JPH0570633U - オートクレーブ - Google Patents
オートクレーブInfo
- Publication number
- JPH0570633U JPH0570633U JP996192U JP996192U JPH0570633U JP H0570633 U JPH0570633 U JP H0570633U JP 996192 U JP996192 U JP 996192U JP 996192 U JP996192 U JP 996192U JP H0570633 U JPH0570633 U JP H0570633U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- opening
- seal packing
- fitting groove
- closing door
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims abstract description 36
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 18
- 230000006837 decompression Effects 0.000 abstract description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000009461 vacuum packaging Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】開閉扉を開放する時に、耐圧容器或いは開閉扉
の周縁部に設けられた嵌合溝に嵌め込んだシールパッキ
ンが外れることのないオートクレーブを提供する。 【構成】嵌合溝6が、当該溝6に穿設される吸気孔8を
介して、シールパッキン7を溝6内に吸着する減圧装置
10に接続される構成にすることにより、開閉扉3を開
放した時に、嵌合溝6内の残留空気の膨張圧や、残留圧
によってシールパッキン7が押し出されたり、扉3に付
着して引っ張り出されて外れてしまうことがないように
した。
の周縁部に設けられた嵌合溝に嵌め込んだシールパッキ
ンが外れることのないオートクレーブを提供する。 【構成】嵌合溝6が、当該溝6に穿設される吸気孔8を
介して、シールパッキン7を溝6内に吸着する減圧装置
10に接続される構成にすることにより、開閉扉3を開
放した時に、嵌合溝6内の残留空気の膨張圧や、残留圧
によってシールパッキン7が押し出されたり、扉3に付
着して引っ張り出されて外れてしまうことがないように
した。
Description
【0001】
本考案は、加工品又は試料を耐圧容器内に搬入して高温,高圧又は減圧下で処 理するオートクレーブに関する。
【0002】
従来のオートクレーブは、図2に示すように、円筒形の耐圧容器1と、その開 口部2を閉塞する開閉扉3とから構成され、扉3を閉めた時に当該扉3の周縁部 4と当接する耐圧容器1の周縁部5に円環状の嵌合溝6を設け、その溝6にシリ コンゴム製のシールパッキン7を嵌め込み、このシールパッキン7によって耐圧 容器1と開閉扉3の間に隙間が生ずるのを防いで、耐圧容器1内の気密性を保つ ように成されている。
【0003】
ところが、シールパッキン7を嵌合溝6に嵌め込む時に、シールパッキン7と 嵌溝6との間に多少の空気が閉じ込められて残ってしまい、この残留空気が耐圧 容器1内を高温に加熱した際に膨張し、シールパッキン7を嵌合溝6から押し出 そうとする圧力を生ずるため、開閉扉3を開ける際に、この空気の膨張圧によっ てシールパッキン7が嵌合溝6から外れてしまうという問題があった。
【0004】 また、耐圧容器1内を高圧にすると、嵌合溝6とシールパッキン7の間にも高 い圧力が加わるが、この嵌合溝6内にかかった高圧は、開閉扉3を開ける前に耐 圧容器1内を減圧しても完全には抜けきらず、外気圧より高い残留圧として溝内 に残るため、この残留圧によってシールパッキン7が嵌合溝6から押し出されて 脱落してしまうこともあった。
【0005】 さらに、開閉扉3の周縁部4は、耐圧容器1内の気密性を保つために扉締付リ ング等によってシールパッキン7に対して非常に強い力で圧接されているので、 シールパッキン7の表面が扉3の周縁部4に付着してしまい、開閉扉3を開ける 際にシールパッキン7が扉3に引っ張られて嵌合溝6から外れてしまうこともあ った。
【0006】 このように、従来のオートクレーブでは頻繁にシールパッキン7が嵌合溝6か ら外れていたため、その度ごとにシールパッキン7を嵌め直さなければならず、 手間がかかると共に、オートクレーブの稼動効率を著しく低下させるという大き な問題を生じさせていた。 そこで本考案は、開閉扉を開ける際に、シールパッキンが嵌合溝から外れるこ とのないオートクレーブを提供することを技術的課題としている。
【0007】
