を読み取り、同様にしてそれぞれのロットから圧電セラ
ミックスを製造したが、Ｋｐ値は同様の範囲にありロッ
ト間のばらつきは見られなかった。
かを選び、それらの電気機械結合係数（Ｋｐ）を測定し
たところ、５０±１．５％の範囲にあった。また図２及
び図３の検量線からも同様にしてプレ成形体の目的厚さ
を読み取り、同様にしてそれぞれのロットから圧電セラ
ミックスを製造したが、Ｋｐ値は同様の範囲にありロッ
ト間のばらつきは見られなかった。
【図１】成形体厚さとＫｐ値との関係を示すグラフであ
る。
る。
【図２】成形体厚さとＫｐ値との関係を示すグラフであ
る。
る。
【図３】成形体厚さとＫｐ値との関係を示すグラフであ
る。
る。
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の原料をそれぞれ必要量秤量し混合
して原料粉末を調製する粉末調製工程と、 該原料粉末から厚さが異なる所定個数のプレ成形体を成
形し、焼成後所定厚さに加工し分極などの処理を施して
プレ圧電セラミックスを形成する前成形工程と、 それぞれの該プレ圧電セラミックスの圧電特性に関連す
る物理量を測定し、該プレ成形体の厚さと該物理量との
関係を求める検量工程と、 該関係から該物理量が所定値となる該プレ成形体の目的
厚さを導き、該目的厚さとなるように該原料粉末から本
成形体を形成する成形工程と、 該本成形体を焼成して焼成体とする焼成工程と、 該焼成体を該所定厚さとした後分極などの処理を施して
圧電セラミックスを得る後加工工程と、からなることを
特徴とする圧電セラミックスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23821791A JPH0570245A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 圧電セラミツクスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23821791A JPH0570245A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 圧電セラミツクスの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0570245A true JPH0570245A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=17026891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23821791A Pending JPH0570245A (ja) | 1991-09-18 | 1991-09-18 | 圧電セラミツクスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0570245A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006269982A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Tdk Corp | 圧電素子の製造方法及び圧電素子 |
| JP2023520167A (ja) * | 2020-03-19 | 2023-05-16 | エアマー・テクノロジー・コーポレーション | 音響トランスデューサ用多孔質セラミックスの作製方法 |
-
1991
- 1991-09-18 JP JP23821791A patent/JPH0570245A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006269982A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-10-05 | Tdk Corp | 圧電素子の製造方法及び圧電素子 |
| JP2023520167A (ja) * | 2020-03-19 | 2023-05-16 | エアマー・テクノロジー・コーポレーション | 音響トランスデューサ用多孔質セラミックスの作製方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100484612B1 (ko) | 세라믹의 제조방법 | |
| JP2002068835A (ja) | 圧電磁器組成物 | |
| US3403103A (en) | Piezoelectric ceramic compositions | |
| JPH0570245A (ja) | 圧電セラミツクスの製造方法 | |
| US3528918A (en) | Piezoelectric ceramic compositions | |
| US3640866A (en) | Piezoelectric ceramic compositions | |
| JP2001181036A (ja) | 圧電セラミック組成物 | |
| Eyraud et al. | Influence of the initial lead content on the properties of doped PZT ceramics prepared by wet or dry methods | |
| JP3629285B2 (ja) | 圧電セラミックの製法 | |
| JP3080277B2 (ja) | ビスマス層状化合物の製造方法 | |
| US4392970A (en) | Piezoelectric ceramics | |
| JP4017220B2 (ja) | スパッタリング用ＢａｘＳｒ１−ｘＴｉＯ３−ｙターゲット材 | |
| US3546120A (en) | Piezoelectric ceramic compositions | |
| EP0698587B1 (en) | Piezoelectric porcelain | |
| JP3564844B2 (ja) | 誘電体磁器組成物およびその製造方法、ならびに誘電体磁器組成物の特性制御方法 | |
| US3542683A (en) | Piezoelectric ceramic compositions | |
| JP3236641B2 (ja) | 複合強誘電性セラミックスの製造方法 | |
| JP3117247B2 (ja) | 圧電磁器の製造方法 | |
| Gaware et al. | Manufacturing technology of lead zirconate titanate cylindrical elements for passive transducer arrays | |
| JPS60123079A (ja) | セラミック圧電材料 | |
| Pottharst et al. | An improved preparation technique for ferroelectric ceramics | |
| JP2768068B2 (ja) | Ｐｚｔ圧電板の製造方法 | |
| JPH06116024A (ja) | ビスマス層状化合物の製造方法 | |
| US3652412A (en) | Piezoelectric ceramic compositions | |
| JP2936828B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ用圧電素子の製造方法 |