JPH0329453B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0329453B2 JPH0329453B2 JP1568786A JP1568786A JPH0329453B2 JP H0329453 B2 JPH0329453 B2 JP H0329453B2 JP 1568786 A JP1568786 A JP 1568786A JP 1568786 A JP1568786 A JP 1568786A JP H0329453 B2 JPH0329453 B2 JP H0329453B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- gate valve
- vacuum processing
- container
- transportation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Packages (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、真空処理装置の輸送装置に係り、特
に真空容器を真空ベーク処理必要な真空処理装置
を輸送するのに好適な真空処理装置の輸送装置に
関するものである。
に真空容器を真空ベーク処理必要な真空処理装置
を輸送するのに好適な真空処理装置の輸送装置に
関するものである。
真空容器を真空ベーク処理必要、即ち、真空容
器内を超高真空とする必要がある真空処理装置と
しては、例えば、分子線エピタキシー装置が挙げ
られる。分子線エピタキシー装置としては、例え
ば、特開昭59−124710号公報に記載されているよ
うなものが知られている。
器内を超高真空とする必要がある真空処理装置と
しては、例えば、分子線エピタキシー装置が挙げ
られる。分子線エピタキシー装置としては、例え
ば、特開昭59−124710号公報に記載されているよ
うなものが知られている。
一般に、このような真空処理装置の製造場所と
使用場所とは異なり離れており、製造場所から使
用場所へ輸送する必要がある。しかし、この輸送
時において真空容器内の大気による汚染をいかに
して良好に防止するかについては充分に配慮され
ているとはいえない。
使用場所とは異なり離れており、製造場所から使
用場所へ輸送する必要がある。しかし、この輸送
時において真空容器内の大気による汚染をいかに
して良好に防止するかについては充分に配慮され
ているとはいえない。
真空処理装置の製造場所から使用場所への輸送
時において真空容器内の大気による汚染防止対策
が不充分である場合、真空処理装置の使用場所へ
の据付後、真空容器の真空ベーク処理を製造時と
同様に再び実施しなければ、真空容器内を超高真
空に排気できないといつた問題がある。
時において真空容器内の大気による汚染防止対策
が不充分である場合、真空処理装置の使用場所へ
の据付後、真空容器の真空ベーク処理を製造時と
同様に再び実施しなければ、真空容器内を超高真
空に排気できないといつた問題がある。
本発明の目的は、真空処理装置の製造場所から
使用場所への輸送時における真空容器内の大気に
よる汚染を良好に防止することで、使用場所での
真空処理装置据付け後の真空容器の真空ベーク処
理を実施することなしに真空容器内を超高真空に
排気できる真空処理装置の輸送装置を提供するこ
とにある。
使用場所への輸送時における真空容器内の大気に
よる汚染を良好に防止することで、使用場所での
真空処理装置据付け後の真空容器の真空ベーク処
理を実施することなしに真空容器内を超高真空に
排気できる真空処理装置の輸送装置を提供するこ
とにある。
上記目的は、真空容器と真空排気装置と駆動手
段で作動する仕切弁とを有する真空処理装置を輸
送する装置で、前記駆動手段と切換え使用可能で
前記真空処理装置の輸送時に前記真空容器の真空
を封止し維持可能に前記仕切弁を作動させる駆動
手段を別途具備することで達成される。
段で作動する仕切弁とを有する真空処理装置を輸
送する装置で、前記駆動手段と切換え使用可能で
前記真空処理装置の輸送時に前記真空容器の真空
を封止し維持可能に前記仕切弁を作動させる駆動
手段を別途具備することで達成される。
製造場所で真空容器は真空ベーク処理され該真
空容器の真空は製造場所に設置されている駆動手
段で作動する仕切弁で封止される。真空処理装置
の輸送時においては、製造場所に設置されている
駆動手段と輸送装置が別途具備した駆動手段とが
切換えられ該駆動手段で仕切弁は引続き作動させ
られ、これにより真空容器の真空は封止され維持
される。その後、真空処理装置の使用場所での据
付時に輸送装置が別途具備した駆動手段と使用場
所に設置されている駆動手段とが切換えられ該駆
動手段で仕切弁は引続き作動させられて使用場所
で据付けられた真空処理装置の真空容器の真空は
封止される。
空容器の真空は製造場所に設置されている駆動手
段で作動する仕切弁で封止される。真空処理装置
の輸送時においては、製造場所に設置されている
駆動手段と輸送装置が別途具備した駆動手段とが
切換えられ該駆動手段で仕切弁は引続き作動させ
られ、これにより真空容器の真空は封止され維持
される。その後、真空処理装置の使用場所での据
付時に輸送装置が別途具備した駆動手段と使用場
所に設置されている駆動手段とが切換えられ該駆
動手段で仕切弁は引続き作動させられて使用場所
で据付けられた真空処理装置の真空容器の真空は
封止される。
このように、真空処理装置の輸送時において真
空容器の真空は封止され維持されるので、真空容
器内への大気の流入がなく真空容器内の大気によ
る汚染が良好に防止される。
空容器の真空は封止され維持されるので、真空容
器内への大気の流入がなく真空容器内の大気によ
る汚染が良好に防止される。
以下、本発明の一実施例を図面により説明す
る。
る。