この課題を解決するために、本考案は、円筒形の耐圧容器と、その開口部を閉 塞する開閉扉とから成り、前記扉の閉塞時に当接する当該開閉扉と前記耐圧容器 の周縁部の何れか一方に、その周縁部に沿って円環状の嵌合溝が設けられ、当該 嵌合溝にシールパッキンが嵌め込まれているオートクレーブにおいて、前記嵌合 溝が、当該溝に穿設される吸気孔を介して、前記シールパッキンを溝内に吸着す る減圧装置に接続されていることを特徴とする。
【0008】
本考案のオートクレーブによれば、シールパッキンは、嵌合溝に穿設された吸 気孔を介して接続される減圧装置の吸引力によって溝内に吸着されているから、 従来のように嵌合溝内の残留空気の膨張圧や、残留圧によってシールパッキンが 溝から押し出されたり、或いはシールパッキンが開閉扉の周縁部に付着して引っ 張り出されたりして外れてしまうことが防止される。
【0009】
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。 図1は、本考案によるオートクレーブの要部を示す概略図である。 図中1は円筒形の耐圧容器であり、その開口部2を閉塞する開閉扉3がヒンジ (図示せず)によって開閉自在に取付けられている。
【0010】 そして、開閉扉3を閉めた時に、当該扉3の周縁部4と当接する耐圧容器1の フランジ状の周縁部5には、その周縁部5に沿って円環状の嵌合溝6が設けられ ており、その嵌合溝6にはシリコンゴムで成形した環状のシールパッキン7が嵌 め込まれている。
【0011】 また、嵌合溝6の底側に、耐圧容器1の外部に貫通する吸気孔8が穿設され、 当該吸気孔8は吸気管9を介して減圧装置としての真空ポンプ10に接続されて いる。 そして、吸気管9には、所定のタイミングで作動する電磁弁11と緊急用の手 動弁12が介装されている。 なお、本実施例における真空ポンプ10は、在来から、耐圧容器1内に搬入さ れる加工品Wを真空パックして処理を行うために配設されているものを流用した ものであり、調節弁13,14を介装した吸排気管15が耐圧容器1内に導入さ れている。
【0012】 また、図示は省略したが、耐熱容器1内には、例えば本出願人にかかる特開昭 61−82833号公報に示されるように、開閉扉3と対向する位置にターボフ ァン等の循環ファンが配設されると共に、所定の位置に加熱器,冷却器,高圧気 体の供給口等が配設されている。
【0013】 以上が本考案の一例構成であって、次にその作用について説明すると、まず、 開閉扉3を開放し、真空パック用の容器に封入された加工品Wを台車に載せて耐 圧容器1内に搬入する。
【0014】 そして、真空パック用の容器に吸排気管15のカップラーを接続した後に、開 閉扉3を閉め、扉締付リング等によって密閉状態にする。 次いで、真空ポンプ10を稼動し、調節弁13を開いて真空パック用の容器内 の空気を吸引して、加工品Wを真空パックする。 そして、調節弁13を閉じた後に、耐圧容器1内に高圧チッソガス,アルゴン ガス等の不活性気体を供給すると共に、加熱器により所要温度(例えば、60〜 500℃)に加熱し、循環ファンを作動させて加工処理を行う。
【0015】 そして、所定の加工処理が終了すると、真空ポンプ10を再び稼動させ、電磁 弁11を開けてシールパッキン7を嵌合溝6の底側に吸引させてから、開閉扉3 を開放する。 このようにして扉3を開放すると、シールパッキン7は嵌合溝6内に吸着して いるから、従来のように溝6内の残留空気の膨張圧や、残留圧によってシールパ ッキン7が溝6から押し出されたり、或いは扉3の周縁部4に付着して引っ張り 出されて外れてしまうことが防止され、シールパッキン7を溝6に嵌め直す手間 が無くなり、オートクレーブの稼動効率が低下することもない。
【0016】 なお、本実施例においては、耐圧容器1の周縁部5にシールパッキン7を設け る場合について説明したが、これに限らず開閉扉3の周縁部4に嵌合溝を設けて シールパッキン7を設ける場合にも適用できる。 また、真空ポンプ10については、本実施例のように加工品の真空パック用の ものを流用する場合に限らず、シールパッキン吸引用に別のポンプを配設しても 良いし、又減圧装置としては真空ポンプのほかにシリンダー装置や減圧タンクを 用いることもできる。 また、吸気孔8は、円環状の嵌合溝6に沿って複数設けるようにしても良い。
【0017】
以上述べたように、本考案によれば、シールパッキンは、嵌合溝に穿設された 吸気孔を介して接続される減圧装置の吸引力によって溝内に吸着されているから 、従来のように嵌合溝内の残留空気の膨張圧や、残留圧によってシールパッキン が押し出されたり、或いはシールパッキンが開閉扉の周縁部に付着して引っ張り 出されたりして外れてしまうことが防止され、シールパッキンを嵌合溝に嵌め直 す手間が無くなり、オートクレーブの稼動効率が低下することもないという優れ た効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案によるオートクレーブの要部を示す概略
図。
図。
【図2】従来のオートクレーブを示す概略図。
1・・・耐圧容器 3・・・開閉
扉 4・・・周縁部 5・・・周縁
部 6・・・嵌合溝 7・・・シー
ルパッキン 8・・・吸気孔 10・・・減
圧装置(真空ポンプ)