図面で、副真空槽８の入口と、副真空槽８と主
真空槽９の間と上記真空槽８，９と主排気ポンプ
６の間とにエアーシリンダー３により動作する仕
切弁４を具備し、エアーシリンダー３に圧縮空気
を送る圧力調整器２を具備した圧縮空気ボンベ１
を設け、圧縮空気ボンベ１とエアーシリンダー３
との間に手動弁７を設けると共に、工場側からの
圧縮空気とエアーシリンダー３との間に手動弁５
を設けている。副真空槽８、主真空槽９を真空ベ
ーク処理して超高真空排気後に手動弁７を開け、
仕切弁４を閉じて工場側からの圧縮空気を手動弁
５で閉じる。工場側からの圧縮空気パイプを取は
ずせば副真空槽８、主真空槽９に大気を入れるこ
となく真空状態のままで使用場所へ輸送できる。
使用場所での据付後は、使用場所の建屋側から圧
縮空気の供給を受け手動弁５を開け、圧縮空気ボ
ンベ１側の手動弁７を閉じる。
真空槽９の間と上記真空槽８，９と主排気ポンプ
６の間とにエアーシリンダー３により動作する仕
切弁４を具備し、エアーシリンダー３に圧縮空気
を送る圧力調整器２を具備した圧縮空気ボンベ１
を設け、圧縮空気ボンベ１とエアーシリンダー３
との間に手動弁７を設けると共に、工場側からの
圧縮空気とエアーシリンダー３との間に手動弁５
を設けている。副真空槽８、主真空槽９を真空ベ
ーク処理して超高真空排気後に手動弁７を開け、
仕切弁４を閉じて工場側からの圧縮空気を手動弁
５で閉じる。工場側からの圧縮空気パイプを取は
ずせば副真空槽８、主真空槽９に大気を入れるこ
となく真空状態のままで使用場所へ輸送できる。
使用場所での据付後は、使用場所の建屋側から圧
縮空気の供給を受け手動弁５を開け、圧縮空気ボ
ンベ１側の手動弁７を閉じる。
本実施例では、次のような効果がある。
(1) 真空槽内への大気の混入なく輸送できるの
で、使用場所での据付け後に真空槽を再び真空
ベークすることなしに真空槽内を超高真空排気
できる。
で、使用場所での据付け後に真空槽を再び真空
ベークすることなしに真空槽内を超高真空排気
できる。
(2) 使用場所での据付け後に真空槽を再び真空ベ
ークする必要がないので、真空立上げ時間をこ
の分だけ短縮することができる。
ークする必要がないので、真空立上げ時間をこ
の分だけ短縮することができる。
なお、本実施例では、仕切弁を、圧縮空気力に
より作動する仕切弁としているが、この他に、電
磁力や油圧力により作動する仕切弁を用いても良
い。また、仕切弁をモータで作動する弁とし該モ
ータに電気供給するバツテリーを輸送装置に設け
るようにしても良い。
より作動する仕切弁としているが、この他に、電
磁力や油圧力により作動する仕切弁を用いても良
い。また、仕切弁をモータで作動する弁とし該モ
ータに電気供給するバツテリーを輸送装置に設け
るようにしても良い。
本発明によれば、真空処理装置の製造場所から
使用場所への輸送時における真空容器内の大気に
よる汚染を良好に防止できるので、使用場所での
真空処理装置据付け後の真空容器の真空ベーク処
理を実施することなしに該真空容器内を超高真空
に排気できるという効果がある。
使用場所への輸送時における真空容器内の大気に
よる汚染を良好に防止できるので、使用場所での
真空処理装置据付け後の真空容器の真空ベーク処
理を実施することなしに該真空容器内を超高真空
に排気できるという効果がある。
図面は、本発明の一実施例の真空処理装置の輸
送装置の構成図である。 １……圧縮空気ボンベ、２……圧力調整器、３
……エアシリンダー、４……仕切弁、５，７……
手動弁、６……主排気ポンプ、８……副真空槽、
９……主真空槽。
送装置の構成図である。 １……圧縮空気ボンベ、２……圧力調整器、３
……エアシリンダー、４……仕切弁、５，７……
手動弁、６……主排気ポンプ、８……副真空槽、
９……主真空槽。
Claims (1)
- １ 真空容器と真空排気装置と駆動手段で作動す
る仕切弁とを有する真空処理装置を輸送する装置
において、前記駆動手段と切換え使用可能で前記
真空処理装置の輸送時に前記真空容器の真空を封
止し維持可能に前記仕切弁を作動させる駆動手段
を別途具備したことを特徴とする真空処理装置の
輸送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1568786A JPS62176532A (ja) | 1986-01-29 | 1986-01-29 | 真空処理装置の輸送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1568786A JPS62176532A (ja) | 1986-01-29 | 1986-01-29 | 真空処理装置の輸送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62176532A JPS62176532A (ja) | 1987-08-03 |
| JPH0329453B2 true JPH0329453B2 (ja) | 1991-04-24 |
Family
ID=11895664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1568786A Granted JPS62176532A (ja) | 1986-01-29 | 1986-01-29 | 真空処理装置の輸送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62176532A (ja) |
-
1986
- 1986-01-29 JP JP1568786A patent/JPS62176532A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62176532A (ja) | 1987-08-03 |
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