扉 4・・・周縁部 5・・・周縁
部 6・・・嵌合溝 7・・・シー
ルパッキン 8・・・吸気孔 10・・・減
圧装置(真空ポンプ)
Claims (1)
- 【請求項1】円筒形の耐圧容器(1)と、その開口部
(2)を閉塞する開閉扉(3)とから成り、前記扉
(3)の閉塞時に当接する当該開閉扉(3)と前記耐圧
容器(1)の周縁部(4,5)の何れか一方に、その周
縁部(4,5)に沿って円環状の嵌合溝(6)が設けら
れ、当該嵌合溝(6)にシールパッキン(7)が嵌め込
まれているオートクレーブにおいて、前記嵌合溝(6)
が、当該溝(6)に穿設される吸気孔(8)を介して、
前記シールパッキン(7)を溝(6)内に吸着する減圧
装置(10)に接続されていることを特徴とするオート
クレーブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP996192U JPH0570633U (ja) | 1992-02-29 | 1992-02-29 | オートクレーブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP996192U JPH0570633U (ja) | 1992-02-29 | 1992-02-29 | オートクレーブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0570633U true JPH0570633U (ja) | 1993-09-24 |
Family
ID=11734543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP996192U Pending JPH0570633U (ja) | 1992-02-29 | 1992-02-29 | オートクレーブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0570633U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6413548U (ja) * | 1987-06-02 | 1989-01-24 |
-
1992
- 1992-02-29 JP JP996192U patent/JPH0570633U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6413548U (ja) * | 1987-06-02 | 1989-01-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20060102237A1 (en) | Vacuum interface between a mini-environment pod and a piece of equipment | |
| JPS61291032A (ja) | 真空装置 | |
| JPH04269822A (ja) | 熱処理装置の封止構造 | |
| JPH10147429A (ja) | 物品を移送するためのロードロック装置および方法 | |
| WO2001055628A1 (en) | High pressure lift valve for use in semiconductor processing environment | |
| JP3226511B2 (ja) | 容器および容器の封止方法 | |
| JPH0570633U (ja) | オートクレーブ | |
| JP2893588B2 (ja) | 真空炉の蓋の固定方法 | |
| JPH10303099A (ja) | 基板処理装置 | |
| CN111215201A (zh) | 一种高温球磨罐紧固密封装置及装拆方法 | |
| JP2003097428A (ja) | 真空ポンプ制御装置 | |
| JPH06275703A (ja) | 真空処理装置 | |
| JPH0534373Y2 (ja) | ||
| JPH1194085A (ja) | 高圧処理装置における密封チャンバの安全装置 | |
| JPH0640530U (ja) | 真空ゲート弁 | |
| JPH0714642U (ja) | 減圧cvd装置 | |
| JP3794861B2 (ja) | クリーン搬送方法及び装置 | |
| JPH0329453B2 (ja) | ||
| JPH05106042A (ja) | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 | |
| CN212747129U (zh) | 一种真空干燥设备 | |
| JP2002118067A (ja) | 真空処理方法及び真空処理装置 | |
| JPH04110724U (ja) | 高圧ガス雰囲気加熱処理装置 | |
| JP2515669B2 (ja) | 真空ポンプ | |
| JP2859595B2 (ja) | 核燃料粉末搬送用密閉容器 | |
| CN208142136U (zh) | 工艺腔及半导体加工设备 